JP2010193482A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 厚みを規定する２つの主面がＺ軸と交わったＺカット圧電基板により形成され、屈曲振動する振動腕と、前記振動腕の長手方向の一端側が非固定状態の自由端である片持ち梁の状態で前記振動腕が支持されるように前記振動腕の長手方向の他端側を固定する基部と、を備えた圧電振動片であって、
   前記振動腕の+Ｚ面側の主面に前記長手方向に沿って設けられ、且つ当該主面から厚み方向に掘り下げられた形状の有底の第１の溝と、前記振動腕の−Ｚ面側の主面に前記長手方向に沿って設けられ、且つ当該主面から厚み方向に掘り下げられた形状の有底の第２の溝とを有し、前記第１の溝における前記基部の側にあって、且つ前記＋Ｚ面側の主面側に位置する端は、前記第２の溝における前記基部の側にあって、且つ前記−Ｚ面側の主面側に位置する端よりも前記基部の側に位置することを特徴とする圧電振動片。
2. 前記第２の溝における自由端の側にあって、且つ前記−Ｚ面側の主面側に位置する端は、前記第１の溝における自由端の側にあって、且つ前記＋Ｚ面側の主面側に位置する端よりも前記自由端の側に位置することを特徴とする請求項１に記載の圧電振動片。
3. 前記第１および前記第２の溝が厚み方向から見て重なる領域は、長手方向から見て前記第１および前記第２の溝が重なる領域を備えていることを特徴とする請求項２に記載の圧電振動片。
4. 前記振動腕の+Ｚ面に設けられた第１の電極膜と、前記振動腕の−Ｚ面に設けられた第２の電極膜とを有し、前記第１の電極膜が前記第２電極膜より薄いことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電振動片。
5. 前記振動腕は前記基部に２本平行に片持ち支持で設けられ、一方の振動腕に形成された前記励振電極と、他方の振動腕に形成された前記励振電極とがクロス配線によって接続されたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電振動片。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の圧電振動片を、前記基部を固定端として片持ち支持状態でパッケージに実装したことを特徴とする圧電振動子または加速度センサ。