JP2010188322A - 溶剤再生装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】回収タンク5内の回収溶剤に純水を供給した後に回収溶剤と純水との懸濁液を生成する。回収溶剤と純水との懸濁化により、溶剤よりも純水に溶けやすい酸や有機成分などが溶剤から引き出されて溶剤から分離する。回収溶剤と純水との懸濁液を所定時間の間、放置し沈静化させると、比重に応じて酸や有機成分などと溶剤成分とが分離するので、溶剤成分だけを一次調整溶剤として油水分離フィルタ7に通し、残っている純水等を除去して、二次調整溶剤としてバッファタンク9に貯留する。二次調整溶剤を吸着フィルタ11に通して貯留タンク13に溶剤成分を貯留するが、吸着フィルタ11にダメージを与える成分が除去されており、吸着フィルタ11の破過寿命が短くなるのを防止できる。
【選択図】図1
Description
すなわち、従来の装置は、油水分離フィルタでおおまかに純水を除去しているが、基板の処理中に溶剤に混入した酸や、IPAなどの有機成分を油水分離フィルタでは完全に除去しきれないことがある。したがって、酸や有機成分を含む溶剤が吸着フィルタに送られることがあるので、吸着フィルタにおける酸や有機成分の吸着量が多くなる。その結果、吸着フィルタの破過寿命が短くなるという問題がある。
すなわち、請求項1に記載の発明は、溶剤に含まれている純水成分を除去する溶剤再生装置において、基板の処理に使用した溶剤を回収溶剤として貯留する回収タンクと、回収溶剤に純水を供給する純水供給手段と、回収溶剤と純水との懸濁液を生成する懸濁化手段と、懸濁液から溶剤成分だけを一次調整溶剤として前記回収タンクから供給される油水分離フィルタと、前記油水分離フィルタで分離された溶剤成分だけを二次調整溶剤として貯留するバッファタンクと、前記バッファタンクから二次調整溶剤を供給され、二次調整溶剤から純水成分を吸着除去する吸着フィルタと、前記吸着フィルタで濾過された溶剤成分を再生溶剤として貯留する貯留タンクと、を備えていることを特徴とするものである。
図1は、実施例に係る溶剤再生装置の概略構成を示す図である。
基板処理装置において使用済みの溶剤を回収タンク5に回収溶剤として回収する。上述したように、ここでいう回収溶剤は、例えば、5%のIPA(イソプロピルアルコール)と、95%のHFE(ハイドロフルオロエーテル)とを混合したものであって、基板処理時にその組成比率が変動し、さらに純水成分や酸等を含んでいるものとする。また、制御弁19,29,31,33,41及び開閉弁57、流量制御弁79は閉止された状態であり、循環ポンプ22とポンプ69は停止されているものとする。
制御部85は、制御弁19を開放して、所定量の純水を回収タンク5に供給して、回収溶剤に純水を混合させる。
制御部85は、制御弁19を閉止するとともに、制御弁29を開放し、さらに循環ポンプ22を所定時間の間だけ作動させる(ステップS3)。これにより、純水と回収溶剤が循環配管21と回収タンク5を通って循環するので、水溶性のIPAや酸等が非水溶性のHFEから純水によって引き出され、分散系を形成して懸濁液となる。そして、所定時間の循環の後(ステップS4)、循環ポンプ22を停止する(ステップS5)。
制御部85は、循環ポンプ22を停止するとともに制御弁29を閉止した後、図示しないタイマで計時を開始する。そして、所定時間(例えば、数分〜数十分)の間、放置する。すると、回収溶剤と純水との懸濁液が比重に応じて重力分離される。具体的には、最も比重が大きいHFE(約1.5)が回収タンク5の最下層に滞留し、その上に、純水(1.0)とIPA(約0.8)の混合液が滞留することになる。但し、完全に重力分離できるわけではなく、ある程度の純水やIPA、酸等がHFEには残留している。
制御部85は、制御弁33を開放するとともに、循環ポンプ22を作動させる(ステップS7)。これにより、回収タンク5の底部に貯留している、主としてHFEからなる溶剤を一次調整溶剤として油水分離フィルタ7に送り出す。制御部85は、比重計23の出力を監視し(ステップS8)、その信号が変動した際に循環ポンプ22を停止する(ステップS9)。上述したように、回収タンク5内には、比重差によって層状に各種液体が滞留しているので、比重計23の出力信号に変動があったということは、異なる比重の液体が滞留している層が低下してきたことを示すからである。これにより、主としてHFEからなる溶剤だけを油水分離フィルタ7に送液することができる。その後、以下の処理に移行するのと並行して、制御弁33を閉止するとともに制御弁31を開放し、循環ポンプ22を作動させて、回収タンク5に残った液体(有機成分や酸等)を排出する。
油水分離フィルタ7では、供給された一次調整溶剤がフィルタ43でHFEと純水等の成分とが分離され、一次調整溶剤のうち比重が大きいHFEが第1貯留部45に滞留し、比重が小さい純水等が第2貯留部47を介して第1排出部49から排出される。この処理により、一次調整溶剤に残留している純水や酸等の大半が除去される。
制御部85は、開閉弁57を開放して、第1貯留部45に貯留している、僅かな純水等の成分が含まれているHFEを二次調整溶剤として、バッファタンク9に送液する(ステップS11)。なお、このとき制御部85は比重計53の出力を監視しており(ステップS12)、出力信号が変動した場合には開閉弁57を閉止する(ステップS13)。これにより、僅かな純水等の成分が残留しているHFE以外の液体がバッファタンク9に送液されるのを防止できる。
制御部85は、ポンプ69を作動させてバッファタンク9内の二次調整溶剤を吸着フィルタ11に圧送する(ステップS14)。レベルセンサ59が作動(ステップS16)した場合には、バッファタンク9内の二次調整溶剤がほぼ全て圧送されたと判断して、ポンプ69を停止する(ステップS17)。吸着フィルタ11では、第1のフィルタ65と第2のフィルタ67によって二次調整溶剤に残留している極微量の純水等も吸着除去される(ステップS15)。
これにより、貯留タンク13には、IPAや純水等が除去されたHFEが再生溶剤として貯留することになるが、基板の処理に使用する溶剤には、IPAが一定量含まれている。そこで、制御部85は、濃度計81を参照しつつ、流量制御弁79を操作してIPAが一定濃度となるように補充源77からIPAを補充する。また、揮発によりHFEも目減りしているので、必要に応じて流量制御弁79を操作して補充源77からHFEを補充する。
3 … 回収配管
5 … 回収タンク
7 … 油水分離フィルタ
9 … バッファタンク
11 … 吸着フィルタ
13 … 貯留タンク
22 … 循環ポンプ
23,53 … 比重計
19,29,31,33,41 … 制御弁
39 … 注入管
43 … フィルタ
45 … 第1貯留部
47 … 第2貯留部
49 … 第1排出部
51 … 第2排出部
81 … 濃度計
85 … 制御部
Claims (9)
- 溶剤に含まれている純水成分を除去する溶剤再生装置において、
基板の処理に使用した溶剤を回収溶剤として貯留する回収タンクと、
回収溶剤に純水を供給する純水供給手段と、
回収溶剤と純水との懸濁液を生成する懸濁化手段と、
懸濁液から溶剤成分だけを一次調整溶剤として前記回収タンクから供給される油水分離フィルタと、
前記油水分離フィルタで分離された溶剤成分だけを二次調整溶剤として貯留するバッファタンクと、
前記バッファタンクから二次調整溶剤を供給され、二次調整溶剤から純水成分を吸着除去する吸着フィルタと、
前記吸着フィルタで濾過された溶剤成分を再生溶剤として貯留する貯留タンクと、
を備えていることを特徴とする溶剤再生装置。 - 請求項1に記載の溶剤再生装置において、
前記懸濁化手段は、
前記回収タンク内の回収溶剤を、前記回収タンクの外部を通して循環させる循環配管と、
前記循環配管に設けられた循環ポンプと、
を備えていることを特徴とする溶剤再生装置。 - 請求項1に記載の溶剤再生装置において、
前記懸濁化手段は、
前記回収タンク内の流体を攪拌する攪拌手段を備えていることを特徴とする溶剤再生装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の溶剤再生装置において、
前記回収タンク内の底面から所定の高さ位置に設けられた比重計と、
前記回収タンクの底部と、前記油水分離フィルタとを連通接続する配管と、
前記配管に設けられたポンプと、
前記ポンプを作動させた後、前記比重計の計測値が変動したことに基づき前記ポンプを停止させる制御部と、
を備えていることを特徴とする溶剤再生装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の溶剤再生装置において、
前記油水分離フィルタの底部と前記バッファタンクの上部とを連通接続する配管と、
前記配管に設けられた開閉弁と、
前記油水分離フィルタの底部から所定高さ位置に設けられた比重計と、
前記開閉弁を開放した後、前記比重計の計測値が変動したことに基づき前記開閉弁を閉止する制御部と、
を備えていることを特徴とする溶剤再生装置。 - 溶剤に含まれている純水成分を除去する溶剤再生方法において、
基板の処理に使用した溶剤を回収溶剤として回収タンクに回収する過程と、
回収溶剤と純水との懸濁液を回収タンク内に生成する過程と、
回収タンク内の懸濁液を沈静化させる過程と、
比重が相違する溶剤成分だけを一次調整溶剤として回収タンクから油水分離フィルタに供給する過程と、
油水分離フィルタで分離された溶剤成分だけを二次調整溶剤としてバッファタンクに貯留する過程と、
バッファタンクから二次調整溶剤を供給され、二次調整溶剤から純水成分を吸着フィルタで吸着除去する過程と、
吸着フィルタで濾過された溶剤成分を再生溶剤として貯留タンクに貯留する過程と、
を備えていることを特徴とする溶剤再生方法。 - 請求項6に記載の溶剤再生方法において、
前記懸濁液を生成する過程は、回収タンクに純水を供給するとともに、回収タンクの外部を通して回収溶剤と純水とを循環させる過程であることを特徴とする溶剤再生用法。 - 請求項7に記載の溶剤再生方法において、
前記懸濁液を沈静化させる過程は、回収溶剤と純水との循環を停止して所定時間にわたって放置する過程であることを特徴とする溶剤再生用法。 - 請求項6に記載の溶剤再生方法において、
前記懸濁液を生成する過程は、回収タンクに純水を供給するとともに、回収タンク内の回収溶剤と純水とを攪拌させる過程であることを特徴とする溶剤再生方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150107632A (ko) * | 2014-03-13 | 2015-09-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 |
JP2016168530A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 | フッ素含有溶剤分離方法、フッ素含有溶剤汚染物除去方法、及び装置 |
WO2021048757A1 (en) * | 2019-09-10 | 2021-03-18 | 3M Innovative Properties Company | Regeneration method for alcohol-containing fluorinated liquid and regeneration system using the method |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0271802A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-12 | Terumo Corp | 疎水性溶剤の精製方法 |
JPH05154304A (ja) * | 1991-12-04 | 1993-06-22 | Wako Sangyo Kk | 油中水分除去フィルターおよび油中水分除去装置 |
JPH10192848A (ja) * | 1997-01-08 | 1998-07-28 | Nec Tohoku Ltd | 廃水処理装置とその廃水処理方法 |
JP2002126402A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-08 | Nittetu Chemical Engineering Ltd | 有機溶剤中に含有されている水分の低減方法 |
JP2007308455A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Toagosei Co Ltd | 液・液分離方法及び(メタ)アクリレートの製造方法 |
JP2008066351A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2008208048A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-11 | Three M Innovative Properties Co | フッ素系溶剤含有溶液の精製方法及び精製装置ならびに洗浄装置 |
JP2008244086A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
-
2009
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0271802A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-12 | Terumo Corp | 疎水性溶剤の精製方法 |
JPH05154304A (ja) * | 1991-12-04 | 1993-06-22 | Wako Sangyo Kk | 油中水分除去フィルターおよび油中水分除去装置 |
JPH10192848A (ja) * | 1997-01-08 | 1998-07-28 | Nec Tohoku Ltd | 廃水処理装置とその廃水処理方法 |
JP2002126402A (ja) * | 2000-10-26 | 2002-05-08 | Nittetu Chemical Engineering Ltd | 有機溶剤中に含有されている水分の低減方法 |
JP2007308455A (ja) * | 2006-05-22 | 2007-11-29 | Toagosei Co Ltd | 液・液分離方法及び(メタ)アクリレートの製造方法 |
JP2008066351A (ja) * | 2006-09-05 | 2008-03-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2008208048A (ja) * | 2007-02-23 | 2008-09-11 | Three M Innovative Properties Co | フッ素系溶剤含有溶液の精製方法及び精製装置ならびに洗浄装置 |
JP2008244086A (ja) * | 2007-03-27 | 2008-10-09 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150107632A (ko) * | 2014-03-13 | 2015-09-23 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 |
JP2015188060A (ja) * | 2014-03-13 | 2015-10-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 分離再生装置および基板処理装置 |
KR102327925B1 (ko) * | 2014-03-13 | 2021-11-18 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 분리 재생 장치 및 기판 처리 장치 |
JP2016168530A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 三井・デュポンフロロケミカル株式会社 | フッ素含有溶剤分離方法、フッ素含有溶剤汚染物除去方法、及び装置 |
WO2021048757A1 (en) * | 2019-09-10 | 2021-03-18 | 3M Innovative Properties Company | Regeneration method for alcohol-containing fluorinated liquid and regeneration system using the method |
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