JP2010186837A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体デバイスに対する多様な要求に対し、柔軟に対応することができる半導体デバイスを提供する。
【解決手段】基板(2)と、ゲート絶縁膜(6)を介して基板(2)の上に設けられるゲート電極(3)と、ゲート電極(3)に隣接して配置されるサイドウォール(5)とを具備する半導体装置(1)を構成する。ゲート電極(3)は、引き出し電極部分(3−2)と実効ゲート電極部分(3−1)とを備えることが好ましい。また、引き出し電極部分(3−2)は、第1方向に沿って延伸する素子分離(9)の上に形成され、第1方向に沿った第1側面(16)(17)を有する部分とする。実効ゲート電極部分(3−1)は、素子分離(9)で分離される領域の上に形成され、第1側面(16)(17)を含む面に交差する面に沿った第2側面を有する部分とする。サイドウォール(5)は、第1側面(16)(17)を覆うことなく第2側面を覆うものとする。
【選択図】図1
【解決手段】基板(2)と、ゲート絶縁膜(6)を介して基板(2)の上に設けられるゲート電極(3)と、ゲート電極(3)に隣接して配置されるサイドウォール(5)とを具備する半導体装置(1)を構成する。ゲート電極(3)は、引き出し電極部分(3−2)と実効ゲート電極部分(3−1)とを備えることが好ましい。また、引き出し電極部分(3−2)は、第1方向に沿って延伸する素子分離(9)の上に形成され、第1方向に沿った第1側面(16)(17)を有する部分とする。実効ゲート電極部分(3−1)は、素子分離(9)で分離される領域の上に形成され、第1側面(16)(17)を含む面に交差する面に沿った第2側面を有する部分とする。サイドウォール(5)は、第1側面(16)(17)を覆うことなく第2側面を覆うものとする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体装置に関する。
情報処理技術の進歩に対応した半導体集積回路の高集積化や大規模化の要求が高まってきている。そのような要求に対応した半導体装置の製造に係る微細化技術が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1には、ランダム配線パターンの末端、角部、交差部などの接続ノードを湧出した位相シフトマスクと、その他の領域を露光するための位相シフトマスクを、投影光学系を介して同一レジスト膜に多重露光する技術が開示されている。また、その特許文献1には、任意のパターンを2から4枚の位相シフトマスクに量子化して同じく多重露光する技術が開示されている。特許文献1の技術は、光リソグラフィによる論理LSIの配線ピッチ縮小を可能としている。その技術により、配線遅延を抑制したLSIを低コストで、かつ、高スループットでの製造可能としている。
微細化されたトランジスタでは、短チャネル効果を制御する上でゲート絶縁膜の容量を増加させる必要がある。従来のトランジスタにおいては、ゲート酸化膜の厚みを低減することで、容量の増加を達成してきた。しかしながら、ゲート酸化膜の薄膜化は、ゲートのリーク電流を増加させることとなる。
半導体集積回路の微細化に伴うリーク電流を抑制するために、をより高い誘電率をもった材料(High−k)を使用し、より厚い絶縁膜(以下、High−k膜と記載する)を形成する技術が知られている(例えば、非特許文献1参照)。その非特許文献1には、High−k膜を備えたトランジスタを適切に製造するために、ゲートラストと呼ばれるトランジスタ作成プロセスが記載されている。非特許文献1には、ゲートラストに対応したトランジスタの製造工程において、ダミーゲートをマスクとしてあらかじめ拡散層や配線を作成した後、そのダミーゲートを除去してHigh−k膜を成膜する技術が開示されている。
Short Course on Low Power System on Chip CMOS Technology Platforms in International Electron Devices Meeting 2005, Chapter :Low Power CMOS Process Technology
情報処理技術の進歩に対応して、半導体集積回路に係る要求も多様なものになってきている。微細化以外の要求としては、例えば、半導体デバイスの製造における歩留まりの向上や、トランジスタの駆動能力の向上などがあげられる。そのような多様な要求に対し、柔軟に対応することができる技術が求められている。
以下に、[発明を実施するための形態]で使用される番号を用いて、[課題を解決するための手段]を説明する。これらの番号は、[特許請求の範囲]の記載と[発明を実施するための形態]との対応関係を明らかにするために付加されたものである。ただし、それらの番号を、[特許請求の範囲]に記載されている発明の技術的範囲の解釈に用いてはならない。
上記の課題を解決するために、基板(2)と、前記基板(2)に設けられ、第1方向に沿って延伸する素子分離(9)と、ゲート絶縁膜(6)を介して前記基板(2)の上に設けられるゲート電極(3)と、前記ゲート電極(3)に隣接して配置されるサイドウォール(5)とを具備する半導体装置(1)を構成する。ここにおいて、前記ゲート電極(3)は、引き出し電極部分(3−2)と実効ゲート電極部分(3−1)とを備えることが好ましい。また、前記引き出し電極部分(3−2)は、前記素子分離(9)の上に形成され、前記第1方向に沿った第1側面(16)(17)を有することが好ましい。また、前記実効ゲート電極部分(3−1)は、前記素子分離(9)で分離される領域の上に形成され、前記第1側面(16)(17)を含む面に交差する面に沿った第2側面を有することが好ましい。ここで、前記サイドウォール(5)は、前記第1側面(16)(17)を覆うことなく前記第2側面を覆うものとする。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、半導体デバイスに対する多様な要求に対し、柔軟に対応することができる半導体デバイスを提供することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、実施の形態を説明するための図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。以下に述べる本実施形態の半導体集積回路1は、ゲートラストと呼ばれるトランジスタ作成プロセスに対応していることが好ましい。
図1は、本実施形態の半導体集積回路1の構成を例示する図である。図1の(a)は、半導体集積回路1を上面から見たときの構成を例示する平面図である。図1の(b)は、図1の(a)のA−A’における断面を例示する断面図である。図1の(c)は、図1の(a)のB−B’における断面を例示する断面図である。
図1の(a)に示されているように、半導体集積回路1は、層間絶縁膜4に囲まれたメタルゲート3を備えている。そのメタルゲート3は、ゲート電極部3−1と引き出し電極部3−2とを含んでいる。ゲート電極部3−1は、第1拡散領域11または第2拡散領域12の上に形成された領域である。引き出し電極部3−2は、素子分離領域9の上に形成された領域である。
図1の(b)に示されているように、A−A’断面において、半導体集積回路1は、半導体基板2に設けられた複数のトランジスタ10を備えている。それらのトランジスタ10の各々は、ソース/ドレイン拡散層として機能する拡散層8と、エクステンション7と、ゲート電極部3−1と、ゲート絶縁膜(High−k膜)6とを含んでいる。ゲート絶縁膜(High−k膜)6は、ゲート電極部3−1と半導体基板2との間に設けられている。そのゲート電極部3−1の側面には、サイドウォール5が設けられている。また、トランジスタ10の側方には、サイドウォール5を介して層間絶縁膜4が設けられている。
図1の(c)に示されているように、B−B’断面において、半導体集積回路1は、素子分離領域9によって分離された第1拡散領域11と、その素子分離領域9によって分離された第2拡散領域12とを含んでいる。図1の(c)に示されているように、素子分離領域9の上には、引き出し電極部3−2が設けられている。その引き出し電極部3−2は、側面にサイドウォール5を備えることなく形成されている。換言すると、本実施形態の半導体集積回路1においては、素子分離領域9の上の引き出し電極部3−2は、従来の半導体集積回路1でサイドウォール5が占有していた領域まで、その幅が大きく形成されている。
引き出し電極部3−2の上部には、メタルゲート3と上層配線とを接続する接続コンタクトが形成される。本実施形態の半導体集積回路1においては、その接続コンタクトを形成するためのコンタクトホールを形成するときに、若干のズレが生じた場合であっても、接続コンタクトと引き出し電極部3−2とを適切に接続させることができる。なお、図1は、本願発明の理解を容易にするために、本実施形態における引き出し電極部3−2が、素子分離領域9と同等の幅を有している場合を例示している。これは、引き出し電極部3−2の幅を制限するものではない。本実施形態の半導体集積回路1においては、素子分離領域9の幅を固定したとき、引き出し電極部3−2の幅を、その素子分離領域9と同等まで任意の大きさにすることが可能である。
また、本実施形態の半導体集積回路1は、引き出し電極部3−2の幅に対応して、素子分離領域9の幅を変えることができる。また、本実施形態の半導体集積回路1は、引き出し電極部3−2の幅に対応して、第1拡散領域11または第2拡散領域12の幅を変えることができる。
以下に、図面を参照して、本実施形態の半導体集積回路1の製造工程について説明を行う。図2は、本実施形態の半導体集積回路1の製造に係る第1工程の状態を例示する図である。図2の(a)は、第1工程における半導体材料を上面から見た平面図である、図2の(b)は、第1工程のA−A’断面の構成を例示する断面図である。図2の(c)は、第1工程のB−B’断面の構成を例示する断面図である。
図2の(a)に示されているように、第1工程において、ダミーポリシリコン13と、そのダミーポリシリコン13の周囲にサイドウォール5が形成されている。そのダミーポリシリコン13は、半導体集積回路1のゲート電極部3−1に対応する領域を主要な配置領域として形成されている。ここにおいて、そのダミーポリシリコン13は、半導体集積回路1の引き出し電極部3−2に対応する領域に配置されることなく形成されている。
図2の(b)を参照すると、ダミーポリシリコン13は、ゲート絶縁膜(High−k膜)6を介して半導体基板2の上に配置されている。また、サイドウォール5は、そのダミーポリシリコン13の側面とゲート絶縁膜(High−k膜)6の側面とを覆うように形成されている。エクステンション7は、ダミーポリシリコン13をマスクとして作用させて、半導体基板2に不純物を注入することによって形成される。上述のサイドウォール5は、ダミーポリシリコン13と、半導体基板2のエクステンション7との全面を覆うように形成された絶縁膜を、エッチバックすることで形成される。拡散層8は、サイドウォール5を形成した後、そのサイドウォール5をマスクとして作用させて、半導体基板2に不純物を注入することによって形成される。図2の(c)を参照すると、第1工程では、B−B’断面において、素子分離領域9の上にダミーポリシリコン13が配置されること無く、その表面が露出された状態である。
図3は、本実施形態の半導体集積回路1の製造に係る第2工程の状態を例示する図である。図3の(a)は、第2工程における半導体材料を上面から見た平面図である、図3の(b)は、第2工程のA−A’断面の構成を例示する断面図である。図3の(c)は、第2工程のB−B’断面の構成を例示する断面図である。
図3の(a)に示されているように、第2工程において、サイドウォール5を覆うように層間絶縁膜4が形成される。層間絶縁膜4は、ダミーポリシリコン13とサイドウォール5とを全体的に覆うように形成された後、CMPなどによって、ダミーポリシリコン13の表面が露出する高さまで研磨される。
図3の(b)を参照すると、第2工程においては、サイドウォール5の間に空間を埋めるように、層間絶縁膜4が形成される。また、図3の(c)を参照すると、第2工程では、B−B’断面において、素子分離領域9の上と、エクステンション7の上を覆うように層間絶縁膜4が形成される。
図4は、本実施形態の半導体集積回路1の製造に係る第3工程の状態を例示する図である。図4の(a)は、第3工程における半導体材料を上面から見た平面図である、図4の(b)は、第3工程のA−A’断面の構成を例示する断面図である。図4の(c)は、第3工程のB−B’断面の構成を例示する断面図である。
図4の(a)を参照すると、その第3工程において、層間絶縁膜4の上にフォトレジスト(図示されず)を配置する。そのフォトレジストのパターンに従って、引き出し電極部3−2に対応する領域の層間絶縁膜4とサイドウォール5とを選択的に除去して第1開口部14を形成する。このとき、図4の(b)に示されているように、第3工程におけるA−A’断面の構造は、第2工程での状態を維持している。
図4の(c)を参照すると、第3工程において、素子分離領域9の上に形成されていた層間絶縁膜4が除去され第1開口部14が形成される。その第1開口部14によって、素子分離領域9の表面が露出する。またこのとき、引き出し電極部3−2に対応する領域に形成されていたサイドウォール5が除去される。その第1開口部14によって、ダミーポリシリコン13の側面が露出する。
なお、本実施形態において、層間絶縁膜4とサイドウォール5とを除去する工程に制限は無い。層間絶縁膜4とサイドウォール5との組成に対応して、一回の工程で層間絶縁膜4とサイドウォール5とを選択的に除去してもよいし、層間絶縁膜4とサイドウォール5とを順番に除去しても良い。
図5は、本実施形態の半導体集積回路1の製造に係る第4工程の状態を例示する図である。図5の(a)は、第4工程における半導体材料を上面から見た平面図である、図5の(b)は、第4工程のA−A’断面の構成を例示する断面図である。図5の(c)は、第4工程のB−B’断面の構成を例示する断面図である。
図5の(a)を参照すると、その第4工程において、ダミーポリシリコン13を除去して第2開口部15を形成する。図5の(b)に示されているように、ダミーポリシリコン13を除去することによって、ゲート絶縁膜(High−k膜)6の表面を露出する。なお、本実施形態において、そのゲート絶縁膜(High−k膜)6を、ダミーポリシリコン13を除去した後に形成しても良い。また、図5の(c)に示されているように、第5工程におけるB−B’断面の構造は、第4工程での状態を維持している。その後、第1開口部14と第2開口部15とを埋めるメタルゲート3を形成して、上述の図1に示すような半導体集積回路1を形成する。
以下に、本発明を適用していない半導体集積回路101と本実施形態の半導体集積回路1との構成を比較する比較例について説明を行う。図6は、本発明を適用していない半導体集積回路101と本実施形態の半導体集積回路1との構成を例示する断面図である。図6の(a)は、本発明を適用していない半導体集積回路101の構成を例示している。図6の(b)は、本実施形態の半導体集積回路1の構成を例示している。
本発明を適用していない半導体集積回路101は、素子分離領域9の上にメタルゲート3とサイドウォール5とが形成されている。メタルゲート3は、その幅が、引き出し電極幅W1となるように素子分離領域9の上の形成されている。図6の(b)を参照すると、本実施形態の半導体集積回路1は、上述のように、素子分離領域9の幅と同じ程度の引き出し電極幅W11を有するメタルゲート3を構成することができる。これによって、コンタクトホールを形成するときに、若干のズレが生じた場合であっても、接続コンタクトと引き出し電極部3−2とを適切に接続させることができる。
図7は、本発明を適用していない半導体集積回路101を上面から見た状態を例示する平面図である。図7においては、本実施形態の半導体集積回路1の層間絶縁膜4に対応する層間絶縁膜を省略している。図7に示されているように、本発明を適用していない半導体集積回路101においては、適切な露光補正(OPC)処理ができなかった場合などに、メタルゲート3が設計レイアウトどおりの形状にならない場合がある。例えば、ゲート電極部3−1と引き出し電極部3−2との接続部分に対応する領域(領域21、領域22)において、幅の広い部分や狭い部分ができてしまうことがある。このような形状の乱れは、トランジスタの特性の変動を引き起こし、半導体集積回路1全体の動作に不具合を生じさせることがある。
本実施形態の半導体集積回路1では、メタルゲート3を形成する場合に、ゲート電極部3−1と引き出し電極部3−2との接続部分に対応する領域に対する露光補正(OPC)処理を簡略化させることが可能である。それによって、露光補正(OPC)処理に起因する不具合の発生を抑制することができる。
また、図8は、本発明の半導体集積回路1の第2実施形態の構成を例示する断面図である。素子分離領域9の上のメタルゲート3の幅を、本発明を適用していない半導体集積回路101の引き出し電極幅W1と同程度にしたときの半導体集積回路1の構成を例示している。このとき、第2実施形態の半導体集積回路1は、素子分離領域9の幅を、引き出し電極幅W1と同じ程度まで狭くすることができる。これによって、第2実施形態の半導体集積回路1は、第1拡散領域11と第2拡散領域12の幅を、引き出し電極幅W11または第1拡散領域幅W12とすることができる。
本発明を適用していない半導体集積回路101は、第1拡散領域11または第2拡散領域12が、第1拡散領域幅W2、第2拡散領域幅W3で構成されている。本実施形態の半導体集積回路1は、第1拡散領域幅W2よりも大きい第1拡散領域幅W12で第1拡散領域11を構成することができる。同様に、第2拡散領域幅W3よりも大きい第2拡散領域幅W3で第2拡散領域12を構成することができる。これによって、半導体集積回路1の駆動能力を向上させることが可能となる。
また、図9は、本発明の半導体集積回路1の第3実施形態の構成を例示する断面図である。素子分離領域9の上のメタルゲート3の幅を、本発明を適用していない半導体集積回路101の引き出し電極幅W1と同程度にしたときの半導体集積回路1の構成を例示している。このとき第3実施形態の半導体集積回路1は、素子分離領域9の幅を、引き出し電極幅W1と同じ程度まで狭くすることができる。これによって、第3実施形態の半導体集積回路1は、素子の幅を、素子領域W14とすることが可能となる。本発明を適用していない半導体集積回路101は、その幅が素子領域W4で構成されている。本実施形態の半導体集積回路1は、素子領域W4よりも小さい素子領域W14で素子を構成することができる。これによって、半導体集積回路1の面積を縮小化させることが可能となる。
以上、本願発明の実施の形態を具体的に説明した。本願発明は上述の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。また、上述の複数の実施形態は、その構成・動作に矛盾が生じない範囲において、組み合わせて実施することが可能である。
1…半導体集積回路
2…半導体基板
3…メタルゲート
3−1…ゲート電極部
3−2…引き出し電極部
4…層間絶縁膜
5…サイドウォール
6…ゲート絶縁膜(High−k膜)
7…エクステンション
8…拡散層
9…素子分離領域
10…トランジスタ
11…第1拡散領域
12…第2拡散領域
13…ダミーポリシリコン
14…第1開口部
15…第2開口部
16…引き出し電極第1側面
17…引き出し電極第2側面
21…領域
22…領域
101…半導体集積回路
W1…引き出し電極幅
W2…第1拡散領域幅
W3…第2拡散領域幅
W4…素子領域
W11…引き出し電極幅
W12…第1拡散領域幅
W13…第2拡散領域幅
W14…素子領域
2…半導体基板
3…メタルゲート
3−1…ゲート電極部
3−2…引き出し電極部
4…層間絶縁膜
5…サイドウォール
6…ゲート絶縁膜(High−k膜)
7…エクステンション
8…拡散層
9…素子分離領域
10…トランジスタ
11…第1拡散領域
12…第2拡散領域
13…ダミーポリシリコン
14…第1開口部
15…第2開口部
16…引き出し電極第1側面
17…引き出し電極第2側面
21…領域
22…領域
101…半導体集積回路
W1…引き出し電極幅
W2…第1拡散領域幅
W3…第2拡散領域幅
W4…素子領域
W11…引き出し電極幅
W12…第1拡散領域幅
W13…第2拡散領域幅
W14…素子領域
Claims (7)
- 基板と、
前記基板に設けられ、第1方向に沿って延伸する素子分離と、
ゲート絶縁膜を介して前記基板の上に設けられるゲート電極と、
前記ゲート電極に隣接して配置されるサイドウォールと
を具備し、
前記ゲート電極は、
引き出し電極部分と実効ゲート電極部分とを備え、
前記引き出し電極部分は、
前記素子分離の上に形成され、前記第1方向に沿った第1側面を有し、
前記実効ゲート電極部分は、
前記素子分離で分離される領域の上に形成され、前記第1側面を含む面に交差する面に沿った第2側面を有し、
前記サイドウォールは、
前記第1側面を覆うことなく前記第2側面を覆う
半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記基板と前記ゲート絶縁膜との界面を含む面を基準面としたとき、
前記引き出し電極部分は、
前記基準面に交差する面に設けられ、前記第1方向に沿った面を前記第1側面とし、
前記実効ゲート電極部分は、
前記基準面に交差する面に設けられ、前記第1側面に直角な側面を前記第2側面とする
半導体装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置において、
前記引き出し電極部分は、
前記実効ゲート電極部分から連続的に構成される
半導体装置。 - (a)第1方向に延伸するダミーゲートにサイドウォールを形成するステップと、
(b)前記ダミーゲートの上面を含む面まで絶縁膜を形成するステップと、
(c)前記絶縁膜と前記サイドウォールとを選択的に除去して、前記第1方向に直角な第2方向に延伸する第1開口部を形成するステップと、
(d)前記ダミーゲートを除去して第2開口部を形成するステップと、
(e)前記第1開口部と前記第2開口部を埋めるゲート電極を形成するステップと
を具備する
半導体装置の製造方法。 - 請求項4に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(c)ステップは、
前記第1開口部によって、前記ダミーゲートの側面を部分的に露出するステップを含む
半導体装置の製造方法。 - 請求項5に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(c)ステップは、
前記第1開口部を、前記基板に形成されたSTIの上に形成するステップを含む
半導体装置の製造方法。 - 請求項4から6の何れか1項に記載の半導体装置の製造方法において、
前記(a)ステップは、
前記第1方向を長手方向とする長方形の上面を有するように前記ダミーゲートを形成するステップを含む
半導体装置の製造方法。
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