JP2010186778A - 冷却装置及び冷却方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加熱処理された被処理物Sを冷却用エアの吹き付けによって冷却する装置C。少なくとも1枚の板状の被処理物Sを立った状態で保持することができる保持具1と、この保持具1に保持された被処理物Sの面内方向とほぼ平行な方向に冷却用エアを供給するエア供給手段2と、前記被処理物Sの面内方向と冷却用エアの供給方向とのなす角度が所定の範囲内で変化するように前記保持具1を揺動させる揺動機構3とを備えている。
【選択図】図1
Description
少なくとも1枚の板状の被処理物を立った状態で保持することができる保持具と、
この保持具に保持された被処理物の面内方向とほぼ平行な方向に冷却用エアを供給するエア供給手段と、
前記被処理物の面内方向と冷却用エアの供給方向とのなす角度が所定の範囲内で変化するように前記保持具を揺動させる揺動機構と
を備えたことを特徴としている。
で、当該被処理物全体に対して均一に冷却用エアを供給することができ、これにより被処理物を迅速かつ均一に冷却することができる。
少なくとも1つの被処理物を保持することができる保持具と、
この保持具に保持された被処理物に冷却用エアを供給するエア供給手段と、
前記被処理物に対する冷却用エアの供給方向が変化するように前記保持具を回転させる回転機構と
を備えたことを特徴としている。
前記ターンテーブルは昇降可能に構成されており、
前記ロッドの先端には、下方に開放されており且つ前記保持具に係止可能な係止部が形成されており、且つ、
ターンテーブルの下降によって当該ターンテーブル上の保持具とロッド先端の係止部との係合が解除されるように構成されているのが好ましい。この場合、ターンテーブルを下降させることによって自動的にロッドと保持具との係合を解除することができる。
前記被処理物の面内方向と、冷却用エアの吹き付け方向とのなす角度を所定の範囲内で変化させることを特徴としている。
で、当該被処理物全体に対して均一に冷却用エアを供給することができ、これにより被処理物を迅速かつ均一に冷却することができる。
前記被処理物に対する冷却用エアの吹き付け方向を変化させることを特徴としている。
図1は本発明の一実施の形態に係る冷却装置Cの平面説明図であり、図2は図1に示される冷却装置Cの側面説明図である。この冷却装置Cは、シリコンウェーハからサーマルドナーを減少させるドナーキラー熱処理に用いられ、板状の被処理物であるシリコンウェーハSを保持する保持具1と、シリコンウェーハSに冷却用エアを吹き付けるエア供給手段である冷却ファン2と、前記保持具1を揺動させる揺動機構3とで主に構成されている。
まず、冷却室4内のターンテーブル31上の所定位置に複数のシリコンウェーハSを搭載した保持具1を配置する。このとき、ターンテーブル31は下方位置にあり、また、冷却室4と加熱室8との間の開閉扉7は上方にスライドして、当該冷却室4と加熱室8とは開放された状態になる。
なお、前述した実施の形態は、本発明の例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は、前記実施の形態ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の構成と均等なすべての変更が含まれる。
また、ロッド41を軸方向に移動させるための機構やターンテーブル31を昇降させるための機構としては、例えば油圧装置などを用いることができ、本発明において特に限定されるものではない。
2 冷却ファン(エア供給手段)
3 揺動機構
4 冷却室
5 予備室
7 開閉扉
8 加熱室
21 ファン本体
22 モータ
31 ターンテーブル
40 搬送機構
41 ロッド
42 駆動機構
43 ボールネジシャフト
44 ボールネジナット
45 連結部材
46 係止部
47 係止壁
51 モータ
Claims (10)
- 加熱処理された被処理物を冷却用エアの吹き付けによって冷却する装置であって、
少なくとも1枚の板状の被処理物を立った状態で保持することができる保持具と、
この保持具に保持された被処理物の面内方向とほぼ平行な方向に冷却用エアを供給するエア供給手段と、
前記被処理物の面内方向と冷却用エアの供給方向とのなす角度が所定の範囲内で変化するように前記保持具を揺動させる揺動機構と
を備えたことを特徴とする冷却装置。 - 前記所定の範囲が−45°〜+45°の範囲である請求項1に記載の冷却装置。
- 前記揺動機構が、前記保持具が載置されるターンテーブルと、このターンテーブルを正転及び反転させるモータとからなる請求項1〜2のいずれかに記載の冷却装置。
- 加熱処理された被処理物を冷却用エアの吹き付けによって冷却する装置であって、
少なくとも1つの被処理物を保持することができる保持具と、
この保持具に保持された被処理物に冷却用エアを供給するエア供給手段と、
前記被処理物に対する冷却用エアの供給方向が変化するように前記保持具を回転させる回転機構と
を備えたことを特徴とする冷却装置。 - 被処理物が加熱処理される加熱室内の保持具を、当該被処理物が冷却される冷却室内に搬送する搬送機構を更に備えている請求項1〜4のいずれかに記載の冷却装置。
- 前記搬送機構がロッドを備えており、
前記ターンテーブルは昇降可能に構成されており、
前記ロッドの先端には、下方に開放されており且つ前記保持具に係止可能な係止部が形成されており、且つ、
ターンテーブルの下降によって当該ターンテーブル上の保持具とロッド先端の係止部との係合が解除されるように構成されている請求項5に記載の冷却装置。 - 加熱処理された板状の被処理物を冷却用エアの吹き付けによって冷却する方法であって、
前記被処理物の面内方向と、冷却用エアの吹き付け方向とのなす角度を所定の範囲内で変化させることを特徴とする冷却方法。 - 前記被処理物を、その面内方向が前記冷却エアの吹きつけ方向とほぼ平行になるように配置し、当該被処理物を揺動させることで前記角度を所定の範囲内で変化させる請求項7に記載の冷却方法。
- 前記所定の範囲が−45°〜+45°の範囲である請求項8に記載の冷却方法。
- 加熱処理された板状の被処理物を冷却用エアの吹き付けによって冷却する方法であって、
前記被処理物に対する冷却用エアの吹き付け方向を変化させることを特徴とする冷却方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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