JP2010186201A - 液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】各画素は左右方向に延びるゲートバスライン25と、上下方向に延びるドレインバスライン26とで画定されている。各バスライン25、26の交差位置近傍にはTFTが形成され、その上部にTFTを遮光する樹脂重ね部32が形成されている。TFT基板8に対向して配置される共通電極基板上にはBMが形成されず、基板TFT基板8に形成された各バスライン25、26及び樹脂重ね部32がBMの機能を奏するようになっている。
【選択図】図1
Description
の全面には垂直配向膜116が形成されている。TFT基板108と共通電極基板110の間には、両基板108、110間の間隔(セルギャップ)を保持するプラスチック製又はガラス製等の球状スペーサ122と、液晶LCとが封止されている。
本発明の第1の実施の形態による液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法について図1乃至図22及び図42を用いて説明する。まず、本実施の形態の第1の基本構成について図1及び図2を用いて説明する。図1は、TFT基板8上のR、G、Bの3画素を示している。図1に示すように、各画素は図中左右方向に延びるゲートバスライン25と、図中上下方向に延びるドレインバスライン26とで画定されている。各バスライン25、26の交差位置近傍にはTFT(不図示)が形成されている。また、その上部にはTFTに入射する光を遮光するために、樹脂CF層R、G、Bのうち少なくともいずれか2層を重ねた樹脂重ね部32が形成されている。本実施の形態による液晶表示装置は、TFT基板8に対向して配置される共通電極基板上にはBMが形成されず、基板TFT基板8に形成された各バスライン25、26及び樹脂重ね部32がBMの機能を奏するようになっている。なお、図1に示す樹脂重ね層32に代えて、樹脂CF層R、G、Bのいずれか1層だけをTFT上に形成しても遮光は可能である。
板側に樹脂CF層R、G、Bを形成する場合より製造プロセスが煩雑になってしまうという問題が生じる。また、ドレインバスライン26による遮光(バスライン遮光)を確実にするには樹脂CF層R、G、B端部をドレインバスライン26上に正確に位置合わせして形成する必要がある。従って、ドレインバスラインの線幅が微細化すると樹脂CF層R、G、Bの形成に通常用いられるプロキシミティ(近接)露光装置では充分な位置合わせができないおそれが生じる。一方、位置合わせ精度に優れたステッパやミラープロジェクション方式のアライナ等を用いたのではCF−on−TFT構造の製造コストが増加してしまう。
6(a)、(b)に示すように、ガラス基板12上の表示領域38及び表示領域38端部の額縁領域40には、共通電極18が形成されている。表示領域38の共通電極18上には、表示領域38端部に対して斜めに線状突起28が例えば黒色レジスト(黒色樹脂)等で形成されている。額縁領域40の共通電極18上には、表示領域38端部を遮光するための額縁パターン34が、線状突起28と同一の形成材料で同時に形成されている。また、額縁領域40の図中左側には、位置合わせ用マーク36が線状突起28と同一の形成材料で同時に形成されている。
(実施例1−1)
まず、実施例1−1による液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法について図7乃至図16を用いて説明する。図7は、図1に示すTFT基板8と共通電極基板10とを貼り合わせた状態を示す概念図であり、R、G、Bの3画素について示している。また、本実施例による液晶表示装置は例えばMVA方式の液晶表示装置であり、図7には配向規制用構造物の配置も示している。共通電極基板10上には、画素領域端部に対して斜めに線状突起28が形成されている。また、TFT基板8上には、スリット20と、スリット20の延伸方向にほぼ直交してスリット20から延出する微細スリット21とが画素領域端部に対して斜めに形成されている。微細スリット21は、スリット20と線状突起28との間隔に比較して狭い間隔で複数形成されている。負の誘電率異方性を有する液晶分子は、配向規制用構造物が比較的狭い間隔で形成されていると、配向規制用構造物の延伸方向に平行になるように配列する。このため、スリット20と直交する微細スリット21を形成することにより、液晶分子はより強く配向規制される。
形成されている。画素電極14の図中左右端は、基板面に垂直方向に見て、ドレインバスライン26端部に重なるように形成されている。なお、図9では、スリットの図示は省略している。
0nmのTi層を成膜し、チャネル保護膜48をエッチングストッパとして用いてパターニングし、ドレイン電極44、ソース電極46及びドレインバスライン26を形成する。以上の工程でTFT42が完成する。
次に、実施例1−2による液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置について図17、図18及び図42を用いて説明する。図17は、本実施例による液晶表示装置の構成を示す断面図であり、図8と同一の断面を示している。図17に示すように、本実施例による液晶表示装置は、TFT基板8のスリット20上に形成され、中間調での液晶分子の応答特性を改善させる配向規制用構造物となる誘電体層56を有している。誘電体層56は、フォトレジスト等で形成されている。
一方、CF−on−TFT構造で樹脂CF層を重ねて柱状スペーサを形成すると、パネル貼り合わせ精度を考慮しなくて済むようになる。但し、柱状スペーサ近傍の液晶配向不良に対する遮光が必要であり、この遮光のために開口率が低下したり、BMが必要になってしまう。
これに対して、CF−on−TFT構造のMVA−LCDはノーマリブラックモードであり、樹脂CF層を重ねて柱状スペーサを形成すると、画素電極が存在しない部分は常時
黒表示となるためBMを形成する必要がなく、開口率低下を抑えることが可能となる。また、パネル貼り合わせ精度や柱状スペーサ近傍の液晶配向不良を考慮する必要がないため、開口率の低下を抑えながら柱状スペーサを形成することが可能となる。
次に、実施例1−3による液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法について図19乃至図22を用いて説明する。図19は、本実施の形態による液晶表示装置用基板の構成を示しており、図6(a)に対応している。また、図20は、図19のG−G線で切断した液晶表示装置用基板の断面を示しており、図6(b)に対応している。図19及び図20に示すように、共通電極基板10の表示領域38及び額縁領域40のガラス基板12上には、共通電極18が形成されている。表示領域38の共通電極18上には、表示領域38端部に対して斜めに線状突起28が形成されている。線状突起28は、下層が遮光用の金属のクロム(Cr)で形成され、上層がCrのパターニングに用いるレジスト層で形成されている。額縁領域40には、表示領域38端部を遮光するための額縁パターン34が形成されている。また、額縁領域40の図中左側には、対向するTFT基板8(図19及び図20では図示せず)と貼り合わせる際に用いられる十字形状の位置合わせ用マーク36がガラス基板10上に形成されている。額縁パターン34及び位置合わせ用マーク36は、線状突起28と同一の形成材料で同時に形成されている。
以上のように、本実施の形態によれば、輝度が高く表示特性の良好な液晶表示装置を得ることができる。
本発明の第2の実施の形態による液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法について図23及び図24を用いて説明する。
カラー液晶表示装置は、モニタ、ノートPCやPDA(Personal Digital Assistant)等のディスプレイに用いられており、近年更なる軽量化が望まれている。一般に、液晶表示装置は、ガラス基板が他の部材と比較して大きな重量比を有している。例えば厚さ(板厚)0.7mmのガラス基板では、液晶表示装置の約40%の重量を有している。このため、ガラス基板を軽量化することは、一般に液晶表示装置の軽量化に対する効果が大きい。
ーニングの精度に限界があるという問題が生じている。また、TFT基板と、対向して配置される共通電極基板とで異なる特性のガラス基板を用いると、熱等による基板の変形が生じるため、貼り合わせが困難であるという問題が生じている。液晶表示パネルが完成した後に両基板の外側を研磨して厚さを薄くする方法もあるが製造コストが増加するという問題が生じている。
(実施例2−1)
まず、実施例2−1による液晶表示装置について説明する。本実施例による液晶表示装置のTFT基板8は、図9及び図10に示した第1の実施の形態によるTFT基板8の構成と同様である。
が望ましい。なお、チャネル保護膜型のTFT42を有する液晶表示装置にアルカリ成分を含むガラスが用いられる際には問題がない。
次に、実施例2−2による液晶表示装置について図24を用いて説明する。図24は、本実施例による液晶表示装置の構成を示す断面図である。図24に示すように、本実施例による液晶表示装置は、実施例2−1による液晶表示装置と同様に、共通電極基板10は、TFT基板8のガラス基板12より薄いガラス基板12’を有している。
ラスが用いられている。両基板A2、B2は、貼り合わされた後に研磨され、厚さがそれぞれ0.5mmに薄くなっている。一方の基板A2には樹脂CF層R、G、Bが形成され
ており、他方の基板B2にはTFT42が形成されている。また、表1に示した基板A1、B1を貼り合わせた液晶表示パネルの重量を1としたときの重量比(以下、「パネルの重量比」という)は0.71であり軽量化されているが、製造コストが増加するために高価となる。
35ガラスが用いられている。また基板B3上にはTFT42及び樹脂CF層R、G、Bが形成される。一方、基板A3は、厚さ0.2mm、密度2.49g/cm3のアルカリ
ガラスであるAsahiASガラスが用いられている。パネルの重量比は0.64であり、表2に示すパネルよりも軽量化されている。基板A3の材質は、基板B3よりも重量が軽いガラスであれば種類を問わない。
。一方、基板A4は、厚さ0.2mm、密度1.40のポリエーテルサルホン(PES)が用いられている。パネルの重量比は0.58であり、表3に示すパネルよりもさらに軽量化されている。基板A4の材質は、プラスチックであればPESに限られず、ポリカーボネート(PC)やポリアリレート(PAR)等でもよい。
本発明の第3の実施の形態による液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法について図25乃至図34を用いて説明する。
第1の実施の形態のように、樹脂CF層R、G、BをTFT基板8上に形成する構造(CF−on−TFT構造)を有する液晶表示装置用基板は、画素電極14の下層に樹脂CF層R、G、Bを形成するため、開口率を向上させることができる。このため、パネル透過率が向上し、液晶表示装置の輝度を向上させることができる。
(実施例3−1)
まず、実施例3−1による液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法について図25乃至図33を用いて説明する。図25は、本実施例による液晶表
示装置用基板の構成(但し、CF層の表示は省略している)を示している。図26(a)は図25のJ−J線で切断した液晶表示装置用基板の断面を示しており、図26(b)は図25のK−K線で切断した液晶表示装置用基板の断面を示している。図26に示すように、本実施例による液晶表示装置用基板は、画素領域端部に色の異なる樹脂CF層が2層積層されてBMが形成されている。樹脂CF層2層重ねによるBMは、全て樹脂CF層Rを下層に有している。樹脂CF層Rは、ドレインバスライン26等のソース/ドレイン金属層を全て覆うように形成されている。画素電極14には、画素領域端部に平行に延びるスリット20と、スリット20から斜めに延出した複数の微細スリット21とが形成されている。また、本実施例による液晶表示装置用基板は、紫外線の照射により紫外線モノマーが硬化したポリマー構造の形成された液晶を有している。
次に、実施例3−2による液晶表示装置用基板及びそれを備えた液晶表示装置及びその製造方法について図34を用いて説明する。図34は、本実施例による液晶表示装置用基板の構成を示す断面図である。実施例3−1による液晶表示装置用基板はチャネル保護膜型のTFT42を有しているが、本実施例による液晶表示装置用基板は、図34に示すように、チャネルエッチ型のTFT66を有している。
4及びソース電極46を形成する。次に、例えば膜厚30nmのa−Si層、膜厚350nmのSiN膜及び膜厚100nmのAl層を成膜してパターニングし、動作半導体層52’、絶縁膜24及びゲートバスライン25を一括して形成する。動作半導体層52’、絶縁膜24及びゲートバスライン25は一括して形成せずに順次形成してもよい。以上の工程でトップゲート型のTFT42が完成する。なお、本例では、蓄積容量バスライン62及び蓄積容量電極64を形成していないが、形成してももちろんよい。以降の工程は、
図27乃至図33で示した実施例3−1による液晶表示装置の製造方法とほぼ同様であるのでその説明を省略する。なお、本例では最上層の金属層はゲート金属層であるので、最初に形成する樹脂CF層でゲート金属層を覆うようにする。
熱処理して水素抜きを行う。次に、a−Si層に所定のレーザを照射して結晶化させ、パターニングしてp−Si層を形成する。次に、例えば膜厚110nmのSiO2膜及び膜
厚300nmのAlNdを成膜してパターニングし、絶縁膜(ゲート絶縁膜)24とゲートバスライン25とを形成する。
絶縁膜を形成する。続いて、高濃度不純物領域上の層間絶縁膜を開口し、コンタクトホールを形成する。次に、例えば膜厚100nmのTi層、膜厚200nmのAl層及び膜厚100nmのTi層を成膜してパターニングし、ドレイン電極44及びソース電極46を形成する。以上の工程で、動作半導体層にp−Siを用いたTFT70が完成する。なお、本実施例では蓄積容量バスライン及び蓄積容量電極を形成していないが、蓄積容量バスラインをゲートバスラインと同一の形成材料で同時に形成し、蓄積容量電極をソース/ドレイン電極と同一の形成材料で同時に形成してももちろんよい。
ー構造を形成する際に照射される紫外線を吸収するため、TFT42の特性異常によるクロストークやフリッカ等の表示不良が生じない。
例えば、上記実施の形態では、樹脂CF層R、G、B直上に画素電極14を形成しているが、本発明はこれに限らず、樹脂CF層R、G、B上に有機材料又は無機材料からなる保護膜を形成し、保護膜上に画素電極14を形成してもよい。保護膜を形成することにより、樹脂CF材料による液晶の汚染を防止したり、画素電極14の段差を小さくして断線を防止したりすることが可能となる。また、樹脂CF層R、G、Bの形成順序は任意であるし、TFT42や樹脂CF層R、G、Bの形成材料や層構成、膜厚等も上記実施の形態に限られない。
(付記1)
対向して配置される対向基板とともに負の誘電率異方性を有する液晶を挟持する基板と、
前記基板上に形成された複数のゲートバスラインと、
前記ゲートバスラインに交差して前記基板上に形成された複数のドレインバスラインと、
前記ゲートバスラインと前記ドレインバスラインとで画定された画素領域と、
前記画素領域毎に形成された薄膜トランジスタと、
前記画素領域毎に形成された樹脂カラーフィルタ層と、
前記画素領域毎に形成された画素電極と、
前記液晶を配向規制するために前記基板上に形成された配向規制用構造物と
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板。
付記1記載の液晶表示装置用基板において、
前記画素領域端部を遮光する遮光膜をさらに有すること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記2記載の液晶表示装置用基板において、
前記遮光膜は、前記樹脂カラーフィルタ層を積層して形成されていること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記1乃至3記載の液晶表示装置用基板において、
前記画素電極は、前記樹脂カラーフィルタ層上に形成されていること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記4記載の液晶表示装置用基板において、
前記画素電極は、前記基板面に垂直方向に見て前記ドレインバスラインに重なるように形成されていること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記4記載の液晶表示装置用基板において、
前記画素電極は、前記基板面に垂直方向に見て前記ドレインバスラインに重ならないように形成されていること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記1乃至6のいずれか1項に記載の液晶表示装置用基板において、
前記配向規制用構造物は、線状突起であること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記1乃至7のいずれか1項に記載の液晶表示装置用基板において、
セルギャップを保持するための柱状スペーサをさらに有し、
前記柱状スペーサは、前記基板上に形成される樹脂層を積層して形成されていること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記8記載の液晶表示装置用基板において、
前記樹脂層は、前記樹脂カラーフィルタ層を含むこと
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記8又は9に記載の液晶表示装置用基板において、
前記樹脂層は、黒色樹脂層を含むこと
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記8乃至10のいずれか1項に記載の液晶表示装置用基板において、
前記樹脂層は、前記線状突起の形成層を含むこと
を特徴とする液晶表示装置用基板。
対向して配置される対向基板とともに負の誘電率異方性を有する液晶を挟持する基板と、
前記液晶を配向規制するために前記基板上に形成された線状突起と、
前記基板上に前記線状突起と同一の形成材料で形成され、前記対向基板と貼り合わせる際に用いる位置合わせ用マークと
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板。
対向して配置される対向基板とともに負の誘電率異方性を有する液晶を挟持する基板と
、
前記液晶を配向規制するために前記基板上に形成された線状突起と、
前記基板上の表示領域端部に前記突起と同一の形成材料で形成され、前記表示領域端部を遮光する額縁領域と
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板。
付記12又は13に記載の液晶表示装置用基板において、
前記突起は、黒色樹脂で形成されていること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記12又は13に記載の液晶表示装置用基板において、
前記突起は、金属層とレジスト層とを積層して形成されていること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
2枚の基板と、前記基板間に封止された液晶とを有する液晶表示装置において、
前記基板の少なくとも一方に付記1乃至15に記載の液晶表示装置用基板を用いること
を特徴とする液晶表示装置。
第1の樹脂層が形成された第1の基板と、
第2の樹脂層が形成された第2の基板と、
前記第1及び第2の基板を貼り合わせて前記第1及び第2の樹脂層で形成された柱状スペーサと、
前記第1及び第2の基板間に封止された液晶と
を有することを特徴とする液晶表示装置。
基板上に共通電極を形成し、
前記共通電極上に線状突起を形成する際、同時に、前記基板上に位置合わせ用マークを形成すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の製造方法。
基板上に共通電極を形成し、
前記共通電極上に線状突起を形成する際、同時に、前記基板上に額縁領域を形成すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の製造方法。
互いに交差する複数のバスラインと薄膜トランジスタとを基板上に形成し、
前記基板上に線状突起を形成する際、同時に、柱状スペーサを形成すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の製造方法。
(付記21)
第1の基板と、互いに交差して前記第1の基板上に形成された複数のバスラインと、前
記バスラインで画定された画素領域と、前記画素領域毎に形成された薄膜トランジスタと、前記画素領域毎に形成された樹脂カラーフィルタ層と、前記画素領域毎に形成された画素電極とを備えた薄膜トランジスタ基板と、
前記第1の基板と異なる厚さ又は材質を有する第2の基板と、前記第2の基板上に形成された共通電極とを備え、前記第1の基板に対向して配置された共通電極基板と、
前記薄膜トランジスタ基板と前記共通電極基板との間に封止された液晶と
を有することを特徴とする液晶表示装置。
付記21記載の液晶表示装置において、
前記第2の基板は、前記第1の基板より厚さが薄いこと
を特徴とする液晶表示装置。
付記21又は22記載の液晶表示装置において、
前記第2の基板は、前記第1の基板より重量が軽いこと
を特徴とする液晶表示装置。
付記21乃至23のいずれか1項に記載の液晶表示装置において、
前記第2の基板は、アルカリ成分を含むガラス材で形成されていること
を特徴とする液晶表示装置。
付記24記載の液晶表示装置において、
前記ガラス材は、アルカリ成分を1%以上含むこと
を特徴とする液晶表示装置。
付記21乃至23のいずれか1項に記載の液晶表示装置において、
前記第2の基板は、樹脂材で形成されていること
を特徴とする液晶表示装置。
付記21乃至26のいずれか1項に記載の液晶表示装置において、
前記薄膜トランジスタ基板と前記共通電極基板との間隔を保持する柱状スペーサをさらに有すること
を特徴とする液晶表示装置。
付記21乃至27のいずれか1項に記載の液晶表示装置において、
前記薄膜トランジスタ基板が表示画面側になること
を特徴とする液晶表示装置。
付記28記載の液晶表示装置において、
前記バスラインは、少なくとも前記第1の基板側表面が低反射の材料で形成されていること
を特徴とする液晶表示装置。
付記28又は29記載の液晶表示装置において、
前記薄膜トランジスタのドレイン電極及びソース電極は、少なくとも前記第1の基板側表面が低反射の材料で形成されていること
を特徴とする液晶表示装置。
(付記31)
対向して配置される対向基板とともに液晶を挟持する基板と、
前記基板上に形成された複数のゲートバスラインと、
前記ゲートバスラインに交差して前記基板上に形成された複数のドレインバスラインと、
前記ゲートバスラインと前記ドレインバスラインとで画定された画素領域と、
前記画素領域毎に形成された薄膜トランジスタと、
前記画素領域毎に形成された樹脂カラーフィルタ層と、
前記画素領域毎に形成された画素電極と、
前記薄膜トランジスタのソース/ドレイン電極上及び前記ドレインバスライン上を覆うように形成された樹脂層と
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板。
付記31記載の液晶表示装置用基板において、
前記樹脂層は前記樹脂カラーフィルタ層で形成されていること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記32記載の液晶表示装置用基板において、
前記樹脂層上に他の色の前記樹脂カラーフィルタ層が積層されていること
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記31記載の液晶表示装置用基板において、
前記樹脂層は黒色樹脂を含むこと
を特徴とする液晶表示装置用基板。
付記31記載の液晶表示装置用基板において、
前記樹脂層は柱状スペーサ形成層を含むこと
を特徴とする液晶表示装置用基板。
2枚の基板と、前記基板間に封止された液晶層とを有する液晶表示装置において、
前記基板の一方に付記31乃至35に記載の液晶表示装置用基板を用いること
を特徴とする液晶表示装置。
付記36記載の液晶表示装置において、
前記液晶層は、ポリマー構造が形成されていること
を特徴とする液晶表示装置。
基板上に薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタのソース/ドレイン電極及びドレインバスラインを覆うように第1の樹脂カラーフィルタ層を形成し、
他の画素領域に第2の樹脂カラーフィルタ層を形成し、
さらに他の画素領域に第3の樹脂カラーフィルタ層を形成すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の製造方法。
10 共通電極基板
12、12’ ガラス基板
14 画素電極
18 共通電極
20 スリット
21 微細スリット
24 絶縁膜
25 ゲートバスライン
26 ドレインバスライン
28 線状突起
29 突起
30 柱状スペーサ
32 樹脂重ね部
34 額縁パターン
36 位置合わせ用マーク
38 表示領域
40 額縁領域
42、66 TFT
44 ドレイン電極
46 ソース電極
48 チャネル保護膜
50、51 コンタクトホール
52 動作半導体層
54 SiN膜
56 誘電体層
58 Cr膜
60 樹脂層
62 蓄積容量バスライン
64 蓄積容量電極
Claims (9)
- 対向して配置される対向基板とともに負の誘電率異方性を有する液晶を挟持する基板と、
前記液晶を配向規制するために前記基板上に形成された線状突起と、
前記基板上に前記線状突起と同一の形成材料で形成され、前記対向基板と貼り合わせる際に用いる位置合わせ用マークと
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板。 - 対向して配置される対向基板とともに負の誘電率異方性を有する液晶を挟持する基板と、
前記液晶を配向規制するために前記基板上に形成された線状突起と、
前記基板上の表示領域端部に前記突起と同一の形成材料で形成され、前記表示領域端部を遮光する額縁領域と
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板。 - 第1の樹脂層が形成された第1の基板と、
第2の樹脂層が形成された第2の基板と、
前記第1及び第2の基板を貼り合わせて前記第1及び第2の樹脂層で形成された柱状スペーサと、
前記第1及び第2の基板間に封止された液晶と
を有することを特徴とする液晶表示装置。 - 基板上に共通電極を形成し、
前記共通電極上に線状突起を形成する際、同時に、前記基板上に位置合わせ用マークを形成すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の製造方法。 - 基板上に共通電極を形成し、
前記共通電極上に線状突起を形成する際、同時に、前記基板上に額縁領域を形成すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の製造方法。 - 互いに交差する複数のバスラインと薄膜トランジスタとを基板上に形成し、
前記基板上に線状突起を形成する際、同時に、柱状スペーサを形成すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の製造方法。 - 第1の基板と、互いに交差して前記第1の基板上に形成された複数のバスラインと、前記バスラインで画定された画素領域と、前記画素領域毎に形成された薄膜トランジスタと、前記画素領域毎に形成された樹脂カラーフィルタ層と、前記画素領域毎に形成された画素電極とを備えた薄膜トランジスタ基板と、
前記第1の基板と異なる厚さ又は材質を有する第2の基板と、前記第2の基板上に形成された共通電極とを備え、前記第1の基板に対向して配置された共通電極基板と、
前記薄膜トランジスタ基板と前記共通電極基板との間に封止された液晶と
を有することを特徴とする液晶表示装置。 - 対向して配置される対向基板とともに液晶を挟持する基板と、
前記基板上に形成された複数のゲートバスラインと、
前記ゲートバスラインに交差して前記基板上に形成された複数のドレインバスラインと、
前記ゲートバスラインと前記ドレインバスラインとで画定された画素領域と、
前記画素領域毎に形成された薄膜トランジスタと、
前記画素領域毎に形成された樹脂カラーフィルタ層と、
前記画素領域毎に形成された画素電極と、
前記薄膜トランジスタのソース/ドレイン電極上及び前記ドレインバスライン上を覆うように形成された樹脂層と
を有することを特徴とする液晶表示装置用基板。 - 基板上に薄膜トランジスタを形成し、
前記薄膜トランジスタのソース/ドレイン電極及びドレインバスラインを覆うように第1の樹脂カラーフィルタ層を形成し、
他の画素領域に第2の樹脂カラーフィルタ層を形成し、
さらに他の画素領域に第3の樹脂カラーフィルタ層を形成すること
を特徴とする液晶表示装置用基板の製造方法。
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