JP2010181519A - Exposure device - Google Patents
Exposure device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010181519A JP2010181519A JP2009023300A JP2009023300A JP2010181519A JP 2010181519 A JP2010181519 A JP 2010181519A JP 2009023300 A JP2009023300 A JP 2009023300A JP 2009023300 A JP2009023300 A JP 2009023300A JP 2010181519 A JP2010181519 A JP 2010181519A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- machine
- exposure
- printed wiring
- wiring board
- downstream
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Description
この発明は、露光装置に関する。 The present invention relates to an exposure apparatus.
プリント配線用基板の生産では、通常基板の表裏両面に対して露光処理を行っている。そのため、プリント配線用基板の露光装置は、上流露光機と反転機及び下流露光機を有しており、上流露光機にて表面を露光処理した後、反転機においてプリント配線用基板を反転し、下流露光機において裏面を露光処理する構成になっている。 In the production of printed wiring boards, exposure processing is usually performed on both the front and back sides of the board. Therefore, the exposure apparatus for a printed wiring board has an upstream exposure machine, a reversing machine, and a downstream exposure machine, and after exposing the surface in the upstream exposure machine, the reversing machine reverses the printed wiring board, In the downstream exposure machine, the back surface is exposed.
しかし、プリント配線用基板は常に両面を露光処理するわけではなく、片面のみしか露光処理しない場合もあり、片面処理の場合には、例えば上流露光機でプリント配線用基板を露光処理し、反転機と下流露光機ではプリント配線用基板を搬送させるのみとなり、生産性が悪い問題があった。
そのため片面露光専用の露光装置を設備することも行われているが、設備コストが大きくなる問題があった。
本発明は上記従来技術の問題を解決することを目的とする。
However, the printed wiring board is not always exposed on both sides, and may be exposed only on one side. In the case of single-sided processing, for example, the printed wiring board is exposed by an upstream exposure machine, and a reversing machine is used. However, the downstream exposure machine only transports the printed wiring board, which has a problem of poor productivity.
For this reason, installation of an exposure apparatus dedicated to single-sided exposure has also been performed, but there has been a problem that the equipment cost is increased.
The object of the present invention is to solve the problems of the prior art.
上記目的を達成するために、本発明は、プリント配線用基板の両面に回路パターンなどを露光可能な露光装置において、前工程から送られてくるプリント配線用基板の露光を行う上流露光機と、該上流露光機から送られてくるプリント配線用基板を反転させるか或は反転させずに送る反転/搬送機と、該反転/搬送機2から送られてくるプリント配線用基板の露光を行う下流露光機と、前記プリント配線用基板を反転させて下流露光機に送るか或はプリント配線用基板を反転させずに下流露光機に送るように、反転/搬送機を制御する制御装置と、を有することを特徴とする。
上記構成において、反転/搬送機は反転機としても搬送機としても使用できるから、片面露光の場合には、反転/搬送機を搬送機として使用することにより、プリント配線用基板を反転させずに下流露光機に送ることができ、上流露光機と下流露光機の両方を有効に使用することが可能になる。
またプリント配線用基板の片面を露光する場合、1のプリント配線用基板を上流露光機で露光させず、反転/搬送機において該1のプリント配線用基板を反転させずに下流露光機に送り、次のプリント配線用基板を上流露光機に送り、前記上流露光機と下流露光機において、1のプリント配線用基板と次のプリント配線用基板とを露光させる、ように制御する制御装置を、設けることが可能であり、この構成により上流露光機と下流露光機による露光を並行的に行うことができ、効率の良い片面露光を実現できる。
更に、 上流露光機においてプリント配線用基板の露光を行わなかった時、該プリント配線用基板を反転/搬送機において反転せずに下流露光機に送り、下流露光機において再度露光を行わせる、ように制御する制御装置を、更に備えることも可能である。上流露光機において、位置合わせ等が十分に行われない場合、未露光のまま反転/搬送機から下流露光機に送って、下流露光機で再度露光を行わせることが可能である。この構成により歩留まりの向上が可能になる。
To achieve the above object, the present invention provides an exposure apparatus capable of exposing a circuit pattern or the like on both sides of a printed wiring board, and an upstream exposure machine that performs exposure of the printed wiring board sent from the previous process; A reversing / conveying device for reversing or not reversing the printed wiring board sent from the upstream exposure machine, and a downstream for performing exposure of the printed wiring board sent from the reversing / conveying
In the above configuration, the reversing / conveying machine can be used as both a reversing machine and a conveying machine. Therefore, in the case of single-sided exposure, the reversing / conveying machine can be used as a conveying machine without reversing the printed wiring board. It can be sent to the downstream exposure machine, and both the upstream exposure machine and the downstream exposure machine can be used effectively.
When one side of the printed wiring board is exposed, the one printed wiring board is not exposed by the upstream exposure machine, and the reversing / conveying machine sends the printed wiring board to the downstream exposure machine without being reversed. A control device is provided that controls to send the next printed wiring board to the upstream exposure machine and expose the first printed wiring board and the next printed wiring board in the upstream exposure machine and the downstream exposure machine. With this configuration, it is possible to perform exposure by the upstream exposure device and the downstream exposure device in parallel, and to realize efficient single-sided exposure.
Further, when the printed wiring board is not exposed in the upstream exposure machine, the printed wiring board is sent to the downstream exposure machine without being reversed in the reversing / conveying machine, and is again exposed in the downstream exposing machine. It is also possible to further include a control device for controlling the above. If the alignment or the like is not sufficiently performed in the upstream exposure machine, it can be sent from the reversing / conveying machine to the downstream exposure machine without being exposed, and the downstream exposure machine can perform the exposure again. With this configuration, the yield can be improved.
本発明の露光装置によれば、プリント配線用基板の両面を露光する場合も、プリント配線用基板の片面を露光する場合も、適切に対処可能であり、片面露光の場合であっても効率的に露光処理を行える効果がある。 According to the exposure apparatus of the present invention, it is possible to appropriately cope with both cases of exposing both sides of a printed wiring board and exposing one side of a printed wiring board, and efficient even in the case of single-sided exposure. There is an effect that exposure processing can be performed.
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1において、図面上左(上流)から右(下流)へプリント配線用基板が移動して、処理を受ける構成になっている。この露光装置Aは、左から順に上流露光機1と反転/搬送機2及び下流露光機3とを備えている。上流露光機1の出口側と入口側にはそれぞれ入口搬送装置10と出口搬送装置11が設けられており、また同様に下流露光機3の出口側と入口側にはそれぞれ入口搬送装置30と出口搬送装置31が設けられている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
In FIG. 1, the printed wiring board is moved from the left (upstream) to the right (downstream) in the drawing and is subjected to processing. The exposure apparatus A includes an
この露光装置A全体は、制御装置5により制御されており、該制御装置5に操作装置6を介して操作者が種々の指令を送ることができるように構成されている。
反転/搬送機2は、通常はプリント配線用基板を反転させる反転機として機能し、制御装置5からの切り替え指令により、プリント配線用基板を反転させずに、単に上流露光機1から下流露光機3へプリント配線用基板を搬送する搬送機として機能することが可能になっている。
The entire exposure apparatus A is controlled by a
The reversing /
上流露光機1は、プリント配線用基板を載置するプラテン15を備えており、このプラテン15をxy及びθ方向に移動させて、フォトマスク(図示せず)とプリント配線用基板との位置合わせを行い、露光光源(図示せず)からの露光光16により、プリント配線用基板にフォトマスクのパターンを露光するように構成されている。
下流露光機3も同様にプラテン35、フォトマスク、露光光源を備え、同様にプリント配線用基板とフォトマスクとの位置合わせを行った上、露光光36により露光を行うように構成されている。
The
Similarly, the
反転/搬送機2は反転機の機能と、単なる搬送機の機能の両方を備えており、制御装置5から制御により、反転機モードと搬送機モードに切り換るように構成されている。反転機モードの場合には、反転/搬送機2においてプリント配線用基板を表裏反転させ、プリント配線用基板の裏面側を表にして下流露光機3に送るようになっている。この構成により、プリント配線用基板の両面の露光が行われる。
The reversing /
プリント配線用基板の片面露光の時は、反転/搬送機2を搬送機モードとし、この搬送機モードでは反転/搬送機2はプリント配線用基板を反転せず、そのまま下流露光機3に送るように構成されている。
以上の構成により、プリント配線用基板の両面露光の時も、プリント配線用基板の片面露光の時も、同一の露光装置を用いて、制御装置5から切り換え指令を送るだけで、効率的な露光が行われる。
また、片面露光の場合、上流露光機1で位置合わせができず、露光不能となった場合、下流露光機3において再度露光を試みるなどの使用方法や、下記するように並行露光などが可能になる。
At the time of single-sided exposure of the printed circuit board, the reversing /
With the above configuration, both the double-sided exposure of the printed wiring board and the single-sided exposure of the printed wiring board allow efficient exposure by simply sending a switching command from the
In addition, in the case of single-sided exposure, if it is impossible to align with the
制御装置5は、片面露光の際に、反転/搬送機2と下流露光機3の両方で並行的に露光を行う並行露光モードのプログラミングを備えており、上流露光機1と下流露光機3とで2つのプリント配線用基板を並行的に露光処理することができるように構成されている。
これを図2乃至図4により説明する。
The
This will be described with reference to FIGS.
図4に示すように、制御装置5は最初に片面露光とするか否か判断する(ステップS1)。この判断は操作装置6からの指令或は他の信号に基づいて行う。片面露光ではない場合には、両面露光モードとして、両面露光処理を行う(ステップS2)。
片面露光の場合には、片面露光モードとし、反転/搬送機2を搬送機モードに切り換える(ステップS3)。
As shown in FIG. 4, the
In the case of single-sided exposure, the single-sided exposure mode is set, and the reversing / conveying
そして、図2Aに示すように、1枚目の基板51を上流露光機1と反転/搬送機2を通過して下流露光機3に送り、プラテン35上に載置する。2枚目の基板52は上流露光機1に送り、プラテン15に載置する(ステップS4)。
そして、図2Bに示すように上流露光機1と下流露光機3において基板51と基板52を並行的に露光処理する(ステップS5)。露光処理後、図2cに示すように基板52及び基板51を次の工程に送る(ステップS9)。
なお上流露光機1において、位置合わせ不良などにより基板52の露光を行わなかった場合(ステップS6)、図3に示すように基板52を下流露光機3に送って(ステップS7)、再露光を試みる(ステップS8)。
露光作業が終了しない場合は(ステップS10)、ステップS4に戻り図2Dに示すように次の基板53、54をプラテン35、プラテン15上に載置して同じ動作を繰り返す。
Then, as shown in FIG. 2A, the
Then, as shown in FIG. 2B, the
If the exposure of the
If the exposure operation is not completed (step S10), the process returns to step S4 and the
以上のように、上記実施形態においては、片面露光に際して上流露光機1と下流露光機3により並行的な処理を行うことができ、効率の良い露光処理が行える。また、未露光が生じたときに、再露光を行うことができるなどの効果がある。
As described above, in the above-described embodiment, parallel processing can be performed by the
1:上流露光機、2:反転/搬送機、3:下流露光機、5:制御装置、6:操作装置、10:入口搬送装置、11:出口搬送装置、15:プラテン、16:露光光、30:入口搬送装置、31:出口搬送装置、35:プラテン、36:露光光、51:基板、52:基板、53:基板、54:基板。 1: upstream exposure machine, 2: reversal / conveyance machine, 3: downstream exposure machine, 5: control device, 6: operation device, 10: inlet conveyance device, 11: outlet conveyance device, 15: platen, 16: exposure light, 30: Entrance transport device, 31: Exit transport device, 35: Platen, 36: Exposure light, 51: Substrate, 52: Substrate, 53: Substrate, 54: Substrate.
Claims (3)
前工程から送られてくるプリント配線用基板の露光を行う上流露光機と、
該上流露光機から送られてくるプリント配線用基板を反転させるか或は反転させずに送る反転/搬送機と、
該反転/搬送機から送られてくるプリント配線用基板の露光を行う下流露光機と、
前記プリント配線用基板を反転させて下流露光機に送るか或はプリント配線用基板を反転させずに下流露光機に送るように、反転/搬送機を制御する制御装置と、
を有することを特徴とする露光装置。 In an exposure apparatus that can expose circuit patterns on both sides of a printed wiring board,
An upstream exposure machine that performs exposure of the printed wiring board sent from the previous process;
A reversing / conveying device for reversing or not reversing the printed wiring board sent from the upstream exposure device;
A downstream exposure machine that performs exposure of a printed wiring board sent from the reversing / conveying machine;
A control device for controlling the reversing / conveying machine so as to invert the printed wiring board and send it to the downstream exposure machine or to send the printed wiring board to the downstream exposure machine without reversing;
An exposure apparatus comprising:
更に備えた請求項1の露光装置。 When one side of the printed wiring board is exposed, the first printed wiring board is not exposed by the upstream exposure machine, and the reversing / conveying machine sends the printed wiring board to the downstream exposure machine without being reversed. A control device for controlling the printed wiring board to be sent to the upstream exposure machine and exposing the first printed wiring board and the next printed wiring board in the upstream exposure machine and the downstream exposure machine,
The exposure apparatus according to claim 1, further comprising:
更に備えた請求項1又は2の露光装置。 Control that the printed wiring board is not exposed in the upstream exposure machine and sent to the downstream exposure machine without being reversed in the reversing / conveying machine, and the downstream exposure machine is exposed again. Control device to
The exposure apparatus according to claim 1 or 2, further comprising:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009023300A JP2010181519A (en) | 2009-02-04 | 2009-02-04 | Exposure device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009023300A JP2010181519A (en) | 2009-02-04 | 2009-02-04 | Exposure device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010181519A true JP2010181519A (en) | 2010-08-19 |
Family
ID=42763113
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009023300A Pending JP2010181519A (en) | 2009-02-04 | 2009-02-04 | Exposure device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010181519A (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013031235A1 (en) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | 株式会社ニコン | Aligning method, exposure method, device manufacturing method, and method for manufacturing flat panel display |
KR101247253B1 (en) | 2010-10-28 | 2013-03-25 | 주식회사 엔에스티 | Apparatus and method for double-sided exposure using liquid crystal mask |
JP2014071157A (en) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Fujifilm Corp | Exposure drawing apparatus, exposure drawing system, program, and exposure drawing method |
WO2020119863A1 (en) | 2018-12-12 | 2020-06-18 | Laser Imaging Systems Gmbh | Device for exposing planar workpieces at a high throughput rate |
DE102020127981B3 (en) | 2020-10-23 | 2021-12-16 | Laser Imaging Systems Gmbh | Turning device for handling sensitive substrates when exposing two-dimensional structures on both substrate surfaces |
DE102020124006B3 (en) | 2020-09-15 | 2022-01-05 | Laser Imaging Systems Gmbh | EXPOSURE CONTROL IN PHOTOLITHOGRAPHIC DIRECT EXPOSURE METHODS FOR CREATING CIRCUIT BOARDS OR CIRCUITS |
-
2009
- 2009-02-04 JP JP2009023300A patent/JP2010181519A/en active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101247253B1 (en) | 2010-10-28 | 2013-03-25 | 주식회사 엔에스티 | Apparatus and method for double-sided exposure using liquid crystal mask |
WO2013031235A1 (en) * | 2011-09-02 | 2013-03-07 | 株式会社ニコン | Aligning method, exposure method, device manufacturing method, and method for manufacturing flat panel display |
JP2014071157A (en) * | 2012-09-27 | 2014-04-21 | Fujifilm Corp | Exposure drawing apparatus, exposure drawing system, program, and exposure drawing method |
WO2020119863A1 (en) | 2018-12-12 | 2020-06-18 | Laser Imaging Systems Gmbh | Device for exposing planar workpieces at a high throughput rate |
DE102018132001A1 (en) | 2018-12-12 | 2020-06-18 | Laser Imaging Systems Gmbh | Device for exposing plate-shaped workpieces with high throughput |
US11656556B2 (en) | 2018-12-12 | 2023-05-23 | Laser Imaging Systems Gmbh | Apparatus for the exposure of plate-shaped workpieces with high throughput |
DE102020124006B3 (en) | 2020-09-15 | 2022-01-05 | Laser Imaging Systems Gmbh | EXPOSURE CONTROL IN PHOTOLITHOGRAPHIC DIRECT EXPOSURE METHODS FOR CREATING CIRCUIT BOARDS OR CIRCUITS |
WO2022057981A1 (en) | 2020-09-15 | 2022-03-24 | Laser Imaging Systems Gmbh | Exposure control in photolithographic direct exposure methods for manufacturing circuit boards or circuits |
DE102020127981B3 (en) | 2020-10-23 | 2021-12-16 | Laser Imaging Systems Gmbh | Turning device for handling sensitive substrates when exposing two-dimensional structures on both substrate surfaces |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2010181519A (en) | Exposure device | |
JP4777682B2 (en) | Scan exposure equipment | |
WO2014141422A1 (en) | Production management system for component mounting device | |
JP2011143640A (en) | Screen printing apparatus | |
JP2012044001A (en) | Shuttle conveyer and work machine for circuit board | |
JP2011048239A (en) | Double-sided exposure apparatus | |
JP2004142299A (en) | Screen printing system and screen printing method | |
JP4386396B2 (en) | Board transfer method and board transfer apparatus in component mounting system | |
JP2005072317A (en) | Packaging method and apparatus | |
CN114253091B (en) | Full-automatic double-sided digital photoetching method | |
JP2008307830A (en) | Printing apparatus | |
JP2012023114A (en) | Component mounting system and method for conveying boards in the same | |
JP5752088B2 (en) | Exposure equipment | |
JP5617471B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting work execution method | |
KR101700036B1 (en) | LDI In-Line double-sided drum-type exposure apparatus | |
JP2014092790A (en) | Panel exposure apparatus of printed circuit board | |
KR100806843B1 (en) | Apparatus and method for exposuring board material | |
JP5365274B2 (en) | Exposure equipment | |
WO2017130341A1 (en) | Power management system for production line | |
JP2011228466A (en) | Substrate manufacturing device | |
JP6084241B2 (en) | Board transfer system for electronic component mounting equipment | |
JP2011131489A (en) | Screen printing apparatus | |
JP2002158499A (en) | Electronic component assembling line | |
CN114265287A (en) | Single-side digital photoetching system | |
JP3469053B2 (en) | LCD substrate manufacturing equipment |