JP2010177418A - 固体撮像装置の製造方法および固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】遮光膜下の反射防止膜と、遮光膜開口を形成するエッチング工程をなくし、ゲート電極と遮光膜との層間絶縁膜を薄膜化してスミア特性の劣化対策と、遮光膜開口と反射防止膜のパタニングを自己整合的に行い、遮光膜開口を最大限、反射防止膜で覆う。
【解決手段】シリコン基板1上に酸化膜6とゲート電極7を形成、ゲート電極表面に酸化膜8の形成後、反射防止膜下地の酸化膜6の膜厚調整する工程(a)、反射防止膜となるSiN膜9と、これをパタニングする酸化膜10の成膜後、レジスト11を塗布パタニングする工程(b)、レジスト11をマスクとし、酸化膜10をエッチングでパタニングする工程(c)、レジスト11を除去し、酸化膜10をマスクとしSiN膜9をエッチングし、反射防止膜を形成する工程(d)、層間絶縁膜12、遮光膜13を成膜する工程(e)と、酸化膜10が露出するまで遮光膜13を平坦化する工程(f)により製造する。
【選択図】図2
【解決手段】シリコン基板1上に酸化膜6とゲート電極7を形成、ゲート電極表面に酸化膜8の形成後、反射防止膜下地の酸化膜6の膜厚調整する工程(a)、反射防止膜となるSiN膜9と、これをパタニングする酸化膜10の成膜後、レジスト11を塗布パタニングする工程(b)、レジスト11をマスクとし、酸化膜10をエッチングでパタニングする工程(c)、レジスト11を除去し、酸化膜10をマスクとしSiN膜9をエッチングし、反射防止膜を形成する工程(d)、層間絶縁膜12、遮光膜13を成膜する工程(e)と、酸化膜10が露出するまで遮光膜13を平坦化する工程(f)により製造する。
【選択図】図2
Description
本発明は、遮光膜と反射防止膜の製造方法によって、スミア不良を対策する固体撮像装置に係り、その製造方法および装置に関するものである。
近年、固体撮像装置の微細化が進み、遮光膜の開口に反射防止膜を形成して、フォトダイオードに効率的に光を取り入れる構造が標準的に採用されている。
以下、従来の技術の形態を、図面を参照しながら説明する。図7(a)〜(f)は従来の固体撮像装置で画素部の反射防止膜と遮光膜の製造方法を示す断面図を示したものである。
図7(a)のように、シリコン基板1中に、例えば、一般的なマスク合わせ工程と注入工程とレジスト除去工程を繰り返して、n型拡散層であるフォトダイオード2と、CCD3と、p型拡散領域である読み出し制御注入領域4と、チャネルストップ5を形成した後、シリコン基板1の上にゲート絶縁膜となる酸化膜6とゲート電極7を形成したのち、ゲート電極表面の酸化膜8を形成し、反射防止膜の下地となる酸化膜6の膜厚をエッチングにより調整しておく。
シリコン基板1は、p型拡散層のものを使用するか、p型不純物をドーピングすることにより、p型領域にしておく。フォトダイオード2は、光が入射したときに発生した電子を蓄積する。読み出し制御注入領域4は、ゲート電極7の電圧が低いときには、フォトダイオード2に蓄積された電子をそのままにしておき、ゲート電極7の電圧が高いときには、フォトダイオード2に蓄積された電子をCCD3に読み出すような濃度に設定しておく。チャネルストップ5は、ゲート電極7の電圧が高いときも、低いときも、フォトダイオード2からCCD3に、フォトダイオード2に蓄積された電子が移動することのないような濃度に設定しておく。CCD3は、ゲート電極7の電圧を高くして、読み出し制御注入領域4を経由して、フォトダイオード2から電子を読み出した後に、電子を転送していくチャネルである。
次に、反射防止膜となるSiN膜9を成膜し、その上に、反射防止膜をパタニングするためのハードマスクとなる酸化膜10を成膜し、その後、第1のレジスト11を塗布パタニングし(図7(b)参照)、この第1のレジスト11をマスクとして、酸化膜10をエッチングによりパタニングした後(図7(c)参照)、第1のレジスト11を除去する。その後、パタニングした酸化膜10をハードマスクとしてSiN膜9をリン酸ボイルによりエッチングして、反射防止膜を形成する(図7(d)参照)。
反射防止膜として用いるSiN膜9に減圧SiN膜を用いた場合は、上記のようにSiN膜9に穴を開けておかないと、減圧SiN膜は水素を通さない特性があるので、最終工程での水素シンターによる水素が供給されず、未結合手の水素による終端がなされずに暗電流が増加するという問題が発生する。従って、上記のようにSiN膜9に穴を開ける工程が必須になる。
なお、反射防止膜として用いるSiN膜9に常圧SiN膜を用いた場合は、常圧SiN膜は水素を通す特性があるので、上記のようにSiN膜9に穴を開ける必要はなく、上記の工程にうちSiN膜9を成膜した後の工程は不要である。
次に、層間絶縁膜12と遮光膜13を成膜した後、第2のレジスト14を塗布、パタニングする(図7(e)参照)。その後、第2のレジスト14をマスクとして遮光膜13をエッチングしたのち、第2のレジスト14を除去する(図7(f)参照)。
反射防止膜であるSiN膜9は、フォトダイオード2の表面を覆うように形成して、フォトダイオード2に光が入射するときに、フォトダイオード表面で反射される光の成分を減らし、フォトダイオード2に入射する光量を増やすので、感度特性を向上する効果がある。
遮光膜13は、CCD3上を覆い、フォトダイオード2上を開口することにより、CCD3には光が入射しないようにし、フォトダイオード2には光が入射するよう制御する役割をする。CCD3の遮光が不十分だとスミア特性が劣化し、フォトダイオード2上の遮光膜13の開口が不十分だと感度特性が劣化する。(特許文献1参照)
特許第3204216号公報
しかしながら、このような従来の技術では、反射防止膜であるSiN膜と遮光膜は別々のマスク合わせ工程で形成するので、必ずマスク合わせズレが発生する。そのため、マスク合わせズレがあっても遮光膜の開口を反射防止膜であるSiN膜が覆うことができるように、ゲート電極上まで反射防止膜で覆っている。そのために、遮光膜下の膜構成は、反射防止膜の下地となる酸化膜と、反射防止膜、層間絶縁膜の3層構造になっており、遮光膜とシリコン基板との距離が厚膜化するため、そこから光が漏れこんで、スミア特性が劣化するという課題があった。
また、層間絶縁膜は、遮光膜の開口を形成するエッチング時の下地となるが、このときのエッチングダメージを低減するために、層間絶縁膜は、一定の厚さが必要なため、薄膜化できない。このことも、遮光膜とシリコン基板との距離を厚膜化し、そこから光が漏れこんで、スミア特性が劣化するという課題があった。
本発明は、かかる事情を鑑みてなされたものであって、遮光膜下の反射防止膜をなくし、さらに遮光膜開口を形成するエッチング工程をなくすことにより、遮光膜開口のエッチング時のダメージを考慮することなく、ゲート電極と遮光膜との層間耐圧のみで層間絶縁膜の膜厚を決定することにより層間絶縁膜を薄膜化して、遮光膜とシリコン基板との距離を薄膜化してスミア特性の劣化を対策するとともに、遮光膜開口の形成と反射防止膜のパタニングを自己整合的に行うことにより、遮光膜開口を最大限、反射防止膜で覆うことのできる固体撮像装置の製造方法および固体撮像装置を提供することを目的とする。
前記の目的を達成するために、本発明の請求項1に係る固体撮像装置の製造方法は、シリコン基板の上にゲート絶縁膜となる酸化膜とゲート電極を形成する工程と、ゲート電極表面に酸化膜を形成し、反射防止膜の下地となる酸化膜の膜厚をエッチングにより調整する工程と、その後、反射防止膜となるSiN膜を成膜し、その上に、反射防止膜をパタニングするためのハードマスクとなる酸化膜を成膜する工程と、その後、レジストを塗布パタニングし、レジストをマスクとして、酸化膜をエッチングによりパタニングした後、レジストを除去する工程と、その後、パタニングした酸化膜をハードマスクとしてSiN膜をリン酸ボイルによりエッチングして、反射防止膜を形成する工程と、その後、遮光膜を成膜する工程と、ハードマスクの酸化膜が露出するまで遮光膜を平坦化する工程とからなることを特徴とする。
また、請求項2に記載の発明は、請求項1の固体撮像装置の製造方法における遮光膜を平坦化する工程において、ハードマスクの酸化膜下の反射防止膜となるSiN膜が露出するように、SiN膜を厚く成膜することを特徴とする。
また、請求項3に記載の固体撮像装置は、請求項1または2記載の固体撮像装置の製造方法によって、パタニングした酸化膜をハードマスクとしSiN膜をエッチングして形成した反射防止膜と、反射防止膜の形成後、その上に成膜した遮光膜とを備え、ハードマスクの酸化膜が露出するまで遮光膜を平坦化し、遮光膜の開口と、反射防止膜とのマスク合わせにズレのない構造としたことを特徴とする。
また。請求項4に記載の発明は、請求項3の固体撮像装置において、遮光膜を平坦化する際、ハードマスクの酸化膜下の反射防止膜となるSiN膜が露出するように、SiN膜を厚く成膜した導波路となる反射防止膜を備え、平坦化により遮光膜の上面と導波路となる反射防止膜の上面がほぼ同じ位置にあることを特徴とする。
前記方法および構成によれば、遮光膜下の反射防止膜をなくし、さらに遮光膜開口を形成するエッチング工程をなくすことにより、遮光膜開口のエッチング時のダメージを考慮することなく、ゲート電極と遮光膜との層間耐圧のみで層間絶縁膜の膜厚を決定することで層間絶縁膜を薄膜化でき、遮光膜とシリコン基板との距離も薄膜化してスミア特性の劣化対策ができる。また、遮光膜開口の形成と反射防止膜のパタニングを自己整合的に行うことで、遮光膜開口を最大限、反射防止膜で覆うことができる。
本発明によれば、遮光膜とシリコン基板との距離を薄膜化してスミア特性の劣化を対策できるとともに、遮光膜開口を最大限、反射防止膜で覆うことができるという効果を奏する。
以下、図面を参照して本発明における実施の形態を詳細に説明する。
図1は本発明の実施の形態における固体撮像装置の製造方法を示す平面図で、図2(a)〜(f)は図1のA−A’の断面図である。また、図3は固体撮像装置を示す図1のB−B’の断面図である。ここで、前記従来例を示す図7において説明した構成部材に対応し同等の機能を有するものには同一の符号を付して示し、以下の各図においても同様とする。
図2(a)のように、シリコン基板1中に、例えば、一般的なマスク合わせ工程と注入工程とレジスト除去工程を繰り返して、n型拡散層であるフォトダイオード2と、CCD3と、p型拡散領域である読み出し制御注入領域4と、チャネルストップ5を形成した後、シリコン基板1の上にゲート絶縁膜となる酸化膜6とゲート電極7を形成したのち、ゲート電極表面の酸化膜8を形成し、反射防止膜の下地となる酸化膜6の膜厚をエッチングにより調整しておく。
シリコン基板1は、p型拡散層のものを使用するか、p型不純物をドーピングすることにより、p型領域にしておく。フォトダイオード2は、光が入射したときに発生した電子を蓄積する。読み出し制御注入領域4は、ゲート電極7の電圧が低いときには、フォトダイオード2に蓄積された電子をそのままにしておき、ゲート電極7の電圧が高いときには、フォトダイオード2に蓄積された電子をCCD3に読み出すような濃度に設定しておく。チャネルストップ5は、ゲート電極7の電圧が高いときも、低いときも、フォトダイオード2からCCD3に、フォトダイオード2に蓄積された電子が移動することのないような濃度に設定しておく。CCD3は、ゲート電極7の電圧を高くして、読み出し制御注入領域4を経由して、フォトダイオード2から電子を読み出した後に、電子を転送していくチャネルである。
次に、反射防止膜となるSiN膜9を成膜し、その上に、反射防止膜をパタニングするためのハードマスクとなる酸化膜10を成膜し、その後、第1のレジスト11を塗布パタニングし(図2(b)参照)、この第1のレジスト11をマスクとして、酸化膜10をエッチングによりパタニングした後(図2(c)参照)、第1のレジスト11を除去する。その後、パタニングした酸化膜10をハードマスクとしてSiN膜9をリン酸ボイルによりエッチングして、反射防止膜を形成する(図2(d)参照)。酸化膜10は、TEOS(Tetra Ethyl OrthoSilicate)膜またはHTO(High TemperatureOxide)膜を用いる。
次に、層間絶縁膜12と遮光膜13を成膜した後(図2(e)参照)、ハードマスクとなる酸化膜10が露出するまで、遮光膜13をCMP(Chemical Mechanical Polishing)またはエッチバックにより平坦化する(図2(f)参照)。
反射防止膜をパタニングするためのハードマスクとなる酸化膜10の膜厚は、図2(f)において、遮光膜13の平坦化後に遮光膜13の表面から酸化膜10の表面が露出することが必要である。ゲート電極7の膜厚が150nmから300nmとし、遮光膜13に遮光率の高いタングステンを用いれば、遮光膜13の平坦化後の仕上がり膜厚は、150nmから200nm必要なので、両者を合わせた300nmから500nmの膜厚が、ハードマスクとなる酸化膜10の膜厚として最低必要な膜厚となる。遮光膜13の成膜する膜厚は、図2(f)において、遮光膜13の平坦化後の仕上がり膜厚が前述のように150nmから200nm必要なので、これに加工マージンを加味した膜厚を成膜する。
以上の方法によれば、遮光膜13下の反射防止膜をなくし、さらに遮光膜13の開口を形成するエッチング工程をなくすことにより、遮光膜13の開口のエッチング時のダメージを考慮することなく、ゲート電極7と遮光膜13との層間耐圧のみで層間絶縁膜12の膜厚を決定することにより層間絶縁膜12を薄膜化でき、遮光膜13とシリコン基板1との距離を薄膜化してスミア特性の劣化を対策できる。
従来、層間絶縁膜12の膜厚は、遮光膜13の開口形成時においてエッチングダメージを低減するために、70から100nm必要であったのに対し、本発明によれば、ゲート電極7と遮光膜13との層間耐圧のみを考慮して、層間絶縁膜12の膜厚は、40nmに薄膜化できる。さらに、SiN膜9は、反射防止の目的のため、50nmから70nmの膜厚が必須で、薄膜化できないが、本発明によれば、遮光膜13下のSiN膜9はなくすことができるので、SiN膜9の膜厚50nmから70nm分だけ、遮光膜13とシリコン基板1との距離を薄膜化できる。
このように、遮光膜13とシリコン基板1との距離を、従来よりも、80nmから130nm薄膜化できる。また、遮光膜13の開口の形成と反射防止膜となるSiN膜9のパタニングを自己整合的に行うことにより、マスク合わせズレを考慮することなく、遮光膜13の開口を最大限、反射防止膜であるSiN膜9で覆うことができ、フォトダイオード2に入射する光の、フォトダイオード表面上での反射成分を最小にできるという効果もある。
さらに、遮光膜13の開口の形成が完了した時点で装置が平坦化されているのが構造上の特長であり、遮光膜13の開口の形成後に、遮光膜13の上面に形成する上凸レンズや、オンチップフィルタ形成のための平坦化がすでに完了していることとなり、装置の低背化を容易にでき、感度向上・スミア低減に有利である。
図3の固体撮像装置の断面図(図1に示すB−B’の断面)において、フォトダイオード2をフォトダイオード分離注入領域15によって挟んだ構造になっており、遮光膜13は、フォトダイオード2以外の領域を遮光するレイアウトにしてある。
また、遮光膜13を平坦化するときに露出するのが、ハードマスクとなる酸化膜10ではなく、反射防止膜となるSiN膜9となるようにSiN膜9を十分厚く成膜すれば、酸化膜の屈折率は1.5から1.7程度、SiN膜の屈折率は2.0から2.2程度なので、フォトダイオード2の上にSiN膜の導波路を形成でき、感度向上・スミア低減に有利である。
図4(a)〜(d)は反射防止膜となるSiN膜を厚く形成した固体撮像装置の製造方法を示す断面図であり、図4(a)は、遮光膜13を平坦化するときに、反射防止膜となるSiN膜9となるようにSiN膜9を十分厚く成膜したときの、遮光膜13の平坦化後の断面図である。
遮光膜13を平坦化した後、層間絶縁膜16を成膜する。層間絶縁膜16は、BPSG(Boron Phosphor Silicate Glass)膜あるいはNSG(Nondoped Silicate Glass)膜を用い、膜厚は100nmから200nmである。その後、チップ周辺で配線のための導電膜の成膜と加工を行い、その後、500nmから1000nmのSiN膜17を成膜した後、第3のレジスト18をパタニングする(図4(b)参照)。
その後、110度から130度のベークを行い、図4(c)のように、第3のレジスト18を曲面にする。その後、異方性のエッチング条件にて、第3のレジスト18の形状を、SiN膜17に転写して、図4(d)のようにSiN膜のレンズを形成する。図4(d)に示すように光19が入射したとき,SiN膜9が導波路の役割を果たして、フォトダイオード2に光を集光することができる。
なお、本発明は、単層ゲートのCCD固体撮像装置の製造工程において説明したが、2層ゲートのCCD固体撮像装置においても同様に有効である。
また、遮光膜13は図1のようにフォトダイオード2以外を遮光する格子状の形状として説明したが、図5のように遮光膜13の形状が、CCD3上を覆うストライプ状の平面構造であっても、同様に有効である。
図6は、遮光膜13を平坦化後の図5のC−C’の断面図である。この方向の断面では、図3には存在する遮光膜13は存在しないが、ハードマスクとなる酸化膜10の最上部で平坦化後の高さは、図3のように遮光膜13の最上部の高さと一致する高さで平坦に仕上がる。
また、SiN膜9として、減圧SiN膜を用いた場合は、最終工程の水素シンターの効果を得るためにSiN膜に穴を開ける工程が必須なので、本発明は当然有効であるが、SiN膜として常圧SiN膜を用いた場合で最終工程の水素シンターの効果を得るためにSiN膜に穴を開ける工程が必要でない場合も、遮光膜13とシリコン基板1との距離を薄膜化してスミア特性を改善できるので、本発明は有効である。
以上説明したように、本発明は、単層ゲートの固体撮像装置におけるゲート間層間膜の膜厚を薄膜化して、転送効率不良を対策する方法等に有効である。
1 シリコン基板
2 フォトダイオード
3 CCD
4 読み出し制御注入領域
5 チャネルストップ
6 酸化膜
7 ゲート電極
8 ゲート電極表面の酸化膜
9,17 SiN膜
10 酸化膜
11 第1のレジスト
12,16 層間絶縁膜
13 遮光膜
14 第2のレジスト
15 フォトダイオード分離注入領域
18 第3のレジスト
19 光
2 フォトダイオード
3 CCD
4 読み出し制御注入領域
5 チャネルストップ
6 酸化膜
7 ゲート電極
8 ゲート電極表面の酸化膜
9,17 SiN膜
10 酸化膜
11 第1のレジスト
12,16 層間絶縁膜
13 遮光膜
14 第2のレジスト
15 フォトダイオード分離注入領域
18 第3のレジスト
19 光
Claims (4)
- シリコン基板の上にゲート絶縁膜となる酸化膜とゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極表面に酸化膜を形成し、反射防止膜の下地となる酸化膜の膜厚をエッチングにより調整する工程と、
その後、前記反射防止膜となるSiN膜を成膜し、その上に、前記反射防止膜をパタニングするためのハードマスクとなる酸化膜を成膜する工程と、
その後、レジストを塗布パタニングし、前記レジストをマスクとして、前記酸化膜をエッチングによりパタニングした後、前記レジストを除去する工程と、
その後、前記パタニングした酸化膜をハードマスクとして前記SiN膜をリン酸ボイルによりエッチングして、前記反射防止膜を形成する工程と、
その後、遮光膜を成膜する工程と、
前記ハードマスクの酸化膜が露出するまで前記遮光膜を平坦化する工程とからなることを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記遮光膜を平坦化する工程において、前記ハードマスクの酸化膜下の前記反射防止膜となるSiN膜が露出するように、前記SiN膜を厚く成膜することを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。
- 請求項1または2記載の固体撮像装置の製造方法によって、パタニングした酸化膜をハードマスクとしSiN膜をエッチングして形成した反射防止膜と、前記反射防止膜の形成後、その上に成膜した遮光膜とを備え、前記ハードマスクの酸化膜が露出するまで前記遮光膜を平坦化し、前記遮光膜の開口と、前記反射防止膜とのマスク合わせにズレのない構造としたことを特徴とする固体撮像装置。
- 前記遮光膜を平坦化する際、前記ハードマスクの酸化膜下の前記反射防止膜となるSiN膜が露出するように、前記SiN膜を厚く成膜した導波路となる前記反射防止膜を備え、
前記平坦化により前記遮光膜の上面と前記導波路となる反射防止膜の上面がほぼ同じ位置にあることを特徴とする請求項3記載の固体撮像装置。
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