JP2010176073A - レンズ駆動用アクチュエータ及びそれを備えるカメラモジュール - Google Patents

Abstract

【課題】レンズ駆動用アクチュエータの、作動精度の向上と小型化を促進する。
【解決手段】光軸方向に直列に配置されるレンズホルダ２０及びドライブメンバー２２の、対向する円周状端部２０ｃ、２２ａに構成されたカム機構２８によって、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位がレンズホルダ２０の光軸方向の変位に変換される。又、ドライブメンバー２２は、圧電素子２４によって光軸周りに回転駆動される。しかも、ＦＰＣ基板５２裏面の光軸方向と平行に延びる溝部と、ハウジング１４の格納穴５６に設けられた突起部５６ａとが当接することで、圧電素子２４は、ドライブメンバー２２の外周面の接線方向に対し常に平行に維持される。加圧機構５０によりドライブメンバー２２を圧電素子２４と対向する方向からパッド２４ａへと加圧することで、パッド２４ａの当接圧力の不均衡を回避する。
【選択図】図３

Description

本発明は、レンズ駆動用アクチュエータ及びそれを備えるカメラモジュールに関するものである。

携帯電話端末の小型化、薄型化に伴い、携帯電話端末に搭載されるカメラモジュールについても、更なる小型化、薄型化が求められている。一方、一回の充電で使用可能な時間を可能な限り延ばすために、消費電力の低減要請は、従来と何ら変わるものではない。ところで、従来の携帯電話端末用カメラモジュールは、オートフォーカスのためのレンズ駆動を行う動力源として、小型のステッピングモータあるいはＶＣＭ（ボイスコイルモータ）が用いられてきたが、カメラモジュールの小型化、薄型化の促進に際し、小型のステッピングモータはトルクの低下を来たし、また、騒音対策が小型化を阻害する要因となってしまう。一方、ＶＣＭは静止トルクを得るには常に電流を流しておく必要があり、消費電力の低減要請に逆行するものである。

そこで、近年では、ＰＺＴ（ピエゾ素子）等の逆圧電効果により作動する圧電素子を動力源として用いたレンズ駆動用アクチュエータが発明されている。圧電素子を動力源とするレンズ駆動用アクチュエータは、動力伝達機構が簡単で小型軽量化に適し、他の動力源と比べ低速ではあるが高トルクで、高速応答性に優れ、制御性、静粛性も優れたものである。又、モータやＶＣＭのように永久磁石や電磁石を使用しないことから、漏洩磁界の影響が懸念される製品への応用にも適している。

図９から図１１には、圧電素子を動力源として用いたレンズ駆動用アクチュエータの具体例が示されている。このカメラモジュール１００は、レンズアッセンブリー１０２が中心部に突出する略円筒状のレンズホルダ１０４と、円筒状のドライブメンバー１０６とが、レンズアッセンブリー１０２がレンズホルダ１０４に挿通された状態で、光軸方向に直列に配置されている。そして、略円筒状のレンズホルダ１０４は光軸方向に移動可能かつ光軸周りの回転が規制され、円筒状のドライブメンバー１０６は光軸方向の移動が規制されかつ光軸周りに回転可能に保持された状態で、ハウジング１０８、１１０に収納されている。
又、レンズホルダ１０４及びドライブメンバー１０６の対向する円周状端部に、ドライブメンバー１０６の光軸周りの回転変位をレンズホルダ１０４の光軸方向の変位に変換するカム機構１１２（図１１）が構成されている。カム機構１１２は、レンズホルダ１０４側の円周状端部に形成されたカムピン１１４と、ドライブメンバー１０６側の円周状端部に形成されたカム１１６とで構成されている。

そして、ハウジング１０８に形成された格納溝１１８に、逆圧電効果により作動する圧電素子１２０が、その作動運動をドライブメンバー１０６の回転運動に変換すべく、ドライブメンバー１０６の外周面に対しその接線方向と平行に当接可能に配置されている。圧電素子１２０の、ドライブメンバー１０６との対向面中央部には、ドライブメンバー１０６の外周面に当接するパッド１２０ａが突設され、かつ、ドライブメンバー１０６の裏面に隣接して配置されるＦＰＣ基板１２２と電気的及び機械的に接続されている。更に、ＦＰＣ基板１２２の外側に配置されたパッド１２４をバネ１２６によって加圧することで、パッド１２０ａはドライブメンバー１０６の外周面に対し付勢される。
更に、ドライブメンバー１０６の、レンズホルダ１０４と反対側の端面１０６ａは、板バネ１２８に形成された突起１３０によって位置決めされている。なお、図中符号１３２で示される部品は、光軸方向に延びるレンズホルダ１０４のガイドシャフトであり、符号１３４で示される部品は、レンズホルダ１０４をドライブメンバー１０６の方向へと付勢するコイルバネである。なお、圧電素子の具体的構成については、例えば、特許文献２に開示されている。

特開２００８−１４１７９７号公報 特表２００７−５１５１４８号公報

ところで、上記従来のカメラモジュール１００は、以下のような問題点を包含している。まず、一対のパッド１２４及び一対のバネ１２６によって、圧電素子１２０のパッド１２０ａがドライブメンバー１０６の外周面へと付勢される構造であることから、バネ１２６の圧力の不均衡あるいは圧電素子１２０の取付けに誤差が生じた場合には、圧電素子１２０はドライブメンバー１０６の外周面の接線方向に平行に維持されず、その結果として、パッド１２０ａの駆動力がドライブメンバー１０６に巧く伝わらずにドライブメンバー１０６の円滑な回転が阻害され、最悪の場合、ドライブメンバー１０６の回転方向が逆転するおそれがある。

しかも、ハウジング１０８、１１０には、ＦＰＣ基板１２２のさらに外側に、パッド１２４をバネ１２６によって加圧する構造を格納するためのスペース（格納溝１１８）が必要となり、レンズアッセンブリー１０２の光軸とハウジング１０８、１１０のセンターとにずれが生じている（図９参照）。このようにレンズアッセンブリー１０２の光軸とハウジング１０８、１１０のセンターとがずれたカメラモジュール１００は、モジュールサイズの増加を来たし、例えば、携帯電話端末への搭載においても特殊な構造を採用する必要があることから、製造時のアッセンブリー工数の増加及び互換性の低下を招くこととなる。

又、カム機構１１２が、レンズホルダ１０４側の円周状端部に形成されたカムピン１１４と、ドライブメンバー１０６側の円周状端部に形成されたカム１１６とで構成されていることから、カムピン１１４の磨耗により、光軸方向のレンズホルダ１０４の移動量が減少するといった問題がある。又、ドライブメンバー１０６の、レンズホルダ１０４と反対側の端面１０６ａを位置決めする突起１３０の磨耗によっても、同様の問題が発生する。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、レンズ駆動用アクチュエータ及びそれを備えるカメラモジュールの、作動精度の向上及び安定化を図りつつ、小型化を促進することにある。

（発明の態様）
以下の発明の態様は、本発明の構成を例示するものであり、本発明の多様な構成の理解を容易にするために、項別けして説明するものである。各項は、本発明の技術的範囲を限定するものではなく、発明を実施するための最良の形態を参酌しつつ、各項の構成要素の一部を置換し、削除し、又は、更に他の構成要素を付加したものについても、本願発明の技術的範囲に含まれ得るものである。

（１）円筒状のレンズホルダと円筒状のドライブメンバーとが、光軸方向に直列に配置され、かつ、前記円筒状のレンズホルダは光軸方向に移動可能かつ光軸周りの回転が規制され、前記円筒状のドライブメンバーは光軸方向の移動が規制されかつ光軸周りに回転可能に保持された状態で、ハウジングに収納され、前記レンズホルダ及び前記ドライブメンバーの対向する円周状端部に、前記ドライブメンバーの光軸周りの回転変位を前記レンズホルダの光軸方向の変位に変換するカム機構が構成されたレンズ駆動用アクチュエータ。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、円筒状のレンズホルダと円筒状のドライブメンバーとが光軸方向に直列に配置され、レンズホルダ及びドライブメンバーの対向する円周状端部に構成されたカム機構によって、ドライブメンバーの光軸周りの回転変位がレンズホルダの光軸方向の変位に変換され、レンズホルダに保持されるレンズが光軸方向に駆動されるものである。

（２）上記（１）項において、前記ハウジングに形成された格納穴に、逆圧電効果により作動する圧電素子が、その作動運動を前記ドライブメンバーの回転運動に変換すべく、前記ドライブメンバーの外周面に対し当接可能に配置され、前記圧電素子の、前記ドライブメンバーとの対向面中央部に前記ドライブメンバーの外周面に当接するパッドが突設されているレンズ駆動用アクチュエータ。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ドライブメンバーが逆圧電効果により作動する圧電素子によって光軸周りに回転駆動され、レンズホルダ及びドライブメンバーの対向する円周状端部に構成されたカム機構によって、ドライブメンバーの光軸周りの回転変位がレンズホルダの光軸方向の変位に変換されることで、レンズホルダに保持されるレンズが光軸方向に駆動されるものである。又、圧電素子に加える交流電界の位相を変化させることにより、ドライブメンバーの回転方向を自在に変化させることができるため、目的のカム位置（すなわち、レンズホルダの目的の光軸方向の位置）まで最短時間で到達することができる。しかも、圧電素子が、光軸方向の移動が規制されたドライブメンバーの外周面に対し当接可能に配置されていることにより、レンズホルダに対する光軸方向の外力がドライブメンバーの外周面と圧電素子との当接部分に直接的に作用することがない。又、実際にドライブメンバーの外周面と圧電素子との当接部分に作用する外力は、レンズホルダ及びドライブメンバーの対向する円周状端部に構成されたカム機構を介することによって、大幅に低減されることとなる。

（３）上記（２）項において、前記圧電素子の裏面に隣接して配置されるＦＰＣ基板と電気的及び機械的に接続され、該ＦＰＣ基板裏面の、前記圧電素子のパッドから等距離にある２箇所に、光軸方向と平行に延びる溝部が設けられ、かつ、該溝部と当接する突起部が前記ハウジングの格納穴に設けられているレンズ駆動用アクチュエータ（請求項１）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ＦＰＣ基板裏面の、圧電素子のパッドから等距離にある２箇所に形成された、光軸方向と平行に延びる溝部と、ハウジングの格納穴に設けられた突起部とが当接することで、圧電素子は、ドライブメンバーの外周面の接線方向に対し常に平行に維持されるものである。

（４）上記（１）から（３）項において、前記溝部及び前記突起部の少なくとも一方の断面形状が三角形であるレンズ駆動用アクチュエータ（請求項２）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、溝部及び突起部の少なくとも一方の断面形状が三角形であることから、三角形の傾斜面によって溝部と突起部とがセンタリングされ、ＦＰＣ基板及びそれと電気的かつ機械的に接続された圧電素子は、ハウジングの格納穴に対し正確に位置決めされる。よって、圧電素子はドライブメンバーの外周面の接線方向に対し常に平行に維持されるものである。

（５）上記（１）から（４）項において、前記ドライブメンバーの中心軸を基準として、前記ハウジングの格納穴に配置された圧電素子のパッドと対称の位置に、前記ドライブメンバーを前記パッドへと付勢する加圧機構が設けられている記載のレンズ駆動用アクチュエータ（請求項３）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ドライブメンバーの中心軸を基準として、圧電素子のパッドと対称の位置に設けられた、ドライブメンバーをパッドへと付勢する加圧機構により、ドライブメンバーを圧電素子と対向する方向からパッドへと加圧する。そして、加圧バランスの崩れに起因する、ドライブメンバーの外周面に対するパッドの当接圧力の不均衡を回避するものである。又、圧電素子の外側にパッドとドライブメンバーとを加圧する構造を格納するためのスペースが不要となり、レンズアッセンブリーの光軸とハウジングのセンターとを一致させた構造を採用することが容易となる。

（６）上記（５）項において、前記加圧機構は、前記ドライブメンバーの外周面に当接するスライダーベアリングと、該スライダーベアリングを前記ドライブメンバーの外周面へと付勢する付勢手段とを含むレンズ駆動用アクチュエータ（請求項４）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ドライブメンバーの外周面に当接するスライダーベアリングと、該スライダーベアリングを前記ドライブメンバーの外周面へと付勢する付勢手段とを含む加圧機構により、ドライブメンバーを圧電素子と対向する方向からパッドへと加圧することで、加圧バランスの崩れに起因する、ドライブメンバーの外周面に対するパッドの当接圧力の不均衡を回避するものである。
なお、ドライブメンバーの中心軸を基準として、ハウジングの格納穴に配置された圧電素子のパッドと対称の方向からスライダーベアリングを付勢する付勢手段としては、板バネ、コイルバネ等が用いられる。

（７）上記（１）から（６）項において、３個以上の等間隔に配置された転動部材により前記ドライブメンバーの外周面を複数点で支持する回転支持機構が設けられているレンズ駆動用アクチュエータ（請求項５）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ドライブメンバーの外周面が、３個以上の等間隔に配置された転動部材により複数点で支持されることで、ドライブメンバーの回転バランスが高精度に保証されるものである。なお、この場合において、ドライブメンバーと転動部材との間には、動きを確保するための遊びが当然に確保されている。よって、前述のように、加圧機構は、ドライブメンバーの中心軸を基準として、圧電素子のパッドと対称の位置において、ドライブメンバーを圧電素子と対向する方向からパッドへと加圧する構造となる。

（８）前記ドライブメンバーの外周面の前記転動部材が当接する部位には、前記転動部材に対する前記ドライブメンバーの外周面の光軸方向の当接位置を一定に保つためのガイドが形成されているレンズ駆動用アクチュエータ（請求項６）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ドライブメンバーの回転支持機構を構成する転動部材が、ドライブメンバーの外周面の転動部材が当接する部位に形成されたガイドと係合することで、転動部材に対するドライブメンバーの外周面の光軸方向の当接位置が一定に保持される。そして、ドライブメンバーが光軸周りに回転駆動される際の光軸方向の位置ずれを防ぎ、ドライブメンバーの光軸周りの回転変位に対する、レンズホルダの光軸方向の変位の精度を高めるものである。

（９）上記（８）項において、前記ガイドとして、ドライブメンバーの外周面に、その円周方向に延びる溝が形成され、又は、円周方向に沿ってテーパが形成されているレンズ駆動用アクチュエータ（請求項７）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ドライブメンバーの回転支持機構を構成する転動部材が、ドライブメンバーの外周面の転動部材が当接する部位に形成された、円周方向に延びる溝、又は、テーパと係合することで、転動部材に対するドライブメンバーの外周面の光軸方向の当接位置が一定に保持される。そして、ドライブメンバーが光軸周りに回転駆動される際の光軸方向の位置ずれを防ぎ、ドライブメンバーの光軸周りの回転変位に対する、レンズホルダの光軸方向の変位の精度を高めるものである。

（１０）上記（７）から（９）項において、前記ハウジングは一端が開放された有底箱状をなしており、前記レンズホルダが前記ハウジングの底側に、前記ドライブメンバーが前記ハウジングの開放端側に配置され、前記ドライブメンバーの外周面に隣接して前記転動部材の保持溝穴が形成されており、かつ、該ハウジングの開放端を塞ぐ蓋に、前記転動部材と当接する突起が設けられているレンズ駆動用アクチュエータ（請求項８）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ドライブメンバーの外周面に隣接して形成された保持溝穴に転動部材が保持され、ドライブメンバーの外周面の転動部材が当接する部位に形成されたガイドと当接することで、ドライブメンバーが光軸周りに回転駆動される際の光軸方向の位置ずれを防ぎ、ドライブメンバーの光軸周りの回転変位に対する、レンズホルダの光軸方向の変位の精度を高めるものである。又、ハウジングの開放端を塞ぐ蓋に設けられた突起に対し、保持溝穴に保持された転動部材が当接することで、転動部材の光軸方向の位置決めがなされる。しかも、ドライブメンバーと突起とが直接的に接触することなく、転動部材を介してドライブメンバーの光軸方向の位置決めがなされることにより、突起の磨耗による位置決め精度の悪化とレンズホルダの移動量の減少とを回避するものである。

（１１）上記（１）から（１０）項において、前記カム機構は、前記ドライブメンバーの前記レンズホルダと対向する円周状端部が、円周方向に連続する傾斜面により少なくとも全周を１周期として光軸方向に出没する凹凸面として形成され、前記レンズホルダの前記ドライブメンバーと対向する円周状端部が、光軸方向と直交する平面として形成され、かつ、前記ドライブメンバーの円周状端部及び前記レンズホルダの円周状端部の間に、光軸方向及び光軸周りの移動が規制された状態で保持された転動部材が挟持されてなるレンズ駆動用アクチュエータ（請求項９）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ドライブメンバーが光軸周りに回転することで、ドライブメンバーのレンズホルダと対向する円周状端部に形成された凹凸面の起伏の高低差が、転動部材を介してレンズホルダのドライブメンバーと対向する円周状端部に伝えられる。従って、カム機構によってドライブメンバーの光軸周りの回転変位がレンズホルダの光軸方向の変位に変換され、レンズホルダに保持されるレンズが光軸方向に駆動されるものである。又、レンズホルダの光軸方向の作動範囲が、ドライブメンバーのレンズホルダと対向する円周状端部の、凹凸面の高低差を超えることはない。なお、転動部材としては、必要に応じ、球のみならずコロ等が用いられる。

（１２）上記（１１）項において、前記レンズホルダを前記ドライブメンバーの方向へと付勢する弾性部材が設けられているレンズ駆動用アクチュエータ（請求項１０）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、弾性部材によってレンズホルダをドライブメンバーの方向へと付勢することにより、レンズホルダの不用意な浮き上がりを防ぐ。又、レンズホルダのドライブメンバーと対向する円周状端部によって転動部材をドライブメンバーのレンズホルダと対向する円周状端部に押付け、かかる円周状端部に形成された凹凸面に対する転動部材の追従性を高めることで、ドライブメンバーの光軸周りの回転変位に対する、レンズホルダの光軸方向の変位の応答性を高める。

（１３）上記（１）から（１２）項において、前記ハウジングには、光軸方向に延びる前記レンズホルダのガイドシャフトが設けられ、該ガイドシャフトの挿通穴が前記レンズホルダに設けられているレンズ駆動用アクチュエータ（請求項１１）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、カム機構によってドライブメンバーの光軸周りの回転変位がレンズホルダの光軸方向の変位に変換される際に、ガイドシャフトによってレンズホルダが光軸方向に正確に案内されるものである。

（１４）上記（１）から（３）項において、前記ドライブメンバーは、アルミナその他のセラミックからなるレンズ駆動用アクチュエータ（請求項１２）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、ドライブメンバーがアルミナその他のセラミックからなることにより、ドライブメンバーに耐摩耗性を持たせ、長時間にわたる作動精度を確保する。

（１５）上記（１）から（３）項において、前記パッドは、アルミナその他のセラミックからなるレンズ駆動用アクチュエータ（請求項１３）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、パッドがアルミナその他のセラミックからなることにより、パッドに耐摩耗性を持たせ、長時間にわたる作動精度を確保する。

（１６）上記（６）項において、前記スライダーベアリングは、鋼球、アルミナその他のセラミック球と、保持器とからなるレンズ駆動用アクチュエータ（請求項１４）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、スライダーベアリングが鋼球、アルミナその他のセラミック球からなることにより、スライダーベアリングに耐摩耗性を持たせ、長時間にわたる作動精度を確保する。

（１７）上記（７）項において、前記転動部材は、鋼球、アルミナその他のセラミック球からなるレンズ駆動用アクチュエータ（請求項１５）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、転動部材が鋼球、アルミナその他のセラミック球からなることにより、転動部材に耐摩耗性を持たせ、長時間にわたる作動精度を確保する。

（１８）上記（１４）から（１７）項において、前記パッド、前記スライダーベアリング又は前記転動部材の硬度が、前記ドライブメンバーの硬度を上回るように調整されているレンズ駆動用アクチュエータ（請求項１６）。
本項に記載のレンズ駆動用アクチュエータは、互いに当接し又は摺動する、ドライブメンバーとパッド、スライダーベアリング又は転動部材との磨耗量のバランスをとり、長時間にわたる作動精度を確保する。

（１９）上記（１）から（１８）項記載のレンズ駆動用アクチュエータを備えるカメラモジュール。
本項に記載のカメラモジュールは、それに内蔵されるレンズ駆動用アクチュエータが、上記（１）から（１８）項記載の作用を奏するものである。

本発明はこのように構成したので、レンズ駆動用アクチュエータ及びそれを備えるカメラモジュールの、作動精度の向上及び安定化を図りつつ、小型化を促進することが可能となる。

本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータを内蔵するカメラモジュールを示す図であり、（ａ）は概観斜視図、（ｂ）は縦断面図、（ｃ）はケーシングの蓋を外した状態の底面視図である。 図１（ｃ）に示される、ケーシングの蓋を外した状態のカメラモジュールから、更に圧電素子及び加圧機構を外した分解図である。 図１に示されるカメラモジュールの分解図である。 図３とは異なる方向から見たカメラモジュールの分解図である。 本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータの、圧電素子の単体図である。 本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータの、ドライブメンバーの単体図であり、採用可能な形状を（ａ）、（ｂ）に例示したものである。 本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータの、加圧機構の別例を示すものであり、（ａ）はケーシングの蓋を外した状態の底面視図、（ｂ）は（ａ）から更に圧電素子及び加圧機構を外した分解図である。 本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータのドライブメンバーに加わる力の関係を示す説明図である。 従来のレンズ駆動用アクチュエータを内蔵するカメラモジュールの、概観斜視図である。 図９に示されるカメラモジュールの分解図である。 図１０に示されるカメラモジュールの、レンズホルダと、ドライブメンバーと、圧電素子とを抽出した図である。

以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。ここで、従来技術と同一部分、若しくは相当する部分については同一符号で示し、詳しい説明を省略する。
図１から図４には、本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータ１２を備えるカメラモジュール１０が示されている。レンズ駆動用アクチュエータ１２は、ハウジング１４とハウジング蓋１５とによって形成される空間に全て収まるものであり、レンズアッセンブリー１８、レンズホルダ２０、ドライブメンバー２２、圧電素子２４、加圧機構５０を構成要素として備えている。ハウジング１４は、一端が開放された矩形断面の有底箱状をなしており、底部には、レンズホルダ２０の円筒状の外壁が挿通可能な直径を有する開口１４ａが形成されている。又、基板１６は、ＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）あるいはＣＣＤ（Change-Coupled Device）等のイメージセンサ１６ａを構成するものであり、図示の例では、ＣＭＯＳ基板が用いられている。

レンズアッセンブリー１８は円筒状をなし、図１（ｂ）に示されるように、その内部には必要なレンズ群が一体に保持されている。レンズホルダ２０は円筒状をなし、図１（ｂ）に示されるように、レンズアッセンブリー１８が内嵌され、接着剤等によってレンズアッセンブリー１８と一体に固定されている。ドライブメンバー２２は、図示の例ではレンズホルダ２０と同一直径の円筒状をなし、レンズホルダ２０とドライブメンバー２２とは、光軸方向（レンズアッセンブリー１８の光軸方向）に直列に配置されている。又、レンズホルダ２０がハウジング１４の底側に、ドライブメンバー２２がハウジング１４の開放端側（蓋１５に塞がれる側）に配置され、これら、レンズホルダ２０、ドライブメンバー２２共に、レンズアッセンブリー１８を内部に嵌合ないし挿通可能とするために必要な最小直径に形成されている。

そして、レンズホルダ２０にはフランジ２０ａが設けられ、フランジ２０ａには、光軸方向に延びるガイドシャフト２６が摺動可能に挿通されるための、挿通穴２０ｂが形成されている。このガイドシャフト２６は、ハウジング１４に固定されていることから、レンズホルダ２０は、光軸方向及び光軸周りの回転が規制された状態にある。一方、ドライブメンバー２２は、後述する回転支持機構３６によって、光軸方向の移動が規制されかつ光軸周りに回転可能に保持された状態にある。

又、レンズホルダ２０及びドライブメンバー２２の対向する円周状端部に、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位をレンズホルダ２０の光軸方向の変位に変換するカム機構２８（図３参照）が構成されている。図示の例では、カム機構２８は、ドライブメンバー２２のレンズホルダ２０と対向する円周状端部２２ａが機械要素としてのカムを構成するために、円周方向に連続する傾斜面により全周を１周期として光軸方向に出没する凹凸面として形成され（図６（ａ）参照）、レンズホルダ２０のドライブメンバー２２と対向する円周状端部２０ｃが、光軸方向と直交する平面として形成され、かつ、ドライブメンバー２２の円周状端部２２ａ及びレンズホルダ２０の円周状端部２０ｃの間に、転動部材３０が挟持されてなるものである。
図示の例では転動部材３０は鋼球であり、レンズホルダ２０の円周状端部２０ｃに形成された半球状の窪み２０ｄ（図２にのみ透視図として示されている。）に回転自在に嵌り込むことで、転動部材３０は、光軸方向及び光軸周りの移動が規制された状態で保持される。

なお、図６（ａ）に示されるように、ドライブメンバー２２を水平に置いた状態では、レンズホルダ２０と対向する円周状端部２２ａの、符号ＰＨで示される位置が最高地点であり、符号ＰＬで示される位置が最低地点となっている。そして最高地点ＰＨと最低地点ＰＬとの間が円周方向に連続する傾斜面となっており、その傾斜角度θは、例えばθ＝２°程度に設定されている。

又、圧電素子２４は、逆圧電効果により特定の方向に振動ないし伸縮するように作動運動するものであり、その作動運動をドライブメンバー２２の回転運動に変換すべく、ドライブメンバー２２の外周面に対し当接可能に配置されている。図示の例では、圧電素子２４のドライブメンバー２２との対向面中央部に、ドライブメンバー２２の外周面に当接するパッド２４ａが突設され、その裏面に隣接して配置されるＦＰＣ基板５２と電気的及び機械的に接続されている。又、ＦＰＣ基板５２裏面の、圧電素子２４のパッド２４ａから等距離にある２箇所に、光軸方向と平行に延びる溝部５４ａが設けられ、かつ、溝部５４ａと当接する突起部５６ａがハウジング１４に設けられたドライブメンバー２２の格納穴５６に設けられている。

なお、本発明の実施の形態では、ハウジング１４には、図３に示されるように、格納穴５６に連続するようにして、レンズホルダ２０及びドライブメンバー２２を格納する円筒状の穴５７が形成されている。又、図５に示されるように、溝部５４ａはＦＰＣ基板５２の補強部材５４（補強部材５４は、ＦＰＣ基板に固定され又は一体成形される。）に形成されている。一方、格納穴５６の突起部５６ａについては、ハウジング１４と一体成形されているが、別体の突起部５６ａ（あるいは周辺部の肉を一体にした突起部アッセンブリー）を、格納穴５６の所定位置に固定するものであっても良い。又、溝部５４ａ及び突起部５６ａは、何れも断面形状が三角形をなす三角形状溝部５４ａ及び三角形状突起部５６ａとなっている。

そして、ドライブメンバー２２の中心軸を基準として、ハウジング１４の格納穴５６に配置された圧電素子２４のパッド２４ａと対称の位置に、加圧機構５０が設けられている。加圧機構５０は、ドライブメンバー２２をパッド２４ａへと付勢するものであり、ドライブメンバー２２の外周面に当接するスライダーベアリング５８と、スライダーベアリング５８をドライブメンバー２２の外周面へと付勢する付勢手段６０とを含むものである。
なお、図示の例では、スライダーベアリング５８は、鋼球５８ａと保持器５８ｂとからなり、ハウジングのレンズホルダ２０及びドライブメンバー２２を格納する円筒状の穴５７に隣接する、位置決め溝１４ｄに保持される。又、付勢手段６０は板バネ６０Ａからなり、ハウジング１４の格納穴５６に配置された圧電素子２４のパッド２４ａと対称の方向から、スライダーベアリング５８をドライブメンバーへと付勢するように、ハウジング１４の溝１４ｂ（図３）に組み込まれている。

更に、３個の等間隔に配置された転動部材３４によって、ドライブメンバー２２の外周面を回転可能に支持する回転支持機構３６が構成されている。図示の例では、転動部材３４は鋼球である。そして、ハウジング１４の、ドライブメンバー２２の外周面に隣接する位置に形成された窪み１４ｃ（図３）に、転動部材３４が回転自在に嵌り込むことで、転動部材３４の光軸方向及び光軸周りの位置が規制されている。加えて、ハウジング１４の開放端を塞ぐ蓋１５（図４参照）に、転動部材と当接する突起１５ａが設けられている。
なお、パッド２４ａ、転動部材３０、３４及びドライブメンバー２２は、何れも、アルミナその他のセラミックで構成されていることがより望ましく、特に、パッド２４ａ、転動部材３０、３４の硬度が、ドライブメンバー２２の硬度を上回るように調整されていることが望ましい。

更に、ドライブメンバー２２の外周面の転動部材３４が当接する部位には、ドライブメンバー２２の外周面の円周方向に対する転動部材３４の当接位置を一定に保つためのガイドとして、円周方向に延びる溝２２ｂが形成されている。なお、図６（ａ）には、図１、図２に示されるドライブメンバー２２（２２Ａ）の単体図が示されているが、円周方向に延びる溝２２ｂに換えて、図６（ｂ）に示されたドライブメンバー２２（２２Ｂ）のように、円周方向に沿ってテーパ２２ｃが形成されていることとしても良い。なお、図示は省略するが、図６（ａ）、（ｂ）に示されたドライブメンバー２２のレンズホルダと対向する円周状端部２２ａを、例えば、１／ｎ周を１周期として光軸方向に出没する凹凸面として形成し、ｎ箇所が最高地点かつｎ箇所が最低地点となるように構成することも可能である。

又、図４に示されるように、ガイドシャフト２６にはコイルばね４２が挿通されており、コイルばね４２の弾性力がレンズホルダ２０のフランジ２０ａに作用することで、レンズホルダ２０はドライブメンバー２２の方向へと所定の圧力で付勢される。なお、レンズホルダ２０の光軸方向の変位量は僅か（０．３ｍｍ程度）であり、コイルばね４２の伸縮ストロークも長大である必要は無い。又、コイルばね４２は圧縮モードで使用されるものである。又、レンズホルダ２０をドライブメンバー２２の方向へと付勢する弾性部材としてコイルばね４２以外のものを用いることも可能であるが、図示の例によれば、ガイドシャフト２６をコイルばね４２の保持手段として有効活用することができる。

上記構成をなす、本発明の実施の形態によれば、次のような作用効果を得ることが可能である。まず、本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータ１２は、円筒状のレンズホルダ２０と円筒状のドライブメンバー２２とが光軸方向に直列に配置され、レンズホルダ２０及びドライブメンバー２２の対向する円周状端部２０ｃ、２２ａに構成されたカム機構２８によって、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位がレンズホルダ２０の光軸方向の変位に変換され、レンズホルダ２０に保持されるレンズアッセンブリー１８が光軸方向に駆動されるものである。

又、ドライブメンバー２２が逆圧電効果により作動する圧電素子２４によって光軸周りに回転駆動され、レンズホルダ２０及びドライブメンバー２２の対向する円周状端部２０ｃ、２２ａに構成されたカム機構２８によって、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位がレンズホルダ２０の光軸方向の変位に変換されることで、レンズホルダ２０に保持されるレンズアッセンブリー１８が光軸方向に駆動されるものである。
又、圧電素子２４に加える交流電界の位相を変化させることにより、ドライブメンバー２２の回転方向を自在に変化させることができるため、目的のカム位置（すなわち、レンズホルダ２０の目的の光軸方向の位置）まで最短距離で到達することができ、焦点合わせに要する時間を可能な限り短縮することができる。

しかも、圧電素子２４が、光軸方向の移動が規制されたドライブメンバー２２の外周面に対し当接可能に配置されていることにより、レンズホルダ２０に対する光軸方向の外力がドライブメンバーの外周面と圧電素子との当接部分に直接的に作用することがない。又、実際にドライブメンバー２２の外周面と圧電素子２４との当接部分に作用する外力は、レンズホルダ２０及びドライブメンバー２２の対向する円周状端部２０ｃ、２２ａに構成されたカム機構２８を介することによって、大幅に低減されることとなる。

かかる効果について、図８を参照しながら具体的に説明する。図中、ドライブメンバー２２の円周状端部２２ａの長さ（カム長さ）がＬ、高さ（カム高さ）がＨ、傾斜角度（カム傾斜角度）がθ、ドライブメンバー２２の回転方向に加わる力がＦ、円周状端部２２ａによる転動部材３０を押し上げようとする力がＰ、円周状端部２２ａの傾斜面に対し垂直方向に加わる力がＱで示されている。

さて、圧電素子２４によって、ドライブメンバー２２の円周方向Ｌに力Ｆが加わると、力学法則によってレンズホルダ２０と対向する円周状端部２２ａの高さ方向、すなわち、光軸方向ＨにはＰ＝Ｆ・１／ｔａｎθの力が働く。前述の如く、ドライブメンバー２２の円周状端部２２ａの最高地点ＰＨと最低地点ＰＬとが、円周方向に連続する傾斜面となっており、その傾斜角度θがθ＝２°程度に設定されている場合には、ｔａｎθの値は大変小さなものとなり、Ｐの値はＰ＝２８．６×Ｆとなる。すなわち、ＰはＦの約２９倍まで増力され、逆にＰに平行な方向の外力でレンズホルダ２０を回転させるためには、Ｆの約２９倍の力が必要となる。従って、本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータ１２は、高い耐衝撃性を実現しつつ、レンズアッセンブリー１８の駆動トルクも、大トルクを得ることが可能である。

なお、前述のごとく、レンズホルダ２０と対向する円周状端部２２ａが、円周方向に連続する傾斜面により１／ｎ周を１周期として光軸方向に出没する凹凸面として形成されている場合には、円周方向に連続する傾斜面の傾斜角度θが増大することから、レンズホルダ２０の移動速度が増加しかつ駆動トルクは減少することとなる。このように、傾斜面の角度を変更することによって、レンズホルダ２０に保持されるレンズアッセンブリー１８の移動速度及び移動ステップの精度を調整することも可能となる。

又、本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータ１２は、ドライブメンバー１２が光軸周りに回転することで、ドライブメンバー２２のレンズホルダ２０と対向する円周状端部２２ａに形成された凹凸面の起伏の高低差ＰＨ、ＰＬが、転動部材３０を介してレンズホルダ２０のドライブメンバー２２と対向する円周状端部２０ｃに伝えられる。従って、カム機構２８によって、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位がレンズホルダ２０の光軸方向の変位に変換され、レンズホルダ２０に保持されるレンズアッセンブリー１８が、光軸方向に駆動されるものである。
しかも、ドライブメンバー２２のレンズホルダ２０と対向する円周状端部２２ａの高低差、即ち最高地点ＰＨと最低地点ＰＬとの高低差が、各々、レンズホルダ２０の光軸方向の作動範囲の上死点及び下死点となり、これを超える範囲でレンズホルダ２０が光軸方向に作動することはない。よって、仮に圧電素子２４が暴走するような事態となっても、レンズホルダ２０が想定外の範囲に移動することによる、カメラモジュール１０の破損を防ぐことができる。

更に、本発明の実施の形態によれば、ＦＰＣ基板５２裏面の、圧電素子２４のパッド２４ａから等距離にある２箇所に形成された、光軸方向と平行に延びる溝部５４ａと、ハウジング１４の格納穴５６に設けられた突起部５６ａとが当接することで、圧電素子２４は、ドライブメンバー２２の外周面の接線方向に対し常に平行に維持されるものである。しかも、溝部５４ａ及び突起部５６ａの断面形状が三角形であることから、三角形の傾斜面によって、三角形状溝部５４ａと三角形状突起部５６ａとがセンタリングされ、ＦＰＣ基板５２及びそれと電気的かつ機械的に接続された圧電素子２４は、ハウジング１４の格納穴５６に対し正確に位置決めされ、圧電素子２４はドライブメンバー２２の外周面の接線方向に対し常に平行に維持されるものである。
なお、溝部５４ａ及び突起部５６ａの形状は、上記の位置決め機能が確保されるものであれば、その断面形状が三角形状である必要は無く、又、図示のように光軸方向に連続する溝及び突起である必要も無く、適宜選択されるものである。

又、ドライブメンバー２２の中心軸を基準として、圧電素子２４のパッド２４ａと対称の位置に設けられた、ドライブメンバー２２をパッド２４ａへと付勢する加圧機構５０により、ドライブメンバー２２を圧電素子２４と対向する方向からパッド２４ａへと加圧する。そして、加圧バランスの崩れに起因する、ドライブメンバー２２の外周面に対するパッド２４ａの当接圧力の不均衡を回避することができる。
又、従来と異なり、圧電素子２４の外側にパッド２４ａとドライブメンバー２２とを加圧する構造を格納するためのスペースが不要となり、レンズアッセンブリー１８の光軸とハウジング１４のセンターとを一致させた構造を採用することが容易となる。従って、本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータ１２を内蔵するカメラモジュール１０は、モジュールサイズの増加回避することが容易となり、例えば、携帯電話端末への搭載においても特殊な構造を採用する必要が無く、製造時のアッセンブリー工数の増加及び互換性の向上図ることが可能となる。

なお、図１から図４に係る加圧機構５０は、ドライブメンバー２２の外周面に当接するスライダーベアリング５８と、スライダーベアリング５８をドライブメンバー２２の外周面へと付勢する付勢手段としての板バネ６０Ａとで構成されているが、付勢手段としての板バネ６０Ａに換えて、図７（ａ）、（ｂ）に示されるように、コイルバネ６０Ｂを用いることも可能である。この場合、スライダーベアリング５８及びコイルバネ６０Ｂは、ハウジングのレンズホルダ２０及びドライブメンバー２２を格納する円筒状の穴５７に隣接する位置決め溝１４ｅによって保持される。

又、ドライブメンバー２２の外周面が、３個の等間隔に配置された転動部材３４により複数点で支持されることで、ドライブメンバー２２の回転バランスが高精度に保証されるものである。なお、ドライブメンバー２２と転動部材３４との間には、動きを確保するための遊びが当然に確保されていることから、加圧機構５０は、前述のように、ドライブメンバー２２の中心軸を基準として、圧電素子２４のパッド２４ａと対称の位置において、ドライブメンバー２２を圧電素子２４と対向する方向からパッド２４ａへと加圧する構造となっている。

又、ドライブメンバー２２の外周面に隣接して形成された保持溝穴１４ｃに転動部材３４が保持され、ドライブメンバー２２の外周面の転動部材３４が当接する部位に形成されたガイド２２ｂ、２２ｃと当接することで、ドライブメンバー２２が光軸周りに回転駆動される際の光軸方向の位置ずれを防ぎ、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位に対する、レンズホルダ２０の光軸方向の変位の精度を高めるものである。
又、ハウジング１４の開放端を塞ぐ蓋１５に設けられた突起１５ａに対し、保持溝穴１４ｃに保持された転動部材３４が当接することで、転動部材３４の光軸方向の位置決めがなされる。しかも、ドライブメンバー２２と突起１５ａとが直接的に接触することなく、転動部材３４を介してドライブメンバー２２の光軸方向の位置決めがなされることにより、突起１５ａの磨耗による、ドライブメンバー２２及びレンズホルダ２０の位置決め精度の悪化とレンズホルダ２０の移動量の減少とを回避することができる。

又、コイルばね４２によってレンズホルダ２０をドライブメンバー２２の方向へと付勢することにより、レンズホルダ２０の不用意な浮き上がりを防いでいる。又、レンズホルダ２０のドライブメンバー２２と対向する円周状端部２０ｃによって転動部材３０をドライブメンバー２２のレンズホルダ２０と対向する円周状端部２０ａに押付け、かかる円周状端部２０ａに形成された凹凸面（図６参照）に対する転動部材３０の追従性を高めることで、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位に対する、レンズホルダ２０の光軸方向の変位の応答性を高めることができる。

又、カム機構２８によってドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位がレンズホルダ２０の光軸方向の変位に変換される際に、ガイドシャフト２６によって、レンズホルダ２０が光軸方向に正確に案内されるものとなる。

又、ドライブメンバー２２の回転支持機構３６を構成する転動部材３４が、ドライブメンバー２２の外周面の転動部材３４が当接する部位に形成された、円周方向に延びる溝２２ｂと係合することで、ドライブメンバー２２が光軸周りに回転駆動される際の光軸方向の位置ずれを防ぎ、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位に対する、レンズホルダ２０の光軸方向の変位の精度を高めることができる。

なお、ドライブメンバー２２の回転支持機構３６を構成する転動部材３４が、図５（ｂ）に示されるテーパ２２ｃと係合することとしても、ドライブメンバー２２が光軸周りに回転駆動される際の光軸方向の位置ずれを防ぎ、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位に対する、レンズホルダ２０の光軸方向の変位の精度を高めることができる。

又、ドライブメンバー２２がアルミナその他のセラミックからなることにより、ドライブメンバー２２に耐摩耗性を持たせ、長時間にわたる作動精度を確保することができる。
一方、パッド２４ａ、スライダーベアリング５８、転動部材３０、３４も、アルミナその他のセラミックからなることにより、パッド２４ａ、転動部材３０、３４に耐摩耗性を持たせ、長時間にわたる作動精度を確保することができる。なお、パッド２４ａ及び転動部材３０、３４の硬度が、ドライブメンバー２２の硬度を上回るように調整することで、互いに当接し又は摺動する、ドライブメンバー２２と、パッド２４ａ、転動部材３０、３４との磨耗量のバランスをとり、更に長時間にわたる作動精度を確保することができる。

又、レンズホルダ２０及びドライブメンバー２２が、レンズアッセンブリー１８を内部に嵌合ないし挿通可能とするために必要な最小直径に形成され、ドライブメンバー２２の光軸周りの回転変位をレンズホルダ２０の光軸方向の変位に変換するカム機構２８が、レンズホルダ２０及びドライブメンバー２２の対向する円周状端部２０ｃ、２２ａに構成され、逆圧電効果により作動する圧電素子２４が、その作動運動をドライブメンバー２２の回転運動に変換すべく、ドライブメンバー２２の外周面に対し当接可能に配置されることで、本発明の実施の形態に係るレンズ駆動用アクチュエータ１２は、光軸方向及び光軸を中心とする半径方向のいずれの方向に対しても、必要最小限の大きさに収まるものとなる。

１０：カメラモジュール、１２：レンズ駆動用アクチュエータ、１４：ハウジング、１４ｂ：溝、１４ｃ：窪み、１５：蓋、１５ａ：突起１６：基板、１８：レンズアッセンブリー、２０：レンズホルダ、２０ｂ：挿通穴、２２：ドライブメンバー、２４：圧電素子、２４ａ：パッド、２６：ガイドシャフト、２８：カム機構、 ３０、３４：転動部材、３６：回転支持機構、４２：コイルばね、５０：加圧機構、５２：ＦＰＣ基板、５４：補強部材、５４ａ：三角形状溝部、５６：格納穴、５６ａ：三角形状突起部、５８：スライダーベアリング、５８ａ：鋼球、５８ｂ：保持器、６０：付勢手段、６０Ａ：板バネ、６０Ｂ：コイルバネ

Claims (17)

1. 円筒状のレンズホルダと円筒状のドライブメンバーとが、光軸方向に直列に配置され、かつ、前記円筒状のレンズホルダは光軸方向に移動可能かつ光軸周りの回転が規制され、前記円筒状のドライブメンバーは光軸方向の移動が規制されかつ光軸周りに回転可能に保持された状態で、ハウジングに収納され、
   前記レンズホルダ及び前記ドライブメンバーの対向する円周状端部に、前記ドライブメンバーの光軸周りの回転変位を前記レンズホルダの光軸方向の変位に変換するカム機構が構成され、
   前記ハウジングに形成された格納穴に、逆圧電効果により作動する圧電素子が、その作動運動を前記ドライブメンバーの回転運動に変換すべく、前記ドライブメンバーの外周面に対し当接可能に配置され、
   前記圧電素子の、前記ドライブメンバーとの対向面中央部に前記ドライブメンバーの外周面に当接するパッドが突設され、その裏面に隣接して配置されるＦＰＣ基板と電気的及び機械的に接続されており、
   該ＦＰＣ基板裏面の、前記圧電素子のパッドから等距離にある２箇所に、光軸方向と平行に延びる溝部が設けられ、かつ、該溝部と当接する突起部が前記ハウジングの格納穴に設けられていることを特徴とするレンズ駆動用アクチュエータ。
2. 前記溝部及び前記突起部の少なくとも一方の断面形状が三角形であることを特徴とする請求項１記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
3. 前記ドライブメンバーの中心軸を基準として、前記ハウジングの格納穴に配置された圧電素子のパッドと対称の位置に、前記ドライブメンバーを前記パッドへと付勢する加圧機構が設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
4. 前記加圧機構は、前記ドライブメンバーの外周面に当接するスライダーベアリングと、該スライダーベアリングを前記ドライブメンバーの外周面へと付勢する付勢手段とを含むことを特徴とする請求項３記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
5. ３個以上の等間隔に配置された転動部材により前記ドライブメンバーの外周面を複数点で支持する回転支持機構が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
6. 前記ドライブメンバーの外周面の前記転動部材が当接する部位には、前記転動部材に対する前記ドライブメンバーの外周面の光軸方向の当接位置を一定に保つためのガイドが形成されていることを特徴とする請求項５記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
7. 前記ガイドとして、ドライブメンバーの外周面に、その円周方向に延びる溝が形成され、又は、円周方向に沿ってテーパが形成されていることを特徴とする請求項６記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
8. 前記ハウジングは一端が開放された有底箱状をなしており、前記レンズホルダが前記ハウジングの底側に、前記ドライブメンバーが前記ハウジングの開放端側に配置され、前記ドライブメンバーの外周面に隣接して前記転動部材の保持溝穴が形成されており、かつ、該ハウジングの開放端を塞ぐ蓋に、前記転動部材と当接する突起が設けられていることを特徴とする請求項５から７のいずれか１項記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
9. 前記カム機構は、前記ドライブメンバーの前記レンズホルダと対向する円周状端部が、円周方向に連続する傾斜面により少なくとも全周を１周期として光軸方向に出没する凹凸面として形成され、
   前記レンズホルダの前記ドライブメンバーと対向する円周状端部が、光軸方向と直交する平面として形成され、
   かつ、前記ドライブメンバーの円周状端部及び前記レンズホルダの円周状端部の間に、光軸方向及び光軸周りの移動が規制された状態で保持された転動部材が挟持されてなることを特徴とする請求項１から８のいずれか１項記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
10. 前記レンズホルダを前記ドライブメンバーの方向へと付勢する弾性部材が設けられていることを特徴とする請求項９記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
11. 前記ハウジングには、光軸方向に延びる前記レンズホルダのガイドシャフトが設けられ、該ガイドシャフトの挿通穴が前記レンズホルダに設けられていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
12. 前記ドライブメンバーは、アルミナその他のセラミックからなることを特徴とする請求項１記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
13. 前記パッドは、アルミナその他のセラミックからなることを特徴とする請求項１記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
14. 前記スライダーベアリングは、鋼球、アルミナその他のセラミック球と、保持器とからなることを特徴とする請求項４記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
15. 前記転動部材は、鋼球、アルミナその他のセラミック球からなることを特徴とする請求項５記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
16. 前記パッド、前記スライダーベアリング又は前記転動部材の硬度が、前記ドライブメンバーの硬度を上回るように調整されていることを特徴とする請求項１２から１５のいずれか１項記載のレンズ駆動用アクチュエータ。
17. 請求項１から１６のいずれか１項記載のレンズ駆動用アクチュエータを備えるカメラモジュール。

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