JP2010171145A - ガスレーザ発振器 - Google Patents

Abstract

【課題】多重折り返し型のガスレーザ発振器の二つの折り返し鏡の間を結ぶ折り返し鏡領域においてレーザガスの供給や排出を行わずにレーザガスの滞留を防止する。
【解決手段】ガスレーザ発振器１０は、並列に配置された一対の放電管１２，１４と、レーザガス循環路３４を形成するように各放電管１２、１４の両端部に接続されるレーザガス経路と、レーザガス経路上に設けられ各放電管１２，１４内を一端部から他端部へレーザガスが流れるようにレーザガス循環路３４内のレーザガスを循環させる送風機５０と、一対の放電管１２，１４の各々の一端部同士を接続する連結導光路３２と、一対の放電管１２，１４の各々の一端部に設けられた折り返し鏡２４，２８と、一対の放電管の一方１４の一端部に設けられる流路抵抗としてのアパーチャ５６とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、並列に配置された二つの放電管の各々の内部でレーザガスを励起することにより発生したレーザ光の光軸を折り返し鏡によって折り返すことにより他方の放電管内へと導くように構成された多重折り返し型のガスレーザ発振器に関する。

炭酸ガスレーザなどのガスレーザを用いたガスレーザ発振器では、放電管と放電管の両端部に接続されるレーザガス経路とによりレーザガス循環路を形成して、レーザガス経路上に設けられた送風機によってレーザガス循環路内のレーザガスを循環させながら、放電管内のレーザガスを励起させて放電によりレーザ光を発生させる。

近年、高出力のガスレーザ装置が要求されるようになってきているが、ガスレーザ装置の高出力化には放電領域を広くする必要がある。このため、特許文献１及び２に記載のように共軸上に配置された複数の放電管を連結したガスレーザ発振器を用いたり、並列に配置された放電管の間を連結導光路で接続し各放電管で発生したレーザ光を折り返し鏡で折り返して連結導光路を通して他方の放電管に導くように構成した多重折り返し型のガスレーザ発振器が用いられるようになってきている。特に多重折り返し型ガスレーザ共振器は、放電管が並列に配置されるので、ガスレーザ発振器の長さを短くできる点において有利である。

図７には、多重折り返し型のガスレーザ発振器の一例として、高速軸流炭酸ガスレーザ共振器５１０が示されている。高速軸流炭酸ガスレーザ共振器５１０は、送風機５１２を用いて、炭酸ガス、窒素及びヘリウムの混合ガスをレーザガス（媒質ガス）として放電管５１４，５１６内へ高速で循環させつつ、放電管５１４，５１６に高電圧を印加して放電によりレーザガスを励起させ、レーザ発振させる。図７に示されているガスレーザ発振器５１０は、並列に配置された二つの放電管５１４，５１６を備え、放電管５１４の一端部には延長管５１８を介して放電管５１４の軸線に対して４５°をなすように放電管５１６へ向けて傾斜して配置された折り返し鏡５２６が、他端部には延長管５２０を介して放電管５１４の軸線に対して垂直に配置された全反射鏡５２８が設けられており、放電管５１６の一端部には延長管５２２を介して放電管５１６の軸線に対して４５°をなすように放電管５１４へ向けて傾斜して配置された折り返し鏡５３０が、他端部には延長管５２４を介して放電管５１６の軸線に対して垂直に配置された出力鏡５３２としての部分透過鏡が設けられている。また、二つの折り返し鏡５２６、５３０の間には、レーザ光の通過を許容する連結導光路５３４が設けられている。

このような構成により、一方の放電管５１４，５１６で発生したレーザ光は、二つの折り返し鏡５２６，５３０で折り返されて他方の放電管５１６，５１４内に進入し、放電管５１６，５１４を通過して全反射鏡５２８又は出力鏡５３２によって反射された後、放電管５１６，５１４を通過して再び二つの折り返し鏡５２６，５３０で折り返されて放電管５１４，５１６に進入し、放電管５１４，５１６を通過して出力鏡５３２又は全反射鏡５２８で反射されて放電管５１４，５１６を通過して再び二つの折り返し鏡５２６，５３０で折り返されることにより、全反射鏡５２８と出力鏡５３２との間を往復し、その間に放電管５１４，５１６において放電エネルギを逐次得て所望のエネルギ状態になると、部分透過鏡として形成された出力鏡５３２から外部へ射出される。

さらに、図７に示されている高速軸流炭酸ガスレーザ発振器５１０では、送風機５１２が設けられている主レーザガス経路５３６の両端部からそれぞれ二又に分岐した分岐レーザガス経路５３８，５４０，５４２，５４４が各放電管５１４，５１６の両端部から延びる延長管５１８，５２０，５２２，５２４に接続されて、各放電管５１４，５１６のためのレーザガス循環路５４６を形成しており、レーザガスが送風機５１２で圧縮された後にレーザガス循環路５４６を循環し放電管５１４，５１６内を折り返し鏡５２６，５３０側端部から全反射鏡５２８又は出力鏡５３２側の端部へ流れるようになっている。このようにレーザガスを循環させるのは、放電によりレーザガスが劣化するので、レーザガスを循環させながらその一部を新しいレーザガスに置換していくためである。また、レーザガス循環路５４６において、送風機５１２の上流側及び下流側には、それぞれ、熱交換器５４８，５５０が配置されている。送風機５１２の上流側に配置された熱交換器５４８は、放電管５１４，５１６における放電により熱せられたレーザガスを冷却することを意図したものである一方、送風機５１２の下流側に配置された熱交換器５５０は、送風機５１２によるレーザガスの圧縮の際に発生した圧縮熱で熱せられたレーザガスを冷却することを意図したものである。

多重折り返し型のガスレーザ発振器５１０では、レーザガス循環路５４６を循環するレーザガスを効率よく放電管５１４，５１６内へ送るために、図７に示されているように、レーザガス循環路５４６を可能な限り放電管５１４，５１６の両端部の近くに接続することが好ましい。したがって、レーザガス循環路５４６は延長管５１８，５２２において放電管５１４，５１６の折り返し鏡５２６側端部又は折り返し鏡側端部５３０と折り返し鏡５２６又は５３０との間に接続され、結果として、レーザガス循環路５４６を循環するレーザガスは、放電管５１４，５１６内へは直接送り込まれるが、延長管５１８，５２２とレーザガス循環路５４６との接続部と折り返し鏡５２６，５３０との間の領域並びに連結導光路５３４（以下、折り返し鏡領域５５２と記載する。）へは直接送り込まれなくなる。このため、折り返し鏡領域５５２は、レーザガスの流れが起こらずレーザガスの滞留が生じやすい構造になっている。

一方、レーザガスは放電管５１４，５１６内における放電により加熱され温度が上昇するので、放電管５１４，５１６に連通する折り返し鏡領域５５２内のレーザガスの温度も上昇する。ところが、温度の高いレーザガスがレーザ光の光路内に滞留すると、レーザガスの出力、レーザガスのビーム品質、レーザガスの安定性を低下させる要因となる。

この問題を解消して折り返し鏡領域内のレーザガスを流動させるために、特許文献３は、折り返し鏡領域にガス導入口又はガス排出口を設け、ガス導入口から折り返し鏡領域へレーザガスを供給する又はガス排出口から折り返し鏡領域のレーザガスを排出するように構成したガスレーザ発振器を提案している。

特開２００１−２７４４８５号公報 特開２００２−１３４８１１号公報 特公平６−６６４８７号公報

特許文献３に記載のガスレーザ発振器では、折り返し鏡領域へのレーザガスの供給又は折り返し鏡領域からのレーザガスの排出を行い、折り返し鏡領域のレーザガスを流動させることにより、折り返し鏡領域におけるレーザガスの滞留を防止している。ところが、折り返し鏡領域へレーザガスを新たに供給すれば、ガスレーザ発振器のレーザガス消費量が増加し、ガスレーザ発振器のランニングコストが上昇し得る問題がある。また、折り返し鏡領域からレーザガスを排出すると、放電管へ供給されるレーザガスの量も減少するので、ガスレーザ発振器の出力の低下を引き起こす可能性がある。

よって、本発明の目的は、多重折り返し型のガスレーザ発振器の二つの折り返し鏡の間を結ぶ折り返し鏡領域においてレーザガスの供給や排出を行わずにレーザガスの滞留を防止することにある。

上記目的に鑑み、本発明は、並列に配置された一対の放電管と、レーザガス循環路を形成するように各放電管の両端部に接続されるレーザガス経路と、前記レーザガス経路上に設けられ各放電管内を一端部から他端部へレーザガスが流れるようにレーザガス循環路内のレーザガスを循環させる送風機と、前記一対の放電管の各々の前記一端部に設けられた折り返し鏡と、二つの折り返し鏡の間に延びる連結導光路とを備え、前記一対の放電管内のレーザガスを励起することによって発生して前記一対の放電管の一方の一端部から放出されたレーザ光を前記折り返し鏡で折り返し、前記連結導光路を通して前記一対の放電管の他方の一端部へ導くように構成された多重折り返し型のガスレーザ発振器において、前記連結導光路の一端部のレーザガスの圧力と前記連結導光路の他端部のレーザガスの圧力との間に圧力差を生じさせる圧力差発生手段を設けたガスレーザ発振器を提供する。

本発明によれば、圧力差発生手段により、ガスレーザ発振器の二つの折り返し鏡の間の連結導光路の両端部のレーザガスに圧力差を生じさせるので、連結導光路の一端から他端に向かってレーザガスの流れが生じ、結果として、折り返し鏡領域のレーザガスの滞留が防止される。

上記ガスレーザ発振器において、前記圧力差発生手段は、前記一対の放電管の一方の前記一端部に設けられる流路抵抗とすることが好ましい。前記流路抵抗は、光を絞るためのアパーチャとしてもよく、レーザガスの流れを絞るためのオリフィス絞り又はチョーク絞りとしてもよく、レーザガスの流れ方向に沿って流路断面積が小さくなるように異なる流路断面積の管路を接続することによって形成される肩部としてもよい。

本発明によれば、圧力差発生手段により連結導光路の両端部に圧力差を生じさせ連結導光路内のレーザガスに流れを発生させるので、折り返し鏡領域においてレーザガスの供給又は排出を行わなくてもレーザガスの滞留を防止し、レーザガスの出力、レーザガスのビーム品質、レーザガスの安定性の低下を抑制することができる。

本発明の第１の実施形態によるガスレーザ発振器の全体構成を示す図である。 図１に示されているガスレーザ発振器における送風機からの距離と圧力との関係を示すグラフである。 図１に示されるガスレーザ発振器の変化形態の全体構成を示す図である。 本発明の第２の実施形態によるガスレーザ発振器の全体構成を示す図である。 本発明の第３の実施形態によるガスレーザ発振器の全体構成を示す図である。 本発明の他の実施形態によるガスレーザ発振器の全体構成を示す図である。 従来技術のガスレーザ発振器の全体構成を示す図である。

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。
本発明のガスレーザ発振器は、並列に配置された二つの放電管と、各放電管の一端部に設けられた折り返し鏡と、二つの折り返し鏡の間に設けられ二つの放電管を連結する連結導光路とを備え、各放電管で発生したレーザ光を折り返し鏡で折り返し、連結導光路を通して他方の放電管に導くように構成された多重折り返し型のものである。各放電管の両端部には、レーザガス循環路が接続されており、レーザガス循環路に設けられた送風機によって、レーザガスがレーザガス循環路内を循環し、放電管内をその一端部（折り返し鏡側端部）から他端部（折り返し鏡と反対側の端部）へ流れるようになっている。さらに、本発明のガスレーザ発振器では、例えば一方の放電管の一端部（折り返し鏡側の端部）にのみ流路抵抗を設けることにより、一方の放電管の折り返し鏡側端部と他方の放電管の折り返し鏡側端部との間に圧力差を生じさせ、その結果として、一方の放電管の折り返し鏡側端部と接続された連結導光路の一端部のレーザガスの圧力と他方の放電管の折り返し鏡側端部と接続された連結導光路の他端部のレーザガスの圧力との間に圧力差を生じさせるようになっている。

本発明のガスレーザ発振器では、このように、連結導光路の一端部のレーザガスの圧力と連結導光路の他端部のレーザガスの圧力との間に圧力差が生じさせるようになっているので、特に連結導光路に対してレーザガスの供給又は排出を行わなくても連結導光路内でレーザガスの流れが生じ、その結果、レーザガス循環領域（すなわち、放電管及びレーザガス循環路）から外れた領域でもレーザガスの流れが生じる。したがって、レーザガス循環領域から外れた領域でもレーザガスが滞留することが防止され、レーザガスの出力、レーザガスのビーム品質、レーザガスの安定性の低下が抑制される。

図１は、本発明の第１の実施形態によるガスレーザ発振器１０の全体構成を示している。図１に示されているガスレーザ発振器１０は、炭酸ガス、窒素及びヘリウムの混合ガスをレーザガス（媒質ガス）として放電管内で高速で循環させつつ、放電管１２，１４に高電圧を印加して放電によりレーザガスを励起させ、レーザ発振させる高速軸流炭酸ガスレーザ発振器である。

図１を参照すると、ガスレーザ発振器１０は、並列に配置された一対の放電管１２，１４を備え、各放電管１２，１４の両端部からは延長管路１６，１８，２０，２２が延びている。放電管１２の一端部には延長管路１６を介して放電管１２の軸線に対して４５°をなすように他方の放電管１４へ向けて傾斜して配置された折り返し鏡２４が設けられており、他端部には延長管路１８を介して放電管１２の軸線に対して垂直に配置された全反射鏡（リア鏡）２６が設けられている。また、放電管１４の一端部（放電管１２の折り返し鏡２４に近い端部）には延長管路２０を介して放電管１４の軸線に対して４５°をなすように他方の放電管１２へ向けて傾斜して配置された折り返し鏡２８が設けられており、他端部（放電管１２の全反射鏡２６に近い端部）には延長管路２２を介して放電管１４の軸線に対して垂直に配置された出力鏡３０が設けられている。出力鏡２０は、部分反射鏡によって構成されており、ガスレーザ発振器１０内で発生したレーザ光の一部が出力鏡を通して外部に射出されるようになっている。

二つの折り返し鏡２４，２８の間には、折り返し鏡で折り返されたレーザ光が通過するための連結導光路３２が設けられており、一方の放電管１２又は１４で発生したレーザ光が折り返し鏡２４又は２８で折り返し鏡２８又は２４へ向かって折り返され、連結導光路３２を通って折り返し鏡２８又は２４へ導かれた後、折り返し鏡２８又は２４で放電管１４又は１２へ向かって折り返されるようになっている。

このような構成により、ガスレーザ共振器１０には、放電管１２，１４、延長管路、１６，１８，２０，２２、折り返し鏡２４，２８及び連結導光路３２により全反射鏡２６と出力鏡３０とを結ぶコの字形状のレーザ光路が形成され、レーザ光は、全反射鏡２６と出力鏡３０との間を往復する間に放電管１２，１４において放電エネルギを逐次得て所望のエネルギ状態になると、その一部が出力鏡３０を通して外部に射出される。

さらに、ガスレーザ発振器１０の各放電管１２，１４の両端部（詳細には、放電管１２，１４の両端部から延びる延長管路１６，１８，２０，２２）にはレーザガス循環路３４が接続されている。レーザガス循環路３４は、一対の放電管１２，１４から等距離の位置に放電管１２，１４の軸線と平行に延びる主レーザガス経路３６とその両端部から放電管１２，１４の各端部へ向かってそれぞれ二又に分岐した分岐レーザガス経路３８，４０，４２，４４とから構成されており、概略Ｈ字形状を有している。主レーザガス経路３６の一方の端部（ガス吐出口４６）から分岐した二つの分岐レーザガス経路３８，４０はそれぞれ各放電管１２，１４の折り返し鏡２４，２８側の端部と折り返し鏡２４，２８との間で延長管路１６，２０に接続されている一方、主レーザガス経路３６の他方の端部（ガス吸入口４８）から分岐した二つの分岐レーザガス経路４２，４４は各放電管１２，１４の全反射鏡２６側又は出力鏡３０側の端部と全反射鏡２６又は出力鏡３０との間で延長管路１８，２２に接続されている。

なお、レーザガス循環路３４は、放電管１２，１４内のレーザガスを効率よく循環させるために、可能な限り放電管１２，１４の両端部の近くにおいて延長管路１６，１８，２０，２２に接続されることが好ましい。

レーザガス循環路３４の主レーザガス経路３６上には送風機５０が設けられており、レーザガス循環路３４内のレーザガスを送風機５０で圧縮してレーザガス循環路３４内で循環させて、レーザガスが各放電管１２，１４内を折り返し鏡２４，２８側の端部から全反射鏡２６側又は出力鏡３０側の端部へ流れるようにさせている。なお、ガスレーザ発振器１０では、放電によるレーザガスの劣化を防止するために、循環させているレーザガスの一部を新しいレーザガスに置換していくようにしている。また、主レーザガス経路３６において、送風機５０の上流側及び下流側には、それぞれ、熱交換器５２，５４が配置されている。送風機５０の上流側の熱交換器５２は、放電管１２，１４における放電により加熱されたレーザガスを冷却するために設けられており、送風機５０の下流側の熱交換器５４は、送風機５０によるレーザガスの圧縮の際に発生した圧縮熱で加熱されたレーザガスを冷却するために設けられている。

二つの放電管１２，１４のうちの一方（図１に示されている実施形態では、出力鏡３０が取り付けられている放電管１４）の折り返し鏡２８側端部と、延長管路２０とレーザガス循環路３４の分岐レーザガス経路４０との接続部との間には、レーザ光を絞るためのアパーチャ５６が設けられている。一方、二つの放電管１２，１４のうちの他方（図１に示されている実施形態では、全反射鏡２６が取り付けられている放電管１２）の折り返し鏡２４側端部と、延長管路１６とレーザガス循環路３４の分岐レーザガス経路３８との接続部との間には、このようなアパーチャは設けられていない。

ここで、図２を参照して、上記アパーチャ５６の作用を説明する。
レーザガス循環路３４及び放電管１２，１４内では、レーザガスが送風機５０によって圧縮されてレーザガス循環路３４の主レーザガス経路３６のガス吐出口４６から吐出されてそれぞれレーザガス循環路３４の分岐レーザガス経路３８，４０を経て各放電管１２，１４へ送られ、各放電管１２，１４内を折り返し鏡２４，２８側の端部から全反射鏡２６側又は出力鏡３０側の端部へ流れ、分岐レーザガス経路４２，４４を経て主レーザガス経路３６のガス吸入口４８へ流入するようになっている。

このように、レーザガス循環路３４及び放電管１２，１４内ではレーザガスが循環しており、アパーチャ５６では狭い領域をレーザガスが通過しようとすることから、アパーチャ５６は流路抵抗として機能し、圧力損失が生じる。一方、折り返し鏡２８側の端部の近傍にアパーチャ５６が設けられている放電管１４に連通する分岐レーザガス経路４４と、折り返し鏡２４側の端部の近傍にアパーチャが設けられていない放電管１２に連通する分岐レーザガス経路４２とは、ガス吸入口４８において合流し互いに等しい圧力となる。このため、図２に示されているように、アパーチャ５６は、放電管１４の折り返し鏡２８側の端部のレーザガスの圧力を上昇させることになり、放電管１４の折り返し鏡２８側端部のアパーチャ５６より上流側の領域におけるレーザガスの圧力が、送風機５０から当該領域と等距離に位置する放電管１２の折り返し鏡２４側端部より上流側の領域におけるレーザガスの圧力よりも高くなる。その結果、放電管１４の折り返し鏡２８側端部と連通する延長管路２０及び連結導光路３２の放電管１４側端部におけるレーザガスの圧力が放電管１２の折り返し鏡２４側端部と連通する延長管路１６及び連結導光路３２の放電管１２側端部におけるレーザガスの圧力よりも高くなって、連結導光路３２内において矢印５８のように放電管１４側端部から放電管１２側端部へ向かうレーザガスの流れが発生し、延長管路１６，２０とレーザガス循環路３８，４０との接続部と折り返し鏡２４，２８との間の領域並びに連結導光路３２（以下、折り返し鏡領域６０と記載する。）におけるレーザガスの滞留を防止することができるようになる。

このように、図１のガスレーザ発振器１０では、レーザガス循環領域から外れた折り返し鏡領域６０に対するレーザガスの供給や排出を行わなくても、折り返し鏡領域６０にレーザガスが滞留することを防止し、レーザガスの出力、レーザガスのビーム品質、レーザガスの安定性の低下を抑制することができる。

なお、上記実施形態では、アパーチャ５６が放電管１４側に設けられているとして説明されているが、図３に示されている変形形態のガスレーザ発振器１０´のように、放電管１２側にアパーチャ５６を設け、放電管１４側にはアパーチャを設けないようにしてもよいことは言うまでもない。

図４は、本発明の第２の実施形態によるガスレーザ発振器１１０の全体構成を示している。図４において、図１のガスレーザ発振器１０の各部分と共通する部分には同じ参照符号が付されている。

図４に示されている第２の実施形態のガスレーザ発振器１１０は、放電管１４の一端部と、延長管路２０とレーザガス循環路３４との接続部との間において、アパーチャ５６に代えて、レーザガスの流れを絞るためのオリフィス絞り６２又はチョーク絞り６４が設けられている点において、第１の実施形態のガスレーザ発振器１０と異なっている。

図４に示されているガスレーザ発振器１１０においても、オリフィス絞り６２又はチョーク絞り６４では、循環するレーザガスが狭い領域を通過しようとすることから、オリフィス絞り６２又はチョーク絞り６４は流体抵抗として機能し、圧力損失を生じさせて放電管１４の折り返し鏡２８側端部のレーザガスの圧力を上昇させることになる。したがって、本実施形態のガスレーザ発振器１１０も第１の実施形態のガスレーザ発振器１０と同様の効果を奏することができる。

なお、オリフィス絞り６２とは、長さが断面寸法に比べて比較的短い絞りを意味し、チョーク絞り６４とは、長さが断面寸法に比べて比較的長い絞りを意味する。なお、作用において、オリフィス絞り６２では、圧力損失に対する流体粘度の影響が少ないのに対して、チョーク絞り６４では、圧力損失に対する流体粘度の影響が大きくなるという特徴がある。

本実施形態のガスレーザ発振器１１０の他の構成、作用及び効果は、第１の実施形態のガスレーザ発振器１０と同じであるので、ここでは詳しい説明を省略する。

図５は、本発明の第３の実施形態によるガスレーザ発振器２１０の全体構成を示している。図５において、図１のガスレーザ発振器１０の各部分と共通する部分には同じ参照符号が付されている。

図５に示されている第２の実施形態のガスレーザ発振器２１０は、放電管１４の一端部と、延長管路２０とレーザガス循環路３４との接続部との間において、アパーチャ５６を設ける代わりに、光路すなわちレーザガス経路の断面積が折り返し鏡２８側から放電管１４側へ減少するようにした点において、第１の実施形態のガスレーザ発振器１０と異なっている。図５に示されている実施形態では、放電管１２，１４の折り返し鏡２４，２８側の延長管路１６，２０を断面積が等しくなるように形成すると共に、放電管１４の光路の断面積を折り返し鏡２８側の延長管路２０及び他方の放電管１２の光路の断面積よりも小さくすることにより、放電管１４の折り返し鏡２８側端部の近傍に肩部６６を形成している。しかしながら、折り返し鏡２８側の延長管路２０よりも小さい断面積の管路を延長管路２０と放電管１４との間に配置することにより、放電管１４の折り返し鏡２８側端部の近傍に肩部６６を形成してもよい。

図５に示されているガスレーザ発振器２１０においても、肩部６６では、循環するレーザガスが狭い領域を通過しようとすることから、肩部６６は流体抵抗として機能し、流体損失を生じさせて放電管１４の折り返し鏡２８側端部のレーザガスの圧力を上昇させることになる。したがって、本実施形態のガスレーザ発振器２１０も第１の実施形態のガスレーザ発振器１０と同様の効果を奏することができる。

本実施形態のガスレーザ発振器２１０の他の構成、作用及び効果は、第１の実施形態のガスレーザ発振器１０と同じであるので、ここでは詳しく説明しない。

以上、図示される実施形態を参照して、本発明のガスレーザ発振器を説明したが、本発明は図示される実施形態に限定されるものではない。例えば、図５に示されているように肩部６６を形成するのではなく、図６に示されているように、放電管１４の光路及びそれに接続される延長管路２０の断面積を放電管１２の光路及びそれに接続される延長管路１６の断面積よりも小さくしても、放電管１４の折り返し鏡２８側端部の流体抵抗が放電管１２の折り返し鏡２４側端部の流体抵抗よりも高くなるので、本実施形態と同様の効果を得ることができる。

１０ ガスレーザ発振器
１２ 放電管
１４ 放電管
２４ 折り返し鏡
２８ 折り返し鏡
３２ 連結導光路
３４ レーザガス循環路
５０ 送風機
５６ アパーチャ
６２ オリフィス絞り
６４ チョーク絞り
６６ 肩部

Claims (5)

1. 並列に配置された一対の放電管と、レーザガス循環路を形成するように各放電管の両端部に接続されるレーザガス経路と、前記レーザガス経路上に設けられ各放電管内を一端部から他端部へレーザガスが流れるようにレーザガス循環路内のレーザガスを循環させる送風機と、前記一対の放電管の各々の前記一端部に設けられた折り返し鏡と、二つの折り返し鏡の間に延びる連結導光路とを備え、前記一対の放電管内のレーザガスを励起することによって発生して前記一対の放電管の一方の一端部から放出されたレーザ光を前記折り返し鏡で折り返し、前記連結導光路を通して前記一対の放電管の他方の一端部へ導くように構成された多重折り返し型のガスレーザ発振器において、
   前記連結導光路の一端部のレーザガスの圧力と前記連結導光路の他端部のレーザガスの圧力との間に圧力差を生じさせる圧力差発生手段を設けたことを特徴とするガスレーザ発振器。
2. 前記圧力差発生手段は、前記一対の放電管の一方の前記一端部に設けられる流路抵抗である、請求項１に記載のガスレーザ発振器。
3. 前記流路抵抗は、光を絞るためのアパーチャである、請求項２に記載のガスレーザ発振器。
4. 前記流路抵抗は、レーザガスの流れを絞るためのオリフィス絞り又はチョーク絞りである、請求項２に記載のガスレーザ発振器。
5. 前記流路抵抗は、レーザガスの流れ方向に沿って流路断面積が小さくなるように異なる流路断面積の管路を接続することによって形成される肩部である、請求項２に記載のガスレーザ発振器。

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