JP2002033534A - レーザ発振器 - Google Patents
レーザ発振器Info
- Publication number
- JP2002033534A JP2002033534A JP2000213075A JP2000213075A JP2002033534A JP 2002033534 A JP2002033534 A JP 2002033534A JP 2000213075 A JP2000213075 A JP 2000213075A JP 2000213075 A JP2000213075 A JP 2000213075A JP 2002033534 A JP2002033534 A JP 2002033534A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid
- laser
- rod
- state laser
- laser rod
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 強い入熱で生じた高出力のレーザ光をエネル
ギー効率良く発振させると共にビーム品質を良くする。 【解決手段】 レーザ媒質の固体レーザロッド５と、固
体レーザロッド５を励起する励起源６と、固体レーザロ
ッド５を冷却する冷却手段８と、固体レーザロッド５よ
り生じたレーザ光の光軸上に位置するレンズ１０と、レ
ンズ１０を介してレーザ光を導入し得る導入口１２を備
え且つビーム品質の良いレーザ光のみを通す光ファイバ
ー１１と、光ファイバー１１の反レンズ側でレーザ光の
光軸上に位置する光ファイバー側共振器ミラー１４と、
固体レーザロッド５の反レンズ側でレーザ光の光軸上に
位置する固体レーザロッド側共振器ミラー１６とを備え
る。
ギー効率良く発振させると共にビーム品質を良くする。 【解決手段】 レーザ媒質の固体レーザロッド５と、固
体レーザロッド５を励起する励起源６と、固体レーザロ
ッド５を冷却する冷却手段８と、固体レーザロッド５よ
り生じたレーザ光の光軸上に位置するレンズ１０と、レ
ンズ１０を介してレーザ光を導入し得る導入口１２を備
え且つビーム品質の良いレーザ光のみを通す光ファイバ
ー１１と、光ファイバー１１の反レンズ側でレーザ光の
光軸上に位置する光ファイバー側共振器ミラー１４と、
固体レーザロッド５の反レンズ側でレーザ光の光軸上に
位置する固体レーザロッド側共振器ミラー１６とを備え
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を発振す
るレーザ発振器に関するものである。
るレーザ発振器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のレーザ発振器は、図４に示す如
く、レーザ媒質である固体レーザロッド１と、固体レー
ザロッド１と並列な複数の励起源の励起ランプ２とを備
え、固体レーザロッド１の軸線上の両側には、互いに対
峙する共振器ミラー３，３を備えている。
く、レーザ媒質である固体レーザロッド１と、固体レー
ザロッド１と並列な複数の励起源の励起ランプ２とを備
え、固体レーザロッド１の軸線上の両側には、互いに対
峙する共振器ミラー３，３を備えている。
【０００３】レーザ発振器によってレーザ光を発振する
際には、励起ランプ２より固体レーザロッド１に入熱を
加えて固体レーザロッド１から軸線方向へレーザ光を出
射し、二つの共振器ミラー３，３の間で、固体レーザロ
ッド１からのレーザ光の出射及び固体レーザロッド１へ
のレーザ光の入射を繰り返してレーザ光を共振させ、一
方の共振器ミラー３から外部へ特定のレーザ光を発振す
る。
際には、励起ランプ２より固体レーザロッド１に入熱を
加えて固体レーザロッド１から軸線方向へレーザ光を出
射し、二つの共振器ミラー３，３の間で、固体レーザロ
ッド１からのレーザ光の出射及び固体レーザロッド１へ
のレーザ光の入射を繰り返してレーザ光を共振させ、一
方の共振器ミラー３から外部へ特定のレーザ光を発振す
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、高出力
のレーザ光を発振し得るよう固体レーザロッド１に強い
入熱を加える際には、図４に示す如く固体レーザロッド
１においてレンズ状の性質（レンズ効果）を生じること
により、光束の腹と節の部分を作って固体レーザロッド
１にレーザ光が通らない領域４を生じ、当該領域４に蓄
積されたエネルギーを有効に利用できないという問題が
あった。又、強い入熱により固体レーザロッド１にレン
ズ状の性質を生じた際には、レーザ光の発散角が大きく
なり、ビーム品質すなわちレーザ光の集光性が低下する
という問題があった。
のレーザ光を発振し得るよう固体レーザロッド１に強い
入熱を加える際には、図４に示す如く固体レーザロッド
１においてレンズ状の性質（レンズ効果）を生じること
により、光束の腹と節の部分を作って固体レーザロッド
１にレーザ光が通らない領域４を生じ、当該領域４に蓄
積されたエネルギーを有効に利用できないという問題が
あった。又、強い入熱により固体レーザロッド１にレン
ズ状の性質を生じた際には、レーザ光の発散角が大きく
なり、ビーム品質すなわちレーザ光の集光性が低下する
という問題があった。
【０００５】本発明のレーザ発振器は上述した実情に鑑
みてなしたもので、強い入熱で生じた高出力のレーザ光
をエネルギー効率良く発振させると共にビーム品質を良
くすることを目的としている。
みてなしたもので、強い入熱で生じた高出力のレーザ光
をエネルギー効率良く発振させると共にビーム品質を良
くすることを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、レーザ媒質の固体レーザロッドと、該固体レーザロ
ッドを励起する励起源と、前記固体レーザロッドを冷却
する冷却手段と、前記固体レーザロッドより生じたレー
ザ光の光軸上に位置するレンズと、該レンズを介してレ
ーザ光を導入し得る導入口を備え且つビーム品質の良い
レーザ光のみを通す光ファイバーと、該光ファイバーの
反レンズ側でレーザ光の光軸上に位置する光ファイバー
側共振器ミラーと、前記固体レーザロッドの反レンズ側
でレーザ光の光軸上に位置する固体レーザロッド側共振
器ミラーとを備えたことを特徴とするレーザ発振器、に
係るものである。
は、レーザ媒質の固体レーザロッドと、該固体レーザロ
ッドを励起する励起源と、前記固体レーザロッドを冷却
する冷却手段と、前記固体レーザロッドより生じたレー
ザ光の光軸上に位置するレンズと、該レンズを介してレ
ーザ光を導入し得る導入口を備え且つビーム品質の良い
レーザ光のみを通す光ファイバーと、該光ファイバーの
反レンズ側でレーザ光の光軸上に位置する光ファイバー
側共振器ミラーと、前記固体レーザロッドの反レンズ側
でレーザ光の光軸上に位置する固体レーザロッド側共振
器ミラーとを備えたことを特徴とするレーザ発振器、に
係るものである。
【０００７】請求項２に記載の発明は、レーザ媒質の固
体レーザロッドと、該固体レーザロッドを励起する励起
源と、前記固体レーザロッドを冷却する冷却手段と、前
記固体レーザロッドより生じたレーザ光の光軸上に位置
するレンズと、該レンズを介してレーザ光を導入し得る
導入口とミラーコーティングされた反導入口側の端部と
を備え且つビーム品質の良いレーザ光のみを通す光ファ
イバーと、前記固体レーザロッドの反レンズ側でレーザ
光の光軸上に位置する固体レーザロッド側共振器ミラー
とを備えたことを特徴とするレーザ発振器、に係るもの
である。
体レーザロッドと、該固体レーザロッドを励起する励起
源と、前記固体レーザロッドを冷却する冷却手段と、前
記固体レーザロッドより生じたレーザ光の光軸上に位置
するレンズと、該レンズを介してレーザ光を導入し得る
導入口とミラーコーティングされた反導入口側の端部と
を備え且つビーム品質の良いレーザ光のみを通す光ファ
イバーと、前記固体レーザロッドの反レンズ側でレーザ
光の光軸上に位置する固体レーザロッド側共振器ミラー
とを備えたことを特徴とするレーザ発振器、に係るもの
である。
【０００８】請求項１又は請求項２に記載の発明におい
て、請求項３に示す如く、冷却手段が、固体レーザロッ
ドの周囲に設けられて水冷し得る流路であってもよい。
て、請求項３に示す如く、冷却手段が、固体レーザロッ
ドの周囲に設けられて水冷し得る流路であってもよい。
【０００９】請求項１に記載された発明によれば、高出
力のレーザ光を発振する際には、励起源より固体レーザ
ロッドへ強い入熱を加えて固体レーザロッドよりレーザ
光を出射し、次にレーザ光をレンズにより集光して光フ
ァイバーの導入口より入射させ、光ファイバー内で発散
角の大きいレーザ光をフィルタリングしながら通し、更
に光ファイバー側共振器ミラーと固体レーザロッド側共
振器ミラーとの間で固体レーザロッドと光ファイバーに
対しレーザ光の出射及び入射を繰り返してレーザ光を共
振させ、光ファイバー側共振器ミラーと固体レーザロッ
ド側共振器ミラーのどちらか一方から外部へ大出力のレ
ーザ光を発振する。又、同時に固体レーザロッドを冷却
手段により冷却する。
力のレーザ光を発振する際には、励起源より固体レーザ
ロッドへ強い入熱を加えて固体レーザロッドよりレーザ
光を出射し、次にレーザ光をレンズにより集光して光フ
ァイバーの導入口より入射させ、光ファイバー内で発散
角の大きいレーザ光をフィルタリングしながら通し、更
に光ファイバー側共振器ミラーと固体レーザロッド側共
振器ミラーとの間で固体レーザロッドと光ファイバーに
対しレーザ光の出射及び入射を繰り返してレーザ光を共
振させ、光ファイバー側共振器ミラーと固体レーザロッ
ド側共振器ミラーのどちらか一方から外部へ大出力のレ
ーザ光を発振する。又、同時に固体レーザロッドを冷却
手段により冷却する。
【００１０】請求項２に記載された発明によれば、高出
力のレーザ光を発振する際には、励起源より固体レーザ
ロッドへ強い入熱を加えて固体レーザロッドよりレーザ
光を出射し、次にレーザ光をレンズにより集光して光フ
ァイバーの導入口より入射させ、光ファイバー内で発散
角の大きいレーザ光をフィルタリングしながら通し、更
に光ファイバーのミラーコーティングの端部と固体レー
ザロッド側共振器ミラーとの間で固体レーザロッドと光
ファイバーに対しレーザ光の出射及び入射を繰り返して
レーザ光を共振させ、光ファイバーのミラーコーティン
グの端部と固体レーザロッド側共振器ミラーのどちらか
一方から外部へ大出力のレーザ光を発振する。又、同時
に固体レーザロッドを冷却手段により冷却する。
力のレーザ光を発振する際には、励起源より固体レーザ
ロッドへ強い入熱を加えて固体レーザロッドよりレーザ
光を出射し、次にレーザ光をレンズにより集光して光フ
ァイバーの導入口より入射させ、光ファイバー内で発散
角の大きいレーザ光をフィルタリングしながら通し、更
に光ファイバーのミラーコーティングの端部と固体レー
ザロッド側共振器ミラーとの間で固体レーザロッドと光
ファイバーに対しレーザ光の出射及び入射を繰り返して
レーザ光を共振させ、光ファイバーのミラーコーティン
グの端部と固体レーザロッド側共振器ミラーのどちらか
一方から外部へ大出力のレーザ光を発振する。又、同時
に固体レーザロッドを冷却手段により冷却する。
【００１１】このように、固体レーザロッドと光ファイ
バーを組み合わせることにより、固体レーザロッドは、
導波路型の共振器として光束の腹と節の部分を分散する
ので、レーザ光が通らない固体レーザロッドの領域を無
くすようレーザ光は一定のビーム径を保って伝搬し、固
体レーザロッドに蓄積されたエネルギーを有効に利用す
ることができる。同時に光ファイバーは、発散角の大き
いレーザ光を外部に抜けさせるので、発散角の小さいレ
ーザ光のみを伝搬し、大出力のレーザ光であってもビー
ム品質すなわちレーザ光の集光性を向上させることがで
きる。
バーを組み合わせることにより、固体レーザロッドは、
導波路型の共振器として光束の腹と節の部分を分散する
ので、レーザ光が通らない固体レーザロッドの領域を無
くすようレーザ光は一定のビーム径を保って伝搬し、固
体レーザロッドに蓄積されたエネルギーを有効に利用す
ることができる。同時に光ファイバーは、発散角の大き
いレーザ光を外部に抜けさせるので、発散角の小さいレ
ーザ光のみを伝搬し、大出力のレーザ光であってもビー
ム品質すなわちレーザ光の集光性を向上させることがで
きる。
【００１２】請求項３に記載の発明に示す如く、請求項
１又は請求項２の冷却手段が固体レーザロッドの周囲に
設けられて水冷し得る流路であると、固体レーザロッド
へ強い入熱を加えたことによる固体レーザロッドの異常
な温度上昇を抑制するので、適切に高出力のレーザ光を
発振することができる。
１又は請求項２の冷却手段が固体レーザロッドの周囲に
設けられて水冷し得る流路であると、固体レーザロッド
へ強い入熱を加えたことによる固体レーザロッドの異常
な温度上昇を抑制するので、適切に高出力のレーザ光を
発振することができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図示
例と共に説明する。
例と共に説明する。
【００１４】図１、図２は本発明のレーザ発振器を実施
する形態の第一例である。
する形態の第一例である。
【００１５】レーザ発振器は、レーザ媒質である固体レ
ーザロッド５と、固体レーザロッド５に並列な複数の励
起源の励起ランプ６とを備えており、固体レーザロッド
５と励起ランプ６の間には、固体レーザロッド５をＯリ
ング７を介して支持すると共に固体レーザロッド５の周
囲を囲む冷却手段の流路８を設け、流路８には水が流れ
るように構成されている。
ーザロッド５と、固体レーザロッド５に並列な複数の励
起源の励起ランプ６とを備えており、固体レーザロッド
５と励起ランプ６の間には、固体レーザロッド５をＯリ
ング７を介して支持すると共に固体レーザロッド５の周
囲を囲む冷却手段の流路８を設け、流路８には水が流れ
るように構成されている。
【００１６】ここで、固体レーザロッド５の周囲面は、
レーザ光が反射しないよう粗面にすることなく、レーザ
光を積極的に反射させるよう平滑面にしている。
レーザ光が反射しないよう粗面にすることなく、レーザ
光を積極的に反射させるよう平滑面にしている。
【００１７】固体レーザロッド５の端部９側方には、レ
ンズ１０を介して、コア径が小さく且つ拡散角の小さい
光ファイバー１１を備えており、光ファイバー１１は、
固体レーザロッド５より生じたレーザ光の光軸上に導入
口１２を配置して、ビーム品質の良いレーザ光のみを通
すようになっている。
ンズ１０を介して、コア径が小さく且つ拡散角の小さい
光ファイバー１１を備えており、光ファイバー１１は、
固体レーザロッド５より生じたレーザ光の光軸上に導入
口１２を配置して、ビーム品質の良いレーザ光のみを通
すようになっている。
【００１８】ここで、固体レーザロッド５の端部と光フ
ァイバー１１の導入口１２の間に位置するレンズ１０
は、レーザ光の光束を固体レーザロッド５の外側及び光
ファイバー１１の外側に当てないようレンズ１０を調整
して配置されており、固体レーザロッド５の端部９の面
と光ファイバー１１の導入口１２の面が像転写されるよ
うな光学系が好ましい。
ァイバー１１の導入口１２の間に位置するレンズ１０
は、レーザ光の光束を固体レーザロッド５の外側及び光
ファイバー１１の外側に当てないようレンズ１０を調整
して配置されており、固体レーザロッド５の端部９の面
と光ファイバー１１の導入口１２の面が像転写されるよ
うな光学系が好ましい。
【００１９】光ファイバー１１の反レンズ側の端部１３
近傍には、レーザ光の光軸上に位置するよう光ファイバ
ー側共振器ミラー１４を備えている。
近傍には、レーザ光の光軸上に位置するよう光ファイバ
ー側共振器ミラー１４を備えている。
【００２０】又、固体レーザロッド５の反レンズ側の端
部１５近傍には、レーザ光の光軸上に位置する固体レー
ザロッド側共振器ミラー１６を備えている。
部１５近傍には、レーザ光の光軸上に位置する固体レー
ザロッド側共振器ミラー１６を備えている。
【００２１】以下、本発明を実施する形態の第一例の作
用を説明する。
用を説明する。
【００２２】高出力のレーザ光を発振する際には、励起
源より固体レーザロッド５へ強い入熱を加えて固体レー
ザロッド５よりレーザ光を出射し、次にレーザ光をレン
ズ１０により集光して光ファイバー１１の導入口１２よ
り入射させ、光ファイバー１１内で発散角の大きいレー
ザ光を外部に抜けさせるようフィルタリングしながら通
し、更に光ファイバー側共振器ミラー１４と固体レーザ
ロッド側共振器ミラー１６との間で固体レーザロッド５
と光ファイバー１１に対しレーザ光の出射及び入射を繰
り返してレーザ光を共振させ、光ファイバー側共振器ミ
ラー１４と固体レーザロッド側共振器ミラー１６のどち
らか一方から外部へ大出力のレーザ光を発振する。又、
同時に冷却手段の流路８に水を流すことにより固体レー
ザロッド５を冷却する。
源より固体レーザロッド５へ強い入熱を加えて固体レー
ザロッド５よりレーザ光を出射し、次にレーザ光をレン
ズ１０により集光して光ファイバー１１の導入口１２よ
り入射させ、光ファイバー１１内で発散角の大きいレー
ザ光を外部に抜けさせるようフィルタリングしながら通
し、更に光ファイバー側共振器ミラー１４と固体レーザ
ロッド側共振器ミラー１６との間で固体レーザロッド５
と光ファイバー１１に対しレーザ光の出射及び入射を繰
り返してレーザ光を共振させ、光ファイバー側共振器ミ
ラー１４と固体レーザロッド側共振器ミラー１６のどち
らか一方から外部へ大出力のレーザ光を発振する。又、
同時に冷却手段の流路８に水を流すことにより固体レー
ザロッド５を冷却する。
【００２３】このように、固体レーザロッド５と光ファ
イバー１１を組み合わせることにより、固体レーザロッ
ド５は、導波路型の共振器として光束の腹と節の部分を
分散するので、レーザ光が通らない固体レーザロッド５
の領域を無くすようレーザ光は一定のビーム径を保って
伝搬し、固体レーザロッド５に蓄積されたエネルギーを
有効に利用することができる。同時に光ファイバー１１
は、発散角の大きいレーザ光を外部に抜けさせるので、
発散角の小さいレーザ光のみを伝搬し、大出力のレーザ
光であってもビーム品質すなわちレーザ光の集光性を向
上させることができる。更にレーザ光を高効率で動作さ
せると共に装置の小型化を図ることができる。
イバー１１を組み合わせることにより、固体レーザロッ
ド５は、導波路型の共振器として光束の腹と節の部分を
分散するので、レーザ光が通らない固体レーザロッド５
の領域を無くすようレーザ光は一定のビーム径を保って
伝搬し、固体レーザロッド５に蓄積されたエネルギーを
有効に利用することができる。同時に光ファイバー１１
は、発散角の大きいレーザ光を外部に抜けさせるので、
発散角の小さいレーザ光のみを伝搬し、大出力のレーザ
光であってもビーム品質すなわちレーザ光の集光性を向
上させることができる。更にレーザ光を高効率で動作さ
せると共に装置の小型化を図ることができる。
【００２４】又、冷却手段を固体レーザロッド５の周囲
に設けられて水冷し得る流路８にすると、固体レーザロ
ッド５へ強い入熱を加えたことによる固体レーザロッド
５の異常な温度上昇を抑制するので、適切に高出力のレ
ーザ光を発振することができる。
に設けられて水冷し得る流路８にすると、固体レーザロ
ッド５へ強い入熱を加えたことによる固体レーザロッド
５の異常な温度上昇を抑制するので、適切に高出力のレ
ーザ光を発振することができる。
【００２５】図３は本発明のレーザ発振器を実施する形
態の第二例であって、光ファイバーと光ファイバー側共
振器ミラーの組み合わせを変えたものであり、図中、図
１、図２と同一の符号を付した部分は同一物を表わして
いる。
態の第二例であって、光ファイバーと光ファイバー側共
振器ミラーの組み合わせを変えたものであり、図中、図
１、図２と同一の符号を付した部分は同一物を表わして
いる。
【００２６】第二例は光ファイバーと光ファイバー側共
振器ミラーを除いて第一の例と略同じ構成をしており、
光ファイバー１７は固体レーザロッド５の端部９側方に
位置されて、コア径が小さく且つ拡散角が小さく形成さ
れており、導入口１８の端部を、固体レーザロッド５よ
り生じたレーザ光の光軸上に配置すると共に、反導入口
側の端部１９を、第一例の光ファイバー側共振器ミラー
１４と同じ作用を持つようミラーコーティングし、ビー
ム品質の良いレーザ光のみを通すようになっている。
振器ミラーを除いて第一の例と略同じ構成をしており、
光ファイバー１７は固体レーザロッド５の端部９側方に
位置されて、コア径が小さく且つ拡散角が小さく形成さ
れており、導入口１８の端部を、固体レーザロッド５よ
り生じたレーザ光の光軸上に配置すると共に、反導入口
側の端部１９を、第一例の光ファイバー側共振器ミラー
１４と同じ作用を持つようミラーコーティングし、ビー
ム品質の良いレーザ光のみを通すようになっている。
【００２７】以下、本発明を実施する形態の第二例の作
用を説明する。
用を説明する。
【００２８】高出力のレーザ光を発振する際には、励起
源より固体レーザロッド５へ強い入熱を加えて固体レー
ザロッド５よりレーザ光を出射し、次にレーザ光をレン
ズ１０により集光して光ファイバー１７の導入口１８よ
り入射させ、光ファイバー１７内で発散角の大きいレー
ザ光を外部に抜けさせるようフィルタリングしながら通
し、更に光ファイバー１７のミラーコーティングの端部
１９と固体レーザロッド側共振器ミラー１６との間で固
体レーザロッド５と光ファイバー１７に対しレーザ光の
出射及び入射を繰り返してレーザ光を共振させ、光ファ
イバー１７のミラーコーティングの端部１９と固体レー
ザロッド側共振器ミラー１６のどちらか一方から外部へ
大出力のレーザ光を発振する。又、同時に固体レーザロ
ッド５を冷却手段により冷却する。
源より固体レーザロッド５へ強い入熱を加えて固体レー
ザロッド５よりレーザ光を出射し、次にレーザ光をレン
ズ１０により集光して光ファイバー１７の導入口１８よ
り入射させ、光ファイバー１７内で発散角の大きいレー
ザ光を外部に抜けさせるようフィルタリングしながら通
し、更に光ファイバー１７のミラーコーティングの端部
１９と固体レーザロッド側共振器ミラー１６との間で固
体レーザロッド５と光ファイバー１７に対しレーザ光の
出射及び入射を繰り返してレーザ光を共振させ、光ファ
イバー１７のミラーコーティングの端部１９と固体レー
ザロッド側共振器ミラー１６のどちらか一方から外部へ
大出力のレーザ光を発振する。又、同時に固体レーザロ
ッド５を冷却手段により冷却する。
【００２９】このように、第二例のレーザ発振器の作用
は、第一例と同様な作用効果を得ることができる。又、
光ファイバーと光ファイバー側共振器ミラーを組み合わ
せて両者の光軸調整を不要にするので設置の手間を減ら
すことができ、更に部品点数も減らすので製造コストを
低減することができる。
は、第一例と同様な作用効果を得ることができる。又、
光ファイバーと光ファイバー側共振器ミラーを組み合わ
せて両者の光軸調整を不要にするので設置の手間を減ら
すことができ、更に部品点数も減らすので製造コストを
低減することができる。
【００３０】なお、本発明のレーザ発振器は上述した実
施の形態のみに限定されるものではなく、励起源は励起
ランプの代わりに半導体レーザを生じるレーザスタック
でもよいこと、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲
内において種々変更を加え得ることは勿論である。
施の形態のみに限定されるものではなく、励起源は励起
ランプの代わりに半導体レーザを生じるレーザスタック
でもよいこと、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲
内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００３１】
【発明の効果】本発明のレーザ発振器によれば、下記の
如き種々の優れた効果を奏し得る。
如き種々の優れた効果を奏し得る。
【００３２】Ｉ）固体レーザロッドと光ファイバーを組
み合わせることにより、固体レーザロッドは、導波路型
の共振器として光束の腹と節の部分を分散するので、レ
ーザ光が通らない固体レーザロッドの領域を無くすよう
レーザ光は一定のビーム径を保って伝搬し、固体レーザ
ロッドに蓄積されたエネルギーを有効に利用することが
できる。同時に光ファイバーは、発散角の大きいレーザ
光を外部に抜けさせるので、発散角の小さいレーザ光の
みを伝搬し、大出力のレーザ光であってもビーム品質す
なわちレーザ光の集光性を向上させることができる。
み合わせることにより、固体レーザロッドは、導波路型
の共振器として光束の腹と節の部分を分散するので、レ
ーザ光が通らない固体レーザロッドの領域を無くすよう
レーザ光は一定のビーム径を保って伝搬し、固体レーザ
ロッドに蓄積されたエネルギーを有効に利用することが
できる。同時に光ファイバーは、発散角の大きいレーザ
光を外部に抜けさせるので、発散角の小さいレーザ光の
みを伝搬し、大出力のレーザ光であってもビーム品質す
なわちレーザ光の集光性を向上させることができる。
【００３３】ＩＩ）冷却手段が固体レーザロッドの周囲
に設けられて水冷し得る流路であると、固体レーザロッ
ドへ強い入熱を加えたことによる固体レーザロッドの異
常な温度上昇を抑制するので、適切に高出力のレーザ光
を発振することができる。
に設けられて水冷し得る流路であると、固体レーザロッ
ドへ強い入熱を加えたことによる固体レーザロッドの異
常な温度上昇を抑制するので、適切に高出力のレーザ光
を発振することができる。
【図１】本発明のレーザ発振器を実施する形態の第一例
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ方向の矢視図である。
【図３】本発明のレーザ発振器を実施する形態の第二例
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図４】従来のレーザ発振器の一例を示す概念図であ
る。
る。
５ 固体レーザロッド ６ 励起ランプ（励起源） ８ 流路（冷却手段） １０ レンズ １１ 光ファイバー １２ 導入口 １４ 光ファイバー側共振器ミラー １６ 固体レーザロッド側共振器ミラー １７ 光ファイバー １８ 導入口 １９ 端部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西見 昭浩 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 上原 実 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 (72)発明者 山内 淑久 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社東京エンジニアリング センター内 Ｆターム(参考） 5F072 AK01 KK01 KK26 KK30 PP01 TT01 TT22
Claims (3)
- 【請求項１】 レーザ媒質の固体レーザロッドと、該固
体レーザロッドを励起する励起源と、前記固体レーザロ
ッドを冷却する冷却手段と、前記固体レーザロッドより
生じたレーザ光の光軸上に位置するレンズと、該レンズ
を介してレーザ光を導入し得る導入口を備え且つビーム
品質の良いレーザ光のみを通す光ファイバーと、該光フ
ァイバーの反レンズ側でレーザ光の光軸上に位置する光
ファイバー側共振器ミラーと、前記固体レーザロッドの
反レンズ側でレーザ光の光軸上に位置する固体レーザロ
ッド側共振器ミラーとを備えたことを特徴とするレーザ
発振器。 - 【請求項２】 レーザ媒質の固体レーザロッドと、該固
体レーザロッドを励起する励起源と、前記固体レーザロ
ッドを冷却する冷却手段と、前記固体レーザロッドより
生じたレーザ光の光軸上に位置するレンズと、該レンズ
を介してレーザ光を導入し得る導入口とミラーコーティ
ングされた反導入口側の端部とを備え且つビーム品質の
良いレーザ光のみを通す光ファイバーと、前記固体レー
ザロッドの反レンズ側でレーザ光の光軸上に位置する固
体レーザロッド側共振器ミラーとを備えたことを特徴と
するレーザ発振器。 - 【請求項３】 冷却手段が、固体レーザロッドの周囲に
設けられて水冷し得る流路である請求項１又は２記載の
レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000213075A JP2002033534A (ja) | 2000-07-13 | 2000-07-13 | レーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000213075A JP2002033534A (ja) | 2000-07-13 | 2000-07-13 | レーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002033534A true JP2002033534A (ja) | 2002-01-31 |
Family
ID=18708891
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000213075A Pending JP2002033534A (ja) | 2000-07-13 | 2000-07-13 | レーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002033534A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1341271A1 (en) * | 2002-03-01 | 2003-09-03 | GSI Lumonics Ltd. | Laser apparatus |
| EP1483812A1 (en) * | 2002-02-19 | 2004-12-08 | GSI Lumonics Ltd. | Methods and systems for laser processing a workpiece and methods and apparatus for controlling beam quality therein |
| CN104466656A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-03-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种单源多波长输出的红外连续激光器 |
| KR102359966B1 (ko) * | 2020-08-21 | 2022-02-09 | 주식회사 솔레오 | 광섬유 지지 모듈 및 광섬유 지지 모듈 조립체 |
-
2000
- 2000-07-13 JP JP2000213075A patent/JP2002033534A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1483812A1 (en) * | 2002-02-19 | 2004-12-08 | GSI Lumonics Ltd. | Methods and systems for laser processing a workpiece and methods and apparatus for controlling beam quality therein |
| EP1483812A4 (en) * | 2002-02-19 | 2008-06-18 | Gsi Group Ltd | METHODS AND SYSTEMS FOR LASER PROCESSING OF A WORKPIECE, AND METHODS AND APPARATUS FOR CONTROLLING THE QUALITY OF THE LASER BEAM |
| EP1341271A1 (en) * | 2002-03-01 | 2003-09-03 | GSI Lumonics Ltd. | Laser apparatus |
| CN104466656A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-03-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种单源多波长输出的红外连续激光器 |
| KR102359966B1 (ko) * | 2020-08-21 | 2022-02-09 | 주식회사 솔레오 | 광섬유 지지 모듈 및 광섬유 지지 모듈 조립체 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5661738A (en) | Solid-state laser amplifying apparatus and solid-state laser apparatus capable of oscillating high-power laser beam under stable condition | |
| JP2010114162A (ja) | レーザ利得媒質、レーザ発振器及びレーザ増幅器 | |
| JP2003502850A (ja) | 固体レーザ | |
| JP2002033534A (ja) | レーザ発振器 | |
| JP2725648B2 (ja) | 固体レーザ励起方法及び固体レーザ装置 | |
| JP2001148345A (ja) | 照明光学装置、並びに該装置を用いた露光方法及び装置 | |
| JP3655086B2 (ja) | アフォーカル結像光学系及びレーザ装置 | |
| JP2001094177A (ja) | 固体レーザ光投射装置 | |
| KR100525423B1 (ko) | Ｄｐｓｓ 레이저 | |
| JP3060986B2 (ja) | 半導体レーザ光整形光学系及び半導体レーザ励起固体レーザ装置 | |
| CN113437631A (zh) | 一种准分子激光器及线宽压窄装置和方法 | |
| JPH0983048A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JP2007173649A (ja) | ファイバレーザ装置、光学機構及び入射方法 | |
| JP2001007427A (ja) | 固体レーザ光伝搬装置 | |
| JPH05145151A (ja) | 固体レーザ | |
| US6188713B1 (en) | Solid-state laser apparatus | |
| JP4047989B2 (ja) | レーザ発振器 | |
| JP2001007421A (ja) | 固体レーザ光伝搬装置 | |
| JP2004179412A (ja) | 半導体レーザ励起固体レーザ装置並びにその製造方法 | |
| JP2005286144A (ja) | 固体レーザ装置 | |
| JP2004325550A (ja) | 光収束機構、半導体レーザ装置、光励起固体レーザ | |
| JP2007333848A (ja) | 光結合装置および固体レーザ装置およびファイバレーザ装置 | |
| JP2002076477A (ja) | ファイバーレーザ増幅器およびファイバーレーザ加工装置 | |
| KR20070074750A (ko) | 외부 공진기형 면발광 레이저 | |
| JP3383217B2 (ja) | 固体レーザ装置 |