JP2010167607A - 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及びそれらの製造方法並びに液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のノズル開口11が並設されたノズル列14を有するヘッド10と、ヘッド10を搭載したベースプレート20とを備えるヘッドユニット1の製造方法であって、ベースプレート20に設けられた位置決めピンに位置決めされる位置決めピン挿通孔42及び位置決め調整穴41を位置決めプレート40にフォトリソグラフィー法により形成し、位置決め調整穴41とノズル開口11とが所定の配置となるように位置決めプレート40をサブプレート30に取り付け、位置決めピンを位置決めピン挿通孔42に嵌合させた状態でヘッド10をベースプレート20に固定する。
【選択図】図5
Description
かかる態様では、ノズル開口は、フォトリソグラフィー法により形成された位置決めプレートの位置決め調整穴を介して、第2の基準との相対的な位置が高精度に規定される。また、第2の基準は第1の基準に位置決めされる。したがってノズル開口は、液体噴射ヘッドユニットのノズル開口側の平面視において、第1の基準から所定距離だけ離れた位置に高精度に配列される。このようにノズル開口をベースプレートの所定の位置に高精度に配列することができるので、液滴の吐出特性に優れた液体噴射ヘッドユニットが提供される。また、第2の基準を第1の基準に位置決めするだけで、液体噴射ヘッドのノズル開口がベースプレートの所定位置に高精度に配列されるため、液体噴射ヘッドの高精度な配置を容易に行うことができる。
かかる態様では、ノズル開口は、フォトリソグラフィー法により形成された位置決めプレートの位置決め調整穴を介して、第2の基準との相対的な位置が高精度に規定されている。また、第2の基準は、ベースプレートに設けられた第1の基準に位置決めされるものである。したがって、液体噴射ヘッドがベースプレートに取り付けられると、ノズル開口が、液体噴射ヘッドユニットのノズル開口側の平面視において、第1の基準から所定距離だけ離れた位置に高精度に位置するようになっている。このように本態様の液体噴射ヘッドは、そのノズル開口をベースプレートに対して高精度に配列することができる。また、第2の基準を第1の基準に位置決めするだけで、液体噴射ヘッドのノズル開口がベースプレートの所定位置に高精度に配列されるため、液体噴射ヘッドは、高精度な配置を容易に行えるものとなっている。
かかる態様では、ノズル開口は、フォトリソグラフィー法により形成された位置決めプレートの位置決め調整穴を介して、第2の基準との相対的な位置が高精度に規定されている。また、第2の基準は第1の基準に位置決めされている。したがってノズル開口は、液体噴射ヘッドユニットのノズル開口側の平面視において、第1の基準から所定距離だけ離れた位置に高精度に配列されている。このように本態様の液体噴射ヘッドユニットは、そのノズル開口がベースプレートに対して高精度に配列されるので、液滴の吐出特性に優れている。また、第2の基準を第1の基準に位置決めするだけで、液体噴射ヘッドのノズル開口がベースプレートの所定位置に高精度に配列されるため、液体噴射ヘッドユニットでは、液体噴射ヘッドのベースプレートに対する高精度な配置を容易に行うことができる。
かかる態様では、液体噴射ヘッドを簡易に且つ高精度に位置決めできる液体噴射装置が提供される。
かかる態様では、ベースプレートに対して高精度かつ容易に取り付けすることができる液体噴射ヘッドが提供される。
〈実施形態1〉
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの概略斜視図であり、図2は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドユニットの平面図であり、図3は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略斜視図であり、図4は、図2のA−A’断面図である。
実施形態1では、第1の基準と第2の基準として、位置決めピン22とこれに嵌合する位置決めピン挿通孔42とを例示したが、これに限定されず、例えば、第2の基準は第1の基準に当接しうる面であってもよい。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
Claims (9)
- 複数のノズル開口が並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドを搭載したベースプレートとを備える液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、
前記ベースプレートに設けられた第1の基準に位置決めされる第2の基準及び位置決め調整穴を位置決めプレートにフォトリソグラフィー法により形成する第1の工程と、
前記位置決め調整穴と前記ノズル開口とが所定の配置となるように前記位置決めプレートを前記液体噴射ヘッドに取り付ける第2の工程と、
前記第1の基準と前記第2の基準とを位置決めした状態で前記液体噴射ヘッドを前記ベースプレートに固定する第3の工程とを備える
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。 - 請求項1に記載する液体噴射ヘッドユニットの製造方法において、
前記第2の工程では、複数の前記位置決めプレートを複数の前記液体噴射ヘッドにそれぞれ取り付け、
前記第3の工程では、前記ベースプレートに設けられた複数の前記第1の基準に前記第2の基準をそれぞれ位置決めした状態で前記液体噴射ヘッドを前記ベースプレートに固定する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。 - 請求項1又は請求項2に記載する液体噴射ヘッドユニットの製造方法において、
前記第1の工程では、前記位置決めプレートの中央部を挟んで対向するように前記位置決めプレートの周縁部に2つの前記位置決め調整穴をフォトリソグラフィー法により形成する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドユニットの製造方法において、
前記第1の基準は、前記ベースプレートの表面に設けられた位置決めピンであり、
前記第1の工程では、前記第2の基準として前記位置決めピンの外周が内接する貫通孔を前記位置決めプレートに形成し、前記位置決め調整穴を当該貫通孔よりも狭い径で形成する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。 - 請求項1〜請求項3の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドユニットの製造方法において、
前記第1の工程では、前記第2の基準として前記第1の基準に当接する面を前記位置決めプレートに形成する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。 - 複数のノズル開口が並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッドであって、
ベースプレートに設けられた第1の基準に位置決めされる第2の基準及び位置決め調整穴がフォトリソグラフィー法により形成された位置決めプレートを備え、
前記位置決めプレートの前記位置決め調整穴と前記ノズル開口とが所定の位置に位置決めされている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項6に記載する液体噴射ヘッドを前記ベースプレート上に複数搭載したことを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
- 請求項7に記載する液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 複数のノズル開口が並設されたノズル列を有する液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記液体噴射ヘッドを搭載するベースプレートに設けられた第1の基準に位置決めされる第2の基準及び位置決め調整穴を位置決めプレートにフォトリソグラフィー法により形成する第1の工程と、
前記位置決め調整穴と前記ノズル開口とが所定の配置となるように前記位置決めプレートを前記液体噴射ヘッドに取り付ける第2の工程とを具備する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
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