JP2010165303A - 傾動装置 - Google Patents
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 104
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims abstract description 25
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 13
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 6
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 35
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 19
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 19
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Abstract
【解決手段】傾動装置1は、基台3に対して傾動台2を傾動可能に支持する傾動台支持部4と、基台3の上面3aに対して略平行となる方向に延在し、その延在方向に伸縮可能な一対の圧電素子5と、各圧電素子5の伸縮による第1の変位を自身の変形により基台3の上面3aに略直交する方向に拡大させるとともに、この拡大による第2の変位を傾動台2に伝えるV溝部66を有する変位拡大部材6とを備えている。傾動台支持部4は、支柱41と、支柱41に対して第1軸線を中心にして回転可能に支持された回動リングとを有し、傾動台2が回動リングに対して第2軸線を中心にして回転可能に支持される構成とした。
【選択図】図3
Description
つまり、駆動部104を駆動させることにより、傾斜面104aが基台101に対して略平行方向に移動し、この移動に伴い、傾斜面104aに接触している接触部材105が略鉛直方向に移動し、傾動台102が支点部103を支点として基台101に対して傾斜する構成となっている。
すなわち、圧電素子を駆動源として使用する図16に示すような傾動装置100では、駆動部104を基台101に対して略平行に配置することで傾動装置の小型化を図ることが可能であるが、一般的に圧電素子の変位量は数μm〜数十μmと微小であり、その変位に伴って変位する接触部材105の変位量も同様に微小量となるため、傾動台102の傾動角度が大きく取れないという問題があった。
また、傾動装置を上下方向に貫通して形成される開口を使用し、例えば傾動台の開口部に載せた被検査物の上方から検査光を照射して、その被検査物を透過した検査光を基台の下方より分析することができる。
本発明によれば、傾動台における第1軸線と第2軸線の2軸線周りのそれぞれの回転中心を一致させることが可能となるので、変位拡大部材の上下方向の変位に対応して傾動台を傾動させることができ、その傾動精度を向上させることができる。
本発明によれば、1つの駆動体の伸縮による変位が傾動台に作用する1つの軸線周りのみの回転(傾動)に対応するので、そのときの傾動が他方の軸線周りの傾動に影響を与えることがなく、傾動精度を向上させることができ、傾動制御が容易となる利点がある。
本発明によれば、1つの付勢部材による付勢力が傾動台に作用する1つの軸線周りの回転力に対応するため、その付勢力が他方の軸線周りの傾動に影響を与えることのない傾動装置を実現することができる。
本発明によれば、最も収縮した状態の駆動体に対して、押圧部材によってその延在方向に圧縮力を加えておくことができるので、駆動体の全伸縮範囲にわたって変位拡大部材を追従させて動かすことができる。
本発明によれば、駆動体による第1の変位に伴って、変形部が弾性ヒンジを支点として回動するようにして変形し、その変形部に一体に設けられたアーム部も回動する。このとき、伝達部が回動するアーム部の先端側に位置することから、伝達部の第2の変位が第1の変位に比べて十分に拡大したものとなり、傾動台の傾動角度を大きくすることができる。
本発明によれば、突出部材の突出量を調整することで、伝達部の位置に対応して傾動台の傾動角度を適宜設定することが可能となる。例えば駆動体の伸縮範囲における中間長さの状態で、傾動台を基台に対して平行となるように調整することで、駆動体の伸縮範囲を有効に使って傾動台を上下方向に傾動させることができる。
図1は本発明の第1の実施の形態による傾動装置を示す斜視図、図2は図1に示す傾動台を省略した傾動装置の平面図、図3は傾動装置の側面図であって、図2に示すA−A線矢視図、図4は図2に示すB−B線断面図、図5は傾動台支持部の構成を示す分解斜視図、図6は図5に示す傾動台支持部を組み立てた状態の側面図、図7は図6に示すC−C線断面図、図8は傾動台を一方向に傾斜させた状態を示す側面図、図9は図8に示すD−D線断面図、図10は傾動台を他方向に傾斜させた状態を示す側面図である。
なお、これら図1〜図10においては、以下の説明に関係のない部材は一部省略している。
また、傾動台2の下面2aには、調整ねじ22(係止部22a)に対してそれぞれ後述する第1軸線X、または第2軸線Y(図2参照)を挟んで線対称となる位置に、それぞれ傾動台凹部23が形成されている。この第1軸線X、第2軸線Yは、円形の開口部21の中心軸線に直交する向きとなっている。そして、この傾動台凹部23には、下端7bが基台3に固定された圧縮ばね7を圧縮させた状態でその一端(上端7a)が固定され、ばねの両固定端における傾動台2と基台3とが離反する方向に付勢された状態で保持されている。圧縮ばね7による付勢方向(付勢力)は、符号7Aが後述する第1軸線、符号7Bが後述する第2軸線とそれぞれ交差する向きとなっている。
図4乃至図7に示すように、傾動台支持部4は、基台3の上面3a側に固定された開口部31と同軸をなす円筒状の支柱41と、支柱41の中心軸線に直交する第1軸線X(基台3の上面3aに平行であって支柱41に設けられた所定の軸線)を中心にして支柱41に対して回動(傾動)可能な回動リング42(回動体)とを有している。
支柱41には、第1軸線X方向において支柱41の上部側面から突出する一対の第1回転軸部41a、41aが設けられている。つまり、一対の第1回転軸部41a、41aは、支柱41の中心軸線を挟んで対向する位置に配置され、第1軸線Xを中心軸線として、それぞれが丸棒ピン状をなしている。
そして、上述した第1軸線Xと第2軸線Yは、互いになす角が交差(ここでは、90度)をなし、それぞれが同一平面内に位置している。
これにより、傾動台2は、基台3に対して、互いに直交する2つの軸線(第1軸線X、第2軸線Y)のそれぞれを中心にして回動可能(傾動可能)となっている。
図2及び図3に示すように、圧電素子5は、長方形の箱状に形成された積層構造をなしており、図示しない電圧発生装置によって印加する電圧が制御される。圧電素子5は、印加する電圧が大きくなるに従い、その長さが長手方向(延在方向に相当)に伸びる構造になっており、これにより、印加する電圧を制御することで伸縮動作が可能となっている。第1傾動部10Aにおける圧電素子5Aが第1軸線Xに平行な方向に延在し、第2傾動部10Bにおける圧電素子5Bが第2軸線Yに平行な方向に延在している。そして、各圧電素子5A、5Bは、基台3の上面3aから傾動台2側に僅かに離間した位置に配置されている。
図1乃至図3に示すように、変位拡大部材6は、略箱形状をなしていて一部が基台3に固定された本体部61と、この本体部61の側面から外方に向けて伸びる棒状のアーム部62とからなり、そのアーム部62の長手方向を圧電素子5の長手方向に略平行にして配置させた状態で、本体部61の一部に圧電素子5の先端部5bを後述する押圧部材65を介して係止させた構成となっている。これら本体部61及びアーム部62は、単一の部材から一体形成され、平面視(図2)が略L字形となっている。なお、本第1の実施の形態では、変位拡大部材6の部材として、ステンレス製板材等の金属製弾性部材が採用されている。
押圧部材65は、先端65aが半球状に形成された押圧ねじであり、変形部61bに対して切込み溝63側からねじ込み、変形部61bの側面61cより突出させることで、その先端65aを圧電素子5の先端部5bに係止させて圧電素子5の伸縮力を本体部61に伝達させるためのものである。
このようにしてV溝部66と係止部22aとが係合することで、傾動台2の第1軸線X方向、及び第2軸線Y方向への移動が規制され、傾動台2がずれることなく支持され、高精度な傾動装置1を実現することができる構成となっている。
図2及び図3は、圧電素子5の初期状態H0における傾動装置1の状態を示す図である。初期状態H0においては、押圧部材65が圧電素子5の先端部5bに当て付き、その押圧力による本体部61の変形によりアーム部62の長手方向が基台3の上面に対して傾いた状態になっている。また、圧電素子5には、図示しない電圧発生装置により所定の電圧が加えられている。図示しない電圧発生装置で圧電素子5に加える電圧を上げると、図8及び図9に示すように、圧電素子5が延在方向に伸張して圧電素子5の先端部5bの位置が押圧部材65側に所定の伸びだけ変位する。続いて、押圧部材65が押圧されると、薄肉で変形し易い弾性ヒンジ64を支点として本体部61の変形部61bが切込み溝63の幅寸法を小さくする方向(矢印E1方向)に回動するようにして変形する。そして、変形部61bの変形に伴って、アーム部62も弾性ヒンジ64を支点にして先端のV溝部66が上方に持ち上がる方向に回動する。このときのV溝部66における上方への変位(第2の変位)は、圧電素子5の変位(第1の変位)を拡大したものとなる。
次いで、変位拡大部材6のV溝部66の下向きの変位により、傾動台2が圧縮ばね7A、7Bの付勢により傾動台支持部4を支点にして基台3に対して傾動することになる。
また、V溝部66は、平面視で第1軸線X及び第2軸線Yのうちいずれか一方の軸線上に重なる位置であることから、1つの圧電素子5の伸縮による第1の変位が傾動台2に作用する1つの軸線周りのみの回転(傾動)に対応するので、そのときの傾動が他方の軸線周りの傾動に影響を与えることがなく、傾動精度を向上させることができ、傾動制御が容易となる利点がある。
さらに、1つの付勢部材7による付勢力が傾動台2に作用する1つの軸線周りの回転力に対応するため、その付勢力が他方の軸線周りの傾動に影響を与えることのない傾動装置を実現することができる。
また、傾動台支持部4には傾動台2と基台3とを貫通する開口が設けられるので、その開口を用いて傾動台2上の被検査物等に対する検査光を通過させた検査を行うことができる。
図11は本発明の第2の実施の形態による傾動装置の概略構成を示す斜視図、図12は図11に示す傾動台を省略した傾動装置の平面図、図13は図11に示す変位拡大部材と圧電素子の正面図、図14は図13に示すE−E線断面図、図15は変位拡大部材の変形状態を示す図である。
図11及び図12に示すように、第2の実施の形態の傾動装置1Aは、第1の実施の形態と同様に傾動台2の平面視中央には厚さ方向に貫通する円形の開口部21が設けられ、基台3にも同様に前記開口部21に同軸となる開口部31が形成され、基台3の開口部31に固定された支柱41に対して支柱41の中心軸線に直交するX軸線(第1軸線X)を中心にして回転する回動リング42が設けられ、さらに傾動台2が回動リング42に対してX軸線に直交するY軸線(第2軸線Y)周りに回転するように傾動台支持部4が構成されている。そして、傾動台2と基台3との間で傾動台支持部4の周囲には、変位拡大部材9(9A、9B)、圧電素子5(5A、5B)、および圧縮ばね7(7A、7B)が配置されている。
なお、第1傾動部10Aの第1圧電素子5Aは第1軸線X方向に平行に配置され、第2傾動部10Bの第2圧電素子5Bは第2軸線Y方向に平行に配置されている。
図12に示すように、V溝部93の溝方向は、第1傾動部10Aにおける第1変位拡大部材9Aでは第2軸線Y方向に平行であり、第2傾動部10Bにおける第2変位拡大部材9Bでは第1軸線X方向に平行となっている。
なお、図15に示すに二点鎖線は、傾動台2に被検査物を配置して検査する際に先立って、圧電素子5に所定の電圧が加えられた初期状態H0の変位拡大部材9の外形輪郭を表している。
図15に示すように、圧電素子5に電圧が加えられて伸張すると、両剛体側部91a、91bが離間する方向に移動する。このときの圧電素子5の伸張量をNとすると、両剛体側部91a、91bの移動量はそれぞれN/2となる。これにより、変位拡大部材9は、各弾性ヒンジ9a〜9hが撓むことで変形する。そして、変位拡大部材9の変形による拡大量は、圧電素子5の伸縮方向に対する剛体斜部91e〜91hの傾斜角度が小さいほど大きくなる。
そして、図11に示すように、剛体上部91cの移動に伴って、V溝部93に係止する係止部22aを介して傾動台2を傾動させることができ、第1傾動部10Aにおいては傾動台2を第1軸線X周りに回動させて傾動させ、また第2傾動部10Bにおいては傾動台2を第2軸線Y周りに回動させて傾動させる。
例えば、本実施の形態では駆動体として積層型の圧電素子5を採用しているが、これに限定されることはなく、例えば磁歪素子等の他の固体状の変形素子を用いてもよい。
また、本実施の形態においては、圧縮ばね7の付勢力の方向を基台3の上面3aに対して略直交する方向としているが、これに限るものではなく、例えば圧縮ばね7の付勢力の方向が第1軸線X、或いは第2軸線Yに向かう方向であれば同様の効果を得ることができる。
2 傾動台
2a 下面
3 基台
4 傾動台支持部
5、 5A、5B 圧電素子(駆動体)
5b 先端部
6、 6A、6B 変位拡大部材
7、7A、7B 圧縮ばね(付勢部材)
9、9A、9B 変位拡大部材
10A 第1傾動部
10B 第2傾動部
21 開口部
22 調整ねじ(突出部材)
22a 係止部
31 開口部
41 支柱
42 回動リング(回転体)
61 本体部
61b 変形部
62 アーム部
63 切込み溝
64 弾性ヒンジ
65 押圧部材
66 V溝部(伝達部)
H0 初期状態
X 第1軸線
Y 第2軸線
Claims (7)
- 基台の上方に所定間隔をもって配置された傾動台を備えた傾動装置であって、
前記基台に対して前記傾動台を傾動可能に支持する傾動台支持部と、
前記傾動台と前記基台との間で、前記基台の上面に対して略平行となる方向に延在するとともに、その延在方向に伸縮可能な一対の駆動体と、
該一対の駆動体のそれぞれに対応して設けられ、各駆動体の伸縮による第1の変位を、自身の変形により前記基台の上面に略直交する方向に拡大させるとともに、この拡大による第2の変位を前記傾動台に伝える伝達部を有する変位拡大部材と、
を備え、
前記傾動台及び前記基台には、それぞれに同軸に貫通する開口部が形成されてなり、
前記傾動台支持部は、前記基台の開口部に同軸に設けられた筒状の支柱と、前記基台の上面に平行であって前記支柱の中心軸線に直交する第1軸線を中心にして、前記支柱に対して回転可能に支持された回転体とを有し、
前記傾動台は、前記回転体の中心軸線に直交する第2軸線を中心にして、前記回転体に対して回転可能に支持され、
前記第1軸線と前記第2軸線とがなす角が交差することを特徴とする傾動装置。 - 前記第1軸線と前記第2軸線とは同一平面内にあることを特徴とする請求項1に記載の傾動装置。
- 前記伝達部は、前記傾動装置の平面視で前記第1軸線及び前記第2軸線のうちいずれか一方の軸線上に重なる位置に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の傾動装置。
- 一端が前記基台に固定され、他端が前記傾動台に固定された付勢部材が設けられ、
該付勢部材による付勢力の方向は、前記第1軸線または前記第2軸線と交わる向きであって、前記基台と前記傾動台を近接または離間する方向に付勢することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の傾動装置。 - 前記変位拡大部材には、前記駆動体をその伸縮方向に押圧する押圧部材を設けたことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の傾動装置。
- 前記変位拡大部材は、弾性ヒンジと、前記駆動体の変位を受けたときに前記弾性ヒンジを支点として変形する変形部と、該変形部に一体に設けられるとともに前記変形部から離れる方向の先端側に前記伝達部を有するアーム部とを備えていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の傾動装置。
- 前記傾動台には、前記伝達部が対応する位置において、前記傾動台の下面からの突出量を調整可能な突出部材を設けたことを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の傾動装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009009073A JP5203233B2 (ja) | 2009-01-19 | 2009-01-19 | 傾動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009009073A JP5203233B2 (ja) | 2009-01-19 | 2009-01-19 | 傾動装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010165303A true JP2010165303A (ja) | 2010-07-29 |
JP5203233B2 JP5203233B2 (ja) | 2013-06-05 |
Family
ID=42581386
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009009073A Active JP5203233B2 (ja) | 2009-01-19 | 2009-01-19 | 傾動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5203233B2 (ja) |
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JP5203233B2 (ja) | 2013-06-05 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130129 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5203233 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160222 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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