JP2010164495A - 3軸力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】ひずみ受感素子の軸線交点と荷重作用部の位置とに多少のずれがあっても、各軸にて適切な出力を検出することができる3軸力センサを提供する。
【解決手段】起歪板部の一面上の中心に突起状の荷重作用部を設け、起歪板部の他面上に複数のひずみ受感素子を配し、X軸方向,Y軸方向およびZ軸方向の力を検出する3軸力センサにおいて、起歪板部の中心に対してX軸方向の一方側と他方側とにX軸ひずみ受感素子を配し、起歪板部の中心に対してY軸方向の一方側と他方側とにY軸ひずみ受感素子を配し、X軸ひずみ受感素子およびY軸ひずみ受感素子の外周側または内周側にZ軸ひずみ受感素子を配し、X軸ひずみ受感素子を用いてX軸方向の力を求めるX軸ブリッジ回路と、Y軸ひずみ受感素子を用いてY軸方向の力を求めるY軸ブリッジ回路と、X軸ブリッジ回路とY軸ブリッジ回路とZ軸ひずみ受感素子とを用いてZ軸方向の力を求めるZ軸ブリッジ回路とを備る。
【選択図】図3
【解決手段】起歪板部の一面上の中心に突起状の荷重作用部を設け、起歪板部の他面上に複数のひずみ受感素子を配し、X軸方向,Y軸方向およびZ軸方向の力を検出する3軸力センサにおいて、起歪板部の中心に対してX軸方向の一方側と他方側とにX軸ひずみ受感素子を配し、起歪板部の中心に対してY軸方向の一方側と他方側とにY軸ひずみ受感素子を配し、X軸ひずみ受感素子およびY軸ひずみ受感素子の外周側または内周側にZ軸ひずみ受感素子を配し、X軸ひずみ受感素子を用いてX軸方向の力を求めるX軸ブリッジ回路と、Y軸ひずみ受感素子を用いてY軸方向の力を求めるY軸ブリッジ回路と、X軸ブリッジ回路とY軸ブリッジ回路とZ軸ひずみ受感素子とを用いてZ軸方向の力を求めるZ軸ブリッジ回路とを備る。
【選択図】図3
Description
本発明は、起歪板部の一面上の中心に設けた突起状の荷重作用部に作用するX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向の力を検出する際に用いて好適な3軸力センサに関する。
従来、起歪板部の一面上の中心に突起状の荷重作用部を設けるとともに、起歪板部の他面上に複数のひずみ受感素子を配し、荷重作用部に作用するX軸方向、Y軸方向およびZ軸方向の力を検出するための検出部およびこの検出部のひずみ受感素子に接続して信号処理を行う信号処理部により構成した3軸力センサが知られている(特許文献1、特許文献2、特許文献3参照)。
特許文献1に開示される3軸力センサでは、X軸方向の力を検出する2つのひずみ受感素子と、Y軸方向の力を検出する2つのひずみ受感素子と、Z軸方向の力を検出する4つのひずみ受感素子とを備え、これらのひずみ受感素子および固定抵抗によってホイートストンブリッジを組み、これによって各ひずみ受感素子が受けた力を検出するよう構成されている。
また、特許文献2に開示される多軸センサでは、ひずみ受感素子を、X軸方向に4個、Y軸方向に4個配置し、これら8個のひずみ受感素子および固定抵抗によってホイートストンブリッジを組み、これによって各ひずみ受感素子が受けた力を検出するよう構成されている。さらに、特許文献2は、ひずみ受感素子を、X軸方向に4個、Y軸方向に4個、さらにX軸とY軸との間に4個配置し、これら12個のひずみ受感素子および固定抵抗によってホイートストンブリッジを組んでX軸、Y軸方向およびZ軸方向の力を検出する構成も開示している。
また、特許文献3に開示される3軸力センサ及び3軸力検出方法では、X軸方向に2つのひずみ受感素子とY軸方向に2つのひずみ受感素子を起歪板部の中心に対して配して検出部を構成するとともに、信号処理部に、X軸方向両側に配したひずみ受感素子によりX軸方向の力を求めるX軸ブリッジ回路と、Y軸方向両側に配したひずみ受感素子によりY軸方向の力を求めるY軸ブリッジ回路と、X軸ブリッジ回路とY軸ブリッジ回路を含むブリッジ回路によりZ軸方向の力を求めるZ軸ブリッジ回路とを設けた3軸力センサが開示している。
ところで、3軸力センサにおいては、互いに直交するX軸、Y軸およびZ軸のそれぞれに掛かる力を正しく検出できることが望ましい。たとえば、X軸方向にのみ力が掛かった場合には、その結果としてX軸方向の検出値のみが得られるのが理想である。しかしながら、他軸の出力を完全に0にするのは困難であるため、実用に適するよう他軸の出力を10%以下の値に抑えることが望まれる。
また、3軸力センサでは、上記ひずみ受感素子を配した面(X−Y軸平面)において、X軸検出用ひずみ受感素子の軸線とY軸検出用ひずみ受感素子の軸線との交点と、上記荷重作用部の位置とを一致させて配置することによって、荷重作用部に対して掛かる各軸方向の力を正しく検出することができる。しかしながら、上記ひずみ受感素子の軸線交点と荷重作用部の位置とを完全一致させることは製造上困難であり、わずかながらも位置ずれが生じてしまう。
このような位置ずれは、たとえばひずみ受感素子を形成したシートを起歪板部の面に貼付する際に生じるものであるが、このような位置ずれが生じると、特許文献1や特許文献2、特許文献3に開示される3軸力センサでは、わずかな位置ずれであっても力を掛けた軸とは異なる軸に干渉して出力が出てしまい、力を掛けた軸とは異なる軸の出力を実用に適するよう10%以下の値に抑えることができないものであった。
また、特許文献3に記載されている3軸力センサは、X,Y軸の出力に対して、Z軸の出力が小さいため、X,Y軸方向の力に対してZ軸出力へ影響しやすい。
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、ひずみ受感素子の軸線交点と荷重作用部の位置とに多少の位置ずれがあったとしても、各軸にて適切な出力を検出することができる3軸力センサを提供することを目的とする。
本発明は上記の目的を達成するために、起歪板部の一面上の中心に突起状の荷重作用部を設けるとともに、前記起歪板部の他面上に複数のひずみ受感素子を配し、前記荷重作用部に作用するX軸方向,Y軸方向およびZ軸方向の力を検出する3軸力センサにおいて、前記起歪板部の中心に対してX軸方向の一方側と他方側とにX軸ひずみ受感素子を配し、前記起歪板部の中心に対してY軸方向の一方側と他方側とにY軸ひずみ受感素子を配し、前記X軸ひずみ受感素子および前記Y軸ひずみ受感素子の外周側または内周側にZ軸ひずみ受感素子を配し、前記X軸ひずみ受感素子を用いてX軸方向の力を求めるX軸ブリッジ回路と、前記Y軸ひずみ受感素子を用いてY軸方向の力を求めるY軸ブリッジ回路と、前記X軸ブリッジ回路と前記Y軸ブリッジ回路と前記Z軸ひずみ受感素子とを用いてZ軸方向の力を求めるZ軸ブリッジ回路とを備えたことを特徴とする。
また本発明は請求項1に記載の発明において、前記Z軸ひずみ受感素子が、前記起歪板部の中心を軸として周方向ほぼ半分ずつに配置された2つのひずみ受感素子からなることを特徴とする。
また本発明は請求項1または2に記載の発明において、前記X軸ブリッジ回路と前記Y軸ブリッジ回路を、前記Z軸ブリッジ回路における一対の対辺部にそれぞれ接続し、前記Z軸ひずみ受感素子を、前記Z軸ブリッジ回路における別の一対の対辺部に接続することを特徴とする。
また本発明は請求項1ないし3のうちのいずれかに記載の発明において、前記X軸ブリッジ回路および前記Y軸ブリッジ回路は、ハーフブリッジ回路により構成することを特徴とする。
本発明によれば、ひずみ受感素子の軸線交点と荷重作用部の位置とに多少の位置ずれがあったとしても、各軸にて適切な出力を検出することができる3軸力センサを提供することができる。
すなわち、本発明によれば、X軸ひずみ受感素子およびY軸ひずみ受感素子のほかに、前記X軸ひずみ受感素子およびY軸ひずみ受感素子の外周側または内周側にZ軸ひずみ受感素子を配し、このZ軸ひずみ受感素子を用いたZ軸ブリッジ回路によってZ軸方向の力を求めるようにしたので、各軸に掛かる力を各軸のブリッジ回路にて検出可能であり各軸にて適切な出力を検出することができるとともに、Z軸の感度が上がり、S/N比を低減した。
また本発明によれば、Z軸ひずみ受感素子を、起歪板部の中心を軸として周方向ほぼ半分ずつに配置された2つのひずみ受感素子から構成したので、Z軸ひずみ受感素子がほぼ全周に亘り、これにより、X軸方向およびY軸方向の力を打ち消しあってZ軸方向の力のみを検出することができる。
また、本発明によれば、ハーフブリッジ回路にすることで、回路構成を簡単にすることが出来る。
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の一実施形態による3軸力センサを示す側断面図である。図2は、図1に示した3軸力センサ1の斜視図である。
この3軸力センサ1は、合成樹脂素材により一体成形した起歪基体11を有し、この起歪基体11は、起歪板部2、荷重作用部3および4つの脚部12を備える。起歪板部2は、所定の厚さを有する円形に形成し、この起歪板部2の一面2f上の中心に円柱形の荷重作用部3を突起状に形成する。したがって、荷重作用部3に外力が付加されれば、力の作用方向に対応して起歪板部2にひずみ(撓み)が生じる。また、起歪板部2の一面2fには、軟質樹脂素材あるいはゴム素材等による半球状の被覆部13を設けることにより当該一面2fの全面および荷重作用部3を覆い隠す。なお、本発明において荷重作用部3の形状は円柱形に限られるものではなく、たとえばX軸方向およびY軸方向に四辺を向けた四角柱形であってもよい。
一方、起歪板部2の他面2sには、ゲージ装着部14を設ける。この場合、他面2s上には外周部に沿ったリング囲部14sを形成する。これにより、リング囲部14sの内側がゲージ装着部14となる。また、ゲージ装着部14の一部を切欠くことにより、図2に示すリード導出部14oを形成する。さらに、起歪板部2の外周部には、周方向に等間隔に配した4つの脚部12を形成する。各脚部12は、たとえば円柱形に形成し、他面2s側に突出することにより、取付部位に対する取付機能と位置決め機能を有する。
起歪板部2の他面2s上に形成したゲージ装着部14には、ひずみゲージ9を固着(貼着)する。このひずみゲージ9は円形に形成し、ゲージ装着部14に固着する際はリング囲部14sにより位置決めされる。
図3は、図1に示したひずみゲージ9の平面図である。
ひずみゲージ9は、樹脂フィルムにプリント形成した4つのひずみ受感素子X1、X2、Y1、Y2を有するとともに、その外周に、それぞれがほぼ半周に亘るひずみ受感素子Z1、Z2を有し、さらに、各ひずみ受感素子X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2の両端から延出する配線パターン21を有する。
2つのひずみ受感素子X1、X2は、起歪板部2の中心に対してX軸方向一方側と他方側とに配され、また、2つのひずみ受感素子Y1、Y2は、起歪板部2の中心に対してY軸方向一方側と他方側とに配される。なお、ひずみ受感素子Z1、Z2は、ひずみ受感素子X1、X2、Y1、Y2の外周側に配置しているが、本発明はこれに限られるものではなく、ひずみ受感素子X1、X2、Y1、Y2の内周側に配置してもよい。
6つのひずみ受感素子X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2は、いずれも荷重作用部3の外側面3fよりも外周側であって、起歪板部2として実質的に機能する領域に配され、細かく往復を繰り返すグリッドパターンにより形成される。
各ひずみ受感素子は、図4を参照して後述するようにブリッジ回路を形成するように配線パターン21によって接続され、中心部には6つの接合端(はんだタブ)A、B、C、D、E、Fが設けられている。ひずみゲージ9は、この6つの接合端A、B、C、D、E、Fを露出させるようにして、ひずみ受感素子X1、X2、Y1、Y2、Z1、Z2、さらには配線パターン21を保護する絶縁フィルムを貼着して完成される。
フレキシブルプリント基板を用いたリード形成シート10は、絶縁フィルムを貼着されたひずみゲージ9の上に重ねられ、6つの接合端A、B、C、D、E、Fのそれぞれにハンダ付部Cmによりハンダ接合される。リード形成シート10は、ひずみゲージ9とほぼ同径である円形部(図示せず)とこの円形部から放射方向へ直線状に延設した延設部10wにより形成される。延設部10wは、各接合端A、B、C、D、E、Fに電気的に接続されリード導出部14oから外部に導出する6本のリード線を含む。
図4は、図1に示したひずみゲージ9の回路図である。
接合端DとFとの間にはリード導出部14oから外部に導出された個所にて固定抵抗素子R1およびR2が接続され、ひずみ受感素子X1、X2はこの固定抵抗素子R1、R2とともにブリッジ回路4を形成する。固定抵抗素子R1とR2との間の端子を端子Gと呼ぶ。
また、接合端AとCとの間にはリード導出部14oから外部に導出された個所にて固定抵抗素子R3およびR4が接続され、ひずみ受感素子Y1、Y2はこの固定抵抗素子R3、R4とともにブリッジ回路5を形成する。固定抵抗素子R3とR4との間の端子を端子Hと呼ぶ。
さらに、ひずみ受感素子Z1、Z2はブリッジ回路4、ブリッジ回路5とともにブリッジ回路6を形成する。
本実施の形態の3軸力センサ1では、荷重作用部3に力が掛かっていないときに各ブリッジ回路4、5、6においてバランスがとれた状態になるよう各抵抗値を設定しておく。この状態では、たとえば接合端CとFとの間に所定の入力電圧を印加したときに、接合端AとDとの間の電位差は0であり(ブリッジ回路6)、接合端Bと端子Hとの間の電位差は0であり(ブリッジ回路5)、接合端Eと端子Gとの間の電位差は0である(ブリッジ回路4)。
荷重作用部3にX軸方向の力が掛かると、ひずみ受感素子X1、X2の抵抗値が変化してブリッジ回路4のバランスが崩れ、接合端Eと端子Gとの間に電位差が生じる。荷重作用部3にY軸方向の力が掛かると、ひずみ受感素子Y1、Y2の抵抗値が変化してブリッジ回路5のバランスが崩れ、接合端Bと端子Hとの間に電位差が生じる。荷重作用部3にZ軸方向の力が掛かると、ひずみ受感素子Z1、Z2の抵抗値が変化してブリッジ回路6のバランスが崩れ、接合端AとDとの間に電位差が生じる。3軸力センサ1では、この各端子間の電位差に基づいて各軸方向に掛かった力を検出する。
ところで、上述のように、3軸力センサ1では、起歪板部2の他面2s上に形成したゲージ装着部14にひずみゲージ9を貼着するわけだが、このとき、ひずみ受感素子の軸線交点と荷重作用部3の位置とを完全一致させることは困難であり、わずかながら、たとえば0.1mm程度の位置ずれが生じてしまう。従来は、この程度の位置ずれであっても他軸の出力に対する干渉を生じていた。この点について、以下に図面を参照して説明する。
図5は、従来のひずみゲージの平面図である。
従来のひずみゲージ109は、樹脂フィルムにプリント形成した、X軸用のひずみ受感素子X101、X102、Y軸用のひずみ受感素子Y101、Y102、X軸およびY軸と45度ずらしてZ軸用のひずみ受感素子Z101、Z102、Z103、Z104を有する。ここで、102は起歪板部であり、102aは起歪板部の中心(荷重作用部の位置)である。一方、109aはひずみゲージ109の中心(ひずみ受感素子の軸線交点)である。この中心部分の拡大図を図6に示す。
この例では、図6に示すように、ひずみゲージ中心109aが、起歪板部中心102aに対して、Z軸用ひずみ受感素子の軸線方向に0.1mm、その垂直方向に0.1mmずれた場合を示している。
この従来例によって、出力結果を測定した実験結果を以下に示す。図7は、従来例において、ひずみゲージ中心109aと起歪板部中心102aとの位置ずれがない場合の実験結果を示す表図であり、図8は、従来例において、図6に示す位置ずれが生じた場合の実験結果を示す表図である。
図7および図8は、力の方向を「X+」、「X−」、「Y+」、「Y−」、「Z」の5通りとした場合の、各軸での検出値を示すものである。ここで、「X+」とはX軸上の一方向に力を掛けた場合であり、「X−」とはX軸上の他方向に力を掛けた場合であり、「Y+」とはY軸上の一方向に力を掛けた場合であり、「Y−」とはY軸上の他方向に力を掛けた場合であり、「Z」とは荷重作用部を押す方向に力を掛けた場合である。また、検出値としては、力を掛けた軸方向で検出される値を100%としたときの、他の軸方向で検出された値の割合を示している。
位置ずれがない場合である図7の実験例では、たとえば「X+」方向に力を掛けたときに、Y軸検出値が0.8%であり、Z軸検出値が1.5%であった。10%以下程度であれば、実用に適しているため、従来例であっても、位置ずれがなければ問題がなかった。
しかしながら、位置ずれがある場合の図8の実験例を参照すると、たとえば「X+」方向に力を掛けたときに、Y軸検出値は1.3%であるが、Z軸検出値は23.7%であった。これでは、実用上、問題があった。
これに対して、図3に示した本実施の形態のひずみゲージ9によれば、位置ずれが生じても、力を掛けた軸以外での検出値を抑えることができる。この点について以下に説明する。
図9は、本実施の形態の3軸力センサ1に対して力が作用した状態を誇張して示す模式側断面図である。
図9において、Α、Β、Γ、Δのそれぞれは、ひずみ受感素子であり、ΑおよびΔはZ軸用のひずみ受感素子であり、ΒおよびΓはX軸用のひずみ受感素子またはY軸用のひずみ受感素子である。
図9の矢印に示す方向に荷重作用部3に力が作用すると、起歪板部2上のひずみ受感素子Αには引張力T1が掛かり、ひずみ受感素子Βには圧縮力C1が掛かり、ひずみ受感素子Γには引張力T2が掛かり、ひずみ受感素子Δには圧縮力C2が掛かる。この各力の方向および大きさを図10に示す。
図10は、図9に示したひずみ受感素子Α、Β、Γ、Δに掛かる力の方向および大きさを示す図であり、(a)は位置ずれがない場合を示す図であり、(b)は位置ずれがある場合を示す図である。
本実施の形態によれば、図10(a)および(b)に示すように、位置ずれがあったとしても力の相殺が行われて誤差が小さくなる。すなわち、ひずみ受感素子Βに掛かる力C1が位置ずれにより増加したとしても、その分、ひずみ受感素子Γに掛かる力T2が位置ずれにより減少する。これにより、本実施の形態の3軸力センサ1では、たとえ位置ずれがあったとしても、X軸やY軸に掛かった力をZ軸検出値として誤って出力してしまうことを防ぐことができる。
図11は、本実施の形態の3軸力センサ1において、図6に示す位置ずれが生じた場合の実験結果を示す表図である。図11の読み方は、図7および図8と同様であるのでその説明は省略する。
この図11を参照すると、本実施の形態の3軸力センサ1によれば、「X+」方向、「X−」方向、「Y+」方向および「Y−」方向のいずれの方向に力を掛けたときであってもZ軸検出値は10%以下程度であり、本実施の形態の3軸力センサ1が実用に適していることが分かる。
本発明は、ロボットハンドの指先等に装着する場合をはじめ、各種機械やゲーム機のジョイスティックなど、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向に作用する力(外力)を同時に検出する用途である以上、各種用途において利用することができる。
1 3軸力センサ
2 起歪板部
3 荷重作用部
9 ひずみゲージ
2 起歪板部
3 荷重作用部
9 ひずみゲージ
Claims (4)
- 起歪板部の一面上の中心に突起状の荷重作用部を設けるとともに、前記起歪板部の他面上に複数のひずみ受感素子を配し、前記荷重作用部に作用するX軸方向,Y軸方向およびZ軸方向の力を検出する3軸力センサにおいて、
前記起歪板部の中心に対してX軸方向の一方側と他方側とにX軸ひずみ受感素子を配し、前記起歪板部の中心に対して前記Y軸方向の一方側と他方側とにY軸ひずみ受感素子を配し、前記X軸ひずみ受感素子およびY軸ひずみ受感素子の外周側または内周側にZ軸ひずみ受感素子を配し、
前記X軸ひずみ受感素子を用いてX軸方向の力を求めるX軸ブリッジ回路と、前記Y軸ひずみ受感素子を用いてY軸方向の力を求めるY軸ブリッジ回路と、前記X軸ブリッジ回路と前記Y軸ブリッジ回路と前記Z軸ひずみ受感素子とを用いてZ軸方向の力を求めるZ軸ブリッジ回路と
を備えたことを特徴とする3軸力センサ。 - 前記Z軸ひずみ受感素子が、前記起歪板部の中心を軸として周方向ほぼ半分ずつに配置された2つのひずみ受感素子からなることを特徴とする請求項1に記載の3軸力センサ。
- 前記X軸ブリッジ回路と前記Y軸ブリッジ回路を、前記Z軸ブリッジ回路における一対の対辺部にそれぞれ接続し、前記Z軸ひずみ受感素子を、前記Z軸ブリッジ回路における別の一対の対辺部に接続することを特徴とする請求項1または2に記載の3軸力センサ。
- 前記X軸ブリッジ回路および前記Y軸ブリッジ回路は、ハーフブリッジ回路により構成することを特徴とする請求項1ないし3のうちのいずれかに記載の3軸力センサ。
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