JP2010161111A - 導電率測定方法および導電率測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】コストを低減して化合物半導体結晶の導電率を測定する、導電率測定方法および導電率測定装置を提供する。
【解決手段】円柱形状の化合物半導体結晶10を準備する工程と、マイクロ波を用いて化合物半導体結晶10の導電率を測定する工程とを備えている。化合物半導体結晶10は、50mm以上200mm以下の直径を有し、50mm以上500mm以下の厚みを有することが好ましい。化合物半導体結晶10は、側面に平坦面11を有することが好ましい。
【選択図】図1
【解決手段】円柱形状の化合物半導体結晶10を準備する工程と、マイクロ波を用いて化合物半導体結晶10の導電率を測定する工程とを備えている。化合物半導体結晶10は、50mm以上200mm以下の直径を有し、50mm以上500mm以下の厚みを有することが好ましい。化合物半導体結晶10は、側面に平坦面11を有することが好ましい。
【選択図】図1
Description
本発明は、導電率測定方法および導電率測定装置に関し、特にマイクロ波を用いて非接触かつ非破壊で化合物半導体結晶の導電率を測定するための導電率測定方法および導電率測定装置に関する。
従来の化合物半導体結晶の導電率の測定には、測定対象の結晶から0.2mm〜1mm程度のウエハ状の測定用検査サンプルを採取する方法が用いられている。採取したウエハ状のサンプルを用いて、4端子法、ホール測定法、渦電流法、マイクロ波などを用いた測定法により導電率を測定している。
このような導電率の測定において、非接触かつ非破壊で測定する場合には、マイクロ波が用いられている。マイクロ波を用いた測定法および測定装置は、たとえば国際公開第2005/045450号パンフレット(特許文献1)に記載の非接触導電率測定装置、特許第3809509号公報(特許文献2)に記載のマイクロ波を用いた非破壊評価装置、特許第3799524号公報(特許文献3)に記載のマイクロ波非破壊評価装置、特開2004-177274号公報(特許文献4)に記載の非接触導電率測定システムなどが挙げられる。この特許文献1〜4では、測定用対象物は、ウエハ状であることが開示されている。
しかしながら、上記特許文献1〜4の方法および装置では、測定対象物がウエハ状であったので、化合物半導体結晶の導電率を測定するためには、円柱状の結晶よりウエハ状の測定用検査サンプルを採取する必要があった。サンプルを採取した分が結晶のロスとなるので、結晶のロスが大きくなり、コスト低減の障害となっていた。
また、上記特許文献1〜4において、所望の導電率に適合する結晶の部分を選別する際には、結晶の長手方向の間で適宜分割し、種々の位置からウエハ状のサンプルを複数枚採取する必要があった。このため、同様に結晶のロスが大きくなり、コスト低減の障害となっていた。
それゆえ本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、コストを低減して化合物半導体結晶の導電率を測定する、導電率測定方法および導電率測定装置を提供することである。
本発明者が化合物半導体結晶のコストを低減するために鋭意研究した結果、結晶の導電率を測定する従来の方法では、ウエハ状のサンプルを用いて測定することを前提として考えていたことに起因することを見い出した。
そこで、本発明の導電率測定方法は、円柱形状の化合物半導体結晶を準備する工程と、マイクロ波を用いて化合物半導体結晶の導電率を測定する工程とを備えている。
本発明の導電率測定方法によれば、長手方向に導電率が変化する結晶の長手方向の導電率を測定することができる。このため、円柱形状の化合物半導体結晶から導電率を測定するためのサンプルを採取しなくてもよい、あるいは採取するサンプル量を低減できるので、結晶のロスを低減できる。したがって、コストを低減することができる。
上記導電率測定方法において好ましくは、準備する工程では、50mm以上200mm以下の直径を有し、50mm以上500mm以下の厚みを有する化合物半導体結晶を準備する。本発明では、このような種々の円柱形状の化合物半導体結晶の導電率を測定することができる。
上記導電率測定方法において好ましくは、準備する工程では、側面に平坦な面を有する化合物半導体結晶を準備する。
この平坦な面にマイクロ波を照射することにより、この面からの反射波を精度を向上して受信できるので、導電率の測定精度を向上することができる。
上記導電率測定方法において好ましくは、平坦な面は、5mm以上の幅を有する。これにより、導電率の測定精度をより向上することができる。
上記導電率測定方法において好ましくは、準備する工程では、III−V族化合物半導体結晶、またはII−VI族化合物半導体結晶を準備する。これにより、半導体デバイスの材料として有用な結晶の導電率の測定ができる。
上記導電率測定方法において好ましくは、測定する工程では、1×10-6S/m以上1×105S/m以下の範囲の導電率を測定する。
これにより、測定精度を向上できるとともに、半導体デバイスの材料として有用な結晶の導電率の測定ができる。
上記導電率測定方法において好ましくは、測定する工程では、75GHz以上110GHz以下の周波数のマイクロ波を用いて測定する。これにより、精度を向上して導電率を測定することができる。
本発明の導電率測定装置は、導電率測定方法に用いる導電率測定装置であって、保持部と、センサと、測定部とを備えている。保持部は、化合物半導体結晶を保持する。センサは、化合物半導体結晶にマイクロ波を照射し、化合物半導体結晶からの反射波を受信する。測定部は、反射波に基づき、電圧に変換することで導電率を測定する。保持部はセンサに対して、あるいはセンサは保持部に対して、相対的に移動可能である。
本発明の導電率測定装置によれば、保持部はセンサに対して相対的に移動する、あるいはセンサは保持部に対して相対的に移動するので、結晶の長手方向にマイクロ波をスポット状にスキャンさせながら照射することができる。このため、長手方向に変化する導電率を各位置で非接触で測定することができる。したがって、円柱形状の化合物半導体結晶から導電率を測定するためのサンプルを採取しなくてもよい、あるいは採取するサンプル量を低減できる。よって、結晶のロスを低減でき、コストを低減することができる。
以上説明したように、本発明の導電率測定方法および導電率測定装置によれば、化合物半導体結晶のロスを低減できるので、コストを低減することができる。
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には、同一の参照符号を付し、その説明は繰り返さない。
図1および図2を参照して、本発明の一実施の形態における導電率測定装置100について説明する。本実施の形態における導電率測定装置100は、センサ103と、測定部110と、保持部120とを備えている。センサ103は、拡散部103aと反射部103bとを含んでいる。測定部110は、発振器101と、分配部102と、減衰器104と、調整部105と、検出器106とを含んでいる。
発振器101は、マイクロ波を発振する。分配部102は、発振器101から発振されたマイクロ波を測定波とリファレンス波とに分割する。また、分配部102は、分割した測定波が化合物半導体結晶10で反射されてなる反射波と、減衰器104および調整部105を経たリファレンス波とを合成する。さらに、分配部102は、合成波を検出器106に送る。分配部102は、たとえばマジック−Tと呼ばれる分配用のTカップを用いることができる。
センサ103は、導波路111を介して測定部110と接続されている。センサ103は、たとえばマイクロ波集束センサである。センサ103は、保持部120に保持された化合物半導体結晶10に測定波を照射する。またセンサ103は、保持部120に保持された化合物半導体結晶10から反射された反射波を受信する。
センサ103を構成する拡散部103aは、導波路111に接続され、導波路111を通ったマイクロ光を拡散する。センサ103を構成する反射部103bは、拡散された光を微小領域に集束する。反射部103bは、たとえば楕円体面の1/4である反射ミラーなどを用いることができる。
減衰器104は、分配部102で分割されたリファレンス波を減衰する。調整部105は、減衰されたリファレンス波の波長を調整する。
検出器106は、反射波を含む合成波に基づき、電圧に変換することで導電率を測定する。検出器106は、送信した測定波と受信した反射波との振幅比を測定する測定手段と、測定した振幅比から導電率を求める導電率計算手段とを含んでいてもよい。
保持部120は、円柱形状の化合物半導体結晶10を保持し、センサ103に対して相対的に移動可能である。保持部120は、たとえばx−y−zステージなどを用いることができる。
なお、本実施の形態では、保持部120がセンサ103に対して相対的に移動可能であるが、センサ103が保持部120に対して相対的に移動可能であってもよい。センサ103が保持部120に対して相対的に移動可能な状態は、たとえばセンサ103をx−y−zステージなどの上に載置することにより実現できる。
続いて、本実施の形態における導電率測定方法について説明する。本実施の形態における導電率測定方法は、上述した導電率測定装置100を用いて行なう。
まず、図3、図4(A)および(B)に示すように、円柱形状の化合物半導体結晶10を準備する(ステップS1)。化合物半導体結晶10は、50mm以上200mm以下の直径Rを有し、50mm以上500mm以下の厚みTを有することが好ましい。この形状の化合物半導体結晶10は、容易に製造することができる。
また、化合物半導体結晶10は、側面に平坦面11(本実施の形態では図4(A)における斜線が施された面)を有することが好ましい。平坦面11は、5mm以上の幅Wを有していることが好ましい。このような平坦面11は、たとえばオリエンテーションフラットなどである。この場合には、平坦面11を形成するための加工工程を省略できる。また、化合物半導体結晶10が特定方向の結晶面に沿って割れるへき開性を有している場合には、へき開することにより、平坦面11を形成してもよい。
また、化合物半導体結晶10は、III−V族化合物半導体結晶、またはII−VI族化合物半導体結晶であることが好ましい。このような結晶として、たとえばAlxInyGa(1-x-y)N(0≦x≦1、0≦y≦1、x+y≦1)、GaAs(ガリウム砒素)、ZnSe(セレン化亜鉛)などが挙げられる。この場合、半導体デバイスに用いられる有用な結晶の導電率を測定することができる。また、このような結晶は、へき開性を有しているので、平坦面11を容易に形成することができる。
次に、マイクロ波を用いて化合物半導体結晶10の導電率を測定する(ステップS2)。このステップS2では、たとえば以下の工程が行なわれる。
具体的には、まず、ステップS1で準備した化合物半導体結晶10を保持部120に保持する。その後、発振器101からマイクロ波を発振する。このマイクロ波を分配部102で、測定波とリファレンス波とに分割する。分割された測定波を、センサ103を経て、化合物半導体結晶10に照射する。化合物半導体結晶10から反射される反射波をセンサ103で受信する。化合物半導体結晶10が平坦面11を有している場合には、平坦面11に測定波を照射する。この場合、センサ103で受信する反射波の精度を向上できる。
一方、分配部102で分割されたリファレンス波は、減衰器104および調整部105を経て再度分配部102に戻る。
そして、分配部102で、化合物半導体結晶10からの反射波とリファレンス波とを合成する。合成されたマイクロ波を検出器106により、電圧に変換する。
得られた電圧Vは反射波の振幅の2乗に比例しており、かつ、反射波の振幅は反射係数Γに比例するため、出力電圧Vは反射係数Γの2乗に比例する。反射係数Γは導電率σの関数であるため、化合物半導体結晶10の導電率を求めることができる。
ステップS2では、1×10-6S/m以上1×105S/m以下の範囲の導電率を測定することが好ましい。これにより、測定精度を向上できるとともに、半導体デバイスの材料として有用な化合物半導体結晶10の導電率の測定ができる。
またステップS2では、測定する工程では、75GHz以上110GHz以下の周波数のマイクロ波を用いて測定することが好ましい。75GHz以上の場合、空間分解能を向上することができる。110GHz以下にすると、測定感度の低下を抑制できる。つまり、この範囲の周波数を用いると、所定の測定感度と空間分解能とが得られる。さらに、この範囲の周波数を用いると、化合物半導体結晶10の厚みTによらずに、測定精度を向上できる。また、この範囲の周波数を用いると、測定する導電率が周波数に依存することを防止できる。
このステップS2ではマイクロ波を用いているので、化合物半導体結晶10の測定面の垂直方向の厚みTを測定せずに導電率を測定することができる。このため、測定対象物である化合物半導体結晶10がウエハ状である必要がなく、化合物半導体結晶10の側面からの測定が可能となる。したがって、本実施の形態では、保持部120を化合物半導体結晶10の長手方向に移動しながら行なう。
化合物半導体結晶10の長手方向に移動しながら導電率の測定を行なうためには、たとえばx−y−zステージである保持部120により化合物半導体結晶10をセンサ103に対して相対的に移動する。つまり、化合物半導体結晶10の長手方向に変化する導電率をセンサ103の照射位置を移動させることにより連続的に測定することができる。このため、化合物半導体結晶10の長手方向の位置と、この位置での導電率との測定データを得ることができる。
なお、化合物半導体結晶10の長手方向に移動しながら導電率の測定を行なうために、たとえばセンサ103をx−y−zステージに載置して、センサ103を化合物半導体結晶10に対して相対的に移動してもよい。
以上より、本実施の形態によれば、化合物半導体結晶10の長手方向の任意の位置の導電率を非接触かつ非破壊で測定することができる。このため、化合物半導体結晶10の導電率をサンプルを採取することなく、あるいは従来よりも採取するサンプルの量を低減して測定することができる。
したがって、化合物半導体結晶10において所望の導電率を有する位置を特定できる。これにより、化合物半導体結晶10のロスを低減して、所望の導電率を有する部分を選別して切り出すことができる。このため、所望の導電率を有する部分を選別するために、所望の導電率の範囲外の位置で化合物半導体結晶10からサンプルを採取し、所望の導電率の位置のサンプルを採取するまで別の位置でサンプルを採取しなければいけなかった従来の測定方法と比べて、化合物半導体結晶10のロスを低減できる。よって、本実施の形態の導電率測定方法および導電率測定装置100によれば、コストを低減することができる。
本実施例では、マイクロ波を用いて化合物半導体結晶の導電率を測定する精度について調べた。
具体的には、まず、化合物半導体結晶10として、Si(シリコン)ドープGaAsを3つ準備した(ステップS1)。この化合物半導体結晶10は、図4(A)および(B)に示す形状であり、78mmの直径Rを有し、80mmの厚みTを有し、かつ長手方向に延びる幅Wが10mmの平坦面11を有していた。
次に、マイクロ波を用いて準備した化合物半導体結晶10の導電率を測定した(ステップS2)。本実施例では、3つの化合物半導体結晶10について、両端およびその間の2箇所、つまり合計4箇所について導電率を測定した。
このステップS2では、実施の形態で説明した図1および図2に示す導電率測定装置100を用いた。この導電率を測定するステップS2において、以下の条件とした。センサ103から照射したマイクロ波(測定波)の周波数は、96GHzとした。センサ103と化合物半導体結晶10の平坦面11との距離は、35±1mmとした。マイクロ波の出力(反射波とリファレンス波の合成波の出力)は、10dBmとした。
続いて、ステップS1で準備した化合物半導体結晶10から、上述のマイクロ波を用いて測定した位置と同じ位置、つまり両端およびその間の2箇所、つまり合計4箇所の位置において、ウエハ状の測定用検査サンプルをそれぞれ採取した。このサンプルは、78mmの直径を有し、0.2mm〜1mmの円形状の薄板とした。この12個のサンプルについて、ホール測定によりそれぞれ導電率を測定した。
図5の縦軸は、本発明のマイクロ波を用いた非破壊で測定した導電率(単位S/m)を示し、横軸は、破壊によるホール測定で測定した導電率(単位:S/m)を示す。図6の縦軸は、本発明のマイクロ波を用いた非破壊で測定した導電率およびホール測定で測定した導電率(単位:S/m)を示し、横軸は化合物半導体結晶の一方端から他方端に向けた距離(単位:mm)を示す。図5および図6に示すように、本発明のマイクロ波を用いて測定した導電率と、ホール測定で測定した導電率とは、それぞれの位置でほぼ同じであった。このことから、本発明の導電率測定方法によれば、円柱形状の化合物半導体をウエハ状の測定用検査サンプルを採取することなく、高い精度で導電率を測定できることがわかった。
ここで、上述した本発明のマイクロ波を用いた非破壊で導電率を測定する場合には、化合物半導体結晶からサンプルを採取しなかったため、化合物半導体結晶のロスは0gであった。一方、ホール測定の場合には、化合物半導体結晶を分割し、ウエハ状のサンプルを採取したため、それぞれの化合物半導体結晶について760gずつロスが生じた。したがって、本発明によれば、化合物半導体結晶のサンプルを採取するためのロスを低減できるので、コストを低減することができることがわかった。
以上より、本実施例によれば、マイクロ波を用いて円柱形状の化合物半導体結晶の導電率を測定することで、高い精度で、かつコストを低減できることが確認できた。
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態および実施例ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10 化合物半導体結晶、11 平坦面、100 導電率測定装置、101 発振器、102 分配部、103 センサ、103a 拡散部、103b 反射部、104 減衰器、105 調整部、106 検出器、110 測定部、111 導波路、120 保持部、T 厚み、R 直径、W 幅。
Claims (8)
- 円柱形状の化合物半導体結晶を準備する工程と、
マイクロ波を用いて前記化合物半導体結晶の導電率を測定する工程とを備えた、導電率測定方法。 - 前記準備する工程では、50mm以上200mm以下の直径を有し、50mm以上500mm以下の厚みを有する前記化合物半導体結晶を準備する、請求項1に記載の導電率測定方法。
- 前記準備する工程では、側面に平坦な面を有する前記化合物半導体結晶を準備する、請求項1または2に記載の導電率測定方法。
- 前記平坦な面は、5mm以上の幅を有する、請求項3に記載の導電率測定方法。
- 前記準備する工程では、III−V族化合物半導体結晶、またはII−VI族化合物半導体結晶を準備する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の導電率測定方法。
- 前記測定する工程では、1×10-6S/m以上1×105S/m以下の範囲の導電率を測定する、請求項1〜5のいずれか1項に記載の導電率測定方法。
- 前記測定する工程では、75GHz以上110GHz以下の周波数の前記マイクロ波を用いて測定する、請求項1〜6のいずれか1項に記載の導電率測定方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の導電率測定方法に用いる導電率測定装置であって、
前記化合物半導体結晶を保持するための保持部と、
前記化合物半導体結晶にマイクロ波を照射し、前記化合物半導体結晶からの反射波を受信するセンサと、
前記反射波に基づき、電圧に変換することで導電率を測定する測定部とを備え、
前記保持部は前記センサに対して、あるいは前記センサは前記保持部に対して、相対的に移動可能である、導電率測定装置。
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