JP2010156554A - 位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】より高精度に位置検出を行うことができる位置検出装置を提供する。
【解決手段】減算器8からの数値DCAと、乗算器16からの数値DCBは、それぞれ2次高調波生成器29,30に入力される。2次高調波生成器29,30内では、数値DCA,DCBの自乗演算により、信号DC,DSに同期した2次高調波に相当する数値DCB2,DSB2をそれぞれ出力する。乗算器33,34では、記憶器31,32が記憶する数値DC2J,DS2Jとそれぞれ乗算され、信号DC,DSに含まれる2次高調波とほぼ等しい数値DC2,DS2に振幅調整される。減算器35,36では、数値DCA,DSCからそれぞれ数値DC2,DS2が除去され、数値DCB,DSDとして出力される。数値DCBとDSDは、内挿演算器17により、回転軸1の高精密な回転量を示す位置信号IPに変換される。
【選択図】 図1
【解決手段】減算器8からの数値DCAと、乗算器16からの数値DCBは、それぞれ2次高調波生成器29,30に入力される。2次高調波生成器29,30内では、数値DCA,DCBの自乗演算により、信号DC,DSに同期した2次高調波に相当する数値DCB2,DSB2をそれぞれ出力する。乗算器33,34では、記憶器31,32が記憶する数値DC2J,DS2Jとそれぞれ乗算され、信号DC,DSに含まれる2次高調波とほぼ等しい数値DC2,DS2に振幅調整される。減算器35,36では、数値DCA,DSCからそれぞれ数値DC2,DS2が除去され、数値DCB,DSDとして出力される。数値DCBとDSDは、内挿演算器17により、回転軸1の高精密な回転量を示す位置信号IPに変換される。
【選択図】 図1
Description
本発明は、測定変位に対して正弦波状に変化する90度位相の異なる2相の信号を出力とする位置センサからの出力信号を位置情報に変換する位置検出装置に関する。
従来、工作機械の主軸等の位置を検出するセンサとして、磁気を利用した位置センサが使用されていた。この位置センサは、軟磁性体からなる略円筒体の外周部に凹凸を付けたロータを回転軸に固定し、このロータ外周部のリラクタンス変化を電気信号に変換することにより位置検出を行う。このような位置センサは、位置検出に磁気を利用するため、水や油等に対する耐環境性に優れている。また、このような位置センサは、ホブ盤等の汎用の歯車加工機等を用いればサイズの異なるロータを容易に製造できる。換言すれば、サイズごとに専用の金型や、特殊な加工機を製作する必要がないというメリットがある。
ここで、図4、図5を用いて従来の位置検出装置について説明する。図4は従来の位置検出装置を示す図である。また、図5は、図4に図示した位置検出装置で用いられる信号処理回路の内挿処理動作を示すブロック図である。
図4において回転軸1に固定されたロータ21は磁性体からなる歯車であり、外周部に波長λ=10度のピッチで1回転内に36個の歯を有している。また、ロータ21の36個ある凸部(歯部)の一つには、磁性体から成る突起22が固定されている。この突起22は、原点を示すものである。また、ロータ21の外周縁に近接する位置には、測定対象(モータ)の非回転部に固定されたプリント基板23が配置されている。このプリント基板23には、正弦波状の導体パターンから成る2種類の検出コイル、すなわち、検出コイル24および検出コイル25が形成されている。また、プリント基板23には、原点を示すロータ21上の突起22を検出する検出コイル26も形成されている。さらに、プリント基板23の裏側には、100kHzの交流電流I・SIN(200000πt)を励磁コイル28に流すことにより、交流励磁磁束をロータ21側へ発生する電磁石27が配置されている。
このような構成の位置センサでは、回転軸1が回転すると、ロータ外周部の凹凸によるリラクタンス変化により、交流磁束の大きさが変化し、検出コイル24と検出コイル25では、それぞれ回転変位θの余弦値と正弦値に振幅変調された起電圧SC,SSが発生する。これらの信号は、信号処理回路に入力される。信号処理回路に入力された起電圧SC,SSは、それぞれ増幅器3,4によって増幅され、信号AC,ASとして出力される。図4の例では励磁信号の周波数は100kHzなので、回転軸1の回転角をθ、出力信号の振幅をGとすると、信号AC,ASは次の式1,式2で表すことができる。
AC=G・COS(36θ)SIN(200000πt) ・・・ 式1
AS=G・SIN(36θ)SIN(200000πt) ・・・ 式2
AS=G・SIN(36θ)SIN(200000πt) ・・・ 式2
これらの信号AC,ASは、タイミングコントローラ5からの励磁信号に同期して出力される周期10μSのパルス信号TIMにしたがって、それぞれAD変換器6,7によりSIN(200000πt)=1となるタイミングでサンプリングかつデジタル化され、それぞれ数値DC,DSに変換される。したがって数値DC,DSはそれぞれ下記式3,式4のように表すことができる。
DC=G・COS(36θ) ・・・式3
DS=G・SIN(36θ) ・・・式4
DS=G・SIN(36θ) ・・・式4
以上から、図5に示した位置検出装置内の位置検出センサでは、測定変位の波長λ(10度)のピッチで正弦波状に変化し、かつ、互いに位相が90度異なる2相の信号を出力しているとみなすことができる。
ところで、ロータ21や検出コイル24,25の設置状態や信号増幅器等の特性バラツキに起因して、上記デジタル化された2相の信号DC,DSには、実際には、オフセット電圧COF,SOFや、2つの信号の位相差Pや振幅比Bが含まれる。そのため、前記式3,式4は厳密には次の式5,式6として表すことができる。
DC=G・COS(36θ)+COF ・・・式5
DS=B・G・SIN(36θ)+P・G・COS(36θ)+SOF ・・・式6
DS=B・G・SIN(36θ)+P・G・COS(36θ)+SOF ・・・式6
通常、2相の信号DC,DSを現信号のまま内挿処理を行うと、内挿精度が悪化してしまう。このため、図5の位置検出装置では、2相の信号DC,DSに含まれるオフセット値COF,SOFや、2つの信号の位相差や振幅比を修正する位相修正値PHJ(=P)と振幅修正値BAJ(=1/B)は、位置検出装置の製造時に予め測定され、位置検出装置に搭載した不揮発性メモリ等に記憶させられ、電源投入時の位置検出開始前にそれぞれ記憶器10,11,12,13に設定される。減算器8,9では、数値DC,DSからそれぞれ記憶器10,11が記憶するオフセット修正値COF,SOFが除去され、数値DCA,DSAとなる。また、数値DSAは減算器14で、記憶器12が記憶する位相差修正値PHJ(=P)と数値DCAを乗算した値が減算され、位相誤差成分が除去された数値DSBとなる。さらに、数値DSBは、乗算器16で記憶器13が記憶する振幅比修正値BAJ(=1/B)と乗算され、数値DCAと振幅のほぼ等しい数値DSCとなる。数値DCAとDSCは、内挿演算器17で2変数を入力とする逆正接演算が行われ、回転軸1の1/36回転内の高精密な回転量を示す位置信号IPに変換される。
なお、実際の位置検出装置では、位置信号IPの変化を基にしたカウント処理等により、少なくとも回転軸1の1回転以上の位置データが求められ、モータ制御装置等へ出力される。また、図4では、高精密位置を検出する位置センサの他に、ロータ21上の突起22が検出コイル26に近接すると、原点を示すアブソリュート位置信号を出力するアブソリュート位置センサが備えられている。このような位置検出装置では、原点を示すアブソリュート位置信号が出力されると、インクリメンタル処理用のカウント値を記憶し、記憶値を位置のオフセットとしてインクリメンタルカウント値から減算することで、それ以降は回転軸1の1回転内の回転位置をアブソリュート位置として検出することが可能である。
また、ロータ21に下記特許文献1に示されるような、アブソリュートパターンを有する円板を付加し、プリント基板23にこれらのアブソリュートパターンを読み取る複数のコイルを搭載した、アブソリュート位置センサを備える位置検出装置もあり、このような位置検出装置では、起動直後からアブソリュート位置を検出させることも可能である。
ここで、図4で示した従来の位置検出装置では、ホブ盤等の歯車加工機によって、任意のサイズのロータが容易に製造できる。しかし、ロータを歯車形状としているため、2次高調波歪による精度悪化の問題があった。すなわち、歯車形状では、歯の山の幅に対して、谷(歯溝)の幅が広い。そのため、位置の変位に対する磁束の強い領域と弱い領域の割合が不均等となり、ロータ外周部の磁束変化に含まれる2次高調波の割合が大きくなる。ただし、検出コイル24,25のような正弦波状の導体パターンを利用した位置センサでは、そのパターン形状により、2次高調波歪みの大部分をキャンセルできるため、これまでは2次高調波歪による精度悪化については、ほとんど問題とならなかった。しかし、近年、超高精度な位置検出が望まれるようになり、このキャンセルしきれずに残った2次高調波歪による精度悪化が無視できないレベルになってきた。
なお、2次高調波歪による位置検出誤差は、λあたり3サイクルおよび1サイクルでうねる内挿誤差となる。このうち、λあたり1サイクルのうねり誤差については、オフセット修正値COF,SOFの値を、2次高調波の割合だけ修正することにより、図5に示すような従来の位置検出装置でも内挿誤差を削減することが可能であった。しかし、2次高調波歪によるλあたり3サイクルの内挿誤差に対しては、従来の位置検出装置では削除することができなかった。
本発明は、上述のような事情から成されたものであり、本発明の目的は、測定変位に対して波長λのピッチで正弦波状に変化する90度位相の異なる2つの変位信号に含まれる、2次高調波を除去することによって、より高精度で位置検出を行うことができ得る位置検出装置を提供することにある。
本発明の位置検出装置は、可動部の変位に対応してλの波長で周期的に変化するとともに互いに位相が90度異なる2相の信号を位置情報に変換する位置検出装置において、前記2相の信号それぞれを自乗した値から前記2相の信号の変化に同期した2次高調波をそれぞれ生成する2次高調波生成手段と、前記2相の信号それぞれに含まれる2次高調波の量を示す値を記憶する2次高調波量記憶手段と、前記2次高調波生成手段からの出力値に前記2次高調波の量を示す値をそれぞれ乗算した値を前記2相の信号からそれぞれ減算して出力する2次高調波除去手段と、前記2次高調波除去手段からの出力信号を位置情報に変換する内挿手段と、を具備することを特徴とする。
好適な態様では、前記内挿位置に対する前記2相の信号の自乗和の平方根の値をフーリエ解析した波長1/3λの成分に基づき、前記2相の信号に含まれる2次高調波量を検出し、当該2次高調波量を前記2次高調波の量を示す値として、前記2次高調波量記憶手段に記憶させる2次高調波量設定手段を具備する。
本発明によれば、測定変位に対して波長λのピッチで正弦波状に変化する90度位相の異なる2相の信号から、それぞれの信号に対応する2次高調波信号を生成することができる。また、予め記憶する2相の信号に含まれる2次高調波の割合を示す数値により、生成した2次高調波信号を、2相の信号に含まれる2次高調波と同じ量に変換してから、それぞれ2相の信号から減算することにより、2相の信号に含まれる2次高調成分を削除できる。これによって、2次高調波歪みによって生じる内挿誤差を削除した位置検出装置を実現することができる。
その他、2相信号の自乗和の平方根の値をフーリエ解析した波長1/3λの成分に基づき、2相の信号に含まれる2次高調波歪みを高精度に検出し、2次高調波量記憶器に設定できる。このため、位置センサやロータ等を交換し、2次高調波歪の割合が変わった場合でも、高精度な位置検出を行うことが可能である。
以下、図面に基づいて本発明の実施形態を説明する。
図1は、本発明の実施形態である位置センサに用いられる信号処理回路を示すブロック図である。なお、信号処理回路以外の構成は、図4に図示した従来技術と、ほぼ同様であるため、ここでの詳説は省略する。また、この図1において、図4又は図5と同じ機能のものは同じ符号を付与し、その説明を省略する。また、図2は、図1の2次高調波生成器29の動作を示すブロック図である。
本実施形態において、減算器8からの出力信号、すなわち、信号DSからオフセットが除去された信号を示す数値DCAは、2次高調波生成器29に入力される。また、乗算器16からの出力信号、すなわち、信号DSからオフセットと位相誤差成分が除去され、振幅修正された信号を示す数値DCBは、2次高調波生成器30に入力される。図2に示すように2次高調波生成器29内では、自乗演算器37により信号DCAの自乗演算が行われ、数値DCA2が出力される。この時、数値DCA2は、式5からCOFを除去した値の自乗であることから、式7で表すことができる。
DCA2=G2/2・(COS(2・36θ)+1) ・・・式7
DCA2=G2/2・(COS(2・36θ)+1) ・・・式7
記憶器38には、予め信号DCの振幅Gの自乗の半分の値DOF(=G2/2)が記憶されている。減算器39では、数値DCA2から記憶器38が記憶する数値DOFを減算することにより、式8のように信号DCに同期した2次高調波に相当する数値DCB2を出力する。
DCB2=G2/2・(COS(2・36θ)) ・・・式8
DCB2=G2/2・(COS(2・36θ)) ・・・式8
2次高調波生成器30内でも、2次高調波生成器29と同様な処理が行われ、ほぼ信号DSに同期した2次高調波に相当する数値DSB2を出力する。
記憶器31,32は、それぞれ信号DC,DSに含まれる2次高調波量の2倍の数を振幅Gの自乗で割った数値DC2J,DS2Jが予め製造時に測定し設定されている。信号DC,DSに同期した2次高調波にそれぞれ相当する数値DCB2,DSB2は、乗算器33,34により、記憶器31,32が記憶する数値DC2J,DS2Jとそれぞれ乗算され、信号DC,DSに含まれる2次高調波とほぼ等しい数値DC2,DS2に振幅調整される。減算器35,36では、数値DCA,DSCからそれぞれ数値DC2,DS2が除去され、数値DCB,DSDとして出力される。以上のことから数値DCBは、信号DCに含まれるオフセットと2次高調波が除去された数値となる。また、数値DSDは、信号DSに含まれるオフセットと位相差と2次高調波が除去され、さらに振幅比が修正された数値となる。数値DCBとDSDは、内挿演算器17で2変数を入力とする逆正接演算が行われ、回転軸1の1/36回転内の高精密な回転量を示す位置信号IPに変換される。
以上の説明から明らかなとおり、本実施形態では、2相の信号DC,DSに含まれる2次高調波を除去した信号を用いて内挿処理を行うため、より高精度な位置検出装置を実現することができる。
次に、他の実施形態について図3を参照して説明する。図3は、図1を用いて説明した位置検出装置を、さらに改良した本発明の他の実施形態を説明する信号処理回路のブロック図である。この図3において、図1および図5と同じ機能のものは同じ符号とし、その説明を省略する。
この実施形態では、信号処理回路に、さらに、半径演算器18やFFT処理部19、移動量検出器20などが設けられる。半径演算器18は、数値DCA,DSCを、それぞれ自乗した値の和の平方根を示す数値R(R=(DCA2+DSC2)1/2)を出力する。FFT処理部19は、位置信号IPの変化から1/32λごとに信号Rをサンプリングし、ロータ21がλ分可動するたびに32ポイントの信号Rについて高速フーリエ変換を行なう。また、FFT処理部19では、3次の成分である波長λ/3の余弦成分を0次成分の自乗で除算した数値DC2JFと、波長λ/3の正弦成分を0次成分の自乗で除算した数値DS2JFを出力する。
なお、波長λ/3の余弦成分の半分の値と波長λ/3の正弦成分の半分の値は、数値DCAと数値DSCに含まれる2次高調波量とほぼ等しいことが知られている。また、0次成分はλ分可動した時の数値DCA,DSCの平均振幅で数値Gとほぼ等しい。以上から、数値DC2JFと数値DS2JFは、数値DCAと数値DSCに含まれる2次高調波良の2倍の数を振幅Gの自乗で割った数値と同じ値となる。移動量検出器20は、位置信号IPの変化からロータ21がλ分可動するたびに記憶器41,42へ記憶指令SETを出力する。記憶器41,42は、それぞれ数値DC2JF,DS2JFを記憶指令SETが入力されるごとに記憶する。記憶器41,42が記憶した数値DC2JF,DS2JFは、図1の記憶器32,33と同様に、それぞれ乗算器33,34に入力される。以上より、図1の信号処理回路と同様に数値DSDは、信号DSに含まれるオフセットと位相差と2次高調波が除去され、さらに振幅比が修正された数値となる。数値DCBとDSDは、内挿演算器17で2変数を入力とする逆正接演算が行われ、回転軸1の1/36回転内の高精密な回転量を示す位置信号IPに変換される。
以上の説明から明らかな通り、図3に図示した位置検出装置では、回転軸が回転すれば、ほぼリアルタイムに、信号DC,DSに含まれる2次高調波量を同定しながら、それぞれの2次高調波を除去している。これにより、ロータやセンサユニットが交換されても、常に2次高調波によって発生する内挿誤差を削減した位置検出装置を実現できる。
なお、図2の2次高調波生成器29の記憶器38に記憶する信号DCの振幅Gの自乗の半分の値DOFは、予め設定せずとも、図3の半径演算器18の出力値Rや、FFT処理部19で検出した0次成分を振幅Gとして設定してもよい。また、2相信号に含まれる2次高調波の量を示す値をそれぞれ記憶する記憶器41,42へ設定する値は、回転軸λの整数倍もしくは、1回転あたりの、2相信号に含まれる波長λ/3の成分も基づいて設定してもよい。
1 回転軸、2 信号処理回路、3,4 増幅器、5 タイミングコントローラ、6,7 AD変換器、8,9,14,35,36,39 減算器、10,11,12,13,31,32,38 記憶器、15,16,33,34 乗算器、17 内挿演算器、18 半径演算器、19 FFT処理部、20 移動量検出器、21 ロータ、22 原点を示す突起、24,25,26 検出コイル、27 電磁石、28 励磁コイル、29,30 2次高調波生成器。
Claims (2)
- 可動部の変位に対応してλの波長で周期的に変化するとともに互いに位相が90度異なる2相の信号を位置情報に変換する位置検出装置において、
前記2相の信号それぞれを自乗した値から前記2相の信号の変化に同期した2次高調波をそれぞれ生成する2次高調波生成手段と、
前記2相の信号それぞれに含まれる2次高調波の量を示す値を記憶する2次高調波量記憶手段と、
前記2次高調波生成手段からの出力値に前記2次高調波の量を示す値をそれぞれ乗算した値を前記2相の信号からそれぞれ減算して出力する2次高調波除去手段と、
前記2次高調波除去手段からの出力信号を位置情報に変換する内挿手段と、
を具備することを特徴とする位置検出装置。 - 前記内挿位置に対する前記2相の信号の自乗和の平方根の値をフーリエ解析した波長1/3λの成分に基づき、前記2相の信号に含まれる2次高調波量を検出し、当該2次高調波量を前記2次高調波の量を示す値として、前記2次高調波量記憶手段に記憶させる2次高調波量設定手段を具備することを特徴とする請求項1記載の位置検出装置。
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