JP2010140640A - 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成されスペクトル像において、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成される二次元の電子線位置像から算出される電子線位置を基準電子線位置と比較し、各電子線位置の相違点に基づき、歪み量を算出することにより、分析対象試料のスペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する。
【解決手段】
エネルギー損失量と位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する方法および装置を提供するものである。
【選択図】図1
Description
2 電子源
3 電子線
4 収束レンズ
5 試料
6 対物レンズ
7 結像レンズ系
8 電子分光器
9 蛍光板
10 磁場セクタ
11,12 多重極子レンズ
13 二次元検出器
14 画像表示装置
15 スペクトル像歪み補正装置
16 中央制御装置
17 視野制限スリット
18 データ記憶装置
19 絞り
20 ドリフトチューブ
21 加速電圧可変装置
22 絞り可動装置
30 電子線位置像
31 開口部
32 電子線位置
33 電子線位置測定領域
34 基準線
35 基準電子線位置
41 選択ボタン群
42 スペクトル像取り込み開始ボタン
43 スペクトル像取り込み終了ボタン
44 スペクトル像歪み計測ボタン
45 スペクトル像歪み補正ボタン
48 パラメータ設定図
49 結果表示図
50 透過型電子顕微鏡像
51 スペクトル像
61 基板
62 多層膜
Claims (8)
- 電子線を試料に放射する電子銃と、
前記電子銃から放射された電子線を収束させる収束レンズ群と、
試料を透過した該電子線を結像させる結像レンズ群と、
前記試料を透過した電子線の有するエネルギー量により該電子線を分光する電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡において、
該電子分光器は、エネルギー分散方向およびエネルギー分散方向と直交する方向とで収束位置を異ならせたスペクトル像を出力する電子分光器であって、
電子線の加速電圧を可変させる加速電圧可変装置と、
電子線の通過領域を限定する絞りと、
透過型電子顕微鏡像又は前記スペクトル像を検出する二次元検出器と、スペクトル像を表示する画像表示装置と、前記スペクトル像の歪みを計測および補正する補正装置を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1において、
透過型電子顕微鏡の加速電圧を変化させた各設定値における、絞りを通過した電子線を二次元検出器で検出し、
前記補正装置は、当該検出された電子線位置像から電子線位置を算出し、当該電子線位置と基準電子線位置とのずれに基づいて、分析対象のスペクトル像を補正することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1又は2において、
前記絞りは、エネルギー分散方向と直交する方向に複数個の開口部を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記絞りを移動する絞り可動装置を有することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 請求項2において、
複数のスペクトル像を取得し、スペクトル像のエネルギー方向のドリフト及び位置方向のドリフトを補正した後、当該複数のスペクトル像を加算することを特徴とする透過型電子顕微鏡。 - 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡により取得されるエネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成されるスペクトル像の歪み補正方法であって、絞りを通過した電子線を、透過型電子顕微鏡の加速電圧を設定値に基づいて、可変しながら二次元検出器で検出し、エネルギー損失量の軸と位置情報の軸で形成される二次元の電子線位置像を取得し、前記電子線位置像から電子線位置を算出した後、前記電子線位置と基準電子線位置とを比較し、各電子線位置の相違点に基づき、スペクトル像の歪み量を算出し、前記歪み量に基づき、多重極子レンズによりスペクトル像の歪みを補正することを特徴とするスペクトル像の歪み補正方法。
- 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡により取得されるエネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成されるスペクトル像の歪み補正方法であって、エネルギー損失量の軸と位置情報の軸で形成される二次元の電子線位置像を取得し、前記電子線位置像から電子線位置を算出した後、前記電子線位置と、基準電子線位置とを比較し、各電子線位置の相違点に基づきスペクトル像の歪み量を算出し、前記歪み量に基づき、分析対象試料のスペクトル像の歪みを補正することを特徴とするスペクトル像の歪み補正方法。
- 電子分光器を備えた透過型電子顕微鏡により取得されるエネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成されるスペクトル像の歪み補正方法であって、絞りを通過した電子線を、透過型電子顕微鏡の加速電圧を設定値に基づいて可変しながら二次元検出器で検出することにより、エネルギー損失量の軸と位置情報の軸で形成される二次元の電子線位置像を取得し、前記電子線位置像から電子線位置を算出した後、前記電子線位置と基準電子線位置とを比較し、各電子線位置の相違点に基づき、スペクトル像の歪み量を算出し、前記歪み量に基づき、分析対象のスペクトル像の歪みを補正することを特徴とするスペクトル像の歪み補正方法。
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