JP2010137170A - クリーンローラ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】粘着ラバーローラにワークが接触しても、ワークの温度を所定以上に維持可能なクリーンローラ装置を提供すること。
【解決手段】ワークＷを搬送しつつ、当該ワークＷに付着している塵埃を除去するためのクリーンローラ装置１０であって、駆動源３１の作動によりワークＷを搬送する搬送機構３０と、ワークＷの少なくとも一方の面に、ワークＷの移動に伴って転動しつつ接触して、当該ワークＷの一方の面に付着している塵埃を吸着保持すると共に、ヒータ５１２を内蔵する塵埃吸着ローラ体５１と、粘着テープが巻回されている粘着テープロール５３２を保持する粘着テープ保持部５３１を有する粘着テープ保持ユニットと、
を備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、ワークに付着した塵埃を除去するためのクリーンローラ装置に関する。

例えば、プリント配線基板等のワークに付着した塵埃を取り除くために、クリーンローラ装置が用いられている。このクリーンローラ装置は、ワークに接触するクリーンローラと、クリーンローラに接触する粘着ローラとを具備している。粘着ローラには、ロール状に巻回されている粘着テープが設けられていて、クリーンローラに付着している塵埃は、粘着テープに転写される。そして、粘着テープが汚れてくると、粘着ローラから粘着テープを引き出して切断し、新たな粘着テープが、クリーンローラに接触するように設けられている。なお、このようなクリーンローラに関する先行技術としては、特許文献１に開示のものがある。

特開２００４−１７００８号公報

ところで、製造ラインの中には、ワークを所定の温度に熱した後にクリーンローラ装置に受け渡すと共に、ワークの温度を維持した状態で次工程にワークを受け渡すものがある。そのような製造ラインに設定されるクリーンローラ装置では、粘着ラバーローラにワークが接触する際に、当該ワークの温度を低下させずに維持することが望まれている。

しかしながら、現状のクリーンローラ装置では、粘着ラバーローラにワークが接触すると、当該ワークの温度を低下させてしまう。そのため、粘着ラバーローラにワークが接触しても、当該ワークの温度が低下しないことが望まれている。

本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、粘着ラバーローラにワークが接触しても、ワークの温度を所定以上に維持可能なクリーンローラ装置を提供しよう、とするものである。

上記課題を解決するために、本発明は、ワークを搬送しつつ、当該ワークに付着している塵埃を除去するためのクリーンローラ装置であって、駆動源の作動によりワークを搬送する搬送機構と、ワークの少なくとも一方の面に、ワークの移動に伴って転動しつつ接触して、当該ワークの一方の面に付着している塵埃を吸着保持すると共に、ヒータを内蔵する塵埃吸着ローラ体と、粘着テープが巻回されている粘着テープロールを保持する粘着テープ保持部と、を備えるものである。

このように構成する場合、塵埃吸着ローラ体は、ヒータを内蔵している。そのため、ワークに対して、熱を与えつつ、当該ワークから塵埃を除去することが可能となる。このように、ワークに熱を与えることにより、ワークの温度の低下を防ぐことも可能となる。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、塵埃吸着ローラ体は、中空孔を有する中空形状に形成されていて、ヒータは、長尺状に設けられて中空孔に挿通されていると共に、回り止め部材によって塵埃吸着ローラ体の回転時に当該塵埃吸着ローラ体と共に回転しないようにすることが好ましい。

このように構成する場合、塵埃吸着ローラ体が回転しても、ヒータは回り止め部材によって塵埃吸着ローラ体の回転に伴う回転が阻止される。そのため、ヒータに良好に通電させることが可能となる。

さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、塵埃吸着ローラ体は、その外周側に塵埃を吸着保持可能な吸着保持層を備えると共に、ヒータは、少なくとも吸着保持層に対応する部分が放熱パイプと接触する状態で覆われていることが好ましい。

このように構成する場合、ヒータのうち、少なくとも吸着保持層に対応する部分が、放熱パイプと接触する状態で覆われているので、その部分で熱の伝達効率が良好となる。また、吸着保持層は、ワークと接触して塵埃を吸着する部分であるが、ヒータのうち少なくとも吸着保持層に対応する部分が放熱パイプと接触する状態で覆われているので、吸着保持層における熱の分布の均一化を図ることが可能となる。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、ヒータの発熱による加熱部位の温度を計測する温度センサを備えると共に、この温度センサによる温度の計測結果に基づいて、ヒータの作動をフィードバック制御する制御部を備えることが好ましい。

このように構成する場合、ヒータの発熱による加熱部位の温度は、フィードバック制御により所定の温度に制御することができる。それにより、ワークを一定の温度で保温することが可能となる。

さらに、本発明の他の側面は、加熱部位は、吸着保持層であり、制御部は、温度センサに基づいて比例制御を行うことが好ましい。

このように構成する場合、ワークに直接接触する吸着保持層の温度を一定に保つことが可能となる。また、制御部は、温度センサに基づいて比例制御されるので、吸着保持層の温度を一定に保つことが可能となる。

本発明によると、粘着ラバーローラにワークが接触しても、ワークの温度を所定以上に維持可能となる。

以下、本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置１０について、図１から図７に基づいて説明する。なお、以下の実施の形態においては、上下方向とは、図１におけるＺ方向を指すものとする。

＜クリーンローラ装置の概略構成＞
図１から図３に、クリーンローラ装置１０の全体構成を示す。図１は、クリーンローラ装置１０の左側面図であり、図２は、クリーンローラ装置１０の正面図である。また、図３は、クリーンローラ装置１０の右側面図である。なお、図１および図２では、クリーンローラ装置１０のうち、ワークＷを搬送する部位が分かるように、当該ワークＷの搬送にかかわる部分を透視して示している。

このクリーンローラ装置１０は、基体部１１と、この基体部１１の上部に設けられる上部洗浄部１２とを具備している。また、上部洗浄部１２は、フレーム部２０（図２参照）と、搬送機構３０と、クリーンユニット４０と、制御部８０（図７参照）と、を主要な構成要素としている。

これらのうち、フレーム部２０は、基体部１１から上方側に向かって延伸しており、上部洗浄部１２の種々のユニットを支持可能としている。なお、このフレーム部２０は、側板２１を具備しており、この側板２１には、後述するような溝部２２（図５参照）が設けられている。また、搬送機構３０は、モータ３１と、駆動プーリ３２と、不図示のベルトと、従動プーリ３３（図４参照）と、不図示のギヤ輪列と、搬送ローラ３４と、を具備している。

これらのうち、モータ３１（駆動源に対応）は、例えばハウジングの内部にギヤを内蔵するギヤードモータであり、所定の減速比で減速させられた回転が、出力軸３１ａに与えられている。また、この出力軸３１ａには、駆動プーリ３２が取り付けられていて、当該出力軸３１ａと同期して回転する。また、この駆動プーリ３２には、無端のベルト（図示省略）が掛け渡されている。ベルトは、従動プーリ３３にも掛け渡されている。この従動プーリ３３は、図４に示すように、粘着ラバーローラ体５１の中空軸５１１の一端側に取り付けられていて、当該従動プーリ３３を介して、粘着ラバーローラ体５１が回転可能となっている。

なお、本実施の形態では、下方に位置する合計２つの粘着ラバーローラ体５１の中空軸５１１の一端側に、従動プーリ３３が設けられている。

また、従動プーリ３３が取り付けられている中空軸５１１には、伝達ギヤ３５も取り付けられている。伝達ギヤ３５は、搬送ローラ３４の回転軸３４ａに取り付けられている不図示のギヤと噛み合い、当該搬送ローラ３４に駆動力を伝達可能としている。

また、図２に示すように、搬送ローラ３４を構成する回転軸３４ａには、その軸方向に沿って所定ピッチ間隔で、ガイド車輪３４ｂが取り付けられている。このガイド車輪３４ｂは、ワークＷの下面側に接触し、当該ワークＷに対して、送り方向に向かって移動する駆動力を与える。

＜クリーンローラ装置１０のクリーンユニット４０の構成の詳細＞
図１、図２および図６等に示すように、クリーンローラ装置１０が具備するクリーンユニット４０には、上ロール対５０Ａと、下ロール対５０Ｂとが設けられている。これら上ロール対５０Ａおよび下ロール対５０Ｂは、粘着ラバーローラ体５１と、粘着テープロール体５３とから構成されている。

粘着ラバーローラ体５１は、塵埃吸着ローラ体に対応しており、中空軸５１１と、シーズヒータ５１２と、粘着ラバー層５１３とを有している。

図４に、粘着ラバーローラ体５１の内部構成を示す。粘着ラバーローラ体５１は、中空軸５１１を有していて、この中空軸５１１には、軸線方向に沿う中空孔５１１ａが設けられている。中空孔５１１ａには、シーズヒータ５１２が挿通される。このシーズヒータ５１２は、ヒータに対応している。しかしながら、ヒータは、シーズヒータ５１２には限られず、石英管ヒータ、コイル式ヒータ、ＩＨヒータ等、各種のヒータを用いることが可能である。

また、シーズヒータ５１２は、粘着ラバー層５１３の全体に均一に熱を与えるべく、中空孔５１１ａの全体に亘るように挿入（配置）されている。また、シーズヒータ５１２は、その全長の一部分が放熱パイプ５１４で覆われている。放熱パイプ５１４は、例えば銅といった熱伝導性に優れた材質から形成されている。

また、粘着ラバー層５１３は、吸着保持層に対応し、中空軸５１１の外側に、所定の長さ範囲に亘って設けられている。この粘着ラバー層５１３は、塵埃を付着可能な粘着ラバーを材質として形成されている。なお、かかる粘着ラバー層５１３は、その表面側に吸着層（図示省略）が設けられていて、この吸着層はシリコンゴム等のような、塵埃の吸着性に優れる材質から構成されている。また、吸着層の下層側には、例えばニトリルゴムやカーボンゴム等のような導電層を設けるように構成しても良い。

また、シーズヒータ５１２のうち、放熱パイプ５１４で覆われていない部分は、カラー５１５で覆われている。カラー５１５は、放熱パイプ５１４よりも熱伝導性の悪い材質（例えば、ＳＵＳ等）から形成されていて、しかも放熱パイプ５１４よりも薄肉に形成されている。そのため、カラー５１５の外周側に存在する空気層５１６は、放熱パイプ５１４の外側に存在する空気層５１６よりも、当該空気層５１６の厚みが大きく設けられている。このように、放熱パイプ５１４の外側に存在する空気層５１６の厚みが薄いため、シーズヒータ５１２の発熱が粘着ラバー層５１３に良好に伝達されるようになっている。

なお、放熱パイプ５１４は、銅以外の材質から形成されていても良く、例えば銀やカーボンナノチューブといった、熱伝導率に優れた材質を用いるようにしても良い。また、カラー５１５は、放熱パイプ５１４よりも熱伝導率が悪い材質であれば、どのような材質でも良いが、カラー５１５と放熱パイプ５１４とで、１０倍以上熱伝導率が異なる材質を用いるのが好ましい。その具体例としては、ＳＵＳ以外に、ガラス、エポキシ樹脂等の各種樹脂等が挙げられる。

また、中空軸５１１の一端部および他端部には、ベアリング５１７が取り付けられている。ベアリング５１７は、側板２１に設けられている支持ブロック５１８によって支持されている。そのため、中空軸５１１に取り付けたベアリング５１７は、この支持ブロック５１８によって支持される。

また、中空軸５１１の一端側のうち、支持ブロック５１８よりも端部よりの部位には、さらにベアリング受け部５１９が設けられていて、このベアリング受け部５１９にはベアリング５２０が取り付けられている。また、ベアリング受け部５１９に近接して、回り止め部材５２１が設けられている。シーズヒータ５１２は回り止め部材５２１に固定されている。そして、回り止め部材５２１は、ベアリング５２０の外輪に取り付けられているので、中空軸５１１に直接取り付けられていない。従って、シーズヒータ５１２は、回り止め部材５２１にて押えられ、中空軸５１１が回転しても共に回転しない。

また、粘着テープロール体５３は、回転保持部５３１と、粘着テープロール５３２とから構成されている。回転保持部５３１は、粘着テープ保持部に対応していて、粘着テープロール５３２の両端側を保持しつつ、粘着テープロール５３２を回転させる部分である。この回転保持部５３１は、回転軸５３１ａを有していて、この回転軸５３１ａの端部には、略円盤形状のロール保持部５３１ｂが設けられている。このロール保持部５３１ｂは、粘着テープロール５３２が取り付けられる部分であり、当該粘着テープロール５３２の巻芯筒の筒孔に挿入される。なお、ロール保持部５３１ｂには、フランジ５３１ｃが設けられていて、このフランジ５３１ｃにて筒孔への挿入が規制される。

この回転保持部５３１は、本実施の形態では、粘着テープロール５３２を取り付けた状態で、一方側に引き出し可能に設けられている。そして、この一方側への引き出しの際に、粘着テープロール５３２を交換することを可能としている。

また、粘着テープロール体５３は、側板２１に対して不図示の支持スライダを介して取り付けられている。そして、この支持スライダを介して、不図示のアクチュエータによる押圧力を受け止めることが可能となり、粘着テープロール５３２を適切な押圧力で粘着ラバー層５１３に押し付けることが可能となっている。

また、回転保持部５３１に取り付けられる粘着テープロール５３２は、図６に示すように、巻芯筒５３２ａと、テープ巻回構造５３２ｂと、から構成されている。巻芯筒５３２ａは、円筒状の巻芯部分であり、軸方向に挿通する筒孔（図示省略）を具備している。また、テープ巻回構造５３２ｂは、巻芯筒５３２ａに粘着テープを多数巻回させたものである。また、粘着テープロール５３２においては、粘着テープは、巻回の外周側が粘着面となっており、この粘着面が粘着ラバー層５１３で吸着されている塵埃を保持可能となっている。そのため、粘着面の塵埃に対する粘着力は、粘着ラバー層５１３の塵埃に対する粘着力よりも大きくなっている。なお、粘着テープは、例えば紙、プラスチック等の基材に対して、例えばゴム系、アクリル系等の粘着剤を塗布し、粘着剤層を形成することによって構成されている。

また、図１、図５等に示すように、クリーンローラ装置１０は、粘着ラバーローラ体５１の個数に対応する数（本実施の形態では４つ）の温度センサ６０を備えている。温度センサ６０は、粘着ラバー層５１３の表面温度を検出するものであり、本実施の形態では非接触方式を採用している。そのため、図５に示すように、温度センサ６０は、粘着ラバー層５１３に接触しないものの、当該粘着ラバー層５１３に対して近接対向する配置となっている。なお、本実施の形態の温度センサ６０は上述のように非接触方式の温度センサ６０であるが、その代表例としては、熱型／量子型の赤外線センサがある。また、本実施の形態では、温度センサ６０は、粘着ラバー層５１３の長手方向の略中央部分の温度を計測する配置となっている。

なお、温度センサ６０は、非接触方式には限られず、接触方式であっても良い。接触方式の温度センサ６０としては、熱電対、サーミスタ、ＩＣ温度センサ等があり、これらを用いるようにしても良い。

また、図１に示すように、クリーンローラ装置１０のワークＷの搬送経路における入口近傍には、基板感知センサ６１が設けられている。基板感知センサ６１は、ワークＷのクリーンローラ装置１０への搬入を検知するセンサである。また、クリーンローラ装置１０のワークＷの搬送経路における入口近傍および出口近傍には、静電除電バー６２が設けられている。静電除電バー６２は、ワークＷの搬送経路の上下にそれぞれ設けられている。この静電除電バー６２により、ワークＷの静電気が除去される。

また、図１に示すように、基体部１１の側面には、操作パネル７０が設けられている。この操作パネル７０には、受電していることを示す受電ランプ７１、シーズヒータ５１２のオン／オフを切り替えるためのスイッチ７２、表面温度を設定するための温度調節用操作部７３等が設けられている。温度調節用操作部７３で温度が設定されると、その設定温度に関する信号は、制御部８０に入力される。また、図１に示すように、クリーンローラ装置１０は、タッチパネル７４を具備していて、各種操作をこのタッチパネル７４を介して行うことが可能となっている。

＜クリーンローラ装置の制御系統の構成＞
続いて、クリーンローラ装置１０が具備する制御部８０について、図７に基づいて説明する。制御部８０には、基板感知センサ６１および温度センサ６０からの検出信号が入力される。また、制御部８０は、不図示のＣＰＵ、メモリ（ＲＯＭ、ＲＡＭ、不揮発性メモリ等）、バス、タイマ、インターフェース等を有していて、上述のメモリの中の、所定のシーケンス制御に関するプログラムおよびデータがＣＰＵで実行され、制御部８０の各構成が協働することにより、機能的には、図７のブロック図に示すような構成が実現される。

図７に示すように、制御部８０は、機能的には、主制御部８１と、モータ制御部８２と、ヒータ制御部８３とを有していて、その他、モータドライバ８４と、ヒータドライバ８５とを有している。主制御部８１は、クリーンローラ装置１０の全体の制御を司る部分であり、操作パネル７０等からの指令、またはクリーンローラ装置１０に接続される不図示のコンピュータ等からの指令が入力される。そして、入力された指令に基づいて、モータ制御部８２および／またはヒータ制御部８３に対して、所定の駆動指令に関する信号を出力する。

モータ制御部８２は、不図示の速度調整ツマミの操作に基づいて、モータ３１に印加する電力を制御する指令を、モータドライバ８４側に与える。そして、モータドライバ８４では、モータ３１に所定の電力を与えて、モータ３１を回転駆動させる。なお、このモータ制御部８２には、不図示のロータリエンコーダが具備するロータリセンサからの検出信号が供給され、モータ３１の回転数が、速度調整ツマミによって与えられる回転数を保持するように、フィードバック制御を行うように構成しても良い。

また、ヒータ制御部８３は、シーズヒータ５１２に与える電力を制御する指令をヒータドライバ８５側に与える。そして、温度センサ６０で検出される温度が所定の目標温度となる場合には、粘着ラバー層５１３の温度が一定となる電力に制御するか、またはシーズヒータ５１２への通電を停止させる。そして、温度センサ６０で検出される温度が、常に目標温度となるように、フィードバック制御を行う。

なお、フィードバック制御としては、本実施の形態では、比例制御を行うようにしているが、その他、ＰＩ制御、ＰＩＤ制御を行うようにしても良い。また、ヒータ制御部８３（主制御部８１）は、ワークＷの搬送速度が速くなるとワークＷの搬送層度が遅い場合と比較して、温度センサ６０によって検出される温度がより高くなるように制御しても良い。

＜クリーンローラ装置の動作＞
以上のような構成を具備するクリーンローラ装置１０の動作に関して、以下に説明する。最初に、クリーンローラ装置１０に粘着テープロール５３２を取り付けて、クリーンローラ装置１０が作動可能な状態とする。

また、粘着テープロール５３２の取り付けに前後して、電源スイッチをオン側に切り替えると共に、温度調節用操作部７３を操作して、粘着ラバー層５１３の温度が所望の温度となるように設定する。この温度の設定は、前工程で所定の温度に加熱されたワークＷが、その温度を維持して後工程に受け渡されるような温度とされる。そのため、ワークＷの冷却等を加味すると、粘着ラバー層５１３は、前工程におけるワークＷの温度（加熱された温度）よりも高い温度に設定されるのが通常である。

しかしながら、粘着ラバー層５１３の温度の設定は、これには限られず、前工程における所定の温度と同じ温度となるように設定しても良く、また前工程における所定の温度よりも低い温度となるように設定しても良い。

以上のような温度の設定を行い、暫くして粘着ラバー層５１３の温度が所定の温度となることが温度センサ６０によって検出されると、ワークＷのクリーンローラ装置１０に対する搬入を開始する。すなわち、モータ３１を作動させて、粘着ラバーローラ体５１および搬送ローラ３４を回転駆動させる。その状態で、ワークＷがクリーンローラ装置１０に差し掛かると、当該ワークＷは、粘着ラバー層５１３に接触する。ここで、粘着ラバー層５１３は、ワークＷの上面と下面とにそれぞれ位置しているので、ワークＷの上面側に付着している塵埃、およびワークＷの下面側に付着している塵埃は、それぞれ粘着ラバー層５１３に吸着される。

また、それぞれの粘着ラバー層５１３に吸着された塵埃は、粘着テープロール５３２と粘着ラバー層５１３との間の押圧部分を通過するため、当該塵埃は、それぞれの粘着テープに転写され、粘着ラバー層５１３からは除去される。ここで、上ロール対５０Ａと下ロール対５０Ｂは、本実施の形態では、それぞれ２つ存在するので、ワークＷの上下両面からの塵埃の除去は、２回行われることになる。

ところで、粘着ラバー層５１３は、温度センサ６０によって温度が検出され、この温度センサ６０による検出に基づいて、温度管理が為されている。そのため、ワークＷが粘着ラバー層５１３に接触すると、当該ワークＷは、粘着ラバー層５１３から熱が伝達されるが、図１に示すそれぞれ２つの上ローラ対５０Ａ、下ローラ対５０Ｂを通過した後には、所望の温度となる。それにより、クリーンローラ装置１０をワークＷが通過して塵埃が除去されても、その際にワークＷに温度低下を来たさず、あたかも前工程から直接後工程にワークＷが受け渡されるかのように、ワークＷが保温された状態で、後工程にワークＷを受け渡すことが可能となる。

なお、粘着ラバー層５１３がワークＷへ接触する等して、当該粘着ラバー層５１３の温度が変動した場合には、温度センサ６０により当該温度の変動が検出される。そして、この温度変動の検出に基づいて、制御部８０は、シーズヒータ５１２の作動を制御する。すなわち、温度センサ６０による温度の検出結果が、所定の目標温度を下回る場合、そのときシーズヒータ５１２に供給される電力が増加するように、制御部８０はシーズヒータ５１２への電力の供給量を制御する。逆に、温度センサ６０による温度の検出結果が、所定の目標温度と同等であるか、または所定の目標温度を上回る場合、制御部８０は、シーズヒータ５１２に供給される電力を増加させず、そのままとするか、または低下させるように制御部８０はシーズヒータ５１２への電力の供給量を制御する。

また、粘着テープに徐々に塵埃が転写されていくと、粘着テープの塵埃の吸着性能が悪化する。そのため、例えば所定の時間だけ粘着テープによる塵埃の吸着を行わせた後に、粘着テープロール体５３を引き出して、外周に露出している粘着テープを粘着テープロール体５３から剥がして切り取る。それにより、新たな粘着テープが外周に露出する状態となり、粘着テープの塵埃の吸着性能を回復させることが可能となる。

＜本発明の適用による効果＞
以上のような構成を有するクリーンローラ装置１０によると、粘着ラバー層５１３にワークＷが接触しても、ワークＷの温度を所定以上に維持可能となる。

また、粘着ラバーローラ体５１は、シーズヒータ５１２を内蔵している。そのため、ワークＷに対して、熱を与えつつ、当該ワークＷから塵埃を除去することが可能となる。このように、ワークＷに熱を与えることにより、ワークＷの温度の低下を防ぐことも可能となる。

また、粘着ラバーローラ体５１は、中空孔５１１ａが形成されている中空軸５１１を有していて、シーズヒータ５１２は、長尺状に設けられて中空孔５１１ａに挿通されている。加えて、シーズヒータ５１２は、回り止め部材５２１によって粘着ラバーローラ体５１の回転時に当該粘着ラバーローラ体５１と共に回転しないように構成されている。そのため、シーズヒータ５１２は、回り止め部材５２１によって粘着ラバーローラ体５１の回転に伴う回転が阻止される。そのため、シーズヒータ５１２に良好に通電させることが可能となる。

さらに、粘着ラバーローラ体５１は、その外周側に塵埃を吸着保持可能な粘着ラバー層５１３を備えると共に、シーズヒータ５１２は、粘着ラバー層５１３に対応する部分が放熱パイプ５１４と接触する状態で覆われている。このため、放熱パイプ５１４と接触する状態で覆われているの部分で熱の伝達効率が良好となる。また、粘着ラバー層５１３は、シーズヒータ５１２のうち粘着ラバー層５１３に対応する部分が放熱パイプ５１４と接触する状態で覆われているので、粘着ラバー層５１３における熱の分布の均一化を図ることが可能となる。

また、本実施の形態では、シーズヒータ５１２の発熱による粘着ラバー層５１３の温度を計測する温度センサ６０を備えると共に、この温度センサ６０による温度の計測結果に基づいて、シーズヒータ５１２の作動をフィードバック制御する制御部８０を備えている。このため、シーズヒータ５１２の発熱による粘着ラバー層５１３の温度は、フィードバック制御により所定の温度に制御することができる。それにより、ワークＷを一定の温度で保温することが可能となる。

さらに、本実施の形態では、制御部８０は、温度センサ６０に基づいて粘着ラバー層５１３の温度を制御し、しかもその制御に際して比例制御を行っている。このため、ワークＷに直接接触する部分である、粘着ラバー層５１３の温度を一定に保つことが可能となる。また、制御部８０は、温度センサ６０に基づいて比例制御されるので、粘着ラバー層５１３の温度を一定に保つことが可能となる。

＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態に係るクリーンローラ装置１０について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

上述の実施の形態においては、ワークＷの上面側に上ロール対５０Ａが配置されていると共に、ワークＷの下面側に下ロール対５０Ｂが配置されている構成について述べている。しかしながら、上ロール対５０Ａまたは下ロール対５０Ｂのいずれか一方のみを備える構成を採用しても良い。

また、上述の実施の形態では、粘着テープロール体５３については、特段温度の制御が為されていない。しかしながら、粘着テープロール体５３についても、粘着ラバーローラ体５１と同様に、シーズヒータ５１２等のヒータを内蔵して、温度制御するように構成しても良い。

また、上述の実施の形態では、上ロール対５０Ａと下ロール対５０Ｂとが、それぞれ２つずつ存在する構成について述べられている。しかしながら、上ロール対５０Ａおよび下ロール対５０Ｂの個数は特には限定されず、幾つ設けられていても良い。

さらに、上述の実施の形態では、温度センサ６０は、それぞれの粘着ラバー層５１３に、１つずつ設けられている。しかしながら、４つの粘着ラバー層５１３のうち１〜３個の粘着ラバー層５１３に、温度センサ６０を設けるように構成しても良い。また、１つの粘着ラバー層５１３の長手方向に沿って、複数の温度センサ６０を配置するように構成しても良い。

また、上述の実施の形態では、それぞれの粘着ラバー層５１３における温度を変えるように制御しても良い。例えば、ワークＷの搬入側の粘着ラバー層５１３の温度よりも、ワークＷの搬出側の粘着ラバー層５１３の温度の方が、若干高くなるように制御しても良い。

また、上述の実施の形態において、一度ワークＷがクリーンユニット４０を通過した後に、再びクリーンユニット４０を通過するように、制御部８０でモータ３１の駆動を制御するようにしても良い。この場合、搬送機構３０の下流側にも、ワーク検出センサが設けられるのが好ましい。また、上述の実施の形態では、塵埃吸着ローラ体としては、粘着ラバーローラ体を用いているが、塵埃の吸着性に優れる材質が表面を覆っていれば、その材質は、シリコンゴム等には限られず、種々の材質を利用可能である。

本発明のクリーンローラ装置は、基板洗浄の分野において利用することができる。

本発明のクリーンローラ装置の全体構成を示す左側面図である。 図１のクリーンローラ装置の全体構成を示す正面図である。 図１のクリーンローラ装置の全体構成を示す右側面図である。 図１のクリーンローラ装置のうち、粘着ラバーローラ体の構成を示す部分断面図である。 図１のクリーンローラ装置のうち、温度センサの配置を示す側面図である。 クリーンユニットの作動イメージを示す図である。 クリーンローラ装置の制御部の概略構成を示すブロック図である。

符号の説明

１０…クリーンローラ装置、１１…基体部、１２…上部洗浄部、２０…フレーム部、３０…搬送機構、３１…モータ（駆動源に対応）、４０…クリーンユニット、５０Ａ…上ロール対、５０Ｂ…下ロール対、５１…粘着ラバーローラ体（塵埃吸着ローラ体に対応）、５３…粘着テープロール体、６０…温度センサ、６１…基板感知センサ、６２…静電除電バー、７０…操作パネル、８０…制御部、８１…モータ制御部、８２…ヒータ制御部、５１１…中空軸、５１１ａ…中空孔、５１２…シーズヒータ（ヒータに対応）、５１３…粘着ラバー層（吸着保持層に対応）、５１４…放熱パイプ、５３１…回転保持部（粘着テープ保持部に対応）、５３２…粘着テープロール

Claims (5)

1. ワークを搬送しつつ、当該ワークに付着している塵埃を除去するためのクリーンローラ装置であって、
   駆動源の作動により上記ワークを搬送する搬送機構と、
   上記ワークの少なくとも一方の面に、上記ワークの移動に伴って転動しつつ接触して、当該ワークの一方の面に付着している塵埃を吸着保持すると共に、ヒータを内蔵する塵埃吸着ローラ体と、
   粘着テープが巻回されている粘着テープロールを保持する粘着テープ保持部と、
   を備えることを特徴とするクリーンローラ装置。
2. 請求項１記載のクリーンローラ装置において、
   前記塵埃吸着ローラ体は、中空孔を有する中空形状に形成されていて、
   前記ヒータは、長尺状に設けられて上記中空孔に挿通されていると共に、回り止め部材によって前記塵埃吸着ローラ体の回転時に当該塵埃吸着ローラ体と共に回転しない、
   ことを特徴とするクリーンローラ装置。
3. 請求項２記載のクリーンローラ装置において、
   前記塵埃吸着ローラ体は、その外周側に前記塵埃を吸着保持可能な吸着保持層を備えると共に、
   前記ヒータは、少なくとも上記吸着保持層に対応する部分が放熱パイプと接触する状態で覆われている、
   ことを特徴とするクリーンローラ装置。
4. 請求項３記載のクリーンローラ装置において、
   前記ヒータの発熱による加熱部位の温度を計測する温度センサを備えると共に、この温度センサによる上記温度の計測結果に基づいて、前記ヒータの作動をフィードバック制御する制御部を備える、
   ことを特徴とするクリーンローラ装置。
5. 請求項４記載のクリーンローラ装置において、
   前記加熱部位は、前記吸着保持層であり、
   前記制御部は、前記温度センサに基づいて比例制御を行う、
   ことを特徴とするクリーンローラ装置。

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