JP2010135494A - ダイシングテープ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材フィルム1上に粘着剤層2を有し、貫通電極4が形成された半導体ウエハ3を素子小片に分離切断するダイシング工程に用いられるダイシングテープであって、ウエハ裏面一面に上面が50±3μm×50±3μm、高さ10±3μmの突起を1mm2当り120〜150個有するシリコンウエハの縦10mm×横15mmの小片に対する、JIS Z 0237に基づく90°引き剥がし試験により測定された紫外線照射前の前記粘着剤層の粘着力が1〜1.5N/15mmであり、かつ大気雰囲気下の条件での紫外線照射の前後におけるJIS K 7127に基づく引張弾性率の差が3N/mm2以下であるダイシングテープ。
【選択図】図1
Description
また、特許文献3に記載のダイシングテープでは、粘着剤層に刺激により気体を発生する気体発生剤を含有させることにより、剥離時に刺激を与えて、貫通電極を破損することなく剥離するようにしている。しかし、特別な気体発生剤を含有させるためコスト高になる上、ピックアップ工程において、通常は行われない、気体を発生させるための刺激を与えるための工程を必要とするものであった。
(1)基材フィルム上に紫外線硬化型粘着剤層を有し、貫通電極が形成された半導体ウエハを素子小片に分離切断するダイシング工程に用いられるダイシングテープであって、ウエハ裏面一面に、上面が50±3μm×50±3μmの広さで、高さ10±3μmの突起を1mm2当り120〜150個有するシリコンウエハであって、縦10mm×横15mmの小片に対するJIS Z 0237に基づく90°引き剥がし試験により測定された紫外線照射前の前記粘着剤層の粘着力が1〜1.5N/15mmであり、かつ、大気雰囲気下の条件での紫外線照射の前後における、JIS K 7127に基づく引張弾性率が3N/mm2以下であることを特徴とするダイシングテープ、
(2)前記粘着剤層が(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマー50〜70mol%、ヒドロキシ基含有アクリルモノマー20〜40mol%、カルボキシ基含有アクリルモノマー2〜5mol%からなる共重合体を用いてなること特徴とする(1)項記載のダイシングテープ、および
(3)基材フィルム上に紫外線硬化型粘着剤層を有し、貫通電極が形成された半導体ウエハを素子小片に分離切断するダイシング工程に用いられるダイシングテープであって、前記粘着剤層がアクリル酸2−エチルヘキシル50〜70mol%、アクリル酸ヒドロキシエチル20〜40mol%、メタクリル酸2〜5mol%からなる共重合体を用いてなること特徴とするダイシングテープ
を提供するものである。
アクリル酸2−エチルヘキシル(69mol%)、アクリル酸ヒドロキシエチル(29mol%)、メタクリル酸(2mol%)の共重合体100質量部に対して、光重合開始剤光重合開始剤として日本チバガイギー社製:イルガキュアー184を2.5質量部加え、放射線硬化性粘着剤である樹脂組成物を調製した。この樹脂組成物を厚さ80μmのポリオレフィンのフィルム上に、乾燥膜厚が15mとなるように塗布、乾燥して粘着剤層をし、実施例1のダイシングテープを作製した。
用いる共重合体をアクリル酸2−エチルヘキシル(63mol%)、アクリル酸ヒドロキシエチル(34mol%)、メタクリル酸(3mol%)の共重合体に代えた以外は、実施例1と同様にして、実施例2のダイシングテープを作製した。
用いる共重合体をアクリル酸2−エチルヘキシル(58mol%)、アクリル酸ヒドロキシエチル(38mol%)、メタクリル酸(4mol%)の共重合体に代えた以外は、実施例1と同様にして、実施例3のダイシングテープを作製した。
用いる共重合体をアクリル酸2−エチルヘキシル(52mol%)、アクリル酸ヒドロキシエチル(43mol%)、メタクリル酸(5mol%)の共重合体に代えた以外は、実施例1と同様にして、比較例1のダイシングテープを作製した。
用いる共重合体をアクリル酸2−エチルヘキシル(50mol%)、アクリル酸ヒドロキシエチル(48mol%)、メタクリル酸(2mol%)の共重合体に代えた以外は、実施例1と同様にして、比較例2のダイシングテープを作製した。
用いる共重合体をアクリル酸2−エチルヘキシル(75mol%)、アクリル酸ヒドロキシエチル(22mol%)、メタクリル酸(3mol%)の共重合体に代えた以外は、実施例1と同様にして、比較例2のダイシングテープを作製した。
上記の実施例および比較例のダイシングテープを以下の評価試験を行った。
(UV前粘着力)
JIS Z 0237に準拠して、シリコンウエハの上面が50μm×50μmの広さで、高さ10μmの突起を約30μm間隔で1mm2当り120〜150個有する面に、実施例および比較例のダイシングテープを貼合し、ウエハ−ダイシングテープ間の剥離力を紫外線照射前で測定した。試験は90°剥離、剥離速度300mm/分で行った。
23±2℃の温度、0±5%の湿度、幅25mm、標線間距離及びつかみ間距離50mm、300mm/minの速度で引張試験を行ない、機械加工方向(MD)における測定値より引張弾性率を求めた。
UV照射後の評価については、ダイシングテープに基材フィルム側から紫外線を高圧水銀灯により200mJ/cm2照射した後に同様の試験を行った。
高さ10μmの電極の突起が形成された半導体ウエハの裏面に実施例および比較例のダイシングテープを貼着した後、ダイサーを用いて10×10mmのチップに個辺化した際において、ウエハ裏面に切削水の浸入がなかった場合を○、切削水の浸入があった場合を×とした。
上記電極に対する追従性試験で個辺化した半導体チップをダイスピッカーによりピックアップする試験を行った。ピックアップできた場合を○、ピックアップできなかった場合を×とした。
上記ピックアップ性試験でピックアップしたチップのへの粘接着剤の糊残りの有無を目視で確認を行った。
その際、チップ裏面または電極への粘着剤の糊残りが無い場合を「○」、糊残りがあった場合を「×」として判定を行った。
以上の評価試験結果を表1に示す。
2 粘着剤層
3 半導体ウエハ
4 貫通電極
4a 裏面側の突起
Claims (3)
- 基材フィルム上に紫外線硬化型粘着剤層を有し、貫通電極が形成された半導体ウエハを素子小片に分離切断するダイシング工程に用いられるダイシングテープであって、ウエハ裏面一面に上面が50±3μm×50±3μm、高さ10±3μmの突起を1mm2当り120〜150個有するシリコンウエハの縦10mm×横15mmの小片に対する、JIS Z 0237に基づく90°引き剥がし試験により測定された紫外線照射前の前記粘着剤層の粘着力が1〜1.5N/15mmであり、かつ、大気雰囲気下の条件での紫外線照射の前後における、JIS K 7127に基づく引張弾性率の差が3N/mm2以下であることを特徴とするダイシングテープ。
- 前記粘着剤層が(メタ)アクリル酸アルキルエステルモノマー50〜70mol%、ヒドロキシ基含有アクリルモノマー20〜40mol%、カルボキシ基含有アクリルモノマー2〜5mol%からなる共重合体を用いてなること特徴とする請求項1記載のダイシングテープ。
- 基材フィルム上に紫外線硬化型粘着剤層を有し、貫通電極が形成された半導体ウエハを素子小片に分離切断するダイシング工程に用いられるダイシングテープであって、前記粘着剤層がアクリル酸2−エチルヘキシル50〜70mol%、アクリル酸ヒドロキシエチル20〜40mol%、メタクリル酸2〜5mol%からなる共重合体を用いてなること特徴とするダイシングテープ。
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