JP2010129858A - インダクタ素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】シンプルな工程で製造でき、しかも格段に特性向上が可能なインダクタ素子を提供する。
【解決手段】本発明のインダクタ素子1は、凹部11Bと凸部11Aとが所定の配列方向1Aに沿って連続した表面形状の下地層11と、凹部11B上と凸部11A上とにわたって設けられ、配列方向1Aに向かって蛇行した導電膜パターン12とを備える。平面型の渦巻き状インダクタ素子よりも巻き数を増やすことが容易であり、小型でありながらインダクタンス値やQ値が高いインダクタンス素子になる。
【選択図】図1
【解決手段】本発明のインダクタ素子1は、凹部11Bと凸部11Aとが所定の配列方向1Aに沿って連続した表面形状の下地層11と、凹部11B上と凸部11A上とにわたって設けられ、配列方向1Aに向かって蛇行した導電膜パターン12とを備える。平面型の渦巻き状インダクタ素子よりも巻き数を増やすことが容易であり、小型でありながらインダクタンス値やQ値が高いインダクタンス素子になる。
【選択図】図1
Description
本発明は、インダクタ素子に関する。
近年、携帯情報端末等の携帯型電子機器が急速に普及している。携帯型電子機器には、携帯性の向上や高機能化が強く求められている。携帯性を向上させる観点から、携帯型電子機器に実装される半導体装置には、小型化や軽量化、薄型化が要望されている。
半導体装置の小型化等を可能にする技術として、チップサイズパッケージ(CSP)やウェハレベルチップサイズパッケージ(WCSP)等が知られている。CSPやWCSPは、集積回路等が形成された半導体チップ(半導体装置)を実装可能に封止する技術である。CSPやWCSPによれば、封止構造の外寸を半導体チップと同程度にすることができる。
半導体装置の小型化を図るとともに高機能化を図るためには、半導体装置に高性能なコンデンサやインダクタを集積化することが有効である(例えば特許文献1)。特許文献1の半導体装置は、基板上に回路部品や薄膜トランジスタが形成されたものである。回路部品等を覆ってパッシベーション膜が設けられており、パッシベーション膜上にインダクタ素子が形成されている。
このインダクタ素子は、平面型のものであり、平面内に形成された渦巻き状の導電膜パターンからなっている。導電膜パターンの一端は渦巻きの外部に位置しており、導電膜パターンの他端は渦巻きの中心付近に位置している。一端及び他端のそれぞれが、パッシベーション膜の開口内に埋設された導電部により、回路部品等と電気的に接続されている。インダクタ素子を覆って、磁性樹脂層が形成されており、磁性樹脂層によりインダクタ素子のQ値が高められている。
特開2008−159654号公報
特許文献1の技術によれば、小型化と高機能化とを両立した半導体装置が得られると考えられが、さらなる特性向上のためには改善すべき点もある。
前記のように平面型のインダクタにおいて、導電膜パターンの他端は渦巻きの中心付近に位置している。したがって、他端を半導体装置の内部とあるいは外部と電気的に接続するためには、他端を導電膜パターンが形成された面内から多層配線やワイヤボンディング等により取り出す必要がある。ワイヤボンディング等を用いると、工数が増えることにより製造コストが増加することや、配線の引回しにより抵抗値が増加して電気特性が低下すること等の不都合を生じる。
また、平面型のインダクタにあっては、インダクタ自体の特性をある程度以上にすることが難しいという不都合もある。例えば、特許文献1のインダクタ素子の特性を向上させる手法としては、磁性樹脂層の材質を工夫する手法や、渦巻き状の導電膜パターンの態様を工夫する手法が考えられる。前者の手法では、特性向上の程度が限られるので、ある程度以上の特性向上は期待できない。
後者の手法としては、導電膜パターンにおける巻き数を増やすことや、絶縁膜を介して複数の導電膜パターンを積層して複数の導電膜パターンを直列に接続すること等が考えられる。巻き数を増やすと、インダクタの大面積化、導電膜パターンが微細化による電気抵抗の増加や製造コストの増加等を生じるおそれがある。また、複数の導電膜パターンを用いる手法では、前記した他端を取り出すための不都合が顕著になってしまい、工数が飛躍的に増加することにより製造コストが増加してしまうおそれがある。
本発明は、前記事情に鑑み成されたものであって、シンプルな工程で製造でき、しかも格段に特性向上が可能なインダクタ素子を提供することを目的の1つとする。
本発明のインダクタ素子は、凹部と凸部とが所定の配列方向に沿って連続した表面形状の下地層と、前記凹部上と凸部上とにわたって設けられ、前記配列方向に向かって蛇行した導電膜パターンと、を備えていることを特徴とする。
ここでいう配列方向に向かって蛇行した導電膜パターンとは、平面視した導電膜パターンが、配列方向に平行な軸(以下、コイル軸と称する場合がある)を挟む一方の側に位置する部分と、他方の側に位置する部分と、これら2つの部分を接続する部分とを有しており、これら3つの部分が連続していることを意味する。
前記の構成においてコイル軸に直交する面に導電膜パターンを投影すると、導電膜パターンがコイル軸の周囲を連続して環状に囲んでいる。導電膜パターンに電流が流れると、環状に囲まれる部分においてコイル軸に沿う方向に磁力線が生じ、導電膜パターンがスパイラル状のインダクタとして機能する。
本発明のインダクタ素子にあっては、平面型の渦巻き状インダクタと異なり、導電膜パターンの一端の位置と他端の位置とをともに高い自由度で設定することができる。したがって、導電膜パターンをインダクタ素子の外部と電気的に接続することが容易になり、端的には導電膜パターンの一部により電気的な接続をとることができる。よって、ワイヤボンディング等を用いる場合に比べて工数を減らすことができ、シンプルな工程で回路に組み込むことが可能なインダクタ素子になる。
スパイラル状のインダクタ素子においてインダクタ素子ンス値を向上させるためには、巻き数を増やすことや、コイル軸周りにおいて導電膜パターンに囲まれる領域の面積を増やすことが有効である。平面型の渦巻き状インダクタ素子では、同じ線幅で巻き数を増やすと平面視した導電膜パターンの面積が指数的に増加するのに対して、本発明のようなスパイラル状のインダクタ素子では、平面視した導電膜パターンの面積が巻き数に比例して増加する。したがって、本発明のインダクタ素子は、平面型の渦巻き状インダクタ素子よりも巻き数を増やすことが容易であり、小型でありながら高インダクタンス値のインダクタ素子にすることができる。
また、前記下地層上に複数の前記導電膜パターンが互いに非接触に形成されており、前記配列方向に直交する面に前記複数の導電膜パターンの各々を投影した領域の少なくとも一部が前記複数の導電膜パターンで重なり合うように、前記複数の導電膜パターンが配置されている構成にしてもよい。
このようにすれば、複数の導電膜パターンの1以上に発生した磁界を他の導電膜パターンから電位差として取り出すことができ、例えばインダクタ素子をトランスとして機能させることができる。複数の導電膜パターンを一括して形成することが可能であるので、シンプルな工程で得られるトランスになる。
また、前記凸部が前記凹部に対して突出している高さ方向と、前記配列方向とに平行な面での前記下地層の断面において前記表面形状が正弦波状になっているとともに、前記高さ方向に直交する面に投影した前記導電膜パターンの平面形状が前記断面における前記表面形状と波長が略一致した正弦波状になっている構成にしてもよい。
このようにすれば、導電膜パターンは、コイル軸に向かう方向に等ピッチで回転構造が連続する螺旋形状になり、インダクタの部分的な特性が均一になる。また、下地層の表面形状が滑らかな曲面であるので、導電膜パターンの形成時に導電膜パターンの形成材料の段切れが格段に低減され、高信頼性のインダクタ素子にすることができる。
また、前記凸部が前記凹部に対して突出している高さ方向と、前記配列方向とに平行な面での前記下地層の断面において前記表面形状が略台形波状になっているとともに、前記高さ方向に直交する面に投影した前記導電膜パターンの平面形状が前記断面における前記表面形状と波長が略一致した略台形波状になっている構成にしてもよい。
このようにすれば、凸部上面、凹部底面、及び凸部上面と凹部底面とを接続する斜面がいずれも略平面になっており、しかも導電膜パターンが折れ線状になっているので、曲面上に曲線状の導電膜パターンを形成する場合に比べて、高精度な形状の導電膜パターンにすることができる。
また、前記凹部に、磁性材料を含有した透磁部が埋設されていることが好ましい。この場合には、前記透磁部が、前記凸部上に設けられた部分の前記導電膜パターンを覆って形成されている構成にしてもよい。
凹部に透磁部が設けられていれば、通電時に導電膜パターンに発生した磁束を効率よく伝播させることができる。透磁部が、前記凸部上に設けられた部分の前記導電膜パターンを覆って形成されていれば、透磁部により導電膜パターンを保護することができる。
以下、本発明の実施形態を説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。以降の説明では図面を用いて各種の構造を例示するが、構造の特徴的な部分を分かりやすく示すために、図面中の構造はその寸法や縮尺を実際の構造に対して異ならせて示す場合がある。
[第1実施形態]
図1は、第1実施形態のインダクタ素子1の概略構成を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、本実施形態のインダクタ素子1は、半導体チップ5の表面に形成されている。図1には、半導体チップ5の一部を拡大して示している。半導体チップ5は、例えば表面弾性波素子のドライバやインクジェットヘッドのドライバ、画像表示装置のドライバ等である。
図1は、第1実施形態のインダクタ素子1の概略構成を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、本実施形態のインダクタ素子1は、半導体チップ5の表面に形成されている。図1には、半導体チップ5の一部を拡大して示している。半導体チップ5は、例えば表面弾性波素子のドライバやインクジェットヘッドのドライバ、画像表示装置のドライバ等である。
半導体チップ5の詳細な構造については図示しないが、半導体チップ5の内部には集積回路(IC)や薄膜トランジスタ(TFT)等が設けられている。半導体チップ5の表面の1つは、端子51、52や図示略のバンプ等が設けられた能動面5Aになっている。端子51、52やバンプは、それぞれが半導体チップ5内部のICやTFTと電気的に接続されている。ここでは、インダクタ素子1が、半導体チップ5の能動面5Aに設けられている。端子51は、インダクタ素子1に電気信号を入力する端子であり、端子52はインダクタ素子1から電気信号を受け取る端子である。
インダクタ素子1は、能動面5Aに設けられた下地層11と、下地層11上に設けられた導電膜パターン12と、下地層11及び導電膜パターン12を覆って設けられた透磁部13とを有している。透磁部13は、下地層11の周辺の端子51、52を覆うように設けられている。
以下、図1に示したXYZ直交座標系に基づいて説明する。このXYZ直交座標系において、能動面5Aに平行で互いに直交する方向をX方向、Y方向とし、能動面5Aの法線方向をZ方向としている。X方向は、コイル軸1Aと平行になっている。コイル軸1Aは、導電膜パターン12が環状(ここでは、円筒状)に囲む領域の中心軸である。
本実施形態の下地層11は、凸部11Aと凹部11Bとがコイル軸1Aに沿う配列方向(X方向)に交互にかつ周期的に並んだ構造になっている。凸部11A、及び凹部11Bは、いずれも能動面5Aに沿う方向のうちのコイル軸1Aと略直交する方向(Y方向)に延在している。下地層11は、例えばポリイミド等の樹脂材料からなっている。下地層11の厚み、すなわち能動面5Aから凸部11Aの頂部までの高さは、例えば数μm〜数十μm(典型的には10〜30μm)程度である。
導電膜パターン12は、凸部11A上と凹部11B上とにわたって設けられている。導電膜パターン12は、平面視した状態でコイル軸1Aの一端側から他端側に向かって蛇行している。これにより、導電膜パターン12は、コイル軸1Aの周囲を螺旋状に囲む三次元形状になっている。
導電膜パターン12は、インダクタ素子1に必要な抵抗レンジや耐許容電流値等の特性に応じて適宜選択される形成材料からなっている。形成材料の具体例としては、例えば銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)、チタン(Ti)、タングステン(W)、チタンタングステン(TiW)、窒化チタン(TiN)、ニッケル(Ni)、ニッケルバナジウム(NiV)、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、パラジウム(Pd)等の導電性材料の単体または複合材料が挙げられる。
透磁部13は、磁性材料からなり、凹部11B内に埋設されている。ここでいう磁性材料とは、透磁率が1.05よりも大きい材料のことである。透磁部13の形成材料としては、例えば非磁性材料に透磁性材料の粒子を分散させた複合材料が挙げられる。非磁性材料の具体例としては、アクリル樹脂や感光性ポリイミド、BCB(ベンゾシクロブテン)、フェノールノボラック樹脂等が挙げられる。磁性材料の具体例としては、センダストやアモルファス金属、フェライト等が挙げられる。
図2(a)はコイル軸1Aを含み能動面5Aに直交する面におけるインダクタ素子1の側断面図、図2(b)は能動面5Aに平行な面におけるインダクタ素子1の平面図、図2(c)はインダクタ素子1をコイル軸1Aに直交する面に投影した投影図である。
図2(a)に示すように、半導体チップ5は、例えばシリコン基板50と、シリコン基板50上に設けられた回路形成層53と、回路形成層53上に設けられたパッシベーション膜54と、パッシベーション膜54に設けられた開口内に埋設された端子51、52とを有している。回路形成層53には、前記のICやTFTが設けられている。
本実施形態の凸部11Aは、下地層11におけるコイル軸1Aに対して能動面5Aと反対側の部分である。凹部11Bは、下地層11におけるコイル軸1Aに対して能動面5A側の部分である。下地層11の表面形状は、下地層11の厚み方向(Z方向)に平行でコイル軸1Aを含んだ下地層11の断面(XZ面)において、正弦波状になっている。この正弦波は、コイル軸1Aに沿う方向が進行方向になっている。1つの凸部11Aと1つの凹部11Bとが連続した部分が、正弦波の1周期に対応している。正弦波の波長は、隣接する2つの凸部11Aの頂部間の距離になっている。正弦波は、下地層11の厚み方向(Z方向)が振幅方向になっている。正弦波の振幅(片振幅)は、下地層11の厚みの半分になっている。
図2(b)に示すように、導電膜パターン12は、コイル軸1Aをまたいで蛇行している。ここでは、下地層11の厚み方向(Z方向)に直交する面に投影した導電膜パターン12の平面形状が正弦波状になっている。この正弦波は、コイル軸1Aに沿う方向が進行方向になっている。この正弦波の波長は、隣接する2つの凸部11Aの頂部間の距離になっている。すなわち、導電膜パターン12の平面形状における正弦波の波長は、下地層11の断面形状における正弦波の波長と同じになっている。導電膜パターン12の平面形状における正弦波の位相は、下地層11の断面形状における正弦波の位相とずれている(ここでは、位相差がπ/2)。正弦波は、下地層11の延在方向(Y方向)が振幅方向になっている。本実施形態では、導電膜パターン12の平面形状における正弦波の振幅は、下地層11の断面形状における正弦波の振幅と同じになっている。
図2(c)に示すように、導電膜パターン12はコイル軸1Aの周囲を円環状に囲んでいる。導電膜パターン12により囲まれる領域12Aは、真円状になっている。なお、導電膜パターン12の平面形状における正弦波の振幅が、下地層11の断面形状における正弦波の振幅と異なる構成も可能であり、この場合にはコイル軸1Aに直交する面に投影した導電膜パターン12に囲まれる領域が楕円状になる。
以上のような構成のインダクタ素子1において、端子51、52の間に電圧(電気信号)が印加されると、導電膜パターン12に囲まれる領域12Aに電磁誘導による磁力線が発生し、インダクタ素子1がインダクタとして機能する。インダクタ素子1のインダクタンス値は、導電膜パターン12の巻き数、領域12Aの面積、領域12Aにおける透磁率の積に比例する量になる。
本実施形態のインダクタ素子1は、凹部11B内に透磁部13が埋設されているので、凹部11B内に非磁性材料(例えば空気)が充填される場合よりも下地層11の透磁率が高くなり、インダクタンス値が高くなる。また、透磁部13が、導電膜パターン12を覆っているので、透磁部13により導電膜パターン12を保護することができる。
インダクタ素子1にあっては、以下の理由により、平面型のインダクタよりも導電膜パターン12の巻き数を増やすことが容易である。
平面型のインダクタにおいて巻き数を増やすと、平面視したインダクタの外径が巻き数に比例して増加する。したがって、平面視したインダクタの面積が巻き数の二乗で増加して、インダクタが大面積化してしまう。また、巻き数が増えるほど1巻き当りの導線長さが増加するので、インダクタの抵抗値が増加してQ値が低下してしまう。
本実施形態のインダクタ素子1において、導電膜パターン12の巻き線として機能する部分は、隣接する2つの凸部11Aの頂部間が1巻き分に相当する。インダクタ素子1において巻き数を増やすためには、巻き数の分だけ凸部11Aや凹部11Bの数を増やせばよい。インダクタ素子1のコイル軸1Aに沿う方向の寸法の増分は、巻き数の増分に比例する量になる。したがって、巻き数の増加によるインダクタ素子1の増分は、平面型のインダクタに比べて小さくなり、インダクタ素子1の大面積化や導電膜パターン12の微細化を招くことなく巻き数を増やすことができる。また、1巻き当りの導線長さが略一定であるので、Q値を低下させることなく巻き数を増やすことができる。
また、インダクタ素子1にあっては、導電膜パターン12の一端と他端とがともに、コイル軸1Aを環状に囲んだ導電膜パターン12の巻き線部分の外側に配置されるので、平面型のインダクタよりも回路に組み込むことが容易である。例えば、平面型のインダクタの場合には、巻き線の中心側に配置される部分を取り出すために、ワイヤボンディングや多層配線が必要になる。一方、インダクタ素子1にあっては、ワイヤボンディング等を用いることなく電気的な接続をとることができ、工数を減らすことや配線抵抗を減らすことができる。
なお、第1実施形態では、半導体チップ5の能動面5Aに設けられたインダクタ素子1を説明したが、半導体チップの能動面5A以外の表面、例えば能動面の裏面側に設けられていてもよい。
また、下地層11としては、透磁部13と同様に磁性材料を含有した形成材料からなるものを採用してもよい。例えば、フェライト粒子を含んだ樹脂を形成材料として、インプリント等により下地層を形成してもよい。これにより、インダクタンス値を高めることができる。
また、下地層11としては、透磁部13と同様に磁性材料を含有した形成材料からなるものを採用してもよい。例えば、フェライト粒子を含んだ樹脂を形成材料として、インプリント等により下地層を形成してもよい。これにより、インダクタンス値を高めることができる。
[第2実施形態]
次に、本発明のインダクタ素子の第2実施形態を説明する。第2実施形態が第1実施形態と異なる点は、下地層の断面形状、及び導電膜パターンの平面形状が略台形波状になっている点である。
次に、本発明のインダクタ素子の第2実施形態を説明する。第2実施形態が第1実施形態と異なる点は、下地層の断面形状、及び導電膜パターンの平面形状が略台形波状になっている点である。
図3は、第2実施形態のインダクタ素子2の概略構成を示す斜視図である。なお、インダクタ素子2は、第1実施形態と同様の透磁部を有しているが、見やすくするために透磁部の図示を省略している。
図3に示すように、インダクタ素子2は、第1実施形態と同様の半導体チップ5の能動面5Aに設けられている。インダクタ素子2は、能動面5A上に設けられた下地層21、下地層21上に設けられた導電膜パターン22、下地層21と導電膜パターン22とを覆って設けられた透磁部23(図4(a)参照)を有している。
下地層21は、凸部21Aと凹部21Bとがコイル軸1Aに沿う方向(X方向)に交互にかつ周期的に並んだ構造になっている。凸部21A、及び凹部21Bは、いずれも能動面5Aに沿う方向のうちのコイル軸1Aと略直交する方向(Y方向)に延在している。下地層21は、材質や寸法が第1実施形態と同様のものである。導電膜パターン22は、凸部11A上と凹部11B上とにわたって設けられている。導電膜パターン22は、平面視した状態でコイル軸2Aの一端側から他端側に向かって蛇行している。これにより、導電膜パターン22は、コイル軸2Aの周囲を螺旋状に囲む三次元形状になっている。導電膜パターン12は、材質が第1実施形態と同様のものである。
図4(a)は、コイル軸2Aを含み能動面5Aに直交する面におけるインダクタ素子1の側断面図、図4(b)は、能動面5Aに平行な面におけるインダクタ素子2の平面図、図4(c)はインダクタ素子2をコイル軸2Aに直交する面に投影した投影図である。
図4(a)に示すように、下地層21の表面形状は、下地層21の厚み方向(Z方向)に平行でコイル軸2Aを含んだ下地層21の断面(XZ面)において、台形波状になっている。この台形波は、コイル軸2Aに沿う方向が進行方向になっている。1つの凸部21Aと1つの凹部21Bとが連続した部分が、台形波の1周期に対応している。台形の振幅(両振幅)は、下地層21の厚みと同じになっている。
図4(b)に示すように、導電膜パターン22は、コイル軸2Aをまたいで蛇行している。下地層21の厚み方向(Z方向)に直交する面に投影した導電膜パターン22の平面形状は、台形波状になっている。この台形波は、コイル軸2Aに沿う方向が進行方向になっている。導電膜パターン22の平面形状における台形波の波長は、下地層21の断面形状における台形波の波長と同じになっている。導電膜パターン22の平面形状における台形波の位相は、下地層21の断面形状における台形波の位相と、台形波の1/4波長分だけずれている。台形波は、下地層21の厚み方向(Z方向)が振幅方向になっている。本実施形態では、導電膜パターン22の平面形状における台形波の振幅は、下地層21の断面形状における台形波の振幅と同じになっている。
図4(c)に示すように、導電膜パターン22はコイル軸2Aの周囲を枠状に囲んでいる。導電膜パターン22により囲まれる領域22Aは、正方形状になっている。なお、導電膜パターン22の平面形状における台形波の振幅が、下地層21の断面形状における台形波の振幅と異なる構成も可能であり、この場合にはコイル軸2Aに直交する面に投影した導電膜パターン22に囲まれる領域が長方形状になる。
本実施形態のインダクタ素子2にあっては、第1実施形態と同様に大面積化を招くことなく巻き数を増やすことが容易になっており、インダクタンス値を高くすることが容易になっている。また、Q値を低下させることなく巻き数を増やすことができ、高性能なインダクタ素子にすることができる。また、ワイヤボンディング等を用いることなく電気的な接続をとることができ、工数を減らすことや配線抵抗を減らすことができる。
また、インダクタ素子2は、第1実施形態と異なり導電膜パターン22が折れ線状になっているので、曲線状の導電膜パターンよりも形状精度を高めることが容易になる。特に、本実施形態のように、凸部21Aの天井面と凹部21Bの底面との間の傾斜面における導電膜パターン22が、平面視した状態でコイル軸2Aと略平行になるようにすれば、傾斜面において導電膜パターン22の形成時のパターニング精度を確保することができる。また、傾斜面における導電膜パターン22が、平面視した状態でコイル軸2Aと略90°の角度をなすようにすることによっても、傾斜面においてパターニング精度を確保することができる。
なお、下地層の断面形状や導電膜パターンの平面形状としては、正弦波状、台形波状以外でもよく、例えば、矩形波状や三角波状であってもよい。また、下地層の断面形状が、導電膜パターンの平面形状と異なる波形状であってもよい。例えば、断面形状が正弦波状である下地層上に平面形状が矩形波状の導電膜パターンを形成して、インダクタ素子を構成することも可能である。
[第3実施形態]
次に、本発明のインダクタ素子の第3実施形態を説明する。第3実施形態が第1、第2実施形態と異なる点は、複数の導電膜パターンによりインダクタ素子が構成されている点である。
次に、本発明のインダクタ素子の第3実施形態を説明する。第3実施形態が第1、第2実施形態と異なる点は、複数の導電膜パターンによりインダクタ素子が構成されている点である。
図5は、第3実施形態のインダクタ素子3の概略構成を示す斜視図である。なお、インダクタ素子3は、第1実施形態と同様の透磁部を有しているが、見やすくするために透磁部の図示を省略している。
図5に示すように、本実施形態のインダクタ素子3は、半導体チップ6の表面に形成されている。半導体チップ6は、能動面6Aにインダクタ素子3との電気的な接続を図る端子として、4つの端子61〜64が設けられている。半導体チップ6は、第1、第2実施形態と同様に、その内部にICやTFT等が設けられたものである。
インダクタ素子3は、能動面6Aに設けられた下地層31と、下地層31上に設けられた導電膜パターン32、34と、下地層31及び導電膜パターン32、34を覆って設けられた透磁部33(図6(a)参照)とを有している。透磁部33が下地層31の周辺の端子61〜64を覆うように設けられている。下地層31や透磁部33は、第1実施形態と同様のものである。
導電膜パターン32、34は、いずれも凸部31A上と凹部31B上とにわたって設けられている。導電膜パターン32、34は、平面視した状態でコイル軸3Aの一端側から他端側に向かって蛇行している。導電膜パターン32、34は、コイル軸3Aの周囲を螺旋状に囲む三次元形状になっている。導電膜パターン32は、一端が端子61と電気的に接続されており、他端が端子62と電気的に接続されている。導電膜パターン34は、一端が端子63と電気的に接続されており、他端が端子64と電気的に接続されている。導電膜パターン32、34の材質としては、第1実施形態と同様のものを用いることができる。
図6(a)はコイル軸1Aを含み能動面5Aに直交する面におけるインダクタ素子3の側断面図、図6(b)は能動面6Aに平行な面におけるインダクタ素子3の平面図、図6(c)はインダクタ素子3をコイル軸3Aに直交する面に投影した投影図である。なお、図6(a)では下地層31の形状を見やすくするために、導電膜パターン32、34の図示を省略している。
図6(a)に示すように、下地層31の表面形状は第1実施形態と同様に、下地層11の厚み方向(Z方向)に平行でコイル軸3Aを含んだ下地層31の断面(XZ面)において、正弦波状になっている。
図6(b)に示すように、導電膜パターン32、34は、いずれもコイル軸1Aをまたいで蛇行している。下地層31の厚み方向(Z方向)に直交する面に投影した導電膜パターン32、34の平面形状は、いずれも正弦波状になっている。この正弦波は、波長が下地層31の断面形状における正弦波と同じになっており、位相が下地層31の断面形状における正弦波の位相と1/4波長分(位相差がπ/2)だけずれている。導電膜パターン32は、導電膜パターン34よりも多くの凸部31A、31Bにわたって設けられている。すなわち、導電膜パターン32は、導電膜パターン34よりも導電膜パターン12の巻き線として機能する部分の巻き数が多くなっている。導電膜パターン34は、凹部31Bの底部から能動面5A上に引き出されて、端子64と電気的に接続されている。
図6(c)に示すように、導電膜パターン32、34は、いずれもコイル軸3Aの周囲を環状に囲んでいる。導電膜パターン32に囲まれる領域32A、導電膜パターン32に囲まれる領域34Aは、真円状になっている。領域32A、領域34Aは、互いに重なり合うようになっており、重なり合った領域35の重心がコイル軸3Aを通るようになっている。
本実施形態のインダクタ素子3にあっては、第1、第2実施形態と同様に、Q値を低下させることなくインダクタンス値を向上させることができ、高性能なインダクタ素子にすることができる。また、ワイヤボンディング等を用いることなく電気的な接続をとることができ、工数を減らすことや配線抵抗を減らすことができる。
導電膜パターン32の通電時に領域32Aに生じた磁束により、導電膜パターン34に誘導起電力が生じる。これにより、端子61、62の間の電位差を所望の比率に変圧して取り出すことができ、インダクタ素子3をトランス素子として機能させることができる。
平面型のインダクタによりトランス素子を構成するためには、例えば磁性材料膜等を介して複数のインダクタを積層することや、一方のインダクタの巻き線の間に他方のインダクタの巻き線が配置される2重渦巻き状の導電膜パターンを形成することが考えられる。前者の場合には、本実施形態のインダクタ素子3よりも工数が増えてしまうし、後者の場合には、インダクタ素子3よりも巻き数が少なくなることや大面積化を招いてしまうこと等の不都合ある。このように、インダクタ素子3は、第1実施形態のインダクタ素子1と同じ工数で形成することができ、しかも同程度の寸法にすることができる。
なお、複数の導電膜パターンで巻き数を同じにすれば、一方の導電膜パターンの両端に印加された電位によらずに、両端の電位差のみを他方の導電膜パターンから取り出すことができる。
なお、複数の導電膜パターンで巻き数を同じにすれば、一方の導電膜パターンの両端に印加された電位によらずに、両端の電位差のみを他方の導電膜パターンから取り出すことができる。
[製造方法]
次に、第3実施形態のインダクタ素子3の構造に基づいて、本発明のインダクタ素子を製造する方法の一例を説明する。
次に、第3実施形態のインダクタ素子3の構造に基づいて、本発明のインダクタ素子を製造する方法の一例を説明する。
図7(a)〜(d)、図8(a)〜(d)、図9(a)〜(d)は、インダクタ素子3の製造方法の一例を示す工程図である。図7(a)〜(d)、図8(a)〜(d)、図9(a)〜(d)の各々には、側断面図とその要部拡大図とを併せて図示している。
インダクタ素子3を製造するには、まず図7(a)に示すようにインダクタ素子3のベースとなる基体を用意する。ここでは、WCSP技術を用いて製造される半導体チップ6を基体として用いる。詳しくは、半導体チップ6は、大判のシリコンウェハ等を基板として、基板上にICやTFTを形成した後、ICやTFTを覆ってパッシベーション膜を形成し、次いで個片化すること等により得られる。本例では、パッシベーションを形成した後、個片化される前の基板を基体としている。
次いで、図7(b)に示すように、半導体チップ6上に樹脂膜36を形成する。樹脂膜36は、後に下地層31になる部分である。ここでは、感光性のポリイミド等の樹脂材料をスピンコート法等の塗布法を用いて成膜して、樹脂膜36を形成する。樹脂膜36の厚みとしては、例えば10〜30μm程度にする。
次いで、図7(c)に示すように、樹脂膜36上にフォトマスクM1を位置合わせして配置するとともに、フォトマスクM1を介して樹脂膜36を露光する。次いで、図7(d)に示すように、露光された樹脂膜36を現像する。現像により除去されなかった部分は後に凸部31Aになる部分であり、現像により除去された部分は後に凹部31Bになる部分である。 次いで、図8(a)に示すように、現像された樹脂膜36をアニールすることによりリフロー処理する。現像により除去されなかった部分の一部は、アニールの熱により軟化して、現像により除去された部分に流動する。これにより、滑らかな表面形状の下地層31が得られる。
なお、フォトマスクM1として部分的に光の透過率が異なるハーフマスクを用いることにより、樹脂膜の部分的な露光の程度を異ならせることにより、下地層を形成することもできる。また、ハーフマスクを用いた露光・現像を行った後に、アニール処理を併用して下地層を形成してもよい。また、磁性材料の粒子を含んだ樹脂材料を形成材料に用いて、インプリント等により下地層を形成してもよい
本例では、下地層上にめっき法を用いて導電膜を形成し、この導電膜をパターニングすることにより導電膜パターン32、34を一括して形成する。具体的には、図8(b)に示すように、下地層31上に導電膜のシード層37を例えばスパッタリング法により形成する。シード層37の形成材料としては、導電膜の形成材料に応じて適宜選択されるが、
下地層31に対して良好な密着性を発現するものが好ましい。
下地層31に対して良好な密着性を発現するものが好ましい。
次いで、図8(c)に示すように、シード層37をめっき法により厚膜化して、導電膜38を形成する。めっき法としては、電解めっき法、無電解めっき法のいずれを用いてもよい。なお、めっき法を用いずにスパッタリング法のみで導電膜を形成することも可能である。
次いで、図8(d)に示すように、導電膜38上にレジスト材料を塗布法等により成膜してレジスト膜Rを形成する。次いで、図9(a)に示すように、フォトマスクM2を配置するとともにフォトマスクM2を介してレジスト膜Rを露光する。フォトマスクM2としては、下地層31の表面形状の凹凸による焦点のずれを考慮して開口形状を調整したものを用いるとよい。これにより、導電膜パターン32、34の形状精度を高めることができる。また、第2実施形態のインダクタ素子2のように、斜面においてX方向あるいはY方向の位置が変化しない形状の導電膜パターンにすることによっても形状精度を高めることができる。
次いで、図9(b)に示すように、露光されたレジスト膜Rを現像することにより、レジストパターンM3を形成する。次いで、図9(c)に示すように、レジストパターンM3をマスクとして、導電膜38をエッチングすることにより、導電膜パターン32、34を一括して形成する。次いで、図9(d)に示すように、レジストパターンM3を剥離する。そして、透磁部33を例えばスピンコート法等の塗布法形成することや半導体チップ6を個片化すること等により、インダクタ素子3が設けられた多数の半導体チップ6を一括して製造することができる。
なお、第1、第2実施形態のインダクタ素子1、2については、本例の製造方法を適用して製造することが可能である。これらインダクタ素子において導電膜パターンの巻き数を増やすには、巻き数に応じたフォトマスクを用いればよく、巻き数を増やすことにより工数が増えることはない。
1、2、3・・・インダクタ素子、1A、2A、3A・・・コイル軸、11、21、31・・・下地層、11A、21A・・・31A・・・凸部、11B、21B、31B・・・凹部、12、22、32、34・・・導電膜パターン、13、23、33・・・透磁部
Claims (6)
- 凹部と凸部とが所定の配列方向に沿って連続した表面形状の下地層と、
前記凹部上と凸部上とにわたって設けられ、前記配列方向に向かって蛇行した導電膜パターンと、を備えていることを特徴とするインダクタ素子。 - 前記下地層上に複数の前記導電膜パターンが互いに非接触に形成されており、前記配列方向に直交する面に前記複数の導電膜パターンの各々を投影した領域の少なくとも一部が前記複数の導電膜パターンで重なり合うように、前記複数の導電膜パターンが配置されていることを特徴とする請求項1に記載のインダクタ素子。
- 前記凸部が前記凹部に対して突出している高さ方向と、前記配列方向とに平行な面での前記下地層の断面において前記表面形状が正弦波状になっているとともに、前記高さ方向に直交する面に投影した前記導電膜パターンの平面形状が前記断面における前記表面形状と波長が略一致した正弦波状になっていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインダクタ素子。
- 前記凸部が前記凹部に対して突出している高さ方向と、前記配列方向とに平行な面での前記下地層の断面において前記表面形状が略台形波状になっているとともに、前記高さ方向に直交する面に投影した前記導電膜パターンの平面形状が前記断面における前記表面形状と波長が略一致した略台形波状になっていることを特徴とする請求項1又は2に記載のインダクタ素子。
- 前記凹部に、磁性材料を含有した透磁部が埋設されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のインダクタ素子。
- 前記透磁部が、前記凸部上に設けられた部分の前記導電膜パターンを覆って形成されていることを特徴とする請求項5に記載のインダクタ素子。
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-
2008
- 2008-11-28 JP JP2008304437A patent/JP2010129858A/ja active Pending
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