JP2010123818A - 窒化物半導体多層構造体及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】窒化物半導体多層構造体の製造方法は、珪素基板の上に窒化アルミニウム層を結晶成長させる工程(a)と、窒化アルミニウム層の上に、窒化ホウ素層と窒化ガリウム層とを交互に繰り返して結晶成長させて、窒化ホウ素層と窒化ガリウム層とを交互に積層する多層構造層を形成する工程(b)と、多層構造層の上に、窒化物半導体層を成長させる工程(c)と、を備える。
【選択図】図1
Description
珪素基板の上に窒化アルミニウム層を結晶成長させる工程(a)と、前記窒化アルミニウム層の上に、窒化ホウ素層と窒化ガリウム層とを交互に繰り返して結晶成長させて、窒化ホウ素層と窒化ガリウム層とを交互に積層する多層構造層を形成する工程(b)と、前記多層構造層の上に、窒化物半導体層を成長させる工程(c)と、を備えることを特徴とする。
21:多層構造体、211:第1の層、212:第2の層、22:窒化物半導体層
Claims (6)
- 珪素基板の上に窒化アルミニウム層を結晶成長させる工程(a)と、
前記窒化アルミニウム層の上に、窒化ホウ素層と窒化ガリウム層とを交互に繰り返して結晶成長させて、窒化ホウ素層と窒化ガリウム層とを交互に積層する多層構造層を形成する工程(b)と、
前記多層構造層の上に、窒化物半導体層を成長させる工程(c)と、
を備えることを特徴とする窒化物半導体多層構造体の製造方法。 - 前記工程(a)の後に、前記窒化アルミニウム層の上に窒化アルミニウムガリウム層を結晶成長させる工程(d)を含み、
前記窒化アルミニウムガリウム層の上に、前記工程(b)により前記多層構造層を形成することを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体多層構造体の製造方法。 - 前記工程(c)は、前記多層構造層の上に、前記多層構造層の格子定数より大きい格子定数の窒化物半導体層を成長させる工程であることを特徴とする請求項1又は2記載の窒化物半導体多層構造体の製造方法。
- 珪素基板と、
前記珪素基板の上に配置される窒化アルミニウム層と、
前記窒化アルミニウム層の上に配置され、窒化ホウ素層と窒化ガリウム層とが交互に積層される多層構造層と、
前記多層構造層の上に配置される窒化物半導体層と、
を有することを特徴とする窒化物半導体多層構造体。 - 窒化アルミニウムガリウム層を有し、
前記窒化アルミニウムガリウム層が、前記窒化アルミニウム層の上に配置され、前記多層構造層が、前記窒化アルミニウムガリウム層の上に配置されることを特徴とする請求項4記載の窒化物半導体多層構造体。 - 前記窒化物半導体層の格子定数が、前記多層構造層の格子定数より大きいことを特徴とする請求項4又は5記載の窒化物半導体多層構造体。
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