JP2010107443A - デバイス試験装置およびデバイス試験方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 デバイス試験装置(100)は、被試験デバイス(130
)を搭載するためのステージ(40)と、ステージ上に液体もしくは気体からなら媒介物を供給する媒介物供給手段(80)と、ステージの温度を媒介物の凍結温度以下に制御する温度制御手段(30)と、を備える。デバイス試験方法は、被試験デバイス(130)を搭載するためのステージ(40)上に媒介物を供給する媒介物供給ステップと、ステージ上に被試験デバイスを配置する配置ステップと、配置ステップ後にステージの温度を媒介物の凍結温度以下に制御する温度制御ステップと、を含む。
【選択図】 図1
Description
図1は、第1の実施の形態に係るデバイス試験装置100の模式図である。図1を参照して、デバイス試験装置100は、冷却ファン10上に放熱フィンブロック20、ペルチェ素子30およびステージ40が順に配置された構造を有する。冷却ファン10およびペルチェ素子30には、コントローラ50が接続されている。
実施例においては、第1の実施の形態に係る試験装置100を用いてステージ40上にデバイスユニット110を氷結させて、デバイスユニット110を冷却した。
比較例においては、ステージ40とデバイスユニット110との間にサーマルシートを配置し、氷結させずにデバイスユニット110を冷却した。
図4は、冷却結果を説明するための図である。図4において、横軸は経過時間であり、縦軸は温度である。図4に示すように、ステージ40の温度の低下とともに実施例および比較例いずれのデバイスユニット110の温度も低下した。しかしながら、比較例においてはデバイスユニット110の温度が−35℃までしか到達しなかったのに対して、実施例においてはデバイスユニット110の温度が−40℃まで到達した。
20 放熱フィンブロック
30 ペルチェ素子
40 ステージ
50 コントローラ
60 シーリング部材
70 断熱パッキン
80 ガス供給部
85 ドライガス供給部
90 箱
100 デバイス試験装置
110 デバイスユニット
120 実装ブロック
130 被試験デバイス
Claims (16)
- 被試験デバイスを搭載するためのステージと、
前記ステージ上に液体もしくは気体からなら媒介物を供給する媒介物供給手段と、
前記ステージの温度を前記媒介物の凍結温度以下に制御する温度制御手段と、を備えることを特徴とするデバイス試験装置。 - 前記温度制御手段は、前記媒介物供給手段によって前記媒介物を含む気体が前記ステージに供給される際に、前記ステージの温度を前記気体の結露温度以下に制御した後に前記媒介物を凍結温度以下に制御することを特徴とする請求項1記載のデバイス試験装置。
- 前記媒介物は、水蒸気であることを特徴とする請求項1または2記載のデバイス試験装置。
- 前記媒介物は、水であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のデバイス試験装置。
- 前記温度制御手段は、前記被試験デバイスの温度を目標温度よりも低い温度に低下させた後に前記目標温度に到達させる制御をすることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のデバイス試験装置。
- 前記被試験デバイスは、光半導体デバイスであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のデバイス試験装置。
- 前記媒介物供給手段は、前記ステージ上面の外周部に前記媒介物を供給する複数の供給部を備えていることを特徴とする請求項1記載のデバイス試験装置。
- 前記デバイス試験装置にドライガスを供給する手段を備えることを特徴とする請求項1記載のデバイス試験装置。
- 被試験デバイスを搭載するためのステージ上に媒介物を供給する媒介物供給ステップと、
前記ステージ上に前記被試験デバイスを配置する配置ステップと、
前記配置ステップ後に前記ステージの温度を前記媒介物の凍結温度以下に制御する温度制御ステップと、を含むことを特徴とするデバイス試験方法。 - 前記温度制御ステップは、前記媒介物供給ステップによって前記媒介物を含む気体が前記ステージに供給される際に、前記ステージの温度を前記気体の結露温度以下に制御した後、前記媒介物を凍結温度以下に制御するステップであることを特徴とする請求項9記載のデバイス試験方法。
- 前記媒介物は、水蒸気であることを特徴とする請求項9または10記載のデバイス試験方法。
- 前記媒介物は、水であることを特徴とする請求項9〜11のいずれかに記載のデバイス試験方法。
- 前記温度制御ステップは、前記被試験デバイスの温度を目標温度よりも低い温度に低下させた後に前記目標温度に到達させる制御をするステップであることを特徴とする請求項9〜12のいずれかに記載のデバイス試験方法。
- 前記被試験デバイスは、光半導体デバイスであることを特徴とする請求項9〜13のいずれかに記載のデバイス試験方法。
- 前記媒介物供給ステップにおいて、前記ステージ上面の外周部に複数箇所から前記媒介物を供給することを特徴とする請求項9記載のデバイス試験方法。
- 前記ステージ上面にドライガスを供給するドライガス供給ステップを含むことを特徴とする請求項9記載のデバイス試験方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018523122A (ja) * | 2015-07-21 | 2018-08-16 | デルタ・デザイン・インコーポレイテッドDelta Design, Inc. | 連続的な流体熱界面材料の分配 |
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