JPS61127638U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61127638U JPS61127638U JP1076685U JP1076685U JPS61127638U JP S61127638 U JPS61127638 U JP S61127638U JP 1076685 U JP1076685 U JP 1076685U JP 1076685 U JP1076685 U JP 1076685U JP S61127638 U JPS61127638 U JP S61127638U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- probe
- optical fiber
- cooling medium
- protective tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図。第２
図は第１図のＡ―Ａ部分の水平断面を示す図。 １はウエーハ、２はウエーハステージ、３は微
動Ｚステージ、４はＸ・Ｙステージ、５は金属探
針、６は光学像モニタ用光フアイバの受光部、７
は保護管、７０１は開口部、８は固定部、９は保
護ガラス、１０は乾燥窒素ガス流入口、１１はプ
ローブヘツド、１２はプローブ板、１２０１はプ
ローブ板アーム、１３は粗動Ｚステージ、１４は
液体窒素、１５は冷却室、１６は穴を示す。
図は第１図のＡ―Ａ部分の水平断面を示す図。 １はウエーハ、２はウエーハステージ、３は微
動Ｚステージ、４はＸ・Ｙステージ、５は金属探
針、６は光学像モニタ用光フアイバの受光部、７
は保護管、７０１は開口部、８は固定部、９は保
護ガラス、１０は乾燥窒素ガス流入口、１１はプ
ローブヘツド、１２はプローブ板、１２０１はプ
ローブ板アーム、１３は粗動Ｚステージ、１４は
液体窒素、１５は冷却室、１６は穴を示す。
Claims (1)
- 被測定素子が形成されたウエハを載せるウエハ
ステージが垂直方向に微動自在なＺステージに固
定され、この微動Ｚステージと、前記ウエハステ
ージを水平方向に移動自在なＸ・Ｙステージと、
探針と光学像モニタ用光フアイバとが設置された
プローブ板と、が固定された粗動Ｚステージおよ
び冷却媒体を満たすべき冷却室とを備え、前記粗
動Ｚステージの移動によつて前記ウエハステージ
と探針と光フアイバの受光部を前記冷却媒体に浸
漬する構造を有する素子特性評価装置であつて、
前記光フアイバの受光部が中空の保護管でおおわ
れ保護管の先端部に透明な観測用の窓が設けられ
保護管先端と後端の間でしかも冷却媒体に漬され
る線より上に乾燥ガス流入口が設けられ、さらに
保護管後端部が開放され排気口となつていること
を特徴とする素子特性評価装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1076685U JPS61127638U (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1076685U JPS61127638U (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61127638U true JPS61127638U (ja) | 1986-08-11 |
Family
ID=30492253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1076685U Pending JPS61127638U (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61127638U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010107443A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | デバイス試験装置およびデバイス試験方法 |
-
1985
- 1985-01-29 JP JP1076685U patent/JPS61127638U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010107443A (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-13 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | デバイス試験装置およびデバイス試験方法 |
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