JP2010097854A - 加熱真空処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加熱ランプ15を室温から昇温させる場合、室温から変更温度までは位相制御で昇温させ、変更温度から処理温度まではサイクル制御で昇温させる。処理温度から変更温度よりも低い最低温度まで降温した場合、サイクル制御によって処理温度まで上昇させる。加熱ランプのフィラメントが低抵抗の室温のときは、位相制御を用いているので突入電流が発生せず、変更温度以上のときは、サイクル制御を用いているのでノイズが発生しない。
【選択図】図4
Description
尚、抵抗加熱コイルの通電量を制御する加熱方法としては下記特許文献1が公知であり、加熱ランプで加熱する加熱方法としては下記特許文献2が公知である。
このノイズは高調波として、供給電源側に影響を与え、当装置のみならず、他の機器への影響を与える懸念がある。
また、本発明は、前記処理対象物が前記最低温度よりも高い温度から前記最低温度よりも低い温度に降温したことが前記センサによって測定されると、前記サイクル制御によって前記加熱ランプの熱線の放射を制御して前記処理対象物を昇温させる加熱真空処理方法である。
また、本発明は、前記センサを前記保持具又は前記真空槽に取り付けておき、前記保持具又は前記真空槽の温度を測定して前記処理対象物の温度とする加熱真空処理方法である。
図1の符号1は成膜装置であり、搬入室11と、加熱室12と、処理室13と、搬出室14を有している。
各室11〜14は、真空槽51〜54を有しており、各真空槽51〜54には真空排気系21〜24が接続され、それぞれ個別に真空排気できるようにされている。
加熱ランプ15の構成は図3に示す。加熱ランプ15は細長いガラス管31と、ガラス管31内に配置されたフィラメント32を有しており、細長いガラス管31の両端には個別電極33が配置され、フィラメント32の両端はそれぞれ個別電極33に結線されている。
このモジュール16は加熱室12内に複数配置されており、複数本配置された加熱ランプ15と処理対象物7の位置関係は図2に示す。加熱ランプ15によって処理対象物7の両面が覆われるように複数のモジュール16が配置されている。
電圧変換装置27は一次巻線41と二次巻線42を有しており、加熱電源29は一次巻線41の両端に結線され、加熱電源29が出力する交流電圧は一次巻線41の両端に印加されている。
二次巻線42の両端は、別の制御装置17を介して、一台のモジュール16の一方の共通電極34にそれぞれ接続されている。
センタータップ28の電圧は、二次巻線42の両端の間の電圧の1/2の電圧になるようにされており、従って、二次巻線42の両端に電圧Vが誘起されたときには、二次巻線42の一端は+V/2の電位になり、他端は−V/2の電位なるように構成されている。
この電流によりフィラメント32が加熱され、高温になると熱線(赤外線)が放射され、処理対象物7に照射される。この熱線により、処理対象物7の温度が上昇する。
半波長の中央位置の電圧は、交流電圧のうちの最も大きいピーク電圧であるため、加熱ランプ15が室温であり、フィラメント32の抵抗値が低い場合、ピーク電圧が印加されると突入電流が発生してしまう。
そのため、加熱ランプ15への電圧印加を、位相制御からサイクル制御に変更する必要がある。
加熱室12内に処理対象物7が配置されていなかった場合、処理温度cに達したことがセンサ19によって検出されたときに、加熱室12内に処理対象物7が搬入される。
従って、加熱室12の真空槽52の温度や保持具18の温度をセンサ19によって検出すると、その温度は処理温度dよりも低くなっているので、サイクル制御の導通半波長を増やし、処理温度dに復帰させる。処理温度dよりも高くなると、導通半波長を減少させる。
なお、加熱室12内で処理温度dに昇温された処理対象物7は処理室13に移動され、処理室13内に配置されたヒータ25の表面に配置され、ヒータ25の発熱によって処理温度dが維持されながら、処理室13内のターゲット26がスパッタリングされ、処理対象物7の表面に薄膜が形成される。
15……加熱ランプ
18……保持具
19……センサ
29……加熱電源
52……真空槽
Claims (3)
- 真空槽内に処理対象物を搬入し、
前記真空槽内で保持具によって処理対象物を保持し、
加熱電源が出力する交流電圧を制御装置によって制御して加熱ランプに印加し、前記加熱ランプから熱線を放射させ、真空雰囲気にされた前記真空槽内に配置された前記処理対象物と前記保持具に照射して加熱し、前記処理対象物を真空処理する加熱真空処理方法であって、
予め、室温より高い最低温度と、前記最低温度よりも高い処理温度と、前記最低温度と前記処理温度の間の変更温度とを設定しておき、
前記処理対象物の温度をセンサによって測定し、前記処理対象物の温度が室温にある場合は、前記処理対象物が前記変更温度に達するまで、180度の途中から導通させる半波長の一部を組み合わせた位相制御によって前記加熱ランプの熱線の放射を制御して前記処理対象物を昇温させ、
変更温度に達した後は、180度全期間導通している半波と180度全期間遮断されている半波とを組み合わせたサイクル制御によって前記加熱ランプの熱線の放射を制御して前記処理対象物を昇温させて変更温度以上に昇温させ、前記処理温度にして真空処理を行う加熱真空処理方法。 - 前記処理対象物が前記最低温度よりも高い温度から前記最低温度よりも低い温度に降温したことが前記センサによって測定されると、前記サイクル制御によって前記加熱ランプの熱線の放射を制御して前記処理対象物を昇温させる請求項1記載の加熱真空処理方法。
- 前記センサを前記保持具又は前記真空槽に取り付けておき、前記保持具又は前記真空槽の温度を測定して前記処理対象物の温度とする請求項1又は2のいずれか1項記載の加熱真空処理方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013008494A (ja) * | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Ulvac Japan Ltd | 基板加熱装置 |
JP2013536539A (ja) * | 2010-05-27 | 2013-09-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | クーラント流量の制御及びヒーターのデューティーサイクルの制御による部品温度制御 |
US9214315B2 (en) | 2010-01-29 | 2015-12-15 | Applied Materials, Inc. | Temperature control in plasma processing apparatus using pulsed heat transfer fluid flow |
US9338871B2 (en) | 2010-01-29 | 2016-05-10 | Applied Materials, Inc. | Feedforward temperature control for plasma processing apparatus |
US10274270B2 (en) | 2011-10-27 | 2019-04-30 | Applied Materials, Inc. | Dual zone common catch heat exchanger/chiller |
WO2023112233A1 (ja) * | 2021-12-15 | 2023-06-22 | 住友電気工業株式会社 | ヒータ制御装置、及び電力制御方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01307787A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-12 | Nec Niigata Ltd | 電子写真式プリンタのヒータ電流制御回路 |
JPH03266008A (ja) * | 1990-03-16 | 1991-11-27 | Tokyo Electric Co Ltd | ヒータ制御装置 |
JPH06158314A (ja) * | 1992-11-24 | 1994-06-07 | Hitachi Ltd | 真空処理装置および方法 |
JP2000077345A (ja) * | 1998-09-02 | 2000-03-14 | Kokusai Electric Co Ltd | 電気炉制御装置 |
JP2002190452A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-07-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法並びに熱処理装置及び熱処理方法 |
JP3313044B2 (ja) * | 1997-01-17 | 2002-08-12 | 株式会社三社電機製作所 | サイクル制御方法 |
JP2004191710A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Kyocera Mita Corp | 定着装置及びこれを備えた画像形成装置 |
-
2008
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01307787A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-12 | Nec Niigata Ltd | 電子写真式プリンタのヒータ電流制御回路 |
JPH03266008A (ja) * | 1990-03-16 | 1991-11-27 | Tokyo Electric Co Ltd | ヒータ制御装置 |
JPH06158314A (ja) * | 1992-11-24 | 1994-06-07 | Hitachi Ltd | 真空処理装置および方法 |
JP3313044B2 (ja) * | 1997-01-17 | 2002-08-12 | 株式会社三社電機製作所 | サイクル制御方法 |
JP2000077345A (ja) * | 1998-09-02 | 2000-03-14 | Kokusai Electric Co Ltd | 電気炉制御装置 |
JP2002190452A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-07-05 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法並びに熱処理装置及び熱処理方法 |
JP2004191710A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Kyocera Mita Corp | 定着装置及びこれを備えた画像形成装置 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9214315B2 (en) | 2010-01-29 | 2015-12-15 | Applied Materials, Inc. | Temperature control in plasma processing apparatus using pulsed heat transfer fluid flow |
US9338871B2 (en) | 2010-01-29 | 2016-05-10 | Applied Materials, Inc. | Feedforward temperature control for plasma processing apparatus |
US10854425B2 (en) | 2010-01-29 | 2020-12-01 | Applied Materials, Inc. | Feedforward temperature control for plasma processing apparatus |
JP2013536539A (ja) * | 2010-05-27 | 2013-09-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | クーラント流量の制御及びヒーターのデューティーサイクルの制御による部品温度制御 |
US9639097B2 (en) | 2010-05-27 | 2017-05-02 | Applied Materials, Inc. | Component temperature control by coolant flow control and heater duty cycle control |
JP2013008494A (ja) * | 2011-06-23 | 2013-01-10 | Ulvac Japan Ltd | 基板加熱装置 |
US10274270B2 (en) | 2011-10-27 | 2019-04-30 | Applied Materials, Inc. | Dual zone common catch heat exchanger/chiller |
US10928145B2 (en) | 2011-10-27 | 2021-02-23 | Applied Materials, Inc. | Dual zone common catch heat exchanger/chiller |
WO2023112233A1 (ja) * | 2021-12-15 | 2023-06-22 | 住友電気工業株式会社 | ヒータ制御装置、及び電力制御方法 |
WO2023112410A1 (ja) * | 2021-12-15 | 2023-06-22 | 住友電気工業株式会社 | ヒータ制御装置、及び電力制御方法 |
JP7398062B2 (ja) | 2021-12-15 | 2023-12-14 | 住友電気工業株式会社 | ヒータ制御装置、及び電力制御方法 |
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Publication number | Publication date |
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