JP2010091108A - 同調マスダンパーおよび振動分離装置 - Google Patents

Abstract

【課題】所定の周波数範囲にさらされたときに、第１軸方向サージモードおよび第２軸方向サージモードで振動する構造物とともに用いられる同調マスダンパーを提供すること。
【解決手段】同調マスダンパー３００は、ハウジング３０２、端部キャップ３２４、２つのマス３０６、３０８、および２つのバネ３１０、３１２を含む。第１および第２のマス３０６、３０８は、ハウジングキャビティ３０４内に配置される。第１同調マスダンパーバネ３１０がキャビティ３０４内に配置され、第１マス３０６を端部キャップ３２４を連結する。第２同調マスダンパーバネ３１２は、キャビティ３０４内に配置され、第１マス３０６を第２マス３０８に連結する。同調マスダンパー３００は、第１および第２の軸方向サージモードを減衰させるために、所定の周波数範囲内の第１および第２の共振周波数をそれぞれ備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、概ね、振動分離装置および振動分離装置のための同調マスダンパーに関する。

望遠鏡のような、ペイロードとしてセンサを保持する正確な指示システムは、構造的な振動を生成する乱れを生じさせることがあり、その結果、誤指示を生じさせることがある。このような振動は、正確な指示システム内でのアクチュエータとして用いられる反作用ホイールアセンブリのような機械的な部品またはアセンブリに起因していることがある。多くの部分において、これらのシステムは有意な内在的な減衰器を備えない傾向にあるので、これらの構造的な振動はシステムの性能を低下させ、経時的な構造的な疲労を生じさせることがある。

振動を最小化するために、典型的には、構造物の振動を減衰させ、また、ペイロードを分離するために分離器が用いられる。あるタイプの分離器は、３つのパラメータ振動分離システムとして機能し、また、中空シャフト、ピストン、および主バネを含む。ピストンは、ペイロードから振動を受け取り、振動に応じてシャフトを通ってスライド運動するように構成される。ピストンの中間部から半径方向にフランジが延び、フランジは、第１のシールされるベローズに連結される頂部表面と、第２のシールされるベローズに連結される底部表面とを備える。各ベローズは流体が充填されたチャンバを備える。従って、ピストンがシャフトを通じて軸方向に運動すると、流体はベローズチャンバの一方から他方へ流れる。一般に、シャフトおよびピストンは主バネ内に配置され、主バネは分離器に対する軸方向の剛性を提供する。

システムの動作の間、分離器は主バネを共振させる周波数にさらされ得る。ある場合、共振の程度は、振動を減衰させる分離器の能力を妨害する程度になる。また別の場合、共振は、バネの構造的な完全性を低下させ、バネを時期尚早に衰えさせることがある。共振の程度を減衰させるために、１つまたはそれ以上のエラストマーパッドが主バネに接続または取り付けられることがある。しかし、この構成には欠点がある。たとえば、エラストマーパッドは、ある温度にさらされると予測不可能にクリープすることがあり、またそのため、所望のように共振を減衰できなくなることがある。さらに、エラストマーパッドは、典型的には絶縁材料から形成され、電気的および／または熱的な伝導をブロックし、それにより、電磁干渉を生成し、また過熱の問題を生じさせうる。

従って、振動減衰能力の改善された振動分離装置を提供することが望まれる。さらに、所定の周波数領域にさらされたときに有意に共振しない振動分離装置を提供することが望まれる。さらに、本発明の他の望ましい特徴および特性は、添付の図面およびこの本発明の背景を参照するとともに、以下の本発明の詳細な説明、添付の特許請求の範囲を参照することにより明らかになるであろう。

同調マスダンパー（tuned mass damper）および振動分離装置が提供される。
一実施形態において、所定の周波数範囲にさらされたときに第１の軸方向サージモードおよび第２の軸方向サージモードで振動する構造に用いられる、同調マスダンパーが提供される。この同調マスダンパーは、ハウジング、端部キャップ、第１マス、第２マス、第１同調マスダンパーバネ、および第２同調マスダンパーバネを含む。ハウジングは、キャビティを画定し、また端部を含む。端部キャップはハウジングの端部に配置される。第１マスはキャビティ内に配置され、第２マスはキャビティ内に配置される。第１同調マスダンパーバネは、キャビティ内に配置され、第１マスおよび端部キャップに連結される。第２同調マスダンパーバネはキャビティ内に配置され、第１マスおよび第２マスに連結される。同調マスダンパーは、第１の軸方向サージモードを減衰させる所定の周波数範囲内にある第１の共振周波数を備え、同調マスダンパーは、第２の軸方向サージモードを減衰させる所定の周波数範囲内にある第２の共振周波数を備え、第１マスおよび第２マスが第２軸方向サージモードにさらされたときに、第２マスは第１マスが共振するときの振幅よりも大きな振幅で共振する。

一実施形態において、単なる例として、振動分離装置は主バネおよび同調マスダンパーを含む。主バネは、第１周波数にさらされたときに第１軸方向サージモードで振動することができ、また、第２周波数にされされたときに第２軸方向サージモードで振動することができ、また主バネは、第１端部から第２端部に向かって測定した長さを備える。同調マスダンパーは主バネに連結され、また、ハウジング、端部キャップ、第１マス、第２マス、第１同調マスダンパーバネ、および第２同調マスダンパーバネを含む。ハウジングはキャビティを画定し、また端部を含む。端部キャップはハウジングの端部を覆う。第１マスはキャビティ内に配置され、第２マスはキャビティ内に配置される。第１同調マスダンパーバネはキャビティ内に配置され、第１マスおよび端部キャップに連結される。第２同調マスダンパーバネはキャビティ内に配置され、第１マスおよび第２マスに連結される。同調マスダンパーは、第１軸方向サージモードを減衰させるために所定の周波数範囲内の第１共振周波数を備え、同調マスダンパーは、第２の軸方向サージモードを減衰させるために、所定の周波数範囲内の第２の共振周波数を備える。同調マスダンパーは、主バネの軸方向の位置に配置され、主バネの長さの約３７．５％のところの第１軸方向位置と、主バネの長さの約６２．５％のところの第２軸方向位置との間に配置される。

本発明を以下に添付図面とともに説明する。添付図面において同様の符号は同様の素子を示す。

一実施形態による振動分離装置の側面図である。 一実施形態による図１に示す振動分離装置の断面図である。 図１または図２に示す振動分離装置の一部として組み込まれる同調マスダンパーの断面図である。 他の実施形態による振動分離装置の断面図である。

本発明の以下の詳細な説明は、本来的に単なる例示であり、本発明または本発明の用途および応用を限定することを意図していない。分離器が例示的な実施形態とともに説明されるが、主バネを備える振動分離装置の任意の数多くの実施形態も同様に実行できる。たとえば、本発明は、主バネを含む任意の振動分離装置において実行できることを理解されたい。また、前述の背景または後述の詳細な説明に示されるいかなる理論によっても本発明は境界付けられない。

図１および図２は、一実施形態による振動分離装置１００の側面図および断面図を示す。一実施形態において、振動分離装置１００は、ピボット部１０２、支持部１０４、およびその間を延びる振動分離装置１０６を有する。ピボット部１０２は、望遠鏡、反作用ホイールアセンブリまたは振動し減衰される他の装置のような図示しないペイロードから振動を受け取るように構成される。支持部１０４は、振動分離装置１０６を図示しないベース部に取り付ける。一実施形態において、支持部１０４は振動分離装置１０６の一部として一体的に形成できる。支持部１０４が図１において、振動分離装置１０６のピボット部１０２の反対側の端部に配置されるように示されているが、支持部１０４は、代替的に振動分離装置１０６の他の適当な部分に形成されてもよく、また適当な部分に連結されてもよい。

図２により詳細に示すように、振動分離装置１０６は、一実施形態において、主バネ１１６、シャフト１０８、ピストン１１０、第１ベローズ１１２、第２ベローズ１１４、および少なくとも１つの同調マスダンパー１１８、１２０を含む。主バネ１１６は、概ね円筒形であり、また、シャフト１０８、ピストン１１０、およびベローズ１１２、１１４の少なくとも一部を中に収容する。一実施形態において、主バネ１１６は、第１開口部１３８を一方の端部１４０に含み、また第２開口部１４２を反対側の端部１４４に含む。第１開口部１３８が形成される端部１４０は、取付キャップ１４６を介してピボット部１０２に連結され、一方で、第２開口部１４２が形成される端部１４４は、主バネ１１６を支持部１０４に取り付けるために用いられる。一実施形態において、取付キャップ１４６および支持部１０４は、シャフト１０８、ピストン１１０、およびベローズ１１２、１１４を主バネ１１６内で取り囲む。

上でほのめかしたように、シャフト１０８は、ピストン１１０、ベローズ１１２、１１４と協働し、運動の一部を減衰させるように構成される。一実施形態において、シャフト１０８は概ね円筒形であり、また、内側表面１２２および端部１２６、１２８を備える。内側表面１２２は通路１２４を画定し、この通路１２４内にピストン１１０およびベローズ１１２、１１４が配置される。シャフト１０８の第１端部１２６は、少なくとも部分的に第１端部キャップ１３０で覆われ、シャフト１０８の第２端部１２８は、少なくとも部分的に第２端部キャップ１３２で覆われる。一実施形態において、端部キャップ１３０、１３２はそれぞれ開口部１３４、１３６を含む。

ピストン１１０をシャフト１０８に対する位置に維持するために、ピストン１１０は、第１ベローズ１１２を介して第１端部キャップ１３０に取り付けられ、第２ベローズ１１４を介して第２端部キャップ１３２に取り付けられる。ピストン１１０がピボット部１０２から振動を受け取ったときに減衰を提供するために、通路１２４は、粘性液体または気体のような流体（図示せず）で満たされる。振動分離装置１０６は、流体により生じうる熱膨張を補正するために温度補正器１３３を含むことができる。一実施形態において、温度補正器１３３は、ピストン１１０を支持部１０４に取り付けるベローズを含んでもよい。

駆動中、主バネ１１６は、所定の周波数範囲内で振動させられたとき、複数の軸方向のサージモードで共振することができる。軸方向のサージモードは、主バネ１１６を軸方向に振動させる周波数である。所定の周波数範囲は、主バネ１１６の１つまたはそれ以上の共振周波数を含む範囲とすることができる。主バネ１１６は、所定の周波数範囲内の第１周波数で振動させられたときに第１軸方向サージモードで共振することができ、所定の周波数範囲内の第２の周波数で振動させられたときに第２軸方向サージモードで共振することができる。いくつかの場合、主バネ１１６の共振は、振動分離装置１１０の減衰性能に干渉することがある。

複数の軸方向サージモードを減衰させるために、一実施形態において、１つまたはそれ以上の同調マスダンパー１１８、１２０が主バネ１１６に取り付けられる。同調マスダンパー１１８、１２０は、一実施形態において、それぞれ複数の軸方向サージモードを減衰させるように構成される。他の実施形態において、１つまたはそれ以上の同調マスダンパー１１８、１２０は、さらに横方向サージモードを減衰させるように構成されてもよい。図示の実施形態において、２つの同調マスダンパー１１８、１２０が示されているが、一実施形態において、単一の同調マスダンパーを備えるようにしてもよい。他の実施形態において、代替的に２つより多くのマスダンパーを備えるようにしてもよい。主バネ１１６に含まれる同調マスダンパーの数は、軸方向サージモードの特定の周波数、および／または減衰させる横方向サージモードの特定の周波数、および／または主バネ１１６の特定の寸法に依存する。

図３は、本発明の一実施形態による同調マスダンパー３００の断面図である。同調マスダンパー３００は、概ね円筒形であり且つキャビティ３０４を画定するハウジング３０２を含む。一実施形態によれば、第１マス３０６、第２マス３０８、第１同調マスダンパーバネ３１０、第２同調マスダンパーバネ３１２、および流体（図示せず）がキャビティ３０４内に配置される。第１マス３０６および第２マス３０８はリング形状であり、開口部を形成する内側直径表面３１６、３１８を備える。一実施形態において、第１同調マスダンパーバネ３１０は第１マス３０６を端部キャップ３２４に連結し、第２同調マスダンパーバネ３１２は第１マス３０６を第２マス３０８に連結する。端部キャップ３２４は、円筒形ハウジング３０２の端部上に配置され、キャビティ３０４をシールする。一実施形態によれば、シャフト３２６は端部キャップ３２４から突き出し、各マス３０６、３０８の開口部を通して延びる。一実施形態において、端部キャップ３２４は、長さに沿って形成された孔３２８を含むことができ、キャビティ３０４から端部キャップ３２４内に形成された温度補正チャンバ３３０への連絡を提供する。流体はキャビティ３０４、孔３２８、および温度補正チャンバ３３０を満たし、マス３０６、３０８およびバネ３１０、３１２を取り囲む。温度補正チャンバ３３０に連通するように温度補正器のベローズ３３２を端部キャップ３２４内に配置することができ、ベローズ３３２は、流体の熱膨張を補正するように調整される。随意に、同調マスダンパー３００を主バネ（たとえば図２の主バネ１１６）に連結するために、フランジ３３４を円筒形ハウジング３０２から外側に延びるようにすることができる。

同調マスダンパー３００は複数のサージモードを減衰させるように構成される。これに関して、バネ３１０、３１２に組み合わせられたマス３０６、３０８は、特定の周波数で共振する単一のマスとして機能するように構成されてもよく、それにより、第１周波数範囲内の周波数において構造物に与えられるであろう、構造物（たとえば主バネ１１６）の第１軸方向サージモードを減衰させる。他の実施形態によれば、バネ３１０、３１２に組み合わせられたマス３０６、３０８は、特定の周波数で共振する単一のマスとして機能するように構成されてもよく、それにより、第２の周波数範囲内の周波数において構造物に与えられるであろう、構造物（たとえば主バネ１１６）の第２軸方向サージモードを減衰させる。さらに他の実施形態において、隣接して連結されるバネ（たとえばバネ３１２）に組み合わせられた第２マス３０８（同調マスダンパーバネ３１２に連結される端部および束縛されない端部を備えるマス）は、構造物の第２軸方向サージモードを減衰させるために、ある振幅における特定の周波数で共振するように構成されてもよく、ここで、この振幅は、２つのマス３０６、３０８が第２周波数範囲内の周波数にさらされたときに第１マス３０６が共振するときの振幅よりも大きい。他の実施形態において、第１マス３０６および第２マス３０８が減衰させる、第１周波数範囲および第２周波数範囲内の周波数は、それぞれ、構造物に与えられる第１軸方向サージモードおよび第２軸方向サージモードにおける、第１周波数範囲および第２周波数範囲内の周波数よりも小さくすることができる。たとえば、第１マス３０６および第２マス３０８が減衰させる、第１周波数範囲および第２周波数範囲内の周波数は、それぞれ、構造物に与えられる第１軸方向サージモードおよび第２軸方向サージモードにおける、第１周波数範囲および第２周波数範囲内の周波数よりも約５％から約１０％小さくすることができる。

一般に、上述のように共振するように同調マスダンパー３００を設計するために、同調マスダンパー３００により減衰させる所望の周波数が始めに選択される。一実施形態において、２つの所望の周波数を選択することができる。しかし、他の実施形態においてより多くの周波数を選択してもよい。一実施形態において、同調マスダンパー３００の所望の周波数は、分離される構造物（たとえば主バネ１１６）の第１の２つの周波数（軸方向サージモード）に一致させることができ、また、第１マス３０６および第２マス３０８の適切な重量の選択、および第１、第２の同調マスダンパーバネ３１０、３１２の剛性の適当な選択により達成することができる。一実施形態において、寸法の選択プロセスの一部において式１を使用できる。

式１（Reference Blevins）において、
Ｍ１＝第１マス（たとえば第１マス３０６）、
Ｍ２＝第２マス（たとえば第２マス３０８）、
ｋ１＝第１マスとグラウンドを連結するバネの剛性（たとえば第１同調マスダンパーバネ３１０）、
ｋ２＝第１マスと第２マスを連結するバネの剛性（たとえば第２同調マスダンパーバネ３１２）、であり、Ｍ１、Ｍ２、ｋ１、ｋ２は、首尾一貫した質量および剛性単位を備える。他の実施形態において、粘性減衰を含むより正確な分析を採用してもよい。

特定の特性を備える同調マスダンパーを設計するために、Ｍ１、Ｍ２、ｋ１、およびｋ２を計算する前に、いくつかの条件を確立することができる。たとえば、システム（たとえばシステム１００）は、所望の全重量制限を備えることができる。従って、一実施形態において、同調マスダンパーの２つのマス（たとえば第１マス３０６および第２マス３０８）の全質量は、減衰される振動を備える構造物（たとえば主バネ１１６）の質量の約５％に設定することができる。同調マスダンパー（たとえば同調マスダンパー３００）内に空間的制限がある他の実施形態において、同調マスダンパーは、大きなマス（たとえば第１マス３０６）および小さなマス（たとえば第２マス３０８）を含むことが望まれ、ここで、大きなマスは、小さなマスよりも約５０％大きい質量を備えることができる。他の実施形態において、同調マスダンパーは、所定の許容公差を備えるように設計することができる。たとえば、２つのマスダンパーバネは、同調マスダンパーが第１軸方向サージモードおよび第２軸方向サージモードの大きさを約５％から約１０％減少させるように選択することができる。

第１マス３０６は第２マス３０８よりも大きく図示されているけれども、第１マス３０６が第２マス３０８よりも小さくなるような他の実施形態も含むことができる。特定の構成に関係なく、同調マスダンパー３００を、第１軸方向サージモードおよび第２軸方向サージモードを減衰させる周波数に調整するために、一方のマス（第１マス３０６または第２マス３０８の一方）を他方のマスより小さくまたは大きくすることができる。さらに、同調マスダンパー３００において２つのマス３０６、３０８が示されているが、代替的により多くのマスを備えるようにしてもよい。特に、２つより多くの軸方向サージモードが減衰される振動を備える構造物（たとえば主バネ１１６）により与えられる実施形態において、２つよりも多くのマスを含むことができ、各マスは１つ以上の軸方向サージモードを減衰させるように選択することができる。たとえば、減衰させる振動を備える構造物により３つの軸方向サージモードが与えられる実施形態において、同調マスダンパーは３つのマスを含むことができる。

任意の場合において、端部キャップ３２４、第１同調マスダンパーバネ３１０、第１マス３０６、第２同調マスダンパーバネ３１２、および第２マス３０８を互いに直列に連結することにより、および、同調マスダンパー内に流体を含むことにより、減衰される２自由度の振動子（oscillator）が形成される。追加的に、同調マスダンパーの第１の２つの共振周波数は、質量、バネ剛性、および減衰値のような様々な設計パラメータを調整することにより、所望の周波数に一致するように調整できる。

軸方向サージモードを減衰させることに加えて、他の実施形態において、同調マスダンパー３００は横方向バネサージモードを減衰させるように構成されてもよい。横方向バネサージモードは、同調マスダンパー３００（または一部品、たとえば主バネ１１６）が横方向に振動し、同調マスダンパー３００自身の操作により生じる場合の周波数とすることができる。横方向サージモードの減衰機構を提供するために、マス３０６、３０８の内側直径表面３１６、３１８の一方または両方と、シャフト３２６の外側表面との間のギャップを特に寸法決めすることができる。たとえば、増加した剛性を提供するために、マス３０６、３０８の一方または両方の内側直径表面３１６、３１８と、シャフト３２６の外側直径表面との間のギャップを減少させることができる。同様に、減少した剛性を提供するために、マス３０６、３０８の一方または両方の内側直径表面３１６、３１８と、シャフト３２６の外側直径表面との間のギャップを増加させることができる。

減衰させる振動を備える構造物（たとえば主バネ１１６）の特定の軸方向サージモードを減衰させるように、同調マスダンパー３００の能力をさらに最適化するために、同調マスダンパー３００は、構造物上で特定の位置に配置することができる。たとえば、図２に戻り、一実施形態において、同調マスダンパー１１８、１２０は、２つの位置の間の軸方向位置に配置することができ、ここで、第１軸方向位置１６０は、端部１４４から端部１３０へ測定した主バネ１１６の長さの約３０％から約４５％の範囲に位置しており、位置実施形態において、好ましくは、第１軸方向位置１６０は主バネ１１６の長さの約３７．５％のところに位置する。第２の軸方向位置１６２は、端部１４４から端部１３０へ測定した主バネの長さの約５５％から約７０％の範囲に位置しており、一実施形態において好ましくは、第２の軸方向位置１６２は、主バネ１１６の長さの約６２．５％のところに位置する。しかし、同調マスダンパー１１８、１２０の具体的な軸方向位置は、減衰される具体的な軸方向サージモード、主バネの具体的な寸法および構成、ペイロードの寸法および構成、および／またはその他の要因に依存し得ることを理解されたい。一実施形態において、同調マスダンパー１１８、１２０の一方または両方は、直接的に主バネ１１６に取り付けられる。他の実施形態において、フランジ１５４は、主バネ１１６に直接的に取り付けられ、同調マスダンパー１１８、１２０は、図２に示すようにフランジ１５４に取り付けられる。

主バネ１１６の外側表面に取り付けられるように示されているが、同調マスダンパー１１８、１２０は、代替的に、内側表面に取り付けるようにしてもよい。図４は、主バネ４１６および内側表面４５８を含む振動分離装置４０６の断面図を示している。同調マスダンパー４１８、４２０は、内側表面４５８に取り付けられている。このような実施形態において減衰能力を維持するために、同調マスダンパー４１８、４２０は、主バネ４１６内に収容されるいずれの部品にも接触しないように配置される。

従来の振動分離装置よりも減衰能力が改善される振動分離装置が提供された。特に、それぞれ複数の軸方向サージモードを減衰させることができる同調マスダンパーが改良された振動分離装置に組み込まれる。いくつかの実施形態において、各同調マスダンパーは、さらに横方向サージモードを減衰させるように構成される。単一の同調マスダンパーに複数のサージモードを減衰させることを許容することにより、振動分離装置内の部品を少なくでき、またそのため振動分離装置の重量および空間を小さくできる。

上記の詳細な説明において本発明の少なくとも１つの実施形態が示されたが、多くの数の変形例が存在することを理解されたい。また、１つまたは複数の例示的な実施形態は、単なる例示であり、本発明の範囲、用途、応用をいかなる意味でも制限することを意図するものではないことを理解されたい。むしろ、上記の詳細な説明は、本技術分野の当業者に、本発明の例示的な実施形態を実行する便宜的なロードマップを提供するものである。添付の特許請求の範囲で規定される本発明の範囲から逸脱することなく、説明された例示的な実施形態における機能および構成において、様々な変更を行うことが可能であることを理解されたい。

Claims (3)

1. 所定の周波数範囲にさらされたときに第１軸方向サージモードおよび第２軸方向サージモードで振動する構造物とともに用いられる同調マスダンパー（１１８、１２０）であって、前記同調マスダンパー（１１８、１２０）は、
   キャビティ（３０４）を画定し且つ端部を含むハウジング（３０２）と、
   前記ハウジング（３０２）の前記端部上に配置される端部キャップ（３２４）と、
   前記キャビティ（３０４）内に配置される第１マス（３０６）と、
   前記キャビティ（３０４）内に配置される第２マス（３０８）と、
   前記キャビティ（３０４）内に配置され、前記第１マス（３０６）を前記端部キャップ（３２４）に連結する第１同調マスダンパーバネ（３１０）と、
   前記キャビティ（３０４）内に配置され、前記第１マス（３０６）を前記第２マス（３０８）に連結する第２同調マスダンパーバネ（３１０）と、を有し、
   前記同調マスダンパー（１１８、１２０）は、前記第１軸方向サージモードを減衰させるための、前記所定の周波数範囲内の第１共振周波数を備え、
   前記同調マスダンパー（１１８、１２０）は、前記第２軸方向サージモードを減衰させるための、前記所定の周波数範囲内の第２共振周波数を備え、
   前記第１マス（３０６）および前記第２マス（３０８）が前記第２軸方向サージモードにさらされたときに、前記第２マス（３０８）は、前記第１マス（３０６）が共振するときの振幅よりも大きな振幅で共振する、同調マスダンパー。
2. 請求項１に記載の同調マスダンパー（１１８、１２０）であって、さらに、
   前記端部キャップ（３２４）から延びるシャフト（３２６）を有し、
   前記第１マス（３０６）および前記第２マス（３０８）は、リング形状であり、前記シャフト（３２６）は前記第１マス（３０６）、前記第１同調マスダンパーバネ（３１０）、前記第２マス（３０８）、および前記第２同調マスダンパーバネ（３１２）を通って延びる、同調マスダンパー。
3. 請求項２に記載の同調マスダンパー（１１８、１２０）であって、前記端部キャップ（３２４）はチャンバ（３３０）を有し、前記端部キャップ（３２４）は孔（３２８）を有し、前記孔（３２８）は、前記キャビティ（３０４）と前記チャンバ（３３０）との間の流体連通を提供する、同調マスダンパー。

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