JP2010085746A - カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、フォトマスクセット - Google Patents
カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、フォトマスクセット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010085746A JP2010085746A JP2008255316A JP2008255316A JP2010085746A JP 2010085746 A JP2010085746 A JP 2010085746A JP 2008255316 A JP2008255316 A JP 2008255316A JP 2008255316 A JP2008255316 A JP 2008255316A JP 2010085746 A JP2010085746 A JP 2010085746A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter
- colored layer
- spacer
- photomask
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
【解決手段】カラーフィルター1は、基板4と、RGBの各色に対応するように配列されるフィルター6〜8と、基板4と対向部材9との間隔を規制するためのフォトスペーサー11〜16とを備える。フォトスペーサー11は、フィルター6と同一材料よりなる着色層と、フィルター8と同一材料よりなる着色層とが積層されて構成されている。フォトスペーサー12〜16の各々は、フィルター6〜8のいずれかと同一材料よりなる1つ着色層のみからなる。着色層の層数を変えることによって、フォトスペーサー11と、これより低いフォトスペーサー12〜16とが形成されている。
【選択図】図3
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るカラーフィルターの一部を示す平面図であり、図2は、図1のII−IIラインに沿った断面図であり、図3は、図1のIII−IIIラインに沿った断面図である。
図6は、本発明の第2の実施形態に係るカラーフィルターの一部を示す平面図であり、図7は、図1のVII−VIIラインに沿った断面図であり、図8は、図1のVIII−VIIIラインに沿った断面図である。
図11は、本発明の第3の実施形態に係るカラーフィルターの一部を示す平面図であり、図12は、図11のXII−XIIラインに沿った断面図であり、図13は、図1のXIII−XIIIラインに沿った断面図である。
上記の各実施形態では、一例として、RGBの3色のフィルターを備えるカラーフィルターについて説明したが、本発明に係るカラーフィルター及びその製造方法は、RGB以外の色のフィルターを備えるカラーフィルターや、4色以上のフィルターを備えるカラーフィルターにも適用できる。4色以上のフィルターを形成する場合は、第4色目のフィルターを形成する工程が更に設けられる。
4 基板
5 ブラックマトリックス
6、7、8 フィルター
11〜16 フォトスペーサー
111〜117 開口
121〜127 着色層
141a、141b、142 フォトマスク
21〜23 フォトスペーサー
211〜216 開口
221〜226 着色層
241a、241b、242 フォトマスク
31〜33 フォトスペーサー
311〜315 開口
321〜323 着色層
341a、341b、342 フォトマスク
Claims (15)
- 基板上に、第1〜第3の色の画素にそれぞれ対応する第1〜第3のフィルターと、高さが異なる第1及び第2のスペーサーとを少なくとも有する液晶表示装置用カラーフィルターの製造方法であって、任意の順序で、
前記第1のフィルターの配列に対応する複数の第1の開口と、前記第1のスペーサーの配列に対応する複数の第2の開口とを有する第1のフォトマスクを用いて、前記基板上に第1の色のフィルター形成用材料をパターニングし、前記第1のフィルターと、前記第1のスペーサーの一部を構成する第1の着色層とを形成する工程と、
前記第1のフォトマスクと同一の開口パターンを有するフォトマスクを用いて、前記基板上に第2の色のフィルター形成用材料をパターニングし、前記第2のフィルターと、前記第2のスペーサーの少なくとも一部を構成する第2の着色層とを形成する工程と、
前記第3のフィルターの配列に対応する複数の第3の開口と、前記第1のスペーサーの配列に対応する複数の第4の開口とを有する第2のフォトマスクを用いて、前記基板上に第3の色のフィルター形成用材料をパターニングし、前記第3のフィルターと、前記第1のスペーサーの一部を構成する第3の着色層とを形成する工程とを備え、
前記第1の着色層と前記第3の着色層とは、互いに重なり合うように形成される、カラーフィルターの製造方法。 - 前記カラーフィルターは、前記第1の着色層及び前記第3の着色層が積層された前記第1のスペーサーと、前記第2の着色層のみからなる前記第2のスペーサーと、更に、第4の着色層のみからなる第3のスペーサーとを有し、
前記第2のフォトマスクは、前記第3のスペーサーの配列と対応する複数の第5の開口を有し、
前記第3のフィルターを形成する工程において、前記第3のフィルター及び前記第3の着色層と同時に、前記第4の着色層を更に形成することを特徴とする、請求項1記載のカラーフィルターの製造方法。 - 前記カラーフィルターは、前記第1の着色層と、前記第3の着色層と、第4の着色層とが積層された前記第1のスペーサーと、前記第2の着色層を含む前記第2のスペーサーと、第5の着色層のみからなる第3のスペーサーとを有し、
前記第1のフォトマスクは、前記第1の開口を前記第2の色の画素に対応させた場合に、前記第1のスペーサーの配列と対応する複数の第5の開口を更に有し、
前記第1のフィルターを形成する工程において、前記第1のフィルター及び前記第1の着色層と同時に、前記第5の着色層を更に形成し、
前記第2のフィルターを形成する工程において、前記第2のフィルター及び前記第3の着色層と同時に、前記第4の着色層を更に形成することを特徴とする、請求項1記載のカラーフィルターの製造方法。 - 前記第2のスペーサーは、前記第2の着色層及び第6の着色層が積層されて構成され、
前記第2のフォトマスクは、前記第2のスペーサーの配列と対応する複数の第6の開口を有し、
前記第2のフィルターを形成する工程において、前記第3のフィルター及び前記第3の着色層と同時に、前記第6の着色層を更に形成することを特徴とする、請求項3記載のカラーフィルターの製造方法。 - 基板上に、第1〜第3の色の画素にそれぞれ対応する第1〜第3のフィルターと、高さが異なる第1及び第2のスペーサーとを少なくとも有し、液晶表示装置に用いられるカラーフィルターの製造方法であって、任意の順序で、
前記第1のフィルターの配列に対応する複数の第1の開口を有する第1のフォトマスクを用いて、前記基板上に第1の色のフィルター形成用材料をパターニングし、前記第1のフィルターを形成する工程と、
前記第1のフォトマスクと同一の開口パターンを有するフォトマスクを用いて、前記基板上に第2の色のフィルター形成用材料をパターニングし、前記第2のフィルターを形成する工程と、
前記第3のフィルターの配列に対応する複数の第2の開口と、前記第1のスペーサーの配列に対応する複数の第3の開口と、前記第2のスペーサーの配列に対応する第4の開口を有する第2のフォトマスクを用いて、前記基板上に第3の色のフィルター形成用材料をパターニングし、前記第3のフィルターと、前記第1のスペーサーと、前記第2のスペーサーとを形成する工程とを備え、
前記第3の開口と前記第4の開口とは、光透過率、開口形状、開口面積の少なくとも1つが相違する、カラーフィルターの製造方法。 - 液晶表示装置に用いられるカラーフィルターであって、
基板と、
前記基板上において、第1〜第3の色の画素にそれぞれ対応するように配列される第1〜第3のフィルターと、
前記基板とこれに対向して配置される対向部材との間隔を規制し、高さが異なる第1及び第2のスペーサーとを備え、
前記第1のスペーサーは、前記第1のフィルターと同一材料よりなる第1の着色層と、前記第3のフィルターと同一材料よりなる第3の着色層とが積層されて構成され、
前記第2のスペーサーは、第2のフィルターと同一材料よりなる第2の着色層を含む、カラーフィルター。 - 前記基板と前記対向部材の間隔を規制し、第1のスペーサーとは高さが異なる第3のスペーサーを更に備え、
前記第1のスペーサーは、前記第1の着色層及び前記第3の着色層のみからなり、
前記第2のスペーサーは、前記第2の着色層のみからなり、
前記第3のスペーサーは、前記第3のフィルターと同一材料よりなる第4の着色層のみからなることを特徴とする、請求項6記載のカラーフィルター。 - 前記基板と前記対向部材の間隔を規制し、前記第1のスペーサーとは高さが異なる第3のスペーサーを更に備え、
前記第1のスペーサーは、前記第1の着色層と、前記第3の着色層と、前記第2のフィルターと同一材料よりなる第4の着色層とが積層されて構成され、
前記第3のスペーサーは、前記第2のフィルターと同一材料よりなる第5の着色層のみからなることを特徴とする、請求項6記載のカラーフィルター。 - 前記第2のスペーサーは、前記第2の着色層と、前記第3のフィルターと同一材料よりなる第6の着色層とが積層されて構成されることを特徴とする、請求項6記載のカラーフィルター。
- 液晶表示装置に用いられるカラーフィルターであって、
基板と、
前記基板上において、第1〜第3の色の画素にそれぞれ対応するように配列される第1〜第3のフィルターと、
前記基板とこれに対向して配置される対向部材との間隔を規制し、高さが異なる第1及び第2のスペーサーとを備え、
前記第1のスペーサー及び前記第2のスペーサーは、前記第3のフィルターと同一材料よりなり、
前記第1のスペーサーと前記第2のスペーサーとは、高さ、または、前記対向部材との接触面積が異なることを特徴とする、カラーフィルター。 - 基板上に、第1〜第3の色の画素にそれぞれ対応する第1〜第3のフィルターと、高さが異なる第1及び第2のスペーサーとを少なくとも有し、液晶表示装置に用いられるカラーフィルターを製造するために用いられる一組のフォトマスクよりなるフォトマスクセットであって、
前記第1のフィルターの配列に対応する複数の第1の開口と、前記第1のスペーサーの配列に対応する複数の第2の開口とを有する第1のフォトマスクと、
前記第3のフィルターの配列に対応する複数の第3の開口と、前記第1のスペーサーの配列に対応する複数の第4の開口とを有する第2のフォトマスクとを備える、フォトマスクセット。 - 前記第2のフォトマスクは、前記第3のスペーサーの配列と対応する複数の第5の開口を更に有することを特徴とする、請求項11記載のフォトマスクセット。
- 前記第1のフォトマスクは、前記第1の開口を前記第2の色の画素に対応させた場合に、前記第1のスペーサーの配列と対応する複数の第5の開口を更に有することを特徴とする、請求項11記載のフォトマスクセット。
- 前記第2のフォトマスクは、前記第2のスペーサーの配列と対応する複数の第6の開口を更に有することを特徴とする、請求項13記載のフォトマスクセット。
- 基板上に、第1〜第3の色の画素にそれぞれ対応する第1〜第3のフィルターと、高さが異なる第1及び第2のスペーサーとを少なくとも有し、液晶表示装置に用いられるカラーフィルターを製造するために用いられる一組のフォトマスクよりなるフォトマスクセットであって、
前記第1のフィルターの配列に対応する複数の第1の開口を有する第1のフォトマスクと、
前記第3のフィルターの配列に対応する複数の第2の開口と、前記第1のスペーサーの配列に対応する複数の第3の開口と、前記第2のスペーサーの配列に対応する第4の開口とを有する第2のフォトマスクとを備え、
前記第3の開口と前記第4の開口とは、光透過率、開口形状、開口面積の少なくとも1つが相違する、フォトマスクセット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008255316A JP5376393B2 (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | カラーフィルターの製造方法、フォトマスクセット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008255316A JP5376393B2 (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | カラーフィルターの製造方法、フォトマスクセット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010085746A true JP2010085746A (ja) | 2010-04-15 |
JP5376393B2 JP5376393B2 (ja) | 2013-12-25 |
Family
ID=42249756
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008255316A Active JP5376393B2 (ja) | 2008-09-30 | 2008-09-30 | カラーフィルターの製造方法、フォトマスクセット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5376393B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103257482A (zh) * | 2013-03-19 | 2013-08-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩膜基板及其制作方法、以及液晶面板 |
JP2016031513A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 大日本印刷株式会社 | 高精細カラーフィルタ |
CN105700225A (zh) * | 2016-04-22 | 2016-06-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种基于boa技术的显示面板及制作方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109739045A (zh) * | 2019-03-13 | 2019-05-10 | 惠科股份有限公司 | 显示面板的制造方法及显示面板 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001305328A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-10-31 | Toray Ind Inc | カラーフィルターの製造方法およびカラーフィルター |
JP2005106856A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 液晶表示装置 |
-
2008
- 2008-09-30 JP JP2008255316A patent/JP5376393B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001305328A (ja) * | 2000-04-18 | 2001-10-31 | Toray Ind Inc | カラーフィルターの製造方法およびカラーフィルター |
JP2005106856A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-21 | Dainippon Printing Co Ltd | 液晶表示装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103257482A (zh) * | 2013-03-19 | 2013-08-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩膜基板及其制作方法、以及液晶面板 |
WO2014146399A1 (zh) * | 2013-03-19 | 2014-09-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩膜基板、该彩膜基板的制作方法及液晶面板 |
JP2016031513A (ja) * | 2014-07-30 | 2016-03-07 | 大日本印刷株式会社 | 高精細カラーフィルタ |
CN105700225A (zh) * | 2016-04-22 | 2016-06-22 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种基于boa技术的显示面板及制作方法 |
WO2017181462A1 (zh) * | 2016-04-22 | 2017-10-26 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种基于boa技术的显示面板及制作方法 |
US10365523B2 (en) | 2016-04-22 | 2019-07-30 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd | Display panel and manufacturing method based on BOA technology |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5376393B2 (ja) | 2013-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9256012B2 (en) | Color filter substrate, manufacturing method thereof and display device | |
KR101578692B1 (ko) | 액정표시장치의 칼라필터 어레이 및 그 제조방법 | |
US20120147314A1 (en) | Display device and color filter substrate | |
US20150277186A1 (en) | Color filter substrate, touch display device and method for manufacturing the color filter substrate | |
US11719983B2 (en) | Display panel, manufacturing method thereof and display device | |
CN102681068A (zh) | 彩色滤光片及其制作方法 | |
WO2020052038A1 (zh) | 显示面板及显示面板的制作方法 | |
US20150301241A1 (en) | Color filter substrate and manufacturing method thereof, and display device | |
JP5376393B2 (ja) | カラーフィルターの製造方法、フォトマスクセット | |
US20180107054A1 (en) | Manufacturing method for color filter substrate and manufacturing method for liquid crystal panel | |
US8830610B2 (en) | Exposure method for color filter substrate | |
US8908302B2 (en) | Exposure method for color filter substrate | |
JP5263711B2 (ja) | カラーフィルター、カラーフィルターの製造方法、フォトマスク | |
JP5691280B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法及びこれに用いられるフォトマスクセット | |
JP2007034250A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
JP5098894B2 (ja) | カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法 | |
JP2009229485A (ja) | 表示素子 | |
JP2008281594A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
WO2016206131A1 (zh) | 用于制造液晶面板的方法 | |
JP6499204B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法及び露光マスクのセット | |
TWI604230B (zh) | 彩色濾光片及其製作方法 | |
JP2009210819A (ja) | カラーフィルタ形成基板と液晶パネル | |
JP2008039802A (ja) | カラーフィルタ及びそれを用いた液晶表示装置 | |
WO2010143467A1 (ja) | カラーフィルタの製造方法およびカラーフィルタ | |
KR101683894B1 (ko) | 칼라필터 제조용 포토마스크 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110825 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20110902 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120813 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120815 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121012 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130319 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130514 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5376393 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130915 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |