JP2010080167A - 乾燥方法、機能膜の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び有機el装置の製造方法 - Google Patents
乾燥方法、機能膜の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び有機el装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010080167A JP2010080167A JP2008245396A JP2008245396A JP2010080167A JP 2010080167 A JP2010080167 A JP 2010080167A JP 2008245396 A JP2008245396 A JP 2008245396A JP 2008245396 A JP2008245396 A JP 2008245396A JP 2010080167 A JP2010080167 A JP 2010080167A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- chamber
- drying
- pump
- exhaust speed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】表面に機能性材料と溶媒とを含有する液状体が塗布された基板をチャンバの中に配置する配置工程と、前記チャンバ内の圧力が前記溶媒の蒸気圧より高く、かつ、前記蒸気圧に近い圧力になる第1排気速度で前記チャンバ内を排気する第1減圧工程と、前記第1排気速度より速い排気速度からなる第2排気速度に切り換えて、塗布された前記液状体を乾燥させる第2減圧工程と、を有する。
【選択図】図5
Description
図4は、ドライポンプを用いたときのチャンバ内の圧力特性を示すグラフである。以下、図4を参照しながらドライポンプの圧力特性(排気時間と圧力との関係)について説明する。
図5は、ドライポンプとターボ分子ポンプの両方を用いたときのチャンバ内の圧力特性を示すグラフである。以下、図5を参照しながら、2つのポンプを用いたときの圧力特性(排気時間と圧力との関係)について説明する。なお、液状体についての詳細は、上記で説明した内容と同じである。
上記したように、C点を境に(図5参照)ドライポンプ73からターボ分子ポンプ74に切り換え、排気速度を速くすることに代えて、例えば、ドライポンプ73と接続されている第1配管82及び第2配管83の配管径を変えて排気速度を変えるようにしてもよい。具体的には、大気圧から減圧する場合に用いた配管(配管D1)の径に対して、C点から減圧する場合に太い配管(配管D2)の径にする。例えば、細い配管と太い配管とがあり、配管の流通を切り換えることによって排気速度を変える。なお、ドライポンプ73の排気能力は変わらない。これによれば、細い配管から太い配管に切り換えるので、排気抵抗を小さくすることができ、配管の中を流れるガスの速度を速くすることが可能となる。よって、チャンバ72の中を更に減圧することができる。その結果、溶媒の乾燥を短時間で行うことが可能となり、基板32面内において乾燥する時間の差を小さくすることができる。加えて、ドライポンプ73とターボ分子ポンプ74の2つのポンプを備える構成と比較して、簡単な構成で排気速度を変えることができる。
上記したように、C点を境に(図5参照)ドライポンプ73からターボ分子ポンプ74に切り換え、排気速度を速くすることに代えて、例えば、ドライポンプ73と接続されている第1配管82及び第2配管83の配管長さを変えて排気速度を変えるようにしてもよい。具体的には、大気圧から減圧する場合に用いた配管(配管L1)の長さに対して、C点から減圧する場合に短い配管(配管L2)にする。例えば、長い配管と短い配管とがあり、配管の流通を切り換えることによって排気速度を変える。これによれば、長い配管から短い配管に切り換えるので、排気抵抗を小さくすることができ、配管の中を流れるガスの速度を速くすることが可能となる。よって、チャンバ72の中を更に減圧することができる。その結果、溶媒の乾燥を短時間で行うことが可能となり、基板32面内において乾燥する時間の差を小さくすることができる。
上記したように、C点を境に(図5参照)ドライポンプ73からターボ分子ポンプ74に切り換え、排気速度を速くすることに代えて、例えば、第2配管83の途中に接続されている圧力調整バルブ85の開度を小さい第1開度から大きい第2開度にして排気速度を変えるようにしてもいい。これによれば、小さい第1開度から大きい第2開度に切り換えるので、排気抵抗を小さくすることができ、配管の中を流れるガスの速度を速くすることが可能となる。よって、チャンバ72内を更に減圧させることができる。その結果、溶媒の乾燥を短時間で行うことが可能となり、基板32面内において乾燥する時間の差を小さくすることができる。
上記したように、機能膜は有機EL装置11の発光層26に限定されず、例えば、フォトリソグラフィ技術に用いられるレジスト膜、オーバーコート膜(平坦化膜)、液晶装置などに用いられるカラーフィルタの色層及び配向膜、有機TFT、金属配線等であってもよい。
上記したように、電気光学装置は有機EL装置11に限定されず、例えば、液晶装置、プラズマディスプレイ、電子ペーパーなどに適用することができる。
Claims (11)
- 表面に機能性材料と溶媒とを含有する液状体が塗布された基板をチャンバの中に配置する配置工程と、
前記チャンバ内の圧力が前記溶媒の蒸気圧より高く、かつ、前記蒸気圧に近い圧力になる第1排気速度で前記チャンバ内を排気する第1減圧工程と、
前記第1排気速度より速い排気速度からなる第2排気速度に切り換えて、塗布された前記液状体を乾燥させる第2減圧工程と、
を有することを特徴とする乾燥方法。 - 請求項1に記載の乾燥方法であって、
前記第2減圧工程は、前記溶媒の蒸気圧より低い圧力に減圧することを特徴とする乾燥方法。 - 請求項1又は請求項2に記載の乾燥方法であって、
前記第2減圧工程は、前記第1減圧工程より到達真空度が高いことを特徴とする乾燥方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の乾燥方法であって、
前記第1排気速度から前記第2排気速度への切り換えは、前記チャンバと前記チャンバ内のガスを排気するポンプとを接続する配管を、配管D1から前記配管D1よりも太い配管D2に切り換えることを特徴とする乾燥方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の乾燥方法であって、
前記第1排気速度から前記第2排気速度への切り換えは、前記チャンバと前記チャンバ内のガスを排気するポンプとを接続する配管を、配管L1から前記配管L1よりも短い配管L2に切り換えることを特徴とする乾燥方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の乾燥方法であって、
前記第1排気速度から前記第2排気速度への切り換えは、前記チャンバと前記チャンバ内のガスを排気するポンプとを接続するバルブの開度を、第1開度から前記第1開度よりも大きい第2開度に切り換えることを特徴する乾燥方法。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の乾燥方法であって、
前記第1排気速度から前記第2排気速度への切り換えは、前記チャンバ内のガスを排気するポンプの種類を、第1ポンプから排気速度の速い第2ポンプに切り換えることを特徴する乾燥方法。 - 基板の表面に機能性材料と溶媒とを含有する液状体を塗布する塗布工程と、
塗布された前記液状体を乾燥させ機能膜を形成する乾燥工程と、を備え、
前記乾燥工程は、請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の乾燥方法を用いて前記液状体を乾燥させることを特徴とする機能膜の製造方法。 - 請求項8に記載の機能膜の製造方法であって、
前記塗布工程は、インクジェット法により前記液状体を前記基板に塗布することを特徴とする機能膜の製造方法。 - 請求項8又は請求項9に記載の機能膜の製造方法を用いて電気光学装置を製造することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項8又は請求項9に記載の機能膜の製造方法を用いて有機EL装置を製造する有機EL装置の製造方法であって、
前記機能膜は、発光層であることを特徴とする有機EL装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008245396A JP2010080167A (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 乾燥方法、機能膜の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び有機el装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008245396A JP2010080167A (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 乾燥方法、機能膜の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び有機el装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010080167A true JP2010080167A (ja) | 2010-04-08 |
Family
ID=42210373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008245396A Pending JP2010080167A (ja) | 2008-09-25 | 2008-09-25 | 乾燥方法、機能膜の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び有機el装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010080167A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015144051A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 住友化学株式会社 | 発光装置の製造方法 |
WO2018131616A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2018-07-19 | 株式会社Joled | 有機el表示パネルの製造方法、及びインク乾燥装置 |
WO2019069738A1 (ja) * | 2017-10-04 | 2019-04-11 | Dic株式会社 | 発光層の形成方法および発光素子の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000182932A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2000241623A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-09-08 | Canon Inc | 樹脂組成物層の乾燥方法、この乾燥方法を用いたカラーフィルタ基板の製造方法および液晶表示素子 |
JP2004047797A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Tokyo Electron Ltd | 減圧乾燥装置、塗布膜形成装置及び減圧乾燥方法 |
JP2005172316A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Seiko Epson Corp | 減圧乾燥装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
-
2008
- 2008-09-25 JP JP2008245396A patent/JP2010080167A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000182932A (ja) * | 1998-12-16 | 2000-06-30 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2000241623A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-09-08 | Canon Inc | 樹脂組成物層の乾燥方法、この乾燥方法を用いたカラーフィルタ基板の製造方法および液晶表示素子 |
JP2004047797A (ja) * | 2002-07-12 | 2004-02-12 | Tokyo Electron Ltd | 減圧乾燥装置、塗布膜形成装置及び減圧乾燥方法 |
JP2005172316A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Seiko Epson Corp | 減圧乾燥装置、電気光学装置、電気光学装置の製造方法および電子機器 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015144051A (ja) * | 2014-01-31 | 2015-08-06 | 住友化学株式会社 | 発光装置の製造方法 |
WO2018131616A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2018-07-19 | 株式会社Joled | 有機el表示パネルの製造方法、及びインク乾燥装置 |
JPWO2018131616A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2019-07-04 | 株式会社Joled | 有機el表示パネルの製造方法、及びインク乾燥装置 |
US10879501B2 (en) | 2017-01-10 | 2020-12-29 | Joled Inc. | Method for manufacturing organic EL display panel, and ink drying device |
WO2019069738A1 (ja) * | 2017-10-04 | 2019-04-11 | Dic株式会社 | 発光層の形成方法および発光素子の製造方法 |
KR20200062237A (ko) | 2017-10-04 | 2020-06-03 | 디아이씨 가부시끼가이샤 | 발광층의 형성 방법 및 발광 소자의 제조 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9093659B2 (en) | Display panel apparatus and method of fabricating display panel apparatus | |
CN102106186B (zh) | 有机电致发光显示面板 | |
KR100647325B1 (ko) | 저면발광형 유기발광소자 | |
JP6014883B2 (ja) | 有機発光素子、有機el表示パネル、有機el表示装置、および塗布型デバイスと、これらの製造方法 | |
JP5644677B2 (ja) | 有機el装置 | |
TWI384900B (zh) | 顯示裝置之製造方法 | |
US8247963B2 (en) | Organic electroluminescent display device and production method thereof | |
TW201002137A (en) | Organic EL device and method of manufacturing the same | |
KR20120003216A (ko) | 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 | |
JP2008108482A (ja) | 有機el表示装置 | |
JP2014044810A (ja) | 有機el装置の製造方法 | |
TWI239790B (en) | Organic light-emitting device and fabrication method thereof | |
JP2011086389A (ja) | 有機el素子の機能層の製造方法、有機el素子及び素子の層形成方法 | |
JP2010080167A (ja) | 乾燥方法、機能膜の製造方法、電気光学装置の製造方法、及び有機el装置の製造方法 | |
KR102209499B1 (ko) | 유기발광 다이오드 표시장치 및 그 제조 방법 | |
JP2011044380A (ja) | 有機el素子の機能層の製造装置および製造方法 | |
JP2006236819A (ja) | 成膜方法、有機化合物層及びディスプレイパネル | |
JP2007115800A (ja) | 有機el表示装置とその製造方法 | |
JP2010267416A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置、その製造方法、および成膜方法 | |
JP2009245928A (ja) | El素子の製造方法及びelパネルの製造方法 | |
JP2010176938A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 | |
JP2008293957A (ja) | 有機発光装置の製造方法 | |
JP4573592B2 (ja) | 有機エレクトロルミネセンス素子及びその製造方法、並びに、有機エレクトロルミネセンス表示装置 | |
KR102361967B1 (ko) | 유기전계발광 표시장치 | |
KR20200067206A (ko) | Oled 기판의 제조 방법 및 oled 디스플레이 장치의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110824 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120501 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120625 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130205 |