JP2010078332A - 顕微鏡用試料、その作製方法及び顕微鏡観察方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料22の側面にマーカー23を形成する。マーカー23は、観察面に平行な方向に延びる第1の直線に沿って段違いに配置された第1及び第2の構造体23a,23dと、第1の直線に直交する第2の方向に延びる直線上に配列した第3及び第4の構造体23b,23cとを有する。顕微鏡像でこれらの構造体23a〜23dの重なり状態や各構造体の特定部分の間隔等を調べ、その結果に基づいて顕微鏡の試料ホルダーを制御して、試料22の観察面が光軸に対し垂直となるようにする。
【選択図】図8
Description
図24(a),(b)はマーカーの変形例1を示す平面図及び側面図、図25(a),(b)はマーカーの変形例2を示す平面図及び側面図である。
Claims (5)
- 観察面と、
前記観察面に交差する面上に形成されたマーカーとを有し、
前記マーカーが、前記観察面に平行な第1の方向に延びる直線に沿って段違いに配置された第1及び第2の構造体と、
前記第1の方向に直交する第2の方向に延びる直線上に配列した第3及び第4の構造体とを有することを特徴とする顕微鏡用試料。 - 基材の顕微鏡用試料となる領域の上に膜を形成する工程と、
前記膜をパターニングしてマーカーを形成する工程とを有し、
前記マーカーが、観察面に平行な第1の方向に延びる直線に沿って段違いに配置された第1及び第2の構造体と、
前記第1の方向に直交する第2の方向に延びる直線上に配列した第3及び第4の構造体とを有することを特徴とする顕微鏡用試料の作製方法。 - 試料の側面に、前記試料の観察面に平行な第1の方向に延びる直線に沿って段違いに配置された第1及び第2の構造体と、前記第1の方向に直交する第2の方向に延びる直線上に配置した第3及び第4の構造体とを有するマーカーを形成する工程と、
前記マーカーを備えた前記試料を顕微鏡の試料ホルダーに取り付ける工程と、
制御部により前記試料ホルダーを制御して光軸に対する前記試料の傾斜角度を順次変更し、前記マーカーの観察像を画像処理部により画像処理して、前記第1乃至第4の構造体の特徴点間の距離を角度毎に検出する工程と、
前記角度毎の前記特徴点間の距離の検出結果に基づき、前記試料の観察面が光軸に対し垂直となるように前記制御部が前記試料ホルダーを制御する工程と
を有することを特徴とする顕微鏡観察方法。 - 前記第1及び第3の構造体を“L”字状に配置し、前記第2及び第4の構造体を逆“L”字状に配置することを特徴とする請求項3に記載の顕微鏡観察方法。
- 観察面と、前記観察面に交差する面上に形成されたマーカーとを備え、前記マーカーが、前記観察面に平行な第1の方向に延びる直線に沿って段違いに配置された第1及び第2の構造体と、前記第1の方向に直交する第2の方向に延びる直線上に配列した第3及び第4の構造体とを有する試料が取り付けられた試料ホルダーを制御する顕微鏡観察用コンピュータに読み込まれるプログラムであって、
前記試料ホルダーを制御して前記試料を傾斜させる第1のステップと、
顕微鏡に設けられた撮像部を介して前記マーカーの観察像を得る第2のステップと、
前記観察像を画像処理して前記マーカーの特徴点間の間隔を求める第3のステップと、
前記第1乃至第3のステップを繰り返して得られる前記特徴点間の間隔と前記試料の傾斜角度との関係から前記特徴点間の距離が最も小さくなる角度を求める第4のステップと
を前記顕微鏡観察用コンピュータに実行させるプログラム。
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