JP2010067928A - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 116
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 23
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 claims abstract description 57
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 44
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 35
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims description 28
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 26
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 22
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 claims description 18
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 13
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 13
- 239000000284 extract Substances 0.000 abstract description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 abstract description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 abstract 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 35
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 19
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 16
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 15
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 15
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 15
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 15
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 description 13
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 7
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- 229920000390 Poly(styrene-block-methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 5
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N trimethylindium Chemical compound C[In](C)C IBEFSUTVZWZJEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 3
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 3
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 3
- AXAZMDOAUQTMOW-UHFFFAOYSA-N dimethylzinc Chemical compound C[Zn]C AXAZMDOAUQTMOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 3
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 238000004943 liquid phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 alkyl methacrylates Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- 229920006158 high molecular weight polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000002734 metacrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005424 photoluminescence Methods 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920001490 poly(butyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920002776 polycyclohexyl methacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000129 polyhexylmethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000182 polyphenyl methacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
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Abstract
【解決手段】本発明では、自己組織化を利用した凹凸構造において、高い光取り出し効率を有する凹凸構造を備えることにより、分離性の高いブロックコポリマーの自己組織化パターンが従来よりも短い熱処理時間で可能となり、高い光取り出し効率を有する凹凸構造の形成が可能となる。さらに、本発明では、凸部同士の連結による光回折及び散乱効果の低下を抑えて半導体発光素子内部に発生する光を高効率で外部へ取り出すことができる。
【選択図】 図2
Description
ここで、θmは外部への出射角、θiは半導体発光素子側の入射角、λは発光波長、dは凸部間距離であり、mは回折次数であり、整数(m=0、±1、±2、・・・)であり、nsは半導体多層膜最上層の半導体層の屈折率、n0は外部の屈折率である。式(1)より、自己組織化による相分離不足により凸部同士が連結して新たな凸部を形成した場合、周りとの凸部間距離dは広くなり回折条件を満足できず、回折効果による光取り出しが期待できない。また、凸部同士が連結して1次元な広がりをみせると光取り出し特性はある一定の偏向をもった出射光に対して作用してしまうため取り出された光は異方性を有するだけでなく、光取り出し量自体も減少してしまう。本発明の関わる凹凸構造では、凸部同士の連結による回折効果の低減を抑え、高い光取り出し効率を実現することが可能となる。
本発明における発光素子とは、発光ダイオード(LED)及びレーザダイオード(LD)の半導体発光素子を示す。
本発明において必要とされるような、一般的なリソグラフィーの限界解像度を超えるパターンの凹凸構造を有する半導体発光素子の作製には、材料の自己組織化を利用したナノ加工法が有用である。
本発明に係わる凹凸構造を有する半導体発光素子を製造する場合、ブロックコポリマーのモルフォロジー(morphology)としてドット状構造であることが最適である。
活性層にInGaAlPのDH構造を有する半導体発光素子の作製を行った。本実施例の半導体発光素子の概略図は図2に該当する。
第二に、実施例1と同様のInGaAlPのDH構造であるが、光取り出し側にn型半導体層が位置する半導体発光素子を作製した。図4は本実施例によって作製された半導体発光素子を示す。
実施例3においては、ブロックコポリマーを含有した樹脂組成物のミクロ相分離パターンをパターントランスファー法によりSOG膜に転写することによりSOGマスクを形成し、高アスペクト比の凹凸構造を有する発光素子を作製した。
本実施例は、実施例1で用いた発光素子の電流拡散層上に凸部間距離の異なる4種の凹凸構造をパターントランスファー法により形成し、4つの素子の取り出し効率の比較を行った。
2…n型半導体層
3…活性層
4…p型半導体層
5…電流拡散層
6…p側電極層
7…n側電極層
8…凹凸部
9…ブロックコポリマーを含有した樹脂組成物薄膜
10…ポリマードット部
11…SOG薄膜
12…SOGマスク
Claims (8)
- 基板上に、少なくとも、活性層と、前記活性層を挟んで配置されたn型半導体層及びp型半導体層と、が積層してなる半導体多層膜を備え、前記半導体多層膜上に電極層が形成された半導体発光素子であって、
前記半導体多層膜表面の前記電極が形成されていない光取り出し面に凹凸構造が形成され、
前記凹凸構造の内、凸部は周期及び円相当径に分布があるように配置され、
前記凹凸構造の内、円形度係数(4π×(面積)/(周囲長)2)が0.7以上の凸部が90%以上の割合であることを特徴とする半導体発光素子。
- 基板上に、少なくとも、活性層と、前記活性層を挟んで配置されたn型半導体層及びp型半導体層と、が積層してなる半導体多層膜を備え、電極層が前記半導体多層膜上に形成された半導体発光素子であって、
前記半導体多層膜表面の前記電極が形成されていない光取り出し面に凹凸構造が形成され、
前記凹凸構造の内、凸部は周期及び円相当径に分布があるように配置され、
前記凹凸構造の内、隣接の凸部と連結せずに分離している凸部が90%以上の割合であることを特徴とする半導体発光素子。
- 前記凹凸構造は、形成された凸部の円形度係数(4π×(面積)/(周囲長)2)がCmax((1+m2)/(1+m)2:最大円相当径と最小円相当径の比をmとする)以上の割合であることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体発光素子。
- 前記半導体多層膜の最上層に電流拡散層が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3に記載の半導体発光素子。
- 基板上に、少なくとも、活性層と、前記活性層を挟んで配置されたn型半導体層及びp型半導体層と、が積層してなる半導体多層膜を備え、前記半導体多層膜上に電極層が形成された半導体発光素子の製造方法であって、
基板上に前記半導体膜を積層して半導体多層膜を形成する工程と、
前記半導体多層膜上に電極を形成する工程と、
ブロックコポリマーを含有した樹脂組成物薄膜を、前記半導体多層膜上または中間マスク層としての無機組成物薄膜上のいずれかを介して形成する工程と、
前記樹脂組成物薄膜を熱処理により相分離させる工程と、
相分離した前記樹脂組成物をマスクとしてエッチングすることにより、前記半導体多層膜表面上に凹凸構造を形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体発光素子の製造方法。
- 前記樹脂組成物は、前記ブロックコポリマーを構成する複数のモノマーのうちの少なくとも一つのホモポリマーを添加して得られ、添加される前記ホモポリマーのうち少なくとも一つは、数平均分子量(Mn)が3000以下、分子量分布(重量平均分子量(Mw)と数平均分子量との比:Mw/Mn)が1.2以下のホモポリマーであることを特徴とする請求項5に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記樹脂組成物は、一つまたは複数の前記ホモポリマーを30wt%以上添加して得られることを特徴とする請求項5に記載の半導体発光素子の製造方法。
- 前記樹脂組成物膜の熱処理後の膜厚が150nm以下であることを特徴とする請求項5に記載の半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008235513A JP5512109B2 (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | 半導体発光素子 |
US12/404,807 US8089081B2 (en) | 2008-09-12 | 2009-03-16 | Semiconductor light emitting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008235513A JP5512109B2 (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | 半導体発光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010067928A true JP2010067928A (ja) | 2010-03-25 |
JP5512109B2 JP5512109B2 (ja) | 2014-06-04 |
Family
ID=42006421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008235513A Expired - Fee Related JP5512109B2 (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | 半導体発光素子 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8089081B2 (ja) |
JP (1) | JP5512109B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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US20100065868A1 (en) | 2010-03-18 |
US8089081B2 (en) | 2012-01-03 |
JP5512109B2 (ja) | 2014-06-04 |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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