JP2010066460A - パターン補正方法およびパターン補正プログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】パターン同士が重なっている距離が変化した場合においても、パターンの補正値の誤差を低減できるようにする。
【解決手段】プロセッサ1は、パターンデータD1から補正対象パターンを設定し、その補正対象パターン上の線分とその線分に隣接する隣接パターンの辺との間の重なり距離を求め、補正テーブルD2を参照することで、補正対象パターン上の線分と隣接パターンとの間隔に対応したバイアスを抽出し、補正対象パターン上の線分と隣接パターンとの間の重なり距離に基づいて、そのバイアスを補正することにより、その線分についての補正値を算出する。
【選択図】 図1
【解決手段】プロセッサ1は、パターンデータD1から補正対象パターンを設定し、その補正対象パターン上の線分とその線分に隣接する隣接パターンの辺との間の重なり距離を求め、補正テーブルD2を参照することで、補正対象パターン上の線分と隣接パターンとの間隔に対応したバイアスを抽出し、補正対象パターン上の線分と隣接パターンとの間の重なり距離に基づいて、そのバイアスを補正することにより、その線分についての補正値を算出する。
【選択図】 図1
Description
本発明はパターン補正方法およびパターン補正プログラムに関し、特に、マスクパターンの粗密に起因するフォトリソグラフィ時の露光強度の変動を緩和するためのパターン補正方法に適用して好適なものである。
近年の半導体集積回路の微細化に伴って、光の波長の半分以下のパターンをフォトリソグラフィにて形成することが行われている。この場合、実際にウェハに形成されるパターン寸法と設計値との間の誤差が大きくなるため、このような誤差をコンピュータシミュレーションにて予め予測し、光近接効果補正(OPC:Optical Proximity Correction)をマスクパターンに施すことで、実際にウェハに形成されるパターン寸法を設計値に近づけることが行われている。
ここで、光近接効果の程度は、パターンの粗密によって変動し、例えば、孤立パターンでは、光近接効果の影響が大きくなることから、孤立パターンの補正を行う場合には、孤立パターンに与えられる線分のバイアス(移動量)を大きくする必要がある。パターンの粗密を判定する方法としては、パターン間の間隔を計測する方法が一般的に用いられるが、パターン間の間隔を一箇所で測定すると、これらのパターン同士が一部しか重なっていない場合には、パターンの補正値の誤差が大きくなる。
このため、特許文献1には、集積回路装置の設計データよりパターンの辺を複数に分割し、分割された辺毎に、その辺に対応するパターンの幅、その辺に対応するパターンと隣接するパターンまでの間隔を複数箇所で測定し、その測定結果に基づいて補正テーブルを参照することで複数の移動量を抽出し、この抽出された複数の移動量に基づいて、分割された辺の補正値を算出する方法が開示されている。
しかしながら、パターン間の間隔を複数箇所で測定するだけでは、パターン同士がどの程度の距離に渡って重なっているかを考慮することができず、パターンのレイアウトによってはパターンの補正値の誤差が大きくなるという問題があった。
そこで、本発明の目的は、パターン同士が重なっている距離が変化した場合においても、パターンの補正値の誤差を低減することが可能なパターン補正方法およびパターン補正プログラムを提供することである。
上述した課題を解決するために、本発明の一態様によれば、補正対象パターンの辺を複数の線分に分割するステップと、前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記線分に隣接する隣接パターンの辺との間の間隔を計測するステップと、前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記隣接パターンの辺との重なり距離を計測するステップと、前記計測された間隔に対応した前記線分の移動量を抽出するステップと、前記重なり距離に基づいて前記移動量を補正することで前記線分についての補正値を算出するステップとを備えることを特徴とするパターン補正方法を提供する。
また、本発明の一態様によれば、補正対象パターンの辺を複数の線分に分割するステップと、前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記線分に隣接する隣接パターンの辺との間の間隔を計測するステップと、前記分割された線分に属性を付与するステップと、前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記隣接パターンの辺との重なり距離を計測するステップと、前記計測された間隔に対応した前記線分の移動量を抽出するステップと、前記属性に対応した補正値計算式を選択するステップと、前記重なり距離に基づいて前記補正値計算式上で移動量を補正することで前記線分についての補正値を算出するステップとを備えることを特徴とするパターン補正方法を提供する。
また、本発明の一態様によれば、補正対象パターンの辺を複数の線分に分割するステップと、前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記線分に隣接する隣接パターンの辺との間の間隔及び前記線分の線幅を計測するステップと、前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記隣接パターンの辺との重なり距離を計測するステップと、前記計測された間隔及び線幅に対応した前記線分の移動量を抽出するステップと、前記重なり距離に基づいて前記移動量を補正することで前記線分についての補正値を算出するステップとを備えることを特徴とするパターン補正方法を提供する。
また、本発明の一態様によれば、補正対象パターンの辺を複数の線分に分割するステップと、前記分割された線分に隣接する隣接パターンの辺を前記線分上の点から所定の放射角の範囲内で探索するステップと、前記探索された隣接パターンの辺と前記線分との間の間隔を計測するステップと、前記計測された間隔に対応した移動量を抽出するステップと、前記線分上の点から前記所定の放射角の範囲内で伸ばした線分のうち、前記探索された隣接パターンの辺と交差する線分のなす角度の範囲に基づいて前記移動量を補正することで前記線分についての補正値を算出するステップとを備えることを特徴とするパターン補正方法を提供する。
また、本発明の一態様によれば、補正対象パターン上の線分と前記線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分に隣接する隣接パターンの辺との重なり距離に基づいて、前記線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と前記隣接パターンの辺との間の間隔に依存して決定される移動量を補正することにより、前記線分についての補正値を算出することを特徴とするパターン補正プログラムを提供する。
以上説明したように、本発明によれば、隣接パターン同士が重なっている距離が変化した場合においても、パターンの補正値の誤差を低減することが可能となる。
以下、本発明の実施形態に係るパターン補正方法について図面を参照しながら説明する。
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係るパターン補正処理装置の概略構成を示すブロック図である。
図1において、パターン補正処理装置には、CPUなどを含むプロセッサ1、固定的なデータを記憶するROM2、プロセッサ1に対してワークエリアなどを提供するRAM3、プロセッサ1を動作させるためのプログラムや各種データを記憶する外部記憶装置4、人間とコンピュータとの間の仲介を行うヒューマンインターフェース5、外部との通信手段を提供する通信インターフェース6を設けることができ、プロセッサ1、ROM2、RAM3、外部記憶装置4、ヒューマンインターフェース5および通信インターフェース6はバス7を介して接続されている。
図1は、本発明の第1実施形態に係るパターン補正処理装置の概略構成を示すブロック図である。
図1において、パターン補正処理装置には、CPUなどを含むプロセッサ1、固定的なデータを記憶するROM2、プロセッサ1に対してワークエリアなどを提供するRAM3、プロセッサ1を動作させるためのプログラムや各種データを記憶する外部記憶装置4、人間とコンピュータとの間の仲介を行うヒューマンインターフェース5、外部との通信手段を提供する通信インターフェース6を設けることができ、プロセッサ1、ROM2、RAM3、外部記憶装置4、ヒューマンインターフェース5および通信インターフェース6はバス7を介して接続されている。
ここで、外部記憶装置4には、パターンデータD1、補正テーブルD2および補正済データD3が格納されている。なお、パターンデータD1は、半導体集積回路のレイアウトに関する設計データであってもよいし、その設計データで表現される図形を加工処理した後のデータであってもよい。また、補正テーブルD2は、補正対象パターン上の線分に対して、その線分に隣接する隣接パターンの辺との間の間隔に対応したバイアス(移動量)を登録することができる。また、補正済データD3は、補正テーブルD2から抽出されたバイアスから算出された補正値に基づいて補正されたデータを登録することができる。
また、プロセッサ1は、パターン補正プログラムを実行することにより、パターンデータD1から補正済データD3を算出することができる。また、プロセッサ1に実行させるプログラムは、外部記憶装置4に格納しておき、プログラムの実行時にRAM3に読み込むようにしてもよいし、プログラムをROM2に予め格納しておくようにしてもよいし、通信インターフェース6を介してプログラムを取得するようにしてもよい。
また、外部記憶装置4としては、例えば、ハードディスクなどの磁気ディスク、DVDなどの光ディスク、USBメモリやメモリカードなどの可搬性半導体記憶装置などを用いることができる。また、ヒューマンインターフェース5としては、例えば、入力インターフェースとしてキーボードやマウス、出力インターフェースとしてディスプレイやプリンタなどを用いることができる。また、通信インターフェース6としては、例えば、インターネットやLANなどに接続するためのLANカードやモデムやルータなどを用いることができる。
そして、パターン補正プログラムが起動されると、プロセッサ1は、パターンデータD1から補正対象パターンを設定し、その補正対象パターン上の線分とその線分に隣接する隣接パターンの辺との間の重なり距離を求めることができる。そして、補正テーブルD2を参照することで、補正対象パターン上の線分と隣接パターンとの間隔に対応したバイアスを抽出し、補正対象パターン上の線分と隣接パターンとの間の重なり距離に基づいて、そのバイアスを補正することにより、その線分についての補正値を算出することができる。そして、その補正値に基づいてパターンデータD1を補正することで、補正済データD3を算出し、外部記憶装置4に格納することができる。なお、重なり距離とは、補正対象パターン上の線分と隣接パターン上の辺との間で重なる部分が存在する場合、その重なる部分を隣接パターン上の辺に沿って計測した距離を言う。
これにより、補正対象パターン上の線分と隣接パターンとの間隔に対応したバイアスに重なり距離に応じた重み付けを行うことが可能となる。このため、補正対象パターンと隣接パターンとがどの程度の距離に渡って重なっているかを考慮しつつ、補正対象パターン上の線分にバイアスを与えることが可能となり、補正対象パターンと隣接パターンとの間で重なり距離が変化した場合においても、パターンの補正値の誤差を低減することが可能となる。
(第2実施形態)
図2は、本発明の第2実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンのレイアウトの一例を示す平面図である。
図2において、補正対象パターンQ0の周辺には、補正対象パターンQ0に隣接する隣接パターンQ1、Q2が配置されている。そして、補正対象パターンQ0の補正を行う場合、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンQ0の辺H1を複数の線分に分割する。なお、補正対象パターンQ0の辺H1を複数の線分に分割する場合、設計データにおけるラインの最小設計寸法以上の間隔で分割することができる。例えば、最小設計寸法が80nmである場合、80nm以上の間隔で分割することができる。ここで、分割により残りの辺の長さが最小設計寸法以下になる場合には、その部分は分割しないようにすることができる。また、分割は、等間隔に限定されることなく、異なる長さで分割するようにしてもよい。
図2は、本発明の第2実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンのレイアウトの一例を示す平面図である。
図2において、補正対象パターンQ0の周辺には、補正対象パターンQ0に隣接する隣接パターンQ1、Q2が配置されている。そして、補正対象パターンQ0の補正を行う場合、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンQ0の辺H1を複数の線分に分割する。なお、補正対象パターンQ0の辺H1を複数の線分に分割する場合、設計データにおけるラインの最小設計寸法以上の間隔で分割することができる。例えば、最小設計寸法が80nmである場合、80nm以上の間隔で分割することができる。ここで、分割により残りの辺の長さが最小設計寸法以下になる場合には、その部分は分割しないようにすることができる。また、分割は、等間隔に限定されることなく、異なる長さで分割するようにしてもよい。
そして、辺H1上の線分B1についての補正値を算出する場合、線分B1に対する隣接パターンQ1、Q2の探索領域E1を設定する。なお、探索領域E1は、線分B1と水平方向では、線分B1の両端から外側にはみ出すように設定するとともに、線分B1と垂直方向では、設計上の隣接パターン間の最大距離より大きくなるように設定することができる。ただし、本実施形態及び以下の実施形態におけるパターン補正方法においては、必ずしも補正対象となる線分(本実施形態では線分B1)を延長することで探索領域E1を規定する必要はない。例えば、補正対象線分を延長せずに、補正対象線分の両端を探索領域E1の両端と一致させることもできる。
そして、探索領域E1を設定すると、線分B1の両端から探索領域E1の境界まで延長された仮想線分B1´を補正対象パターンQ0に対して設定する。そして、探索領域E1において、仮想線分B1´と重なる辺を有する隣接パターンQ1、Q2を探索し、仮想線分B1´と隣接パターンQ1、Q2の辺との間の間隔を計測するとともに、仮想線分B1´と、隣接パターンQ1、Q2の辺との間の重なり距離を計測する。
そして、図1のプロセッサ1は、補正テーブルD2を参照することで、仮想線分B1´と隣接パターンQ1、Q2の辺との間隔に対応したバイアスを抽出し、仮想線分B1´と、隣接パターンQ1、Q2の辺との間の重なり距離に基づいて、そのバイアスを補正することにより、線分B1についての補正値BA1を算出する。なお、仮想線分B1´と隣接パターンQ1、Q2の辺との間隔に対応したバイアスを重なり距離に基づいて補正する方法としては、これらのバイアスに重なり距離がそれぞれ重み付けされた値を用いることができる。そして、その補正値に基づいて補正対象パターンQ0を補正することで、補正済データD3を算出し、外部記憶装置4に格納する。
これにより、線分B1の両端から外側に隣接パターンQ1、Q2が存在する場合においても、その隣接パターンQ1、Q2との間隔を考慮しつつ、補正対象パターンQ0上の線分B1にバイアスを与えることが可能となり、補正対象パターンQ0の補正値の精度を向上させることが可能となる。
なお、探索領域E1の水平方向の長さをA、探索領域E1の垂直方向の長さをS1、補正対象パターンQ0と隣接パターンQ1との間の間隔をS0、補正対象パターンQ0と隣接パターンQ2との間の間隔をS2、仮想線分B1´と隣接パターンQ1の辺との間の重なり距離をP0、仮想線分B1´と隣接パターンQ2の辺との間の重なり距離をP2、隣接パターンQ1、Q2間の間隔をP1とすると、補正値Biasは、例えば、以下の(1)式で与えることができる。
Bias=Bias(S0)*P0/A+Bias(S1)*P1/A
+Bias(S2)*P2/A ・・・(1)
ただし、Bias(S0)は、パターン間の間隔がS0のバイアス、Bias(S1)は、パターン間の間隔がS1のバイアス、Bias(S2)は、パターン間の間隔がS2のバイアスである。
Bias=Bias(S0)*P0/A+Bias(S1)*P1/A
+Bias(S2)*P2/A ・・・(1)
ただし、Bias(S0)は、パターン間の間隔がS0のバイアス、Bias(S1)は、パターン間の間隔がS1のバイアス、Bias(S2)は、パターン間の間隔がS2のバイアスである。
(第3実施形態)
図3は、本発明の第3実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンのレイアウトの一例を示す平面図である。
図3において、補正対象パターンQ10の周辺には、補正対象パターンQ10に隣接する隣接パターンQ11、Q12が配置されている。なお、補正対象パターンQ10は、幅が一定でなく、幅の異なる部分から構成されている。そして、補正対象パターンQ10の補正を行う場合、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンQ10の辺H2を複数の線分に分割する。そして、辺H2上の線分B2についての補正値を算出する場合、線分B2に対する隣接パターンQ11、Q12の探索領域E2を設定する。なお、探索領域E2は、線分B2と水平方向では、線分B2の両端から外側にはみ出すように設定するとともに、線分B2と垂直方向では、設計上の隣接パターン間の最大距離より大きくなるように設定することができる。
図3は、本発明の第3実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンのレイアウトの一例を示す平面図である。
図3において、補正対象パターンQ10の周辺には、補正対象パターンQ10に隣接する隣接パターンQ11、Q12が配置されている。なお、補正対象パターンQ10は、幅が一定でなく、幅の異なる部分から構成されている。そして、補正対象パターンQ10の補正を行う場合、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンQ10の辺H2を複数の線分に分割する。そして、辺H2上の線分B2についての補正値を算出する場合、線分B2に対する隣接パターンQ11、Q12の探索領域E2を設定する。なお、探索領域E2は、線分B2と水平方向では、線分B2の両端から外側にはみ出すように設定するとともに、線分B2と垂直方向では、設計上の隣接パターン間の最大距離より大きくなるように設定することができる。
そして、探索領域E2を設定すると、線分B2の両端から探索領域E2の境界まで延長された仮想線分B2´を補正対象パターンQ10に対して設定する。そして、探索領域E2において、仮想線分B2´と重なる辺を有する隣接パターンQ11、Q12を探索し、仮想線分B2´と隣接パターンQ11、Q12の辺との間の間隔を計測する。さらに、仮想線分B1´と、隣接パターンQ11、Q12の辺との間の重なり距離を計測するとともに、仮想線分B1´が隣接パターンQ11、Q12の辺との重なっている領域ごとに補正対象パターンQ10の幅を計測する。
そして、図1のプロセッサ1は、補正テーブルD2を参照することで、仮想線分B2´と隣接パターンQ11、Q12の辺との間隔および補正対象パターンQ10の幅に対応したバイアスを抽出し、仮想線分B2´と、隣接パターンQ11、Q12の辺との間の重なり距離に基づいて、そのバイアスを補正することにより、線分B2についての補正値BA2を算出する。そして、その補正値に基づいて補正対象パターンQ10を補正することで、補正済データD3を算出し、外部記憶装置4に格納する。
これにより、補正対象パターンQ10の幅が変化する場合においても、線分B2の両端から外側に存在する隣接パターンQ11、Q12との間隔を考慮しつつ、補正対象パターンQ10上の線分B2にバイアスを与えることが可能となり、補正対象パターンQ10の補正値の精度を向上させることが可能となる。
なお、補正対象パターンQ10は幅がW0、W1、W2の部分から構成され、探索領域E2の水平方向の長さをA、探索領域E2の垂直方向の長さをS1、補正対象パターンQ10と隣接パターンQ11との間の間隔をS0、補正対象パターンQ10と隣接パターンQ12との間の間隔をS2、幅W0の部分における仮想線分B2´と隣接パターンQ11の辺との間の重なり距離をP0、幅W1の部分における仮想線分B2´と隣接パターンQ11の辺との間の重なり距離をP1、幅W1の部分における仮想線分B2´と隣接パターンQ12の辺との間の重なり距離をP3、幅W2の部分における仮想線分B2´と隣接パターンQ12の辺との間の重なり距離をP4、隣接パターンQ11、Q12間の間隔をP2とすると、補正値Biasは、例えば、以下の(2)式で与えることができる。
Bias=Bias(S0,W0)*P0/A+Bias(S0,W1)*P1/A
+Bias(S1,W1)*P2/A+Bias(S2,W1)*P3/A
+Bias(S2,W2)*P4/A ・・・(2)
ただし、Bias(S0,W0)は、パターン間の間隔がS0かつパターンの幅がW0のバイアス、Bias(S0,W1)は、パターン間の間隔がS0かつパターンの幅がW1のバイアス、Bias(S1,W1)は、パターン間の間隔がS1かつパターンの幅がW1のバイアス、Bias(S2,W1)は、パターン間の間隔がS2かつパターンの幅がW1のバイアス、Bias(S2,W2)は、パターン間の間隔がS2かつパターンの幅がW2のバイアスである。
Bias=Bias(S0,W0)*P0/A+Bias(S0,W1)*P1/A
+Bias(S1,W1)*P2/A+Bias(S2,W1)*P3/A
+Bias(S2,W2)*P4/A ・・・(2)
ただし、Bias(S0,W0)は、パターン間の間隔がS0かつパターンの幅がW0のバイアス、Bias(S0,W1)は、パターン間の間隔がS0かつパターンの幅がW1のバイアス、Bias(S1,W1)は、パターン間の間隔がS1かつパターンの幅がW1のバイアス、Bias(S2,W1)は、パターン間の間隔がS2かつパターンの幅がW1のバイアス、Bias(S2,W2)は、パターン間の間隔がS2かつパターンの幅がW2のバイアスである。
図4は、本発明の一実施形態に係るパターン補正処理に使用される補正テーブルの一例を示す図である。
図4において、図1の補正テーブルD2には、パターン間の間隔Sに対応したバイアスが登録されたテーブルTB1〜TBnをパターンの幅Wごとに設けることができる。そして、プロセッサ1は、この補正テーブルD2を参照することで、パターン間の間隔Sおよびパターンの幅Wに対応したバイアスを抽出することができる。
図4において、図1の補正テーブルD2には、パターン間の間隔Sに対応したバイアスが登録されたテーブルTB1〜TBnをパターンの幅Wごとに設けることができる。そして、プロセッサ1は、この補正テーブルD2を参照することで、パターン間の間隔Sおよびパターンの幅Wに対応したバイアスを抽出することができる。
図5は、図1のパターン補正処理装置にて実行されるパターン補正処理の一例を示すフローチャートである。
図5において、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンの辺を複数の線分に分割する(ステップST1)。そして、未補正の線分がある場合(ステップST2)、分割された線分の両端から外側にはみ出すように、隣接パターンの探索領域を設定する(ステップST3)。
次に、分割された線分の両端から探索領域の境界まで延長された仮想線分を補正対象パターンに対して設定する(ステップST4)。そして、探索領域において、仮想線分と重なる辺を有する隣接パターンを探索し、その隣接パターンの辺と仮想線分との間の間隔を計測するとともに、その隣接パターンの辺と仮想線分との間の重なり距離を計測し、さらに仮想線分が隣接パターン2の辺との重なっている領域ごとに補正対象パターンの幅を計測する(ステップST5)。
図5において、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンの辺を複数の線分に分割する(ステップST1)。そして、未補正の線分がある場合(ステップST2)、分割された線分の両端から外側にはみ出すように、隣接パターンの探索領域を設定する(ステップST3)。
次に、分割された線分の両端から探索領域の境界まで延長された仮想線分を補正対象パターンに対して設定する(ステップST4)。そして、探索領域において、仮想線分と重なる辺を有する隣接パターンを探索し、その隣接パターンの辺と仮想線分との間の間隔を計測するとともに、その隣接パターンの辺と仮想線分との間の重なり距離を計測し、さらに仮想線分が隣接パターン2の辺との重なっている領域ごとに補正対象パターンの幅を計測する(ステップST5)。
そして、図1のプロセッサ1は、補正テーブルD2を参照することで、仮想線分と隣接パターンの辺との間隔および補正対象パターンの幅に対応したバイアスを抽出する(ステップST6)。そして、仮想線分と、隣接パターンの辺との間の重なり距離に基づいて、そのバイアスを補正することにより、分割された線分についての補正値を算出する(ステップST7)。そして、その補正値に基づいて補正対象パターンを補正することで、補正済データD3を算出し、外部記憶装置4に格納する(ステップST8)。
図6−1は、本発明の一実施形態に係る補正済パターンの一例を示す平面図である。
図6−1において、補正対象パターンQ20の周辺には、補正対象パターンQ20の3辺にそれぞれ隣接するように隣接パターンQ21〜Q23が互いに離間して配置されている。そして、隣接パターンQ21〜Q23との間の距離に応じて補正対象パターンQ20にバイアスBA11〜BA13が与えられることで、補正済パターンが生成されている。ここで、補正対象パターンQ20のバイアスBA11〜BA13を求める場合、補正対象パターンQ20上の線分に対向するパターンとの間の間隔だけでなく、補正対象パターンQ20上の線分の周囲のパターンとの間の間隔も考慮することで、隣接パターンQ21〜Q23間の間隔も考慮しつつバイアスBA13を設定することができ、バイアスBA12よりもバイアスBA13を大きくすることができる。
図6−1において、補正対象パターンQ20の周辺には、補正対象パターンQ20の3辺にそれぞれ隣接するように隣接パターンQ21〜Q23が互いに離間して配置されている。そして、隣接パターンQ21〜Q23との間の距離に応じて補正対象パターンQ20にバイアスBA11〜BA13が与えられることで、補正済パターンが生成されている。ここで、補正対象パターンQ20のバイアスBA11〜BA13を求める場合、補正対象パターンQ20上の線分に対向するパターンとの間の間隔だけでなく、補正対象パターンQ20上の線分の周囲のパターンとの間の間隔も考慮することで、隣接パターンQ21〜Q23間の間隔も考慮しつつバイアスBA13を設定することができ、バイアスBA12よりもバイアスBA13を大きくすることができる。
図6−2は、本発明の一実施形態に係る補正済パターンのその他の例を示す平面図である。
図6−2において、補正対象パターンQ20の周辺には、補正対象パターンQ20の3辺にそれぞれ隣接するように隣接パターンQ24〜Q26が互いに間隔を置かずに配置されている。そして、隣接パターンQ24〜Q26との間の距離に応じて補正対象パターンQ20にバイアスBA21〜BA23が与えられることで、補正済パターンが生成されている。ここで、補正対象パターンQ20のバイアスBA21〜BA23を求める場合、補正対象パターンQ20上の線分に対向するパターンとの間の間隔だけでなく、補正対象パターンQ20上の線分の周囲のパターンとの間の間隔も考慮することで、隣接パターンQ24〜Q26間の間隙も考慮しつつバイアスBA23を設定することができ、バイアスBA22よりもバイアスBA23を小さくすることができる。
図6−2において、補正対象パターンQ20の周辺には、補正対象パターンQ20の3辺にそれぞれ隣接するように隣接パターンQ24〜Q26が互いに間隔を置かずに配置されている。そして、隣接パターンQ24〜Q26との間の距離に応じて補正対象パターンQ20にバイアスBA21〜BA23が与えられることで、補正済パターンが生成されている。ここで、補正対象パターンQ20のバイアスBA21〜BA23を求める場合、補正対象パターンQ20上の線分に対向するパターンとの間の間隔だけでなく、補正対象パターンQ20上の線分の周囲のパターンとの間の間隔も考慮することで、隣接パターンQ24〜Q26間の間隙も考慮しつつバイアスBA23を設定することができ、バイアスBA22よりもバイアスBA23を小さくすることができる。
(第4実施形態)
図7は、本発明の第4実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンのレイアウトの一例を示す平面図である。
図7において、補正対象パターンQ30の周辺には、補正対象パターンQ30に隣接する隣接パターンQ31が斜めに配置されている。そして、補正対象パターンQ30の補正を行う場合、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンQ30の辺H3を複数の線分に分割する。そして、辺H3上の線分B3についての補正値を算出する場合、線分B3に対する隣接パターンQ31の探索領域E3を、線分B3の両端から外側にはみ出すように設定する。
図7は、本発明の第4実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンのレイアウトの一例を示す平面図である。
図7において、補正対象パターンQ30の周辺には、補正対象パターンQ30に隣接する隣接パターンQ31が斜めに配置されている。そして、補正対象パターンQ30の補正を行う場合、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンQ30の辺H3を複数の線分に分割する。そして、辺H3上の線分B3についての補正値を算出する場合、線分B3に対する隣接パターンQ31の探索領域E3を、線分B3の両端から外側にはみ出すように設定する。
そして、探索領域E3を設定すると、線分B3の両端から探索領域E3の境界まで延長された仮想線分B3´を補正対象パターンQ30に対して設定する。そして、探索領域E3において、仮想線分B3´と重なる辺を有する隣接パターンQ31を探索し、仮想線分B3´の複数の点と隣接パターンQ31の辺との間の間隔を計測する。例えば、隣接パターンQ31との間隔を計測するために、仮想線分B3´上に4つの点M0〜M3を設定することができる。
そして、図1のプロセッサ1は、補正テーブルD2を参照することで、仮想線分B3´の複数の点と隣接パターンQ31の辺との間隔に対応したバイアスを抽出し、それらのバイアスに基づいて線分B3についての補正値BA3を算出する。なお、隣接パターンQ31が斜めに配置されている場合、仮想線分B3´と隣接パターンQ31の辺との間隔に対応したバイアスを補正する方法としては、複数の点のバイアスに各点間の距離がそれぞれ重み付けされた平均値を用いることができる。そして、その補正値に基づいて補正対象パターンQ30を補正することで、補正済データD3を算出し、外部記憶装置4に格納する。
これにより、補正対象パターンQ30に対して隣接パターンQ31が斜めに配置されている場合においても、線分B3の両端から外側に存在する隣接パターンQ31との間隔を考慮しつつ、補正対象パターンQ30上の線分B3にバイアスを与えることが可能となり、補正対象パターンQ30の補正値の精度を向上させることが可能となる。
なお、探索領域E3の水平方向の長さをA、仮想線分B3´上の点M0と隣接パターンQ31との間の間隔をS0、仮想線分B3´上の点M1と隣接パターンQ31との間の間隔をS1、仮想線分B3´上の点M2と隣接パターンQ31との間の間隔をS2、仮想線分B3´上の点M3と隣接パターンQ31との間の間隔をS3、仮想線分B3´上の点M0、M1間の距離をP0、仮想線分B3´上の点M1、M2間の距離をP1、仮想線分B3´上の点M2、M3間の距離をP2とすると、補正値Biasは、例えば、以下の(3)式で与えることができる。本実施形態では、P0、P1、P2を重なり距離とする。
Bias=(Bias(S0)+Bias(S1))/2*P0/A
+(Bias(S1)+Bias(S2))/2*P1/A
+(Bias(S2)+Bias(S3))/2*P2/A ・・・(3)
ただし、Bias(S0)は、パターン間の間隔がS0のバイアス、Bias(S1)は、パターン間の間隔がS1のバイアス、Bias(S2)は、パターン間の間隔がS2のバイアス、Bias(S3)は、パターン間の間隔がS3のバイアスである。
Bias=(Bias(S0)+Bias(S1))/2*P0/A
+(Bias(S1)+Bias(S2))/2*P1/A
+(Bias(S2)+Bias(S3))/2*P2/A ・・・(3)
ただし、Bias(S0)は、パターン間の間隔がS0のバイアス、Bias(S1)は、パターン間の間隔がS1のバイアス、Bias(S2)は、パターン間の間隔がS2のバイアス、Bias(S3)は、パターン間の間隔がS3のバイアスである。
(第5実施形態)
図8は、本発明の第5実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンのレイアウトの一例を示す平面図である。
図8において、補正対象パターンQ40の周辺には、補正対象パターンQ40に隣接する隣接パターンQ41、Q42が配置されている。そして、補正対象パターンQ40の補正を行う場合、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンQ40の辺H4を複数の線分に分割する。そして、分割された線分B4上の点M4から所定の放射角θの範囲内を探索し、放射角θの範囲内で点M4から延伸された直線と交差する辺を有する隣接パターンQ41、Q42を探索する。なお、放射角θとしては、点M4から延伸された直線が、線分B1の両端から外側にはみ出した位置で隣接パターンQ41、Q42の辺と交差するように設定することできる。
図8は、本発明の第5実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンのレイアウトの一例を示す平面図である。
図8において、補正対象パターンQ40の周辺には、補正対象パターンQ40に隣接する隣接パターンQ41、Q42が配置されている。そして、補正対象パターンQ40の補正を行う場合、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンQ40の辺H4を複数の線分に分割する。そして、分割された線分B4上の点M4から所定の放射角θの範囲内を探索し、放射角θの範囲内で点M4から延伸された直線と交差する辺を有する隣接パターンQ41、Q42を探索する。なお、放射角θとしては、点M4から延伸された直線が、線分B1の両端から外側にはみ出した位置で隣接パターンQ41、Q42の辺と交差するように設定することできる。
そして、補正対象パターンQ40と隣接パターンQ41、Q42の辺との間の間隔を計測するとともに、放射角θの範囲内で点M4から延伸された直線が、隣接パターンQ41、Q42の辺と交差する角度の範囲を計測する。
そして、図1のプロセッサ1は、補正テーブルD2を参照することで、補正対象パターンQ40と隣接パターンQ41、Q42の辺との間隔に対応したバイアスを抽出し、放射角θの範囲内で点M4から延伸された直線が、隣接パターンQ41、Q42の辺と交差する角度の範囲に基づいて、そのバイアスを補正することにより、線分B4についての補正値を算出する。なお、線分B4と隣接パターンQ41、Q42の辺との間隔に対応したバイアスを補正する方法としては、隣接パターンQ41、Q42の辺と交差する角度の範囲が各バイアスに重み付けされた平均値を用いることができる。そして、その補正値に基づいて補正対象パターンQ40を補正することで、補正済データD3を算出し、外部記憶装置4に格納する。
そして、図1のプロセッサ1は、補正テーブルD2を参照することで、補正対象パターンQ40と隣接パターンQ41、Q42の辺との間隔に対応したバイアスを抽出し、放射角θの範囲内で点M4から延伸された直線が、隣接パターンQ41、Q42の辺と交差する角度の範囲に基づいて、そのバイアスを補正することにより、線分B4についての補正値を算出する。なお、線分B4と隣接パターンQ41、Q42の辺との間隔に対応したバイアスを補正する方法としては、隣接パターンQ41、Q42の辺と交差する角度の範囲が各バイアスに重み付けされた平均値を用いることができる。そして、その補正値に基づいて補正対象パターンQ40を補正することで、補正済データD3を算出し、外部記憶装置4に格納する。
これにより、線分B4の斜め方向に隣接パターンQ41、Q42が存在する場合においても、その隣接パターンQ41、Q42との間隔を考慮しつつ、補正対象パターンQ40上の線分B4にバイアスを与えることが可能となり、補正対象パターンQ40の補正値の精度を向上させることが可能となる。
なお、補正対象パターンQ40と隣接パターンQ41との間の間隔をS0、補正対象パターンQ40と隣接パターンQ42との間の間隔をS2、補正対象パターンQ40に隣接するパターンがない場合の間隔をS1、隣接パターンQ41の辺と交差する角度の範囲をθ1、隣接パターンQ42の辺と交差する角度の範囲をθ3、隣接パターンQ41、Q42のいずれの辺とも交差しない角度の範囲をθ2とすると、補正値Biasは、例えば、以下の(4)式で与えることができる。
Bias=Bias(S0)*θ1/θ+Bias(S1)*θ2/θ
+Bias(S2)*θ3/θ ・・・(4)
ただし、Bias(S0)は、パターン間の間隔がS0のバイアス、Bias(S1)は、パターン間の間隔がS1のバイアス、Bias(S2)は、パターン間の間隔がS2のバイアスである。
Bias=Bias(S0)*θ1/θ+Bias(S1)*θ2/θ
+Bias(S2)*θ3/θ ・・・(4)
ただし、Bias(S0)は、パターン間の間隔がS0のバイアス、Bias(S1)は、パターン間の間隔がS1のバイアス、Bias(S2)は、パターン間の間隔がS2のバイアスである。
(第6実施形態)
図9は、本発明の第6実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンの辺の分割例を示す平面図である。
図9において、T字形の補正対象パターンQ50の周辺には、補正対象パターンQ50に隣接する隣接パターンQ51が配置されている。ここで、補正対象パターンQ50には、複数のコーナC1〜C8が設けられている。
図9は、本発明の第6実施形態に係るパターン補正処理を説明するためのパターンの辺の分割例を示す平面図である。
図9において、T字形の補正対象パターンQ50の周辺には、補正対象パターンQ50に隣接する隣接パターンQ51が配置されている。ここで、補正対象パターンQ50には、複数のコーナC1〜C8が設けられている。
そして、補正対象パターンQ50の辺は、コーナC1、C2から最小設計寸法以上の長さで分割することができる。例えば、コーナ角C1から辺を分割することで、線分B11、B12を生成することができる。また、コーナ角C2から辺を分割することで、線分B13、B14を生成することができる。また、隣接パターンQ51に対向する辺では、隣接パターンQ51のコーナから補正対象パターンQ50に垂線l1、l2を引く。そして、この垂線l1、l2と直交する辺を垂線l1、l2の位置から、最小設計寸法以上の長さに基づいて分割することで、線分B16、B17を生成することができる。なお、分割によって残りの辺の長さが最小設計寸法以下となる場合、その部分は分割しないようにすることがでる。また、分割は、等間隔に行ってもよいし、長さが異なっていてもよい。このようにして、補正対象パターンQ50の辺が分割されると、これら分割された辺ごとに属性を設定することができる。
図10は、図9のパターンの辺を分割した線分に付与された属性の一例を示す平面図である。
図10において、図9の線分B11、B13は、コーナC1、C2からそれぞれ1番目に分割された線分であり、例えば、アウターコーナの属性が設定される。また、線分B11、B14は、コーナC1、C2からそれぞれ2番目に分割された線分であり、例えば配線の属性が設定される。また、T字の突き当たりの部分の線分B15には、T字の属性が設定される。線分B16は、垂線l1から1番目に分割された線分であり、例えば、隣接パターンの属性が設定される。線分B17は、垂線l1から2番目に分割された線分であり、例えば、アウターコーナとしての属性が設定される。また、図9のコーナC5、C6からそれぞれ1番目に分割された線分には、例えば、インナーコーナとしての属性が設定される。また、コーナC1、C3間の線分には、例えば、ライン端としての属性が設定される。
図10において、図9の線分B11、B13は、コーナC1、C2からそれぞれ1番目に分割された線分であり、例えば、アウターコーナの属性が設定される。また、線分B11、B14は、コーナC1、C2からそれぞれ2番目に分割された線分であり、例えば配線の属性が設定される。また、T字の突き当たりの部分の線分B15には、T字の属性が設定される。線分B16は、垂線l1から1番目に分割された線分であり、例えば、隣接パターンの属性が設定される。線分B17は、垂線l1から2番目に分割された線分であり、例えば、アウターコーナとしての属性が設定される。また、図9のコーナC5、C6からそれぞれ1番目に分割された線分には、例えば、インナーコーナとしての属性が設定される。また、コーナC1、C3間の線分には、例えば、ライン端としての属性が設定される。
そして、分割された辺ごとに、補正対象パターンQ50の幅、この補正対象パターンQ50に隣接する隣接パターンQ51との間隔および重なり距離が複数箇所で測定される。なお、この幅、間隔および重なり距離の測定は、属性ごとに測定方向を定めることができる。ここで、T字の属性が設定された線分およびライン端の属性が設定された線分についてはバイアスを0とし、これらの線分は移動させないようにすることができる。
(第7実施形態)
図11−1は、本発明の第7実施形態に係る線分にインナーコーナの属性が付与された時のパターン補正処理の一例を示す平面図、図11−2は、本発明の第7実施形態に係る線分に属性が付与された時のパターン補正処理のその他の例を示す平面図である。
図11−1において、L字形の補正対象パターンQ60の辺H6は、線分B61、B62に分割され、線分B61には、インナーコーナの属性が設定されたものとする。この場合、この線分B61には、例えば、一定のバイアスBA61を固定値として与えることができる。
あるいは、図11−2に示すように、線分B61に隣接する線分B62にバイアスBA62が与えられた場合、線分B61には、バイアスBA62と同一のバイアスBA63を与えるようにしてもよい。
図11−1は、本発明の第7実施形態に係る線分にインナーコーナの属性が付与された時のパターン補正処理の一例を示す平面図、図11−2は、本発明の第7実施形態に係る線分に属性が付与された時のパターン補正処理のその他の例を示す平面図である。
図11−1において、L字形の補正対象パターンQ60の辺H6は、線分B61、B62に分割され、線分B61には、インナーコーナの属性が設定されたものとする。この場合、この線分B61には、例えば、一定のバイアスBA61を固定値として与えることができる。
あるいは、図11−2に示すように、線分B61に隣接する線分B62にバイアスBA62が与えられた場合、線分B61には、バイアスBA62と同一のバイアスBA63を与えるようにしてもよい。
(第8実施形態)
図12−1は、本発明の第8実施形態に係る線分にアウターコーナの属性が付与された時のパターン補正処理の一例を示す平面図、図12−2は、本発明の第8実施形態に係る線分に属性が付与された時のパターン補正処理のその他の例を示す平面図である。
図12−1において、L字形の補正対象パターンQ60の辺H7は、線分B63、B64に分割され、線分B64には、アウターコーナの属性が設定されたものとする。そして、線分B64に隣接して隣接パターンQ61が配置されている。この場合、この線分B64には、例えば、一定のバイアスBA64を固定値として与えることができる。特に、隣接パターンQ61との間隔P61が所定値以下の場合、バイアスBA64を負の値とすることができる。
あるいは、図12−2に示すように、線分B64に隣接する線分B63にバイアスBA65が与えられた場合、線分B64には、バイアスBA65と同一のバイアスBA66を与えるようにしてもよい。
図12−1は、本発明の第8実施形態に係る線分にアウターコーナの属性が付与された時のパターン補正処理の一例を示す平面図、図12−2は、本発明の第8実施形態に係る線分に属性が付与された時のパターン補正処理のその他の例を示す平面図である。
図12−1において、L字形の補正対象パターンQ60の辺H7は、線分B63、B64に分割され、線分B64には、アウターコーナの属性が設定されたものとする。そして、線分B64に隣接して隣接パターンQ61が配置されている。この場合、この線分B64には、例えば、一定のバイアスBA64を固定値として与えることができる。特に、隣接パターンQ61との間隔P61が所定値以下の場合、バイアスBA64を負の値とすることができる。
あるいは、図12−2に示すように、線分B64に隣接する線分B63にバイアスBA65が与えられた場合、線分B64には、バイアスBA65と同一のバイアスBA66を与えるようにしてもよい。
(第9実施形態)
図13は、本発明の第9実施形態に係る線分に属性が付与された時のパターン補正処理の一例を示す平面図である。
図13において、補正対象パターンQ50上の線分B15には、T字の属性が設定されるものとする。そして、補正対象パターンQ50上の線分B15に隣接して隣接パターンQ52が配置されているものとする。
図13は、本発明の第9実施形態に係る線分に属性が付与された時のパターン補正処理の一例を示す平面図である。
図13において、補正対象パターンQ50上の線分B15には、T字の属性が設定されるものとする。そして、補正対象パターンQ50上の線分B15に隣接して隣接パターンQ52が配置されているものとする。
そして、この線分B15に対応するパターンの幅を測定する場合、例えば、線分B15の両端及び中央部で、補正対象パターンQ50の幅W11〜W13を測定することができる。また、線分B15から隣接パターンQ52までの距離を測定する場合、線分B15の両端では、隣接パターンQ52までの距離S12、S13を斜めに測定し、線分B15の中央部では、隣接パターンQ52までの距離S11を垂直に測定することができる。ここで、隣接パターンQ52までの距離S12、S13を斜めに測定する場合、距離S12は、線分B15に対して例えば135°の角度で測定し、距離S13は、線分B15に対して例えば45°の角度で測定することができる。
(第10実施形態)
図14は、本発明の第10実施形態に係る線分に属性が付与された時のパターン補正処理の一例を示す平面図である。
図14において、補正対象パターンQ50上の線分B13には、アウターコーナの属性が設定され、補正対象パターンQ50上の線分B18には、インナーコーナの属性が設定されているものとする。そして、補正対象パターンQ50上の線分B13に隣接して隣接パターンQ53が配置されているものとする。
図14は、本発明の第10実施形態に係る線分に属性が付与された時のパターン補正処理の一例を示す平面図である。
図14において、補正対象パターンQ50上の線分B13には、アウターコーナの属性が設定され、補正対象パターンQ50上の線分B18には、インナーコーナの属性が設定されているものとする。そして、補正対象パターンQ50上の線分B13に隣接して隣接パターンQ53が配置されているものとする。
そして、線分B18に対応するパターンの幅を測定する場合、例えば、線分B18の端部から斜めに補正対象パターンQ50の幅W14を測定することができる。ここで、補正対象パターンQ50の幅W14を斜めに測定する場合、幅W14は、線分B18に対して例えば45°の角度で測定することができる。
また、線分B13から隣接パターンQ53までの距離を測定する場合、線分B13の右端では、隣接パターンQ53までの距離S23を斜めに測定し、線分B13の左端および中央部では、隣接パターンQ53までの距離S21、S22を垂直に測定することができる。ここで、隣接パターンQ53までの距離S23を斜めに測定する場合、距離S23は、線分B13に対して例えば45°の角度で測定することができる。
また、線分B13から隣接パターンQ53までの距離を測定する場合、線分B13の右端では、隣接パターンQ53までの距離S23を斜めに測定し、線分B13の左端および中央部では、隣接パターンQ53までの距離S21、S22を垂直に測定することができる。ここで、隣接パターンQ53までの距離S23を斜めに測定する場合、距離S23は、線分B13に対して例えば45°の角度で測定することができる。
そして、以上のように属性が設定された各線分についてのパターンの幅および隣接パターンまでの距離が測定されると、これらの幅および距離に応じて補正テーブルが検索され、各線分に対して複数のバイアスが抽出される。なお、属性ごとにパターンの幅と距離の関係が相違する補正テーブルを設けることも可能である。
そして、各線分に対して複数のバイアスが抽出されると、各線分の属性に対応した補正値計算式が選択され、この補正値計算式からパターンの補正値が算出される。なお、この補正値は、これらのバイアスに重なり距離が重み付けされた平均値として算出するようにしてもよいし、複数のバイアスの最大値および最小値に重なり距離を重み付けするようにしてもよい。そして、このようにして算出された補正値に基づいて、分割された線分のパターンが補正される。
図15は、図1のパターン補正処理装置にて線分に属性が付与された時に実行されるパターン補正処理の一例を示すフローチャートである。
図15において、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンの辺を複数の線分に分割する(ステップST11)。そして、未補正の線分がある場合(ステップST12)、分割された線分の両端から外側にはみ出すように、隣接パターンの探索領域を設定する(ステップST13)。
図15において、図1のプロセッサ1は、補正対象パターンの辺を複数の線分に分割する(ステップST11)。そして、未補正の線分がある場合(ステップST12)、分割された線分の両端から外側にはみ出すように、隣接パターンの探索領域を設定する(ステップST13)。
次に、分割された線分についての属性を設定する(ステップST14)。なお、この属性としては、例えば、インナーコーナ、アウターコーナまたはライン端などを挙げることができる。
次に、分割された線分の両端から探索領域の境界まで延長された仮想線分を補正対象パターンに対して設定する(ステップST15)。そして、探索領域において、仮想線分と重なる辺を有する隣接パターンを探索し、その隣接パターンの辺と仮想線分との間の間隔を計測するとともに、その隣接パターンの辺と仮想線分との間の重なり距離を計測し、さらに仮想線分が隣接パターン2の辺との重なっている領域ごとに補正対象パターンの幅を計測する(ステップST16)。
次に、分割された線分の両端から探索領域の境界まで延長された仮想線分を補正対象パターンに対して設定する(ステップST15)。そして、探索領域において、仮想線分と重なる辺を有する隣接パターンを探索し、その隣接パターンの辺と仮想線分との間の間隔を計測するとともに、その隣接パターンの辺と仮想線分との間の重なり距離を計測し、さらに仮想線分が隣接パターン2の辺との重なっている領域ごとに補正対象パターンの幅を計測する(ステップST16)。
そして、図1のプロセッサ1は、補正テーブルD2を参照することで、仮想線分と隣接パターンの辺との間隔および補正対象パターンの幅に対応したバイアスを抽出する(ステップST17)。そして、分割された線分に設定された属性ごとに補正値計算式を選択する(ステップST18)。
例えば、線分に設定された属性がライン端である場合、Bias=0という補正値計算式を選択することができる。また、線分に設定された属性がインナーコーナまたはアウターコーナである場合、Bias=固定値またはBias=Bias(Next Segment)という補正値計算式を選択することができる。ただし、Next Segmentは、分割された線分に隣接する線分である。
例えば、線分に設定された属性がライン端である場合、Bias=0という補正値計算式を選択することができる。また、線分に設定された属性がインナーコーナまたはアウターコーナである場合、Bias=固定値またはBias=Bias(Next Segment)という補正値計算式を選択することができる。ただし、Next Segmentは、分割された線分に隣接する線分である。
そして、仮想線分と、隣接パターンの辺との間の重なり距離に基づいて、補正値計算式上でバイアスを補正することにより、分割された線分についての補正値を算出する(ステップST19)。そして、その補正値に基づいて補正対象パターンを補正することで、補正済データD3を算出し、外部記憶装置4に格納する(ステップST20)。
(第11実施形態)
図16−1〜図16−4は、本発明の第11実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図16−1において、下地層11上には、積層膜12が形成され、積層膜12上には、レジスト膜13が形成されている。なお、下地層11としては、半導体基板や絶縁層や導電層などを用いることができる。また、積層膜12としては、絶縁層や導電層などを用いることができる。そして、レジスト膜13上には露光用マスク15が配置されている。ここで、露光用スク15には、Cr膜やハーフトーン膜などの遮光膜16a〜16dが形成され、この遮光膜16a〜16dにてマスクパターンを構成することができる。ここで、遮光膜16a〜16dは、遮光膜16a〜16dの粗密に起因するフォトリソグラフィ時の露光強度の変動を緩和するためのパターン補正が施されている。
図16−1〜図16−4は、本発明の第11実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。
図16−1において、下地層11上には、積層膜12が形成され、積層膜12上には、レジスト膜13が形成されている。なお、下地層11としては、半導体基板や絶縁層や導電層などを用いることができる。また、積層膜12としては、絶縁層や導電層などを用いることができる。そして、レジスト膜13上には露光用マスク15が配置されている。ここで、露光用スク15には、Cr膜やハーフトーン膜などの遮光膜16a〜16dが形成され、この遮光膜16a〜16dにてマスクパターンを構成することができる。ここで、遮光膜16a〜16dは、遮光膜16a〜16dの粗密に起因するフォトリソグラフィ時の露光強度の変動を緩和するためのパターン補正が施されている。
そして、レジスト膜13にパターンを形成する場合、露光用マスク15を介してレジスト膜13に露光光を照射する。そして、レジスト膜13に露光光が照射されると、ポジレジストでは、照射部分のレジストが分解され、照射部分に潜像14a〜14dが形成される。
そして、図16−2に示すように、潜像14a〜14dが形成されたレジスト膜13を現像することで、積層膜12上にレジストパターン17a〜17dが形成される。そして、図16−3に示すように、レジストパターン17a〜17dをマスクとして積層膜12のエッチングを行うことで、下地層11上に積層パターン12a〜12dを形成する。なお、積層パターン12a〜12dは、例えば、配線パターン、トレンチパターンまたはコンタクトパターンなどを構成することができる。そして、図16−4に示すように、アッシングなどの方法で積層パターン12a〜12d上からレジストパターン17a〜17dを除去する。
ここで、遮光膜16a〜16dにはパターン補正が施されているため、遮光膜16a〜16dの寸法と積層パターン12a〜12dの寸法との間には差異が発生し、積層パターン12a〜12dの寸法を設計値の寸法に一致させることができる。
1 プロセッサ、2 ROM、3 RAM、4 外部記憶装置、5 ヒューマンインターフェース、6 通信インターフェース、7 バス、D1 パターンデータ、D2 補正テーブル、D3 補正済データ、Q0、Q10、Q20、Q30、Q40、Q50、Q60 補正対象パターン、Q1、Q2、Q11、Q12、Q21〜Q26、Q31、Q41、Q42、Q51〜Q53、Q61 隣接パターン、B1〜B4、B11〜B17、B61〜B64 線分、B1´〜B3´ 仮想線分、E1〜E3 探索領域、C1〜C8 コーナ、11 下地層、12 積層膜、12a〜12d 積層パターン、13 レジスト膜、14a〜14d 潜像、15 露光用マスク、16a〜16d 遮光膜、17a〜17d レジストパターン
Claims (5)
- 補正対象パターンの辺を複数の線分に分割するステップと、
前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記線分に隣接する隣接パターンの辺との間の間隔を計測するステップと、
前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記隣接パターンの辺との重なり距離を計測するステップと、
前記計測された間隔に対応した前記線分の移動量を抽出するステップと、
前記重なり距離に基づいて前記移動量を補正することで前記線分についての補正値を算出するステップとを備えることを特徴とするパターン補正方法。 - 補正対象パターンの辺を複数の線分に分割するステップと、
前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記線分に隣接する隣接パターンの辺との間の間隔を計測するステップと、
前記分割された線分に属性を付与するステップと、
前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記隣接パターンの辺との重なり距離を計測するステップと、
前記計測された間隔に対応した前記線分の移動量を抽出するステップと、
前記属性に対応した補正値計算式を選択するステップと、
前記重なり距離に基づいて前記補正値計算式上で移動量を補正することで前記線分についての補正値を算出するステップとを備えることを特徴とするパターン補正方法。 - 補正対象パターンの辺を複数の線分に分割するステップと、
前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記線分に隣接する隣接パターンの辺との間の間隔及び前記線分の線幅を計測するステップと、
前記分割された線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と、前記隣接パターンの辺との重なり距離を計測するステップと、
前記計測された間隔及び線幅に対応した前記線分の移動量を抽出するステップと、
前記重なり距離に基づいて前記移動量を補正することで前記線分についての補正値を算出するステップとを備えることを特徴とするパターン補正方法。 - 補正対象パターンの辺を複数の線分に分割するステップと、
前記分割された線分に隣接する隣接パターンの辺を前記線分上の点から所定の放射角の範囲内で探索するステップと、
前記探索された隣接パターンの辺と前記線分との間の間隔を計測するステップと、
前記計測された間隔に対応した移動量を抽出するステップと、
前記線分上の点から前記所定の放射角の範囲内で伸ばした線分のうち、前記探索された隣接パターンの辺と交差する線分のなす角度の範囲に基づいて前記移動量を補正することで前記線分についての補正値を算出するステップとを備えることを特徴とするパターン補正方法。 - 補正対象パターン上の線分と前記線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分に隣接する隣接パターンの辺との重なり距離に基づいて、前記線分又はその線分の両端から外側に延長された仮想線分と前記隣接パターンの辺との間の間隔に依存して決定される移動量を補正することにより、前記線分についての補正値を算出することを特徴とするパターン補正プログラム。
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