JP2010066202A - キャリアガス用減圧弁 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キャリアガス用減圧弁11は、キャリアガス供給流路12を介して、キャリアガスCGを流入する一次圧室13と、前記一次圧室13に流入されたキャリアガスCGをパイロットユニット14の開閉制御により制御されて流入され、且つキャリアガス排出流路15に排出する二次圧室16と、前記パイロットユニット14に連結され、前記二次圧室16と背圧室17とを仕切る位置に配設され、前記背圧室17への制御ガスの流出入で変動するダイアフラム18とを備え、前記背圧室17に大気と連通する通風孔31を備え、該通風孔31に前記ダイアフラム18の亀裂により前記背圧室17側に漏入するキャリアガスCGの状態を検出するキャリアガス漏入検知手段を備えた。
【選択図】図1
Description
このようなガスクロマトグラフは、分析対象の溶液を加熱して気体にしてこれをキャリアガスにより構造の異なる化合物を分離するカラム(固定層)を通過することにより分離され、カラムの出口に配置されている検出器によって、その各々の分量が計測される。
このような構成からなるガスクロマトグラフは、ガス状態の分析対象物を運ぶキャリアガスの流量、流速、圧力などの状態が分析をする度に変化していると、この分析によって得られた結果は再現性の低いものとなる。
このキャリアガスの状態を一定に保つキャリアガス圧力調整系は、キャリアガス用減圧弁とそれを調整する減圧弁調整系とから構成されている。
一方、背圧流路22には分岐路23を挟んでその上流側と下流側に位置する2つの電磁弁24、25が配置され、又、下流側電磁弁25の下流側には減圧弁の2次側圧力Poを検出する圧力センサ26が設けられている。
ここで、外乱等により二次側圧力Poが設定圧力より大きくなると、圧力センサ26で検出する検出信号の値がキャリアガス流量設定信号の上限値を超えることになり、今度は下流側電磁弁25を開いて背圧Pnを下げる。
すると、その分だけダイアフラム18が上方に変位してパイロットユニット14が上方に動き閉まり、二次側圧力Poが設定圧と一致すると、下流側電磁弁25を閉鎖する。
キャリアガス供給流路を介して、キャリアガスを流入する一次圧室と、
前記一次圧室に流入されたキャリアガスをパイロットユニットの開閉制御により制御されて流入され、且つキャリアガス排出流路に排出する二次圧室と、
前記パイロットユニットに連結され、前記二次圧室と背圧室とを仕切る位置に配設され、前記背圧室への制御ガスの流出入で変動するダイアフラムと、を備え、
前記背圧室に大気と連通する通風孔を備え、該通風孔に前記ダイアフラムの亀裂により前記背圧室側に漏入するキャリアガスの状態を検出するキャリアガス漏入検知手段を備えた。
(2)前記キャリアガス漏入検知手段は、前記通風孔に弾性体膜を取り付け、この弾性体膜の変化を光学的に検出する光検知手段である(1)に記載のキャリアガス用減圧弁。
以下、従来技術と同じものには同一符号を付与して、本願発明のキャリアガス用減圧弁につき説明する。
一方、背圧流路22には分岐路23を挟んでその上流側と下流側に位置する2つの電磁弁24,25が配置され、又、下流側電磁弁25の下流側には減圧弁の2次側圧力Poを検出する圧力センサ26が設けられている。
図3は、弾性体膜32が膨張変化してはいるが、その膨張状態が許容範囲内であるときに、弾性体膜32の上部位置から光を照射した状態を示したものである。照射された光は受発光部34の受光面で略受光することができるため、受光強度は強い。
図4は、弾性体膜32が膨張変化し、その膨張状態が許容範囲外であるときに、弾性体膜32の上部位置から光を照射した状態を示したものである。照射された光は受発光部34の受光面で受光できる光が少なくなり、受光強度は弱いものとなる。
このとき、ダイアフラム18に亀裂が生じているならば、ダイアフラム18の亀裂によって背圧室17にキャリアガスCGが流入することで背圧室17の背圧Pnが膨張し、弾性体膜32が通常と比べて異常に膨張突出する(図4の状態)。この状態を光検知手段で検知することで、制御動作に影響を与えない初期段階でキャリアガスの調整状態の異常を検知することができる。
ここで、外乱等により二次側圧力Poが設定圧力より大きくなると、圧力センサ26で検出する検出信号の値がキャリアガス流量設定信号の上限値を超えることになると、今度は下流側電磁弁25を開いて背圧Pnを下げる。
すると、その分だけダイアフラム18が上方に変位してパイロットユニット14が上方に動き閉まり、二次側圧力Poが設定圧と一致すると、下流側電磁弁25を閉鎖する。
このときに、ダイアフラム18に生じた亀裂によるキャリアガスの露出を、背圧室17への異常なキャリアガスCGの流入を弾性体膜32の異常な膨出状態を検知することで、ダイアフラム18によるキャリアガスの調整制御が不能になる前にダイアフラム18の亀裂を検知することができるのである。
12 キャリアガス供給流路
13 一次圧室
14 パイロットユニット
15 キャリアガス排出流路
16 二次圧室
17 背圧室
18 ダイアフラム
19 第1の圧縮コイルばね
20 第2の圧縮コイルばね
21 出入口
22 背圧流路
23 分岐路
24 電磁弁
25 電磁弁
26 圧力センサ
28 キャリアガス流量コントローラ
31 通風孔
32 弾性体膜
33 発光部・受光部ユニット
34 受発光部
Claims (2)
- キャリアガス供給流路を介して、キャリアガスを流入する一次圧室と、
前記一次圧室に流入されたキャリアガスをパイロットユニットの開閉制御により制御されて流入され、且つキャリアガス排出流路に排出する二次圧室と、
前記パイロットユニットに連結され、前記二次圧室と背圧室とを仕切る位置に配設され、前記背圧室への制御ガスの流出入で変動するダイアフラムと、
を備え、
前記背圧室に大気と連通する通風孔を備え、該通風孔に前記ダイアフラムの亀裂により前記背圧室側に漏入するキャリアガスの状態を検出するキャリアガス漏入検知手段を備えたことを特徴とするキャリアガス用減圧弁。 - 前記キャリアガス漏入検知手段は、前記通風孔に弾性体膜を取り付け、この弾性体膜の変化を光学的に検出する光検知手段である請求項1に記載のキャリアガス用減圧弁。
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---|---|---|---|---|
JPH0493736A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-26 | Kiyohara Masako | 制御器のシール部破損検知機構 |
JPH064143A (ja) * | 1992-06-18 | 1994-01-14 | Yamatake Honeywell Co Ltd | 減圧弁制御方法 |
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2008
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