JP2010064255A - セラミックグリーンシートの剥離装置及びセラミックグリーンシートの剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】支持フィルムの撓みを防止し、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能なセラミックグリーンシートの剥離装置を提供する。
【解決手段】剥離装置10は、保持面18aを有する保持台18と、保持面18aにおいて支持フィルムFを吸着する吸引部20と、支持フィルムFを供給する供給ローラ12と、保持台18よりも下流側における支持フィルムFが架け渡されるテンションローラ28と、テンションローラ28を経た支持フィルムFを巻き取る巻取ローラ14と、テンションローラ28を動作させる差圧シリンダ32と、保持面18a上における切断片S1を吸着可能な吸着搬送部24と、吸着搬送部24を移動させるモータ26と、巻取ローラ14に接続されたモータ16、吸引部20、吸着搬送部24、差圧シリンダ32及びモータ26の動作を制御する制御部36とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】剥離装置10は、保持面18aを有する保持台18と、保持面18aにおいて支持フィルムFを吸着する吸引部20と、支持フィルムFを供給する供給ローラ12と、保持台18よりも下流側における支持フィルムFが架け渡されるテンションローラ28と、テンションローラ28を経た支持フィルムFを巻き取る巻取ローラ14と、テンションローラ28を動作させる差圧シリンダ32と、保持面18a上における切断片S1を吸着可能な吸着搬送部24と、吸着搬送部24を移動させるモータ26と、巻取ローラ14に接続されたモータ16、吸引部20、吸着搬送部24、差圧シリンダ32及びモータ26の動作を制御する制御部36とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、PETフィルム等の支持フィルム上に形成された誘電体グリーンシート等のセラミックグリーンシートを支持フィルムから剥離するためのセラミックグリーンシートの剥離装置及びセラミックグリーンシートの剥離方法に関する。
従来、表面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムを送り出す供給機構と、供給機構による支持フィルムの送り出し方向における先端部が鋭角とされ、当該先端部において支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を行う剥離台と、吸着板及び切断刃を有し、剥離台の上方に配置された吸着・切断機と、セラミックグリーンシートの剥離が行われた支持フィルムを巻き取る巻取機構とを備えるセラミックグリーンシートの剥離装置が知られている(例えば、下記特許文献1参照)。巻取機構は、巻取機構による支持フィルムの巻き取り方向が水平面に対して剥離台の鋭角先端部における角度とほぼ等しい角度となるように配置されている。そのため、支持フィルムの巻き取り時には、支持フィルムに生じる張力によって支持フィルムが剥離台の鋭角先端部において押圧され、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離が促されることとなる。
このセラミックグリーンシートの剥離装置においてセラミックグリーンシートを剥離するためには、まず、供給機構及び巻取機構の静止時(支持フィルムの静止時)に吸着・切断機を剥離台に向けて降下させ、支持フィルム上のセラミックグリーンシートを切断刃によって切断すると共に切断されたセラミックグリーンシート(切断片)を吸着板によって吸着する。続いて、巻取機構によって支持フィルムを巻き取るのと同時に、吸着板による切断片の吸着状態を維持したまま吸着・切断機を支持フィルムの巻き取り方向と同じ方向に水平移動させる。これにより、切断片は、吸着板によって吸着されたまま剥離台の鋭角先端部において押圧されるので、支持フィルムからの剥離が行われ、吸着板に保持される。
特開平7−001428号公報
しかしながら、上記のような従来のセラミックグリーンシートの剥離装置では、切断片の支持フィルムからの剥離の際に、巻取機構による支持フィルムの巻き取りと吸着・切断機による切断片の移動とを同時に行っている。そのため、両者の速度を精度よく制御しなければ、剥離台の鋭角先端部において支持フィルムが撓んでしまうことがあった。このように支持フィルムが撓んでしまうと、剥離台の鋭角先端部において支持フィルムに付与される押圧力が小さくなってしまうので、切断片を支持フィルムから剥離し難くなるなどの剥離不良が生じる虞が高くなる。
そこで、本発明は、支持フィルムの撓みを防止し、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能なセラミックグリーンシートの剥離装置及びセラミックグリーンシートの剥離方法を提供することを目的とする。
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置は、一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が向かう状態で支持フィルムを保持する保持面を有し、支持フィルムからの前記セラミックグリーンシートの剥離が行われる保持台と、支持フィルムが保持台の先端部において加圧されるように、支持フィルムを保持台の保持面とは反対側に搬送する搬送手段と、保持台の保持面側に配置され、保持面に対して近接又は離間可能とされており、保持面に近接しているときに、保持台上に保持されている支持フィルム上のセラミックグリーンシートを吸着可能な吸着手段と、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に吸着手段を移動させる駆動手段と、搬送手段、吸着手段及び駆動手段の動作を制御する制御手段とを備え、制御手段は、吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着させ、搬送手段によって支持フィルムの搬送を行うことで、セラミックグリーンシートに吸着している吸着手段が支持フィルムと共に動き出した後に、駆動手段によって吸着手段を動作させることを特徴とする。
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、制御手段が吸着手段を制御して、支持フィルム上のセラミックグリーンシートを吸着手段によって吸着し、この状態で制御手段が搬送手段を制御して、支持フィルムが保持台の先端部において加圧されるように、支持フィルムを保持台の保持面とは反対側に搬送している。その後、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、制御手段が駆動手段を制御して、駆動手段によって吸着手段を駆動することで、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に吸着手段を移動させている。つまり、少なくとも支持フィルムが送り出される直後においては、吸着手段はセラミックグリーンシート(支持フィルム)に付随して動くのみである。そのため、セラミックグリーンシートの剥離に際して吸着・切断機についても移動させている従来の剥離装置と異なり、支持フィルムに十分な張力が与えられる。その結果、支持フィルムの撓みが効果的に防止されるので、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能となる。
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置は、一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が向かう状態で支持フィルムを保持する保持面を有し、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離が行われる保持台と、保持台上の支持フィルムを保持面に吸着して支持フィルムの移動を制限する第1吸着手段と、セラミックグリーンシートが形成された支持フィルムが繰り出される供給手段と、保持台においてセラミックグリーンシートの剥離が行われ、保持台の保持面とは反対側に案内された後の支持フィルムが架け渡されるローラと、ローラの表面を経て送り出された支持フィルムを巻き取る巻取手段と、支持フィルムに張力を付与するようにローラを動作させる第1駆動手段と、保持台の保持面側に配置され、保持面に対して近接又は離間可能とされており、保持面に近接しているときに、保持台上に保持されている支持フィルム上のセラミックグリーンシートを吸着可能な第2吸着手段と、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に第2吸着手段を移動させる第2駆動手段と、巻取手段、第1吸着手段、第2吸着手段、第1駆動手段及び第2駆動手段の動作を制御する制御手段とを備え、制御手段は、第1吸着手段によって支持フィルムを保持面に吸着させ、第1吸着手段によって吸着されている支持フィルムが移動しない程度の力が支持フィルムに付与されるように、第1駆動手段によってローラを動作させ、第2吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着させ、第1吸着手段による支持フィルムの吸着を解除させることで、セラミックグリーンシートに吸着している第2吸着手段が支持フィルムと共に動き出した後に、第2駆動手段によって第2吸着手段を動作させることを特徴とする。
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、第1吸着手段によって支持フィルムを吸着している状態で制御手段が第1駆動手段を制御して、第1駆動手段によってローラを駆動することで、第1吸着手段によって吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を支持フィルムに付与しており、この状態で制御手段が第1吸着手段を制御して、第1吸着手段による支持フィルムの吸着を停止することで、セラミックグリーンシートに吸着している第2吸着手段を支持フィルムと共に送り出している。その後、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、制御手段が第2駆動手段を制御して、第2駆動手段によって第2吸着手段を駆動することで、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に第2吸着手段を移動させている。つまり、少なくとも支持フィルムが送り出される直後においては、第2吸着手段はセラミックグリーンシート(支持フィルム)に付随して動くのみである。そのため、セラミックグリーンシートの剥離に際して吸着・切断機についても移動させている従来の剥離装置と異なり、支持フィルムに十分な張力が与えられる。その結果、支持フィルムの撓みが効果的に防止されるので、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能となる。
また、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置では、第1吸着手段によって支持フィルムを吸着している状態で制御手段が第1駆動手段を制御して、第1駆動手段によってローラを駆動することで、第1吸着手段によって吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を支持フィルムに付与しており、この状態で制御手段が第2吸着手段を制御して、第2吸着手段にセラミックグリーンシートを吸着させている。そのため、支持フィルムにある程度張力が加えられた状態で、セラミックグリーンシートが第2吸着手段によって吸着されることとなる。その結果、第2吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着する際に、セラミックグリーンシート及び支持フィルムが第2吸着手段に引っ張られることによるセラミックグリーンシート及び支持フィルムの撓みについても、効果的に防止することが可能となる。
好ましくは、制御手段は、支持フィルムに付与される張力が一定となるように、第1駆動手段を制御する。このようにすると、支持フィルムの巻き取り量とは独立して支持フィルムに付与される張力を調整することが可能となる。
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離方法は、一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が保持台の保持面に向かう状態で支持フィルムを保持面上に保持する第1工程と、第1吸着手段によって保持台上の支持フィルムを保持面に吸着して、支持フィルムの移動を制限する第2工程と、保持面に吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を、支持フィルムの延在方向に、支持フィルムに付与する第3工程と、第2吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着する第4工程と、第1吸着手段による支持フィルムの吸着を解除することで、支持フィルムを保持台の保持面とは反対側に案内すると共に、セラミックグリーンシートに吸着している第2吸着手段が支持フィルムと共に動き出した後に、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に第2吸着手段を移動させる第5工程とを備えることを特徴とする。
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離方法では、第3工程において、保持面に吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を、支持フィルムの延在方向に、支持フィルムに付与しており、この状態で、第5工程において、第1吸着手段による支持フィルムの吸着を停止することで、セラミックグリーンシートに吸着している第2吸着手段を支持フィルムと共に送り出している。その後、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離方法では、保持面上における支持フィルムの移動方向に沿う方向に第2吸着手段を移動させている。つまり、少なくとも支持フィルムが送り出される直後においては、第2吸着手段はセラミックグリーンシート(支持フィルム)に付随して動くのみである。そのため、セラミックグリーンシートの剥離に際して吸着・切断機についても移動させている従来の剥離装置と異なり、支持フィルムに十分な張力が与えられる。その結果、支持フィルムの撓みが効果的に防止されるので、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能となる。
また、本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離方法では、第3工程において、保持面に吸着されている支持フィルムが移動しない程度の張力を、支持フィルムの延在方向に、支持フィルムに付与しており、この状態で、第4工程において、第2吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着している。そのため、支持フィルムにある程度張力が加えられた状態で、セラミックグリーンシートが第2吸着手段によって吸着されることとなる。その結果、第2吸着手段によってセラミックグリーンシートを吸着する際に、セラミックグリーンシート及び支持フィルムが第2吸着手段に引っ張られることによるセラミックグリーンシート及び支持フィルムの撓みについても、効果的に防止することが可能となる。
好ましくは、第3工程では、一定の張力を支持フィルムに付与する。このようにすると、支持フィルムの巻き取り量とは独立して支持フィルムに付与される張力を調整することが可能となる。
本発明によれば、支持フィルムの撓みを防止し、支持フィルムからのセラミックグリーンシートの剥離を良好に行うことが可能なセラミックグリーンシートの剥離装置及びセラミックグリーンシートの剥離方法を提供することができる。
本発明に係るセラミックグリーンシートの剥離装置10の好適な実施形態について、図面を参照して説明する。なお、説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一符号を用いることとし、重複する説明は省略する。また、説明中、「上」及び「下」なる語を使用することがあるが、これは図面の上方向及び下方向に対応したものである。
(セラミックグリーンシートの剥離装置の構成)
まず、図1を参照して、本実施形態に係るセラミックグリーンシートの剥離装置10の構成について説明する。
まず、図1を参照して、本実施形態に係るセラミックグリーンシートの剥離装置10の構成について説明する。
セラミックグリーンシートの剥離装置10は、PETフィルム等の支持フィルムF上に形成された誘電体グリーンシート等のセラミックグリーンシートSを支持フィルムFから剥離するための装置である。セラミックグリーンシートの剥離装置10は、供給ローラ12(供給手段)と、巻取ローラ14(巻取手段)と、モータ16(巻取手段)と、保持台18と、吸引部20(第1吸着手段)と、切断刃22と、吸着搬送部24(第2吸着手段)と、モータ26(第2駆動手段)と、テンションローラ28と、複数の従動ローラ30A〜30Dと、差圧シリンダ32(第1駆動手段)と、シートストック部34と、制御部36を備える。支持フィルムFは、供給ローラ12から巻取ローラ14にかけて、保持台18の保持面18a(詳しくは後述する)、テンションローラ28及び従動ローラ30A〜30Dに架け渡されている。
供給ローラ12は、保持台18に供給するための表面(一方の主面)にセラミックグリーンシートSが形成された支持フィルムFを蓄積している。具体的には、セラミックグリーンシートSが形成された支持フィルムFが供給ローラ12の軸心に多数回巻かれた状態となっている。支持フィルムFは、供給ローラ12から従動ローラ30Aを介して保持台18へと繰り出される。
巻取ローラ14は、保持台18においてセラミックグリーンシートSが剥離され、従動ローラ30B、従動ローラ30C、テンションローラ28及び従動ローラ30Dを経た支持フィルムFを巻き取る。巻取ローラ14の軸心は、モータ16の回転軸と連結されている。そのため、巻取ローラ14は、モータ16により一定の方向に回転駆動される。
保持台18は、平面状の保持面18aを有している。保持台18には、支持フィルムFの裏面(他方の主面)が保持面18aに向かう状態で、供給ローラ12から送り出された支持フィルムFが保持される。
保持台18のうち支持フィルムFの送り出し方向(図1における左方向)における先端部18bは、保持面18aに対して鋭角となるように構成されている。保持台18の保持面18aには、多数の小孔(図示せず)が形成されており、これらの小孔は、吸引部20に接続されている。
吸引部20は、例えばポンプであり、保持面18aに形成されている多数の小孔から空気を吸引する。そのため、吸引部20が動作すると、支持フィルムFが保持台18に吸着され、支持フィルムFの移動が制限される。
切断刃22は、支持フィルムF上のセラミックグリーンシートSを、支持フィルムFの幅方向にわたって切断して、所定の大きさのシート切断片S1とするものである。切断刃22は、保持面18aの上方に位置するように配置されており、図示しない昇降手段により鉛直方向(保持台18の保持面18aに近接又は離間する方向)に沿って昇降可能とされている。
吸着搬送部24は、シート切断片S1を吸着してシートストック部34へと搬送するためのものである。そのため、吸着搬送部24の下面には、多数の小孔(図示せず)が形成されており、これらの小孔は、図示しないポンプ等の吸引手段に接続されている。これにより、吸引手段が動作すると、吸着搬送部24の下面に形成されている多数の小孔から空気が吸引され、シート切断片S1が吸着搬送部24に吸着される。
吸着搬送部24には、保持面18a上における支持フィルムFの移動方向(後述する図3の矢印b1方向)に吸着搬送部24を移動させるモータ26が取り付けられている。モータ26は、例えばサーボモータであり、吸着搬送部24の位置制御を行い、保持台18の先端部18bとシートストック部34との間において吸着搬送部24を移動させる。また、吸着搬送部24は、図示しない昇降手段により鉛直方向(保持台18の保持面18aに近接又は離間する方向)に沿って昇降可能とされている。
テンションローラ28には、保持台18よりも下流側における支持フィルムFが架け渡されており、差厚シリンダ32が接続されている。差厚シリンダ32は、ピストン32aで区画された本体32b内の空間Aの気圧と空間Bの気圧との差を一定に保つように駆動される。そのため、支持フィルムFには、常に所望の一定の張力が支持フィルムFの延在方向に付与される。
従動ローラ30A〜30Dは、支持フィルムFの搬送方向(送り出す方向)を変えるためのローラであり、支持フィルムFが送り出されるのに伴って回転する。ここで、特に、保持台18の保持面18aに続いて支持フィルムFが通過することとなる従動ローラ30Bは、保持台18の下方(保持台18の保持面18aとは反対側)であって、保持台18の先端部18bよりも内側(図1の右側)に配置されている。
そのため、保持台18の保持面18aから送り出された支持フィルムFは、保持台18の先端部18bにおける角度とほぼ等しい角度となるようにその進路が変更される。これにより、差厚シリンダ32によって支持フィルムFに一定の張力が支持フィルムFの延在方向に付与されることとも相俟って、支持フィルムFが保持台18の先端部18bにおいて押圧され、先端部18bにおいて支持フィルムFからの切断片S1の剥離が促されることとなる。
シートストック部34は、支持フィルムFから剥離された切断片S1を集積しておくためのものである。制御部36は、モータ16、吸引部20、切断刃22の図示しない昇降機構、吸着搬送部24の図示しない吸引部、吸着搬送部24の図示しない昇降機構、モータ26及び差厚シリンダ32に接続されており、切断刃22の図示しない昇降機構、吸着搬送部24の図示しない昇降機構、モータ26及び差厚シリンダ32からの信号が入力されると共に、各部の動作を制御するための信号をそれぞれに出力する。
(セラミックグリーンシートの剥離装置の動作)
次に、図1〜図8を参照して、上述した構成を備えたセラミックグリーンシートの剥離装置10の動作について説明する。
次に、図1〜図8を参照して、上述した構成を備えたセラミックグリーンシートの剥離装置10の動作について説明する。
まず、表面にセラミックグリーンシートSが形成された支持フィルムFを供給ローラ12に蓄積したものを用意する。そして、供給ローラ12から支持フィルムFを引き出して、従動ローラ30A、保持台18の保持面18a、保持台18の先端部18b、従動ローラ30B、従動ローラ30C、テンションローラ28、従動ローラ30Dの順に支持フィルムFを架け渡し、支持フィルムFの先端部を巻取ローラ14に固定する(図1参照)。これにより、セラミックグリーンシートの剥離装置10への支持フィルムFの搭載が完了する。
続いて、制御部36が吸引部20に信号を出力して、吸引部20を動作させる。これにより、保持台18の保持面18a上における支持フィルムFが保持面18aに吸着される。この状態で、制御部36が差厚シリンダ32に信号を出力して、テンションローラ28を介して、支持フィルムFに対して一定の張力を付与する。このときの張力の大きさは、保持面18aに吸着されている支持フィルムFの吸着状態が維持される程度、すなわち、支持フィルムFが動き出さない程度の大きさとする。
なお、このとき制御部36は、モータ16に信号を出力して、巻取ローラ14が回転しないようにモータ16を制御している。また、このとき制御部36は、モータ26に信号を出力して、支持フィルムFの移動に付随して吸着搬送部24が移動するのを妨げないように(モータ26によって吸着搬送部24に付与される力が支持フィルムFに付与される張力よりも小さくなるように)モータ26を制御している。
続いて、制御部36が吸着搬送部24の昇降機構に信号を出力して、吸着搬送部24の下面が切断片S1の表面に接するまで吸着搬送部24を保持面18aに近接させる(図2参照)。そして、制御部36が吸着搬送部24の吸引部に信号を出力して、吸着搬送部24の吸引部を動作させる。これにより、シート切断片S1が吸着搬送部24の下面に吸着される。
続いて、制御部36が吸引部20に信号を出力して、吸引部20による吸引動作を停止させる。このとき、支持フィルムFには差厚シリンダ32によって一定の張力(図3の矢印a参照)が付与されていることから、吸引部20による吸引動作を停止させることが契機となって、支持フィルムFはテンションローラ28によって供給ローラ12から巻取ローラ14へと向かう方向に繰り出される(図3の矢印b1,b2参照)。また、このとき同時に、支持フィルムF上に形成されているセラミックグリーンシートS及び切断片S1、並びに、切断片S1に吸着している吸着搬送部24についても、支持フィルムFの移動に付随して動く。こうして、支持フィルムFが保持台18の先端部18bにおいて押圧され、切断片S1のうち進行方向側の端部から漸次、切断片S1が支持フィルムFから剥離されていく。
続いて、モータ26からの信号により吸着搬送部24が所定の位置まで移動したことを制御部36が検知すると、制御部36がモータ26に信号を出力して、吸着搬送部24が保持面18a上における支持フィルムFの進行方向に沿う方向に移動するようにモータ26を動作させる(図3の矢印c参照)。そして、切断片S1が完全に支持フィルムFから剥離する位置まで吸着搬送部24が到達したことをモータ26からの信号により制御部36が検知すると、制御部36がモータ26に信号を出力して、吸着搬送部24の移動を停止させる(図4参照)。
このとき同時に、制御部36が吸引部20に信号を出力して、吸引部20を動作させる。これにより、保持台18の保持面18a上における支持フィルムFが再び保持面18aに吸着される。なお、モータ26によって駆動される吸着搬送部24の移動速度は、保持台18の保持面18a上における支持フィルムFの移動速度以上であることが好ましい。
続いて、制御部36が吸着搬送部24の昇降機構に信号を出力して、吸着搬送部24が停止した位置において吸着搬送部24を上昇させる(図5の矢印d参照)。
続いて、制御部36が切断刃22の昇降機構に信号を出力して、セラミックグリーンシートSは切断するが支持フィルムFは切断しない位置まで切断刃22を保持面18aに向けて下降させ、その後切断刃22を元の位置まで上昇させる。これにより、保持面18a上において新たな切断片S1が形成される(図6参照)。
続いて、制御部36がモータ16に信号を出力して、支持フィルムFを巻き取る方向に巻取ローラ14を回転させる(図7の矢印e参照)。これにより、支持フィルムFは、供給ローラ12から巻取ローラ14へと向かう方向に繰り出される(図7の矢印f参照)。また、このとき同時に、支持フィルムFによってテンションローラ28及び差圧シリンダ32のピストン32aが当初の位置に戻される(図7の矢印g参照)。
続いて、制御部36が吸着搬送部24の昇降機構及びモータ26に信号を出力して、吸着搬送部24を、吸着している切断片S1と共にシートストック部34へと移動させる(図8参照)。そして、制御部36が吸着搬送部24の吸引部に信号出力して、吸着搬送部24の吸引部による吸引動作を停止させる。これにより、切断片S1がシートストック部34に集積されることとなる。
以上のような本実施形態においては、吸引部20によって支持フィルムFを吸着している状態で制御部36が差圧シリンダ32を制御して、差圧シリンダ32によってテンションローラ28を駆動することで、吸引部20によって吸着されている支持フィルムFが移動しない程度の張力を支持フィルムに付与しており、この状態で制御部36が吸引部20を制御して、吸引部20による支持フィルムFの吸着を停止することで、セラミックグリーンシートSに吸着している吸着搬送部24を支持フィルムFと共に送り出している。その後、本実施形態においては、制御部36がモータ26を制御して、モータ26によって吸着搬送部24を駆動することで、保持面18上における支持フィルムFの移動方向に沿う方向に吸着搬送部24を移動させている。つまり、支持フィルムFが送り出される直後においては、吸着搬送部24は切断片S1(支持フィルムF)に付随して動くのみである。そのため、セラミックグリーンシートの切断片の剥離に際して吸着・切断機についても移動させている従来の剥離装置と異なり、支持フィルムFに十分な張力が与えられる。その結果、支持フィルムFの撓みが効果的に防止されるので、支持フィルムFからの切断片S1の剥離を良好に行うことが可能となる。
また、本実施形態においては、吸引部20によって支持フィルムFを吸着している状態で制御部36が差圧シリンダ32を制御して、差圧シリンダ32によってテンションローラ28を駆動することで、吸引部20によって吸着されている支持フィルムFが移動しない程度の張力を支持フィルムFに付与しており、この状態で制御部36がモータ26を制御して、吸着搬送部24に切断片S1を吸着させている。そのため、支持フィルムFにある程度張力が加えられた状態で、切断片S1が吸着搬送部24によって吸着されることとなる。その結果、吸着搬送部24によって切断片S1を吸着する際に、切断片S1及び支持フィルムFが吸着搬送部24に引っ張られることによる切断片S1及び支持フィルムFの撓みについても、効果的に防止することが可能となる。
また、本実施形態においては、支持フィルムFに付与される張力が一定となるように、制御部36が差圧シリンダ32を制御している。そのため、巻取ローラ14による支持フィルムFの巻き取り量とは独立して支持フィルムFに付与される張力を調整することが可能となる。
10…セラミックグリーンシートの剥離装置、12…供給ローラ(供給手段)、14…巻取ローラ(巻取手段)、16…モータ(巻取手段)、18…保持台、18a…保持面、18b…先端部、20…吸引部(第1吸着手段)、22…切断刃、24…吸着搬送部(第2吸着手段)、26…モータ(第2駆動手段)、28…テンションローラ、30A〜30D…従動ローラ、32…差圧シリンダ(第1駆動手段)、34…シートストック部、36…制御部。
Claims (5)
- 一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が向かう状態で前記支持フィルムを保持する保持面を有し、前記支持フィルムからの前記セラミックグリーンシートの剥離が行われる保持台と、
前記支持フィルムが前記保持台の先端部において加圧されるように、前記支持フィルムを前記保持台の前記保持面とは反対側に搬送する搬送手段と、
前記保持台の前記保持面側に配置され、前記保持面に対して近接又は離間可能とされており、前記保持面に近接しているときに、前記保持台上に保持されている前記支持フィルム上の前記セラミックグリーンシートを吸着可能な吸着手段と、
前記保持面上における前記支持フィルムの移動方向に沿う方向に前記吸着手段を移動させる駆動手段と、
前記搬送手段、前記吸着手段及び前記駆動手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記吸着手段によって前記セラミックグリーンシートを吸着させ、
前記搬送手段によって前記支持フィルムの搬送を行うことで、前記セラミックグリーンシートに吸着している前記吸着手段が前記支持フィルムと共に動き出した後に、前記駆動手段によって前記吸着手段を動作させることを特徴とするセラミックグリーンシートの剥離装置。 - 一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が向かう状態で前記支持フィルムを保持する保持面を有し、前記支持フィルムからの前記セラミックグリーンシートの剥離が行われる保持台と、
前記保持台上の前記支持フィルムを前記保持面に吸着して前記支持フィルムの移動を制限する第1吸着手段と、
前記セラミックグリーンシートが形成された前記支持フィルムが繰り出される供給手段と、
前記保持台において前記セラミックグリーンシートの剥離が行われ、前記保持台の前記保持面とは反対側に案内された後の前記支持フィルムが架け渡されるローラと、
前記ローラの表面を経て送り出された前記支持フィルムを巻き取る巻取手段と、
前記支持フィルムに張力を付与するように前記ローラを動作させる第1駆動手段と、
前記保持台の前記保持面側に配置され、前記保持面に対して近接又は離間可能とされており、前記保持面に近接しているときに、前記保持台上に保持されている前記支持フィルム上の前記セラミックグリーンシートを吸着可能な第2吸着手段と、
前記保持面上における前記支持フィルムの移動方向に沿う方向に前記第2吸着手段を移動させる第2駆動手段と、
前記巻取手段、前記第1吸着手段、前記第2吸着手段、前記第1駆動手段及び前記第2駆動手段の動作を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記第1吸着手段によって前記支持フィルムを前記保持面に吸着させ、
前記第1吸着手段によって吸着されている前記支持フィルムが移動しない程度の力が前記支持フィルムに付与されるように、前記第1駆動手段によって前記ローラを動作させ、
前記第2吸着手段によって前記セラミックグリーンシートを吸着させ、
前記第1吸着手段による前記支持フィルムの吸着を解除させることで、前記セラミックグリーンシートに吸着している前記第2吸着手段が前記支持フィルムと共に動き出した後に、前記第2駆動手段によって前記第2吸着手段を動作させることを特徴とするセラミックグリーンシートの剥離装置。 - 前記制御手段は、前記支持フィルムに付与される張力が一定となるように、前記第1駆動手段を制御することを特徴とする、請求項2に記載されたセラミックグリーンシートの剥離装置。
- 一方の主面にセラミックグリーンシートが形成された支持フィルムの他方の主面側が保持台の保持面に向かう状態で前記支持フィルムを前記保持面上に保持する第1工程と、
第1吸着手段によって前記保持台上の前記支持フィルムを前記保持面に吸着して、前記支持フィルムの移動を制限する第2工程と、
前記保持面に吸着されている前記支持フィルムが移動しない程度の張力を、前記支持フィルムの延在方向に、前記支持フィルムに付与する第3工程と、
第2吸着手段によって前記セラミックグリーンシートを吸着する第4工程と、
前記第1吸着手段による前記支持フィルムの吸着を解除することで、前記支持フィルムを前記保持台の前記保持面とは反対側に案内すると共に、前記セラミックグリーンシートに吸着している前記第2吸着手段が前記支持フィルムと共に動き出した後に、前記保持面上における前記支持フィルムの移動方向に沿う方向に前記第2吸着手段を移動させる第5工程とを備えることを特徴とするセラミックグリーンシートの剥離方法。 - 前記第3工程では、一定の張力を前記支持フィルムに付与することを特徴とする、請求項4に記載されたセラミックグリーンシートの剥離方法。
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