JP2010062371A - 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】互いに反応する少なくとも2種類の反応ガスを順次基板の表面に供給するサイクルを複数回行うことにより、反応生成物を積層させて薄膜を形成する成膜装置において、真空容器内に設けられた回転テーブルと、基板を載置するため回転テーブルに設けられた複数の基板載置部と、回転テーブルを加熱する加熱手段と、第1の反応ガス供給手段と、第2の反応ガス供給手段と、第1の処理領域と第2の処理領域との間に設けられた第1の分離ガスを供給するための第1の分離ガス供給手段と、真空容器内において、前記基板を冷却するため窒素ガス又は不活性ガスを基板に対し噴射する基板冷却手段とを備えたことを特徴とする成膜装置を提供することにより上記課題を解決する。
【選択図】図10
Description
ここで処理パラメータの一例について記載しておくと、回転テーブル2の回転数は、300mm径のウエハWを被処理基板とする場合例えば1rpm〜500rpm、プロセス圧力は例えば1067Pa(8Torr)、ウエハWの加熱温度は例えば350℃、BTBASガス及びO3ガスの流量は例えば夫々100sccm及び10000sccm、分離ガスノズル41、42からのN2ガスの流量は例えば20000sccm、真空容器1の中心部の分離ガス供給管51からのN2ガスの流量は例えば5000sccmである。また1枚のウエハに対する反応ガス供給のサイクル数、即ちウエハが処理領域P1、P2の各々を通過する回数は目標膜厚に応じて変わるが、多数回例えば600回である。
A.図14(a)に示すように回転テーブル2の直径に対して斜めに向いた横長のスリットからなる多数の吐出孔33を、互いに隣接するものの一部同士が前記直径方向に重なるようにして、当該直径方向に間隔をおいて配置した構成。
B.図14(b)に示すように多数の吐出孔33を蛇行ライン状に配列した構成。
C.図14(c)に示すように回転テーブル2の周縁側に迫る多数の円弧状のスリットからなる吐出孔33を前記直径方向に間隔をおいて配列した構成。
10 搬送アーム
11 天板
12 容器本体
15 搬送口回転テーブル
16 昇降ピン
2 回転テーブル
21 コア部
24 凹部(基板載置部)
31 第1の反応ガスノズル
32 第2の反応ガスノズル
P1 第1の処理領域
P2 第2の処理領域
D 分離領域
C 中心部領域
4 凸状部
41、42 分離ガスノズル
44 第1天井面
45 第2の天井面
5 突出部
51 分離ガス供給管
6 排気領域
61、62 排気口
7 ヒータユニット
72、73 パージガス供給管
110 基板冷却手段
W ウエハ
Claims (20)
- 真空容器内にて互いに反応する少なくとも2種類の反応ガスを順番に基板の表面に供給しかつこの供給サイクルを実行することにより反応生成物の層を多数積層して薄膜を形成する成膜装置において、
前記真空容器内に設けられた回転テーブルと、
前記回転テーブルに基板を載置するために設けられた基板載置領域と、
前記回転テーブルの回転方向に互いに離れて設けられ、前記回転テーブルにおける前記基板の載置領域側の面に夫々第1の反応ガス及び第2の反応ガスを供給するための第1の反応ガス供給手段及び第2の反応ガス供給手段と、
前記第1の反応ガスが供給される第1の処理領域と第2の反応ガスが供給される第2の処理領域との雰囲気を分離するために前記回転方向においてこれら処理領域の間に位置する分離領域と、
前記第1の処理領域と前記第2の処理領域との雰囲気を分離するために真空容器内の中心部に位置し、回転テーブルの基板載置面側に分離ガスを吐出する吐出孔が形成された中心部領域と、
前記分離領域の両側に拡散する分離ガス及び前記中心部領域から吐出する分離ガスとともに前記反応ガスを排気するための排気口と、
前記分離領域は、分離ガスを供給するための分離ガス供給手段と、前記分離ガス供給手段の前記回転方向両側に位置し、当該分離領域から処理領域側に分離ガスが流れるための狭隘な空間を回転テーブルとの間に形成するための天井面と、
前記真空容器内において、前記基板を冷却するため窒素ガス又は不活性ガスを基板に対し噴射する基板冷却手段と、
を備えたことを特徴とする成膜装置。 - 前記基板載置部には前記基板を昇降するための昇降機構が設けられており、
前記昇降機構は、3本以上の昇降ピンからなることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。 - 前記分離ガス供給手段により第1の分離ガスが供給される分離領域において、前記回転テーブルの基板載置部の形成されている面に対向して設けられた天井板と、
前記回転テーブルの中心領域より、前記第1の反応ガスと前記第2の反応ガスとを分離するための第2の分離ガスを供給するための第2の分離ガス供給手段と、
前記第1の反応ガス、前記第2の反応ガス、前記第1の分離ガス及び前記第2の分離ガスを前記回転テーブルの周縁と前記真空容器の内周壁との隙間を介して排気するために回転テーブルよりも低い位置に設けられた排気口と、
を備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の成膜装置。 - 前記真空容器の外部より真空容器の内部に前記基板を搬送するため前記真空容器の側壁にゲートバルブにより開閉する搬送口が設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載に成膜装置。
- 前記搬送口における前記基板の搬送は搬送アームにより行われることを特徴とする請求項4に記載の成膜装置。
- 互いに反応する少なくとも2種類の反応ガスを順次基板の表面に供給するサイクルを複数回行うことにより、反応生成物を積層させて薄膜を形成する成膜装置において、
真空容器内に設けられた回転テーブルと、
前記回転テーブルの同一円周上に前記基板を載置するため回転テーブルに設けられた複数の基板載置部と、
前記回転テーブルを加熱する加熱手段と、
前記真空容器内の前記基板載置部の形成された側に設けられた第1の反応ガスを供給するための第1の反応ガス供給手段と、
前記真空容器内の前記基板載置部の形成された側であって、前記第1の反応ガス供給手段に対し離れた位置に設けられた第2の反応ガスを供給するための第2の反応ガス供給手段と、
前記第1の反応ガス供給手段により第1の反応ガスが供給される第1の処理領域と、前記第2の反応ガス供給手段により第2の反応ガスが供給される第2の処理領域とを分離するために、第1の処理領域と第2の処理領域との間に設けられた第1の分離ガスを供給するための第1の分離ガス供給手段と、
前記真空容器の外部より真空容器の内部に前記基板を搬送するために前記真空容器の側壁に設けられたゲートバルブにより開閉する搬送口と、
前記搬送口において前記基板を搬送するための2本の棒状の保持部からなる搬送アームであって、一方の保持部には、前記基板を保持するための基板保持部が少なくとも1ヶ所設けられており、他方の保持部には、前記基板を保持するための基板保持部が少なくとも2ヶ所設けられている基板保持アームと、
前記真空容器内において、前記基板を冷却するため窒素ガス又は不活性ガスを基板に対し噴射する基板冷却手段と、
を備えたことを特徴とする成膜装置。 - 前記分離ガス供給手段により第1の分離ガスが供給される分離領域において、前記回転テーブルの基板載置部の形成されている面に対向して設けられた天井板と、
前記回転テーブルの中心領域より、前記第1の反応ガスと前記第2の反応ガスとを分離するための第2の分離ガスを供給するための第2の分離ガス供給手段と、
前記第1の反応ガス、前記第2の反応ガス、前記第1の分離ガス及び前記第2の分離ガスを前記回転テーブルの周縁と前記真空容器の内周壁との隙間を介して排気するために回転テーブルよりも低い位置に設けられた排気口と、
を備えたことを特徴とする請求項6に記載の成膜装置。 - 前記基板保持アームは、2本の棒状の保持部の間隔を広げること又は狭めることが可能であることを特徴とする請求項6または7に記載の成膜装置。
- 前記基板保持部はツメ状部を有しており、前記回転テーブルの基板載置部の縁部分において、前記ツメ状部に対応して、基板載置部よりも深い凹状領域が、設けられていることを特徴とする請求項6から8のいずれかに記載の成膜装置。
- 前記冷却手段は、前記基板載置部の直上に設置されていることを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の成膜装置。
- 前記基板載置部は、前記基板回転テーブルの表面に凹状に形成されており、
前記回転テーブルの表面と前記基板載置部に載置された前記基板の表面は、同じ高さであるか、回転テーブルの表面より基板の表面が低い位置であることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の成膜装置。 - 前記加熱手段は、前記回転テーブルの下方に設けられていることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の成膜装置。
- 前記加熱手段は、前記回転テーブルの上方に設けられていることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の成膜装置。
- 内部に基板搬送手段が配置された真空搬送室と、
前記真空搬送室に気密に接続された請求項1から13のいずれかに記載の成膜装置と、
前記真空搬送室に気密に接続され、真空雰囲気と大気雰囲気との間で雰囲気が切り替え可能な予備真空室と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 互いに反応する少なくとも2種類の反応ガスを順次基板の表面に供給するサイクルを複数回行うことにより、反応生成物を積層させて薄膜を形成する成膜方法において、
真空容器内部の回転テーブルに基板を載置するために設けられた基板載置部に前記基板を載置する工程と、
前記回転テーブルを加熱する工程と、
前記真空容器内に互いに離れて設けられた第1の反応ガス供給手段及び第2の反応ガス供給手段から、回転テーブルにおける基板載置部の形成された面に、各第1の反応ガス及び第2の反応ガスを供給すると共に、第1の反応ガス供給手段と第2の反応ガス供給手段との間に設けられた分離ガス供給手段により分離ガスを供給することにより成膜を行う工程と、
前記成膜を行う工程の終了後、前記基板を前記基板載置部から取り出し、前記真空容器内において基板を冷却するために設けられた基板冷却手段より窒素ガス又は不活性ガスを噴射することにより基板を冷却する工程と、
を含むことを特徴とする成膜方法。 - 互いに反応する少なくとも2種類の反応ガスを順次基板の表面に供給するサイクルを複数回行うことにより、反応生成物を積層させて薄膜を形成する成膜方法において、
真空容器内部の回転テーブルに基板を載置するために設けられた基板載置部に前記基板を載置する工程と、
前記回転テーブルを加熱する工程と、
前記真空容器内に互いに離れて設けられた第1の反応ガス供給手段及び第2の反応ガス供給手段から、回転テーブルにおける基板載置部の形成された面に、各第1の反応ガス及び第2の反応ガスを供給すると共に、第1の反応ガス供給手段と第2の反応ガス供給手段との間に設けられた分離ガス供給手段により分離ガスを供給することにより成膜を行う工程と、
前記成膜を行う工程の終了後、前記基板載置部に設けられた昇降機構により、前記基板を基板載置部より持ち上げる工程と、
前記真空容器の内部から搬送口を介し真空容器の外部に前記基板を搬送するために設けられた搬送アームにより把持する工程と、
前記搬送アームに前記基板を設置した後、前記真空容器内において基板を冷却するために設けられた基板冷却手段より窒素ガス又は不活性ガスを噴射することにより基板を冷却する工程と、
を含むことを特徴とする成膜方法。 - 前記昇降機構は、少なくとも3本の昇降ピンにより構成されていることを特徴とする請求項16に記載の成膜方法。
- 互いに反応する少なくとも2種類の反応ガスを順次基板の表面に供給するサイクルを複数回行うことにより、反応生成物を積層させて薄膜を形成する成膜方法において、
真空容器内部の回転テーブルに基板を載置するために設けられた基板載置部に前記基板を載置する工程と、
前記回転テーブルを加熱する工程と、
前記真空容器内に互いに離れて設けられた第1の反応ガス供給手段及び第2の反応ガス供給手段から、回転テーブルにおける基板載置部の形成された面に、各第1の反応ガス及び第2の反応ガスを供給すると共に、第1の反応ガス供給手段と第2の反応ガス供給手段との間に設けられた分離ガス供給手段により分離ガスを供給することにより成膜を行う工程と、
前記成膜を行う工程の終了後、前記基板を保持するための2本の棒状の保持部を有する基板保持アームであって、一方の保持部には、基板を保持するための基板保持部が少なくとも1ヶ所設けられており、他方の保持部には、基板を保持するための基板保持部が少なくとも2ヶ所設けられている基板保持アームにより、前記基板載置部に載置されている基板を持ち上げる工程と、
前記基板を持ち上げる工程の終了後、前記真空容器内において基板を冷却するために設けられた基板冷却手段より窒素ガス又は不活性ガスを噴射することにより基板を冷却する工程と、
を含むことを特徴とする成膜方法。 - 前記基板載置部は、前記基板回転テーブルの表面に凹状に形成されており、
前記回転テーブルの表面と前記基板載置部に載置された前記基板の表面は、同じ高さであるか、回転テーブルの表面より基板の表面が低い位置であることを特徴とする請求項15から18のいずれかに記載の成膜方法。 - 請求項15から19のいずれか一つに記載されている成膜方法を実行させるためのプログラムが記録されていることを特徴とするコンピュータにより読み取り可能な記憶媒体。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8721790B2 (en) * | 2009-12-10 | 2014-05-13 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
US8746170B2 (en) * | 2009-11-04 | 2014-06-10 | Tokyo Electron Limited | Substrate process apparatus, substrate process method, and computer readable storage medium |
US8845857B2 (en) * | 2009-12-02 | 2014-09-30 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
US8951347B2 (en) * | 2008-11-14 | 2015-02-10 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
US9053909B2 (en) * | 2008-08-29 | 2015-06-09 | Tokyo Electron Limited | Activated gas injector, film deposition apparatus, and film deposition method |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9416448B2 (en) * | 2008-08-29 | 2016-08-16 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus, substrate processing apparatus, film deposition method, and computer-readable storage medium for film deposition method |
JP5107185B2 (ja) | 2008-09-04 | 2012-12-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、基板処理装置、成膜方法及びこの成膜方法を実行させるためのプログラムを記録した記録媒体 |
US9297072B2 (en) | 2008-12-01 | 2016-03-29 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
JP5131240B2 (ja) * | 2009-04-09 | 2013-01-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置、成膜方法及び記憶媒体 |
KR20110054840A (ko) * | 2009-11-18 | 2011-05-25 | 주식회사 아토 | 샤워헤드 어셈블리 및 이를 구비한 박막증착장치 |
TW201222622A (en) * | 2010-04-30 | 2012-06-01 | Tera Semicon Corp | Apparatus for processing a substrate |
JP5617708B2 (ja) * | 2011-03-16 | 2014-11-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 蓋体開閉装置 |
JP6000665B2 (ja) * | 2011-09-26 | 2016-10-05 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム |
KR101614276B1 (ko) * | 2012-09-27 | 2016-04-21 | 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키 | 기판 처리 장치, 개체 및 반도체 장치의 제조 방법 |
JP2014082463A (ja) * | 2012-09-27 | 2014-05-08 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置、蓋体及び半導体装置の製造方法 |
CN104716071B (zh) * | 2013-12-12 | 2018-08-24 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种加热腔室 |
JP6287240B2 (ja) * | 2014-01-17 | 2018-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置及び真空処理方法 |
JP6262115B2 (ja) | 2014-02-10 | 2018-01-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP6303592B2 (ja) * | 2014-02-25 | 2018-04-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
KR102297567B1 (ko) | 2014-09-01 | 2021-09-02 | 삼성전자주식회사 | 가스 주입 장치 및 이를 포함하는 박막 증착 장비 |
US10428425B2 (en) * | 2016-01-26 | 2019-10-01 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus, method of depositing film, and non-transitory computer-readable recording medium |
JP6548586B2 (ja) | 2016-02-03 | 2019-07-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜方法 |
CN109478494B (zh) * | 2016-06-03 | 2023-07-18 | 应用材料公司 | 扩散腔室内部的气流的设计 |
US9738977B1 (en) * | 2016-06-17 | 2017-08-22 | Lam Research Corporation | Showerhead curtain gas method and system for film profile modulation |
JP6733516B2 (ja) | 2016-11-21 | 2020-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
KR102446229B1 (ko) * | 2018-04-12 | 2022-09-22 | 주식회사 원익아이피에스 | 기판처리장치 |
WO2019222320A1 (en) * | 2018-05-16 | 2019-11-21 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer self aligned substrate processing and integrated toolset |
CN113463190A (zh) * | 2021-05-13 | 2021-10-01 | 顾赢速科技(合肥)有限公司 | 外延生长装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001040480A (ja) * | 1999-05-21 | 2001-02-13 | Ebara Corp | 基板処理装置及び方法 |
JP2008509547A (ja) * | 2004-08-06 | 2008-03-27 | アイクストロン、アーゲー | 高いスループットのcvd装置及び方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03144664A (ja) | 1989-10-31 | 1991-06-20 | Mita Ind Co Ltd | 自動原稿送り装置 |
JPH0410529A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-14 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | サセプタ及びウエーハ自動脱着装置 |
JPH04287912A (ja) | 1991-02-19 | 1992-10-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置 |
JP3144664B2 (ja) | 1992-08-29 | 2001-03-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及び処理方法 |
DE69825893T2 (de) | 1997-05-08 | 2005-09-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Vorrichtung und verfahren zur herstellung eines aufzeichnungsträgers |
US6257827B1 (en) * | 1997-12-01 | 2001-07-10 | Brooks Automation Inc. | Apparatus and method for transporting substrates |
JP4817210B2 (ja) | 2000-01-06 | 2011-11-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
KR100458982B1 (ko) | 2000-08-09 | 2004-12-03 | 주성엔지니어링(주) | 회전형 가스분사기를 가지는 반도체소자 제조장치 및 이를이용한 박막증착방법 |
TWI232509B (en) * | 2001-07-25 | 2005-05-11 | Tokyo Electron Ltd | Processing apparatus and processing method |
US7153542B2 (en) | 2002-08-06 | 2006-12-26 | Tegal Corporation | Assembly line processing method |
KR100497748B1 (ko) * | 2002-09-17 | 2005-06-29 | 주식회사 무한 | 반도체소자 제조용 원자층 증착 장치 및 원자층 증착 방법 |
US20060073276A1 (en) * | 2004-10-04 | 2006-04-06 | Eric Antonissen | Multi-zone atomic layer deposition apparatus and method |
US20070218702A1 (en) | 2006-03-15 | 2007-09-20 | Asm Japan K.K. | Semiconductor-processing apparatus with rotating susceptor |
US20070218701A1 (en) | 2006-03-15 | 2007-09-20 | Asm Japan K.K. | Semiconductor-processing apparatus with rotating susceptor |
-
2008
- 2008-09-04 JP JP2008227033A patent/JP5253933B2/ja active Active
-
2009
- 2009-08-26 US US12/547,711 patent/US8518183B2/en active Active
- 2009-09-03 KR KR1020090082741A patent/KR101535683B1/ko active IP Right Grant
- 2009-09-03 TW TW98129627A patent/TWI470112B/zh not_active IP Right Cessation
- 2009-09-04 CN CN2009101721196A patent/CN101665922B/zh active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001040480A (ja) * | 1999-05-21 | 2001-02-13 | Ebara Corp | 基板処理装置及び方法 |
JP2008509547A (ja) * | 2004-08-06 | 2008-03-27 | アイクストロン、アーゲー | 高いスループットのcvd装置及び方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9053909B2 (en) * | 2008-08-29 | 2015-06-09 | Tokyo Electron Limited | Activated gas injector, film deposition apparatus, and film deposition method |
US8951347B2 (en) * | 2008-11-14 | 2015-02-10 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
US8746170B2 (en) * | 2009-11-04 | 2014-06-10 | Tokyo Electron Limited | Substrate process apparatus, substrate process method, and computer readable storage medium |
US8845857B2 (en) * | 2009-12-02 | 2014-09-30 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
US8721790B2 (en) * | 2009-12-10 | 2014-05-13 | Tokyo Electron Limited | Film deposition apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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