JP2010060691A - インクジェットパターン形成装置及びカラーフィルタの製造方法及び有機機能性素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ノズル毎の駆動電圧を変更することなく、ノズル毎のインク吐出量のバラツキによって発生する濃度ムラによる品質低下がなく、高品質なカラーフィルタ及び有機機能性素子を製造することができるインクジェットパターン形成装置を提供する。
【解決手段】インクジェットノズルヘッドユニットを駆動させるためのノズルパラメータ情報及び基板内の画素の位置を示す基板パラメータ情報からインクを吐出する有効なノズルを選択する手段と、前記有効なノズルから吐出するインクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度を求める手段と、インクのドロップ数を増減させる画素を主走査方向に割り振る手段と、インクのドロップ数を増減させるノズルを選択する手段とを具備することを特徴とするインクジェットパターン形成装置。
【選択図】図１５

Description

本発明は、高精細なインクジェットパターンを形成するインクジェットパターン形成装置及びカラーフィルタの製造方法及び有機機能性素子の製造方法に関するものである。

カラーフィルタの基板サイズは年々大型化が進んでいる。従来では、フォトリソグラフィー工程を繰り返す方法等によってカラーフィルタは製造されているが、カラーフィルタのコストダウン化を図るために、近年は工程数が少なく、カラーフィルタの各着色層を同時に形成することが可能なインクジェット装置を用いた方法が検討されている。

図１はカラーフィルタの一例を示した図である。基板１０上にブラックマトリックス（以下ＢＭパターン）１１、レッドのＲ画素１２、グリーンのＧ画素１３、ブルーのＢ画素１４からなる着色画素（以下ＲＧＢ画素）、透明電極１５、フォトスペーサー（Ｐｈｏｔｏ Ｓｐａｃｅｒ）／バーテイカルアライメント（Ｖｅｒｔｉｃａｌ Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）１６が順次形成されたものである。

図２にインクジェット装置を用いたカラーフィルタの製造方法の一例を説明するための図を示す。図２（ａ）はカラーフィルタの平面図を示し、基板１０上にＲ画素１２、Ｇ画素１３、Ｂ画素１４が配列されている。図２（ｂ）はＡ１−Ａ２のＲＧＢの各画素が形成される前の断面を示すもので、基板１０上にはＢＭパターン１１が形成されて、そのＢＭパターンが隔壁となって区切られた画素用のセル１７が形成される。図２（ｃ）は着色インクが画素用のセル１７に、インクジェットノズルヘッドユニット（図示せず）のノズルからカラーフィルタの各色に対応する着色インクを吐出し、画素用のセル１７に着色インクを充填し、Ｒ画素１２、Ｇ画素１３、Ｂ画素１４が形成された図を示す。このように予め基板１０にＢＭパターン１１を形成し、ＢＭパターン１１によってつくられた画素用のセル１７に着色インクを吐出、充填してＲＧＢ画素を形成する方法が一般的である。このとき、各画素用のセル１７に吐出、充填されるインクの充填量のバラツキが小さいほどカラーフィルタの濃度ムラが低減され、高品質なカラーフィルタを製造することができる。ここでいう画素とは、インクジェットで形成する最小単位のものをいい、図２で示すカラーフィルタの場合であれば、ＢＭパターン１１で囲まれた個々のセル部分が画素に対応する。これらの画素は、一般的には所定の大きさで規則正しく配列されるものである。

前記方法によって基板全面にＲＧＢ画素を形成するには、図３に示すように基板１０を載置したテーブル（図示せず）を矢印２２で示される方向（主走査方向）に移動しながらノズルからインクを吐出して、インクジェットノズルヘッドユニット２０のインク吐出有効幅２１に相当する領域２５のＲＧＢ画素を形成する（図３（ａ）参照）。その後、インクジェットノズルヘッドユニット２０をインクジェットノズルヘッドユニット移動機構（図示せず）によって矢印２３で示される方向（副走査方向）に移動した後、基板１０を載置するテーブル（図示せず）によって矢印２４で示される方向（主走査方向）に基板１０を移動し（図３（ｂ）参照）、領域２６図３（ｃ）参照）。前記主走査と副走査が繰り返し行われ、基板１０の全面のＲＧＢ画素が形成される。

一方、カラーフィルタとしては、画像表示装置等の高解像度化、それに伴う高精細化によって、年々微細化する傾向にある。カラーフィルタの画素の微細化に伴って、インクジェットノズルヘッドユニットからのインクの吐出量を少量でかつ均一となるように高い精度で制御する必要がある。このため、インクジェット装置を用いたカラーフィルタの製造方法においては、複数のインクジェットノズルヘッドを多数個配列して解像度を向上させる方法が検討されている。

インクジェット方式は大別して、連続噴射法（コンティニアス方式とも呼ばれる）、ドロップオンデマンド法（通称ＤＯＤ）の２種類があるが、連続噴射法では、ドロップオンデマンド法と比較してノズルの集積度は低く、又、ノズルから噴出されるインクの粒子（以下、ドロップ）の着弾精度が概して悪く、ドロップの大きさが大きく、更にインクに荷電性能を付与させたり、顔料などの色材使用に制限があるなどで、カラーフィルタや有機エレクトロルミネッセンス等のインクに対する純度や塗布量によって決まる膜厚の管理の厳しい用途には使用できない。

従って、カラーフィルタや有機エレクトロルミネッセンス（以下ＥＬ）等、高精度なトパターン形成をインクジェットで実施する場合は、ノズルの集積度が高く、インク着弾対象物にインクを吐出させる時だけ、ノズルからドロップを吐出させるドロップオンデマンド方式（ＤＯＤ方式）を用いるのが一般的である。

図４は前記ドロップオンデマンド方式（ＤＯＤ方式）のインクジェットノズルヘッドユニットの概略図を示す。インクジェットノズルヘッドユニット２０はノズル３１が複数個配列されたノズルヘッド３２及びノズルヘッド３３からなるインクジェットノズルヘッド３４が複数個配列されたレッドインクを吐出するＲヘッド、グリーンインクを吐出するＧヘッド、ブルーインクを吐出するＢヘッドから構成されている（図４ではＲヘッド、Ｇヘッド、Ｂヘッド共に２個のノズルヘッドからなるインクジェットノズルヘッド３４が５個で構成されている）。

図５は解像度を向上させるための千鳥構造を説明する図で、ノズル３１はノズルヘッド３２内及びノズルヘッド３３内（図５の（ａ））で千鳥配列の構造となっており、更にノズルヘッド３２及びノズルヘッド３３間（図５の（ｂ））でも千鳥配列の構造となるようにインクジェットノズルヘッド３４は組み立てられている。

前記ドロップオンデマンド方式（ＤＯＤ方式）のノズル３１からのインク吐出量を変化させる場合は、サーマルタイプのインクジェットノズルヘッドであっても、圧電セラミックスをアクチュエータとして利用したピエゾ方式であっても、電圧を変化させれば多少の吐出量変化を与えることができるが、大幅に変化させることはできない。そこで、大幅にインクジェットノズルヘッドユニット各ノズルからの吐出量を変化させる手段として、マルチドロップレット式インクジェット駆動方法がある。これは、例えば、５ｐｌ（ピコリットル）とか１０ｐｌといった微少ドロップを瞬間的に連続して吐出させて５ｐｌとか１０ｐｌといった微少ドロップの整数倍の吐出量コントロールを行うもので、たとえば１０ｐｌを３ビットで制御すれば０〜７ドロップの８段階に、即ち０ｐｌ〜７０ｐｌを１０ｐｌ刻みに吐出量変化させることが可能となる。

しかしながらインクジェットによってＲＧＢ画素を形成する場合には次に説明する問題点がある。

図６はＲ画素を形成する場合を例として、インクジェットノズルヘッドユニットの中のＲインクを吐出するＲヘッドのインクジェットノズルヘッド１からインクジェットノズルヘッド５までの５個のインクジェットノズルヘッドを抜き出して示している。５１はインクジェットノズルヘッド１によって形成される領域を示している。同様に５２はインクジェットノズルヘッド２によって形成される領域を、５３はインクジェットノズルヘッド３によって形成される領域を、５４はインクジェットノズルヘッド４によって形成される領域を、５５はインクジェットノズルヘッド５によって形成される領域を示している。領域５１のＲ１画素（図６では領域５１のＲ画素は４個）はインクジェットノズルヘッド１によって形成される。同様に領域５２のＲ２画素はインクジェットノズルヘッド２によって、領域５３のＲ画素はインクジェットノズルヘッド３によって（図６では領域５３にはＲ画素が存在しないので、実際には形成されない）、領域５４のＲ３画素はインクジェットノズルヘッド４によって、領域５５のＲ４画素はインクジェットノズルヘッド５によって形成される。各画素に吐出、充填されるインク量のバラツキが小さいほど濃度ムラが少ない高品位なカラーフィルタを製造することができるが、インクジェットノズルヘッドのノズルから吐出されるインク量はインクジェットノズルヘッド間、すなわちインクジェットノズルヘッド１からインクジェットノズルヘッド５の間でバラツキがあり、またインクジェットノズルヘッド内のノズル間にもバラツキがある。これは、ノズル各々の開口端部の形状や濡れ性の違い、また圧力発生部材の加工状態、固定状態のバラツキ等によるものである。

図６の場合、領域５１の４個のＲ１の各画素、同じように領域５２の４個のＲ２の各画素、領域５４の４個のＲ３の各画素、領域５５の４個のＲ４の各画素においては、各領域内の各画素には同じインクジェットノズルヘッドのノズルによってインクが吐出、充填されるため同量のインクが吐出、充填されるが、インクジェットノズルヘッド１からインクジェットノズルヘッド５間ではインクジェットノズルヘッド間のバラツキのためにＲ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４間では充填量にバラツキが生じて、各領域間の濃度ムラとなってカラーフィルタの品質および歩留まりを低下させる原因となっていた。

同様の問題は、予め基板上に形成した画素に１層あるいは複数の有機機能層を積層した有機ＥＬ素子、または有機太陽電池等の有機機能性素子を、インクジェット法を用いて製造した際にも生じる。例えば、有機ＥＬ素子においては、インクジェットパターン形成装置からの有機機能性インクを吐出し、形成した発光層にインク量のバラツキによる濃度ムラが生じていると、全体として発光ムラの目立った有機ＥＬ素子となってしまう。

このような問題の解決のため、ノズル毎の吐出インク量のバラツキを抑える手段として、例えばノズル毎に駆動電圧値を変更できる回路装置を組み込み、例えば１０ｐｌといった理想とする吐出量と実際の吐出量を比較し、吐出量を理想吐出量になるように駆動電圧値を調整することでインク量のバラツキを少なくする方法が、特許文献１に掲載されている。

以下に公知文献を記す。
特開２００５−４０６５３号

しかしながら上記特許文献１に示すように、ノズル毎に駆動電圧値を変更し、補正するには、各ノズルのバラツキや、隣接ノズルが同時タイミングで吐出している場合と、吐出していない場合では吐出量が異なる原因となる隣接のいわゆるクロストークの影響等を、全て把握する必要がある。このため、ノズル毎にインクの吐出と吐出量の測定を多数回繰り返し行い、各ノズルの吐出バラツキが無くなるまで作業をするため、膨大な時間や材料を使用する問題があった。

本発明は、これら上記の問題を鑑みてなされたもので、ノズル毎の駆動電圧を変更することなく、ノズル毎のインク吐出量のバラツキによって発生する濃度ムラによる品質低下がなく、高品質なカラーフィルタ及び有機機能性素子を製造することができるインクジェットパターン形成装置を提供することを課題としている。

本発明の請求項１にかかる発明は、基板上にインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットノズルヘッドが複数個整列して配列され、前記インクジェットノズルヘッドが複数個整列したインクジェットノズルヘッドユニットと前記基板が相対的に移動して主走査と副走査を複数回繰り返してインクジェットパターンを形成するインクジェットパターン形成装置において、前記インクジェットノズルヘッドユニットを駆動させるためのノズルパラメータ情報及び基板内の画素の位置を示す基板パラメータ情報からインクを吐出する有効なノズルを選択する手段と、前記有効なノズルから吐出するインクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度を求める手段と、インクのドロップ数を増減させる画素を主走査方向に割り振る手段と、インクのドロップ数を増減させるノズルを選択する手段とを具備することを特徴とするインクジェットパターン形成装置である。

本発明の請求項２にかかる発明は、前記インクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度は、基準となるデータをもとに決定することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットパターン形成装置である。

本発明の請求項３にかかる発明は、前記ドロップ数を増減させる画素の数は、前記基準となるデータと単位ドロップ量と主走査方向のライン数とで決定することを特徴とする請求項１，２に記載のインクジェットパターン形成装置である。

本発明の請求項４にかかる発明は、前記インクのドロップ数を増減させる画素を主走査方向に割り振る手段は、インクのドロップ数を増減させる画素を主走査方向のライン内に均一になるように、もしくはランダムになるように割り振ることを特徴とする請求項１〜３に記載のインクジェットパターン形成装置である。

本発明の請求項５にかかる発明は、前記インクのドロップ数を増減させるノズルを選択する手段は、前記インクを吐出する有効なノズルからドロップ数を増減させるノズルを選択することを特徴とする請求項１〜４に記載のインクジェットパターン形成装置である。

本発明の請求項６にかかる発明は、前記複数のノズルの各ノズルから一回に吐出するインクの吐出量を設定する手段を更に有することを特徴とする請求項１〜５何れかに記載のインクジェットパターン形成装置である。

本発明の請求項７にかかる発明は、基板上に着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、請求項１〜６何れかに記載のインクジェットパターン形成装置により、着色層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法である。

本発明の請求項８にかかる発明は、基板上に一層あるいは複数の有機機能層を形成する有機機能性素子の製造方法であって、請求項１〜６何れかに記載のインクジェットパターン形成装置により、有機機能層を形成することを特徴とする有機機能性素子の製造方法である。

本発明によれば、インクジェットノズルヘッド間やノズル間のインクの吐出量のバラツキによって発生する濃度ムラを抑制することができ、高精細で濃度ムラの少ない高品質なカラーフィルタや有機機能性素子を短時間で製造することができる。

次に、本発明を実施するための最良の一形態であるインクジェットパターン形成装置を詳細に説明する。

図７は、本発明に係るインクジェットパターン形成装置の全体構成例であって、インクジェットノズルヘッド６２が複数個からなるインクジェットノズルヘッドユニット６０、基板５０を載置するテーブル６１から成るインクジェットパターン形成装置本体６４及びインクジェットノズルヘッッドユニットコントローラ６５を備えている。

また、パターン形成は基板５０を載置するテーブル６１を主走査方向（図７のＹ方向）に移動し、インクジェットノズルヘッドユニット６０を副走査方向（図７のＸ方向）に移動してＲＧＢのパターン形成が行われる。

本発明に係るインクジェットパターン形成装置のテーブル６１は、副走査方向にも移動可能であり、さらにテーブル６１の中心を軸として回転可能で、テーブル６１の上に置かれた基板の画素とインクジェットノズルヘッドユニット６０を平行に合わせることができ、また、テーブル６１は図示されていないが吸着機構を備えており、テーブル６１に載置された基板を固定することが可能である。

図８は、本発明のインクジェットパターン形成装置のインクジェットノズルヘッドユニット６０を説明するための図で、カラーフィルタを製造するためには、ＲＧＢの３色のインクを吐出する必要があるため、複数個のノズル（図示せず）を備えたノズルヘッド４２とノズルヘッド４３の複数個（図８では２個）のノズルヘッドが主走査方向に配列されたインクジェットノズルヘッド４４−１があって、更にインクジェットノズルヘッド４４−２、インクジェットノズルヘッド４４−３、インクジェットノズルヘッド４４−４、インクジェットノズルヘッド４４−５の複数のインクジェットノズルヘッドが副走査方向に複数個（図８では５個）配列されたＲヘッド４６、同じように配列されたＧヘッド４７、Ｂヘッド４８が主走査方向に配置されている。

本発明に係るインクジェットパターン形成装置のノズルヘッドを、図９に示す。ノズルヘッドは、シェアウェーブモードによるインク吐出を行うことができる。シェアウェーブモードによるノズルヘッドの駆動方法は、インクを充填する複数の圧力室を、２枚の圧電セラミックスを接着固定した後、切削加工して形成し、各圧力室を形成する圧電部材をアクチュエータとし、アクチュエータに駆動パルス電圧を選択的に印加し変形させ、これにより圧力変化を起こし、１または複数のドロップを吐出制御する方法である。

図９（ａ）は、櫛歯状に加工した２枚の圧電セラミックを貼り合わせたものをノズル表面から見たもので、各圧電セラミックには図示していない電極が予め付与されている。そして、図中のＡ、Ｂ、Ｃ、Ａ…と書かれた部分は表面から奥方向に例えば０．５ｍｍとか１ｍｍといった深さの液室が形成され、該液室にインクが充填される。

図９（ｂ）は、図９（ａ）の圧電セラミックスに貼り合わせるノズルプレート部を示したもので、液室と同じく、Ａ，Ｂ，Ｃ、Ａ（以下、Ａ相，Ｂ相，Ｃ相、Ａ相）…と繰り返し多数個配列されている。

図９（ｃ）は、Ａ相に接する２枚の圧電セラミックスへの印加波形を例として示したものである。

図９の３−１の状態は、Ａ相，Ｂ相，Ｃ相の何れの圧電セラミックスにも電圧印加がなされていない状態を示す。

図９の３−２の状態では、Ａ相に接する２枚の圧電セラミックスを広げる方向に電圧印加（正極性の電圧を印加）をしたところである（アクティブ動作）。

図９の３−３の状態では、Ａ相に接する２枚のの圧電セラミックス液室を縮める方向に電圧印加（負極性の電圧を印加）したところである（インアクティブ動作）。このとき、７０で示されるＡ相のノズルからインクが吐出される。Ａ相のノズルからインクが吐出される時にはＢ相、Ｃ相の隣接相からは吐出しないように調整される。

図９の３−４の状態では、Ａ相に残る残留振動が減衰して無くなるまで待つ、休止期間（ＯＦＦ動作：オフ）を表している。

以降、吐出をＢ相、Ｃ相と繰り返す事によって全ノズルからインクのドロップを吐出させる事ができる。つまりＡ相→Ｂ相→Ｃ相→Ａ相…と繰り返す３相分割駆動である。Ａ相、Ｂ相、Ｃ相の各相に印加される印加電圧波形とインクの吐出の様子を図１０に示す。基板を載置したテーブルを主走査方向に移動すると共に、テーブルの移動量によって発生する同期信号（例えば、テーブルが主走査方向に１μｍ移動する毎に１パルス信号を発生する同期信号）と同期して、各相からはインクのドロップが吐出される。

実際にインクのドロップを吐出して塗布（以下、塗布）する場合には、アクティブとインアクティブの繰り返し回数により塗布量を調整することができるので、必要塗布量に応じて各相はアクティブ・インアクティブの回数を増やすことになる（図１０ではＡ相、Ｂ相、Ｃ相ともにインクのドロップを２回吐出している）。また、次の開始まではオフの休止時間が存在し、このサイクルで塗布を行っていく。

以上がシェアウェアモードの３相分割での吐出制御方法である。この方式では、高密度なノズルヘッドユニットとすることができるため、高精細なパターン形成が必要なカラーフィルタの製造に適している。しかし、本発明のインクジェットパターン形成装置は前記シェアウェアモードの方式に限らず、バブルジェット（登録商標）方式等のオンデマンドインクジェット方式も適宜採用できる。

本発明のインクジェットノズルヘッドユニットは、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相に対応するバッファ（以下、ラインバッファという。）を備えていて、後で述べるノズルパラメータ情報と基板パラメータ情報から作られるパターン形成情報をＡ相→Ｂ相→Ｃ相に転送することができる様になっている。

上記パターン形成情報は、全てのノズルに対してインクのドロップを吐出するか否か、更に吐出する場合は吐出するドロップ数はいくつかといった情報を含んでいる。

次に、基板のＲＧＢの各画素にドロップを吐出し、基板全面の画素を形成する動作を、図１１及び図１２のフローチャートを用いて説明する。

図１１は基板８０の全面に形成されるＲＧＢの各画素の配列を模式図で示したものである。図１１では主走査方向（図１１の列方向）にＲ画素、Ｇ画素、Ｂ画素が連続しており、更に前記Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の連続が、副走査方向に（図１１の行方向）に繰り返し配置されている。

図１１において、１回目の主走査で例えば1列目のＲ画素と２列目のＧ画素と３列目のＢ画素の半分が形成され、２回目の主走査で３列目のＢ画素の半分と４列目のＲ画素と５列目のＧ画素が形成され、以下同じ様に３回目の主走査で、６列目のＢ画素と７列目のＲ画素と８列目のＧ画素の半分が形成され、４回目の主走査で８列目のＧ画素の半分と９列目のＢ画素が形成されて、カラーフィルタ全面のパターン形成が行われる。上記では、１回の主走査で形成される副走査方向の幅は1列目のＲ画素、２列目のＧ画素、及び３列目
のＢ画素の半分の大きさであるが、インクジェットノズルヘッドユニットはＲＧＢ画素の大きさが異なるカラーフィルタを形成する度に、副走査方向の寸法の異なるインクジェットノズルヘッドユニットを交換して使用するわけではなく、後で述べるノズル及び基板のパラメータ情報を基にパターン形成が行われる。

前述したパターン形成情報は図１１の８１−１、８１−２、８１−３、８１−４で示される領域毎にあり、例えば８１−１の斜線で示した領域のパターン形成情報は、Ｒ画素、Ｇ画素、Ｂ画素の半分をパターン形成するための情報であり、該パターン形成情報は各行毎に４個（図１１では主走査が４回行われるので４個）が９行あり、即ち図11の基板全面のパターン形成情報は、副走査方向４個と主走査方向9個の合計３６個のパターン形成情報で構成される。

パターン形成について図１２のフローチャートを用いて次に説明する。まず、パターン形成開始後（Ｓ１）、１回目の主走査でＡ相ラインバッファが、パターン形成情報８１−１（Ｓ２）を受けとり（Ｓ３）、その情報のうちＡ相に関する情報に基づいてＡ相ノズルから吐出を開始する（Ｓ４）。また、Ａ相ノズルから吐出開始と同時に、パターン形成情報をＡ相ラインバッファからＢ相ラインバッファに転送する（Ｓ５）。

Ａ相ノズルから吐出終了後、Ｂ相ノズルは、転送されたパターン形成情報のうちＢ相に関する情報に基づいて吐出を開始する（Ｓ６）。また、Ｂ相ノズルから吐出開始と同時に、パターン形成情報をＢ相ラインバッファからＣ相ラインバッファに転送する（Ｓ７）。

Ｂ相ノズルから吐出終了後、Ｃ相ノズルは、転送されたパターン形成情報のうちＣ相に関する情報に基づいて吐出を開始する（Ｓ８）。

Ｃ相ノズルから吐出終了後、ラインカウンターにて設定回数ライン吐出を行ったかどうかの判定を行い（Ｓ９）、設定回数の吐出が行なわれていなければ、パターン形成情報をＡ相ラインバッファに転送する。

再び、Ａ相ノズルはパターン形成情報に基づいて吐出開始する。以下、前述した動作をライン数分繰り返し行い、所望のパターン形成を行う。

ここで云う設定回数ラインとは、図11に示す基板の１主走査分のＲＧＢ画素を形成するのに必要なライン数をであって（図１１ではライン数は９行、即ち９で設定ライン数は９）、前もって設定される。

前記ライン数分のパターン形成が終わると（Ｓ１０）、インクジェットノズルヘッドユニット（図示せず）が副走査方向に移動して２回目の主走査に入り（Ｓ１１）、Ａ相ラインバッファが、パターン形成情報８１−２を受けとり、前記１回目の主走査におけるパターン形成と同様に設定回数ライン分（１回目の主走査時と同じく９）のパターン形成を行う。

同様に、３回目の主走査、４回目の主走査におけるパターン形成が行われ、基板全体のパターン形成が終了する（Ｓ１２）。本発明の実施形態では、基板８０を主走査方向に移動し、インクジェットノズルヘッドユニット（図示せず）を副走査方向に移動するが、これに限定されず、基板８０とインクジェットノズルヘッドユニットを相対的に移動して主走査と副走査を行っても良い。

パターン形成情報に基づいてインクジェットノズルヘッドユニットのノズルからインクを吐出する制御手段として、例えば図７に示すインクジェットノズルヘッドユニットコン
トローラー６５をインクジェットパターン形成装置本体６４に接続する。インクジェットノズルヘッドユニットコントローラー６５は、インクジェットノズルヘッドユニットを駆動し、ノズルパラメータ情報と基板パラメータ情報から作られるパターン形成情報が格納されている。ノズルパラメータ情報は、インクジェットノズルヘッドユニットを駆動させるための情報であって、ノズルの配列データや、ノズルヘッドの配列データや、インクジェットノズルヘッドの配列データや、インク吐出量データからなるもので、又、基板パラメータ情報は、基板内の画素の位置を示す情報であって、基板の大きさや、１枚の基板の中でのカラーフィルタの面付け情報や、ＲＧＢ画素の配列データからなるもので、前記ノズルパラメータ情報と基板パラメータ情報から作られるパターン形成情報は、各ノズルが基板のどの位置でインクをどれだけの量を吐出するかの情報で、吐出を行う際にノズルヘッドユニットコントローラーから各ノズルにパターン形成情報が出力され、ＲＧＢのパターン形成を行うことが出来る。

また、上記インクジェットノズルヘッドユニットコントローラー６５のインクジェットノズルヘッドユニットを駆動させるためには、インクジェットノズルヘッド毎に最適の電圧値を設定できることが好ましい。全てのインクジェットノズルヘッドの駆動電圧を同じ値に設定すると、インクジェットノズルヘッドから吐出されるインクの量に個体差があるため、基板内にインクを均一に吐出することができなくなるおそれがある。インクジェットノズルヘッド毎に最適の電圧値のパラメータを設定できるようにすることによって、インクジェットノズルヘッド毎の吐出量を制御することが可能となり、その結果、各画素の吐出量をより精度よく制御することができる。

インクジェットによるパターン形成では、各画素へのインクのドロップの吐出量制御のほかに、インクのドロップの着弾位置の制御が必要である。これには、予め入力された前記ノズルパラメータ情報や基板パラメータ情報とインクジェットパターン形成装置のテーブルの移動量からインクジェットノズルヘッドユニット及びインクジェットノズルヘッドの位置を算出し、ノズルから基板上に吐出されるインクの着弾位置を決定する。このほかに、インクジェットパターン形成装置に設置されたカメラによって、基板表面の画像を取得処理し、インクの着弾位置を算出することによってインクのドロップの着弾位置の制御を行っても良い。

基板上の画素に対してインクジェットノズルヘッドユニット及びインクジェットノズルヘッドの位置が算出された後、この位置情報を基に、インクの着弾位置が、目的とする画素であるか否かをプログラムにより処理判断する。着弾位置が目的とする画素に該当する場合のみ有効なノズルとして選択され、該ノズルからはインクが吐出され、有効なノズルではないノズルからは吐出されない。

図１３は、インクを吐出する有効なノズルを選択する手段の具体例を示す図である。図１３は例えば図８の４６（Ｒヘッド）のノズルヘッド４２及びノズルヘッド４３からなるインクジェットノズルヘッド４４−１を抜き出したもので、１１はＢＭパターン，１２は画素を示しており、画素１２の直上部にあたるノズル３１については有効と判断され、それ以外のノズルは無効と判断され、その結果からパターン形成情報を生成する。そして、このパターン形成情報に従って、図１３の矢印で示されるノズル３１から目的とする画素１２内にインクを吐出する。

ここで本発明のインクジェットパターン形成装置及びパターン形成方法を用いない場合には、主走査方向内においては、画素毎の吐出量のバラツキが小さい場合、つまり各画素の吐出量の標準偏差（主走査方向内の吐出量の標準偏差）が小さい場合でも、各主走査方向間の吐出量の標準偏差（主走査方向間の吐出量の標準偏差）が、主走査方向内の吐出量の標準偏差に比べて大きいために、吐出量の差による濃度ムラが発生し、全体として視覚
的に色ムラの大きいカラーフィルタとなってしまう。

そこで本発明のインクジェットパターン形成装置は、有効なノズルから吐出するインクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度を求める手段と、求められた頻度から前記インクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる画素の数を求め、更に前記インクのドロップ数を増減させる画素を主走査方向に割り振る手段を有することによって、この問題を解決する。つまり、画素に吐出したいドロップ数に対して、画素毎に実際に吐出するドロップ数を増減させて幅を持たせることで、主走査方向内に任意のバラツキを持たせ、各主走査方向毎の平均吐出量のバラツキを目立たなくすることができ、これにより全体的な濃度ムラを低減することができる。

更に詳細に先ず、前記有効なノズルから吐出するインクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度を求める手段を説明する。

ここで、有効なノズルから吐出するインクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度を求める手段として、入力された基準となるデータ（以下基準データ）を用いて決定する。前記基準データは、各画素に対して液量の増減を決定するデータである。前記基準データは次のように求める。

図１４は基準データの求め方を説明する図である。図１４はＲＧＢ画素の配列を模式図で示しており、主走査方向（図１４の列方向）にＲ画素が１０個、Ｇ画素が１０個、Ｂ画素が１０個各々連続に形成されており、該連続したＲ，Ｇ，Ｂの画素が副走査方向（図１４では行方向）に９列形成されている。基準データを求める手順は、先ず、カラーフィルタの全面のＲＧＢ画素をインクジェットパターン形成装置によってテスト的に形成する。次に例えばＢ１、Ｂ２に沿ったＲＧＢの各画素毎の膜厚を膜厚計によって計り、各画素毎のインクの液量を読み取る（図１４ではＢ１、Ｂ２に沿ったＲ，Ｇ，Ｂそれぞれ３画素の計９画素のインクの液量を読み取る）。膜厚とインクの液量は前もって関係付けられており、測定した膜厚から各画素毎のインクの液量が読み取る。次に読み取った各画素毎のインク量から所望の膜厚を得るために必要なドロップ数を求め、該ドロップ数から基準データを算出する。

前記各画素毎のインクの液量を読み取るまでの手順を更に詳細に述べる。ＲＧＢの画素をテスト的に形成するとき、例えば斜線で示したＲ画素の１０個の各画素に１ノズルあたり１０ｐｌを吐出するノズルで、２μｍの膜厚を得ようと４００ｐｌ（有効なノズルによるインクのドロップ４０個のインクを吐出して（４００ｐｌは目標とするインク液量で、目標とするインクの膜厚が得られるインク量）画素を形成する。Ｂ１、Ｂ２に沿ったＲ画素８２の膜厚を測定した結果１．９６μｍであったとする。前もって関係付けられている膜厚とインクの液量からなる検量線から（この場合、膜厚とインクの液量は直線の関係になっており１．９６μｍは４００＊（１．９６／２）＝３９２ｐｌに相当する）、インク量は３９２ｐｌと読み取る．実際には４００ｐｌに対して３９２ｐｌしか吐出されていなく１ノズルあたりの１ドロップの平均吐出量は（３９２／４００）＊１０＝９．８ｐｌとなる。

次に読み取った各画素毎のインク量から所望の膜厚を得るために必要なドロップ数を求め、該ドロップ数から基準データを算出する手順を述べる。前記所望の膜厚は２．０μｍであるので、膜厚測定したＲ画素８２には（１０／９．８）＊４０＝４００／９．８＝４０＋（８／９．８）のドロップ数のインクを吐出する必要がある。しかし８／９．８のドロップのインクを吐出することが出来ないので、４０ドロップあるいは４１ドロップのインクを吐出する事とする。上記８／９．８のドロップの液量は（８／９．８）＊９．８＝８（ｐｌ）となる。この８ｐｌを基準データとする。この基準データ８ｐｌは５画素のうちの４画素に１ドロップ増やして４１ドロップを、１画素には４０ドロップを吐出することを示している。これによって５画素に吐出されるドロップ量は（４１＊４＋４０＊１）＊９．８＝２０００（ｐｌ）となり、１画素あたりの平均のドロップ量は４００ｐｌとなる。

前記膜厚計のほかに色度計、輝度計など、測定読み取り値とインクの液量が関係付けられるものであれば適宜使用することが出来る。上記のように本発明では、１つの主走査方向に対して１つの基準データを持っていれば良い。

インクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度Ｓは前記基準データをＡ、インクジェットノズルヘッドの１つのノズルから吐出される１ドロップの液量（以下単位ドロップ量）をＤとすれば、次式で求められる。

Ｓ＝｜（Ａ／Ｄ）｜・・・・・（１）
前記求められた基準データは８ｐｌで単位ドロップ量は１０ｐｌであるので、インクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度Ｓは、Ｓ＝８／１０＝０．８となる。又、ドロップ数を増減させる画素の数ＬＣは、主走査方向の画素数をＬとすると、次式で求められる。

ＬＣ＝Ｓ＊Ｌ・・・・・（２）
前記図１４の場合は主走査方向の画素数をＬは１０であるので、ドロップ数を増減させる画素の数ＬＣ＝０．８＊１０＝８と求められる。

インクのドロップ数を増減させる画素を主走査方向に割り振る手段について次に説明する。ドロップ数を増減させる画素は、主走査方向に均一に広がるように割り振る、もしくはランダムに配置しても良い。基準データＡがマイナスの場合、ドロップ数を減らすことになる。増減するドロップ数を割り振ることで、意図的に主走査方向間の吐出量の標準偏差と、主走査方向内の吐出量の標準偏差を近付けることができるからである。

ドロップ数を増減させる画素を均一に割り振る一例を図１５に示す。図１５は、前記で求めたインクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度Ｓ＝８／１０＝０．８、主走査方向の画素数Ｌ＝１０、インクのドロップ数を増減させる画素ＬＣ＝０．８＊１０＝８、即ち１０個の画素の内８個の画素がでインクのドロップ数を増やす画素であって、主走査方向に均一に広がるように割り振る、もしくはランダムに配置しても良く、図１５（ｂ−１），（ｂ−２）、（ｂ−３）の斜線で示した画素はドロップ数を増やした画素の例を示す。

インクのドロップ数を増減させるノズルをを選択する手段を次に説明する。ドロップ数を増減させるノズルは、前記有効なノズルからノズルを選択するが、隣接するノズルの吐出ドロップ数の違いや、吐出する時間の重なりにより吐出量が変化してしまうクロストークの影響を最も受けないように選択する。更には次に説明する単位ドロップ量に重み付けすることによってドロップ数を増減させるノズルを選択する。

増減するドロップ数を均一に割り振る一例を図１５に示したが、シェアウエーブモードによるインクジェットの場合には前記クロストークの影響によってインクの吐出量に変化が生じる。このため、画素内に目標としたインクの量を吐出、充填出来ない。これを解決するために上記のようにクロストークの影響を最も受けないように吐出するノズルを選択するか、更には前記重み付けを行いノズルを選択する。

前記重み付けする理由を次に述べる。

ドロップ数を増減させるノズル法を、クロストークの影響を最も受けないように吐出するノズルを選択するが、前述のように、インクジェットノズルヘッドに使用されているノズルは、ノズル各々の開口端部の形状や濡れ性の違い、また圧力発生部材の加工状態、固定状態のバラツキ等によって吐出されるドロップの液量にバラツキがある。このため、例えば図１３の有効なノズル（図１３の場合は１３個）の内、１つのノズルを選択して９．８ｐｌの液量を増やして吐出したい場合に、１３個のノズルから吐出されるドロップの液量にはバラツキがあるため、９．８ｐｌに最も近い液量を吐出するノズルを選択することが望ましい。その結果、画素に最適な液量を吐出することが出来る。このために、インクジェットノズルヘッドユニットに使われている複数ノズルから１回に吐出するインクの吐出量即ち１ドロップの液量を設定することが望ましい。

そこで、本発明では複数のノズルを有するインクジェットノズルヘッドの各ノズルから１回に吐出するインクの吐出量を設定する手段を有し、前記吐出量を各ノズルの単位ドロップ量として重み付けを行う。

各ノズルから１回に吐出するインクの吐出量は、各ノズルから吐出されるをインクの１ドロップの液量を計測して設定される。次に計測する方法を次に述べる。

図１６は全ノズルの１ドロップの液量を計測する方法を説明するための図である。９０は基板、９１はＢＭパターン、９２はノズル、９３はノズルヘッドを示す。図１６（ａ）はノズル９２が配列されている模式図、図１６（ｂ）は配列されているノズル９２の拡大図、図１６（ｃ）はＢＭパターン９１が形成された基板の断面を示す図である。ノズル９２は、Ａ相、Ｂ相、Ｃ相の繰り返しであって、基板９０上にはＢＭパターン９１が例えばＡ相のノズル９２のピッチＰで、図示していないが多数行にわたって形成されている。このＢＭパターン９１で形成された画素に先ず、Ａ相のノズルからドロップを１ないし複数のドロップを吐出し、その後、基板９０を載置するテーブル（図示せず）によって、ノズルヘッド９３に対して１行分移動した後、Ａ相のノズル同様にＢ相のノズルからドロップを１ないし複数のドロップを吐出し、その後同様にＣ相のノズルからドロップを吐出する。その後、各画素の膜厚を膜厚計によって測定し、その結果から吐出された液量を求め、全ノズルにわたって、各ノズルの１ドロップの液量を求める。

求めた各ノズルの１ドロップの液量を単位ドロップ量として重み付けする。

上記の重み付けは、単位ドロップ量に対して考慮することで、吐出量の主走査方向毎の画素に吐出されるインク量のバラツキを補正することができ、目標の吐出量に対して、重み付けをしない場合よりも標準偏差を小さくすることができ、目標の吐出量に限りなく近づけることが可能である。

本発明は、インクジェット法を用いたパターンの形成において、画素に吐出したインクの膜厚のバラツキを軽減し、濃度ムラをなくすものであるから、インクジェット法を用いた素子の作製に適用可能である。次に本発明を用いた素子の製造方法の例として、カラーフィルタ及び有機機能性素子の製造方法を説明する。

カラーフィルタあるいは有機機能性素子のいずれの素子の製造についても、基板上に隔壁で区切られた画素用のセルを形成し、該セルにドロップを充填することによって行える。

基板について以下に説明する。基板は、パターンの支持基板として用いるものである。目的とする光学素子により、基板の種類は異なるが、例えば、ガラス基板、石英基板、プ
ラスチック基板等、ドライフィルム等、公知の透明基板材料を使用することができる。中でもガラス基板は、カラーフィルタ、有機ＥＬ素子用途において、透明性、強度、耐熱性、耐候性において優れている。

隔壁について次に説明する。本発明ではインクジェットパターン形成装置により基板にインクを付与し、カラーフィルタあるいは有機機能性素子を形成する。異なる種類のインク同士の混色（又は混合）を防止するため、基板上に予め隔壁を形成することが好ましい。

隔壁は、基板の表面を多数の領域に区分けすると共に、この多数の領域のそれぞれに吐出されたインクの混色を防止する機能を有するものである。混色を防止するためには，一定の撥インク作用を示すものを用いることが望ましい。例えば、撥インク剤を含む樹脂組成部により隔壁を形成する方法、樹脂組成物により形成した隔壁にプラズマ処理を行い撥インク性を付与する方法、隔壁を光触媒層とともに形成し光触媒作用により隔壁に撥インク性を付与する方法などを例示することができる。また、ディスプレイの表示画面を構成するカラーフィルタ、有機ＥＬ素子においては、この隔壁に遮光性を付与することで、表示画面のコントラストを向上させることができる。いずれの場合であっても、隔壁を樹脂組成物より形成する場合には、樹脂バインダーと撥インク剤とを必須成分として含有する必要がある。

隔壁は印刷法、フォトリソグラフィー法等の公知のパターン形成方法により形成することができる。

カラーフィルタの製造方法について次に説明する。カラーフィルタを形成する場合、まず基板上に、上記の方法で隔壁を形成する。着色インクを使用して、本発明のインクジェットパターン形成装置により着色層を形成する。着色インクは、着色顔料、溶媒、樹脂バインダーを必要に応じて含むことができる。

有機機能性素子の製造方法について次に説明する。有機ＥＬ素子または有機太陽電池、あるいは有機半導体を形成する場合にもまず基板上に、隔壁を形成する。インクに有機発光材料を含むものとし、本発明のインクジェットパターン形成装置及びパターン形成方法を用いて基板上に吐出、有機機能層を形成し製造することができる。インクに有機発光材料を含むものとし、本発明のインクジェットパターン形成装置を用いて基板上に吐出、有機機能層を形成し製造することができる。このインクは、有機発光材料、溶媒、樹脂バインダーを、必要に応じて含むことができる。溶媒、樹脂バインダーは、前記隔壁の形成で掲げたものと同様の材料を使用することができる。

有機発光材料について次に説明する。有機発光材料としてクマリン系、ペリレン系、ピラン系、アンスロン系、ポルフィレン系、キナクリドン系、Ｎ，Ｎ’−ジアルキル置換キナクリドン系、ナフタルイミド系、Ｎ，Ｎ’−ジアリール置換ピロロピロール系、イリジウム錯体系等の有機溶剤に可溶な有機発光材料や該有機発光材料をポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子中に分散させたものや、ポリアリーレン系、ポリアリーレンビニレン系やポリフルオレン系などの高分子有機発光材料が挙げられる。

以上のようのことを用いて、本発明の方法によれば、各画素間の濃度ムラを低減させることが可能となる。さらに、各ノズルのバラツキやクロストークの影響をなくして、バラツキ等を全て吸収したものが塗布することが可能であり、影響を低減することができる。

次に実施例として、本発明のカラーフィルタの製造方法を説明する。

撥インク性を付与する材料を含有した感光性樹脂組成物として、下記組成比で配合した黒色感光性樹脂組成物を用いた。基板としては無アルカリガラス（１７３７：コーニング（株）製）を用い、その上にこの黒色感光性樹脂組成物をスピンコート法により塗布し、温度９０℃のホットプレートにて１分間プリベーク処理をして基板上に膜厚２．０μｍの被膜を形成した。

感光性樹脂組成物の組成は、
シクロヘキサノン（沸点１５５．７℃） ８０重量部
クレゾール−ノボラック樹脂：ＥＰ４０５０Ｇ（旭有機材工業（株）製） １５重量部
メラミン樹脂：ＭＷ３０（三和ケミカル（株）製） ５重量部
カーボン顔料：ＭＡ−８（三菱マテリアル（株）製） ２３重量部
分散剤：ソルスパース５０００（ゼネカ（株）製） １．４重量部
ラジカル重合性を有する化合物：トリメチロールプロパントリアクリレート（大阪有機化学工業社製）５重量部光重合開始剤：イルガキュア３６９（チバスペシャリティケミカルズ（株）製）２重量部含フッ素化合物：モディパーＦ−６００（日本油脂（株）製、質量平均分子量３５０００）５重量部である。

続いてストライプ状のパターンであるフォトマスクを用いて、超高圧水銀灯により１００ｍＪ／ｃｍ2の露光処理を施し、さらに現像処理を行うことで所望される隔壁を得た。その後、熱風式焼成炉内にて加熱処理を施した。

着色インクの調整について次に説明する。下記組成物を、窒素雰囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５重量部を加え、７０℃５時間の条件で反応させ、アクリル共重合体樹脂を得た。

着色インク組成物の組成は、
メタクリル酸 ２０重量部
メチルメタクリレート １０重量部
ブチルメタクリレート ５５重量部
ヒドロキシエチルメタクリレート １５重量部
乳酸ブチル ３００重量部
であり、得られたアクリル共重合体樹脂が、全体に対して１０重量％になるようにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを用いて希釈し、アクリル共重合体樹脂の希釈液を得た。

この希釈液８０．１ｇに対し、着色顔料１９．０ｇ、分散剤としてポリオキシエチレンアルキルエーテル０．９ｇを添加して、３本ロールにて混練し、赤色、緑色、青色の各着色ワニスを得た。なお、赤色顔料として、ピグメントレッド１７７を、緑色顔料としてピグメントグリーン３６を、青色顔料としてピグメントブルー１５を、各々使用した。

得られた各着色ワニスに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを、その顔料濃度が１２〜１５重量％、粘度が１５ｃｐｓになるように、各々調整して添加し、赤色、緑色、及び青色着色インクを得た。

図７に示される本発明のインクジェットパターン形成装置を用いて、着色層を形成した。ここで、入力された基準データＡは基板の左の主走査方向より２，−５・・・とする。インクジェットノズルヘッドのノズルから吐出される単位ドロップ量Ｄは１０ｐｌ、主走査方向の画素数Ｌは３００とする。ドロップ数を増減させる画素数ＬＣは（１）式及び（２）式より基板の左の主走査方向より６０，１５０・・・となる。

実施例の結果、基準データＡを各主走査方向に割り振ることで単位ドロップ量Ｄ（＝１０ｐｌ）と主走査方向の画素数Ｌ（＝３００）の関係より３００ラインで１ドロップ即ち１０ｐｌのバラツキ、言い換えれば主走査方向間のばらつきは最大でも０．０３３ｐｌ（３００ラインに対して１０ｐｌ）しか目標に対してずれることはなく、全体として濃度ムラの低減されたカラーフィルタとなった。

本発明を実施するための最良の形態及び実施例では、基板上に隔壁で区切られた画素用のセルを形成し、該セルにドロップを充填することによってインクジェットパターンを形成したが、これに限らず、例えば基板上に設けられた受像層に撥インク作用のあるパターンを形成し、該撥インク作用のあるパターンで区切られた画素用のセルにインクドロップを充填してインクジェットパターンを形成しても良い。

このようにして、ノズル及び基板のパラメータ情報からインクを吐出する有効なノズルを選択し、有効なノズルから吐出するインクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度を求め、増減させる画素を主走査方向に割り振ることによって、従来各主走査方向間に発生した濃度ムラがなく、かつ短時間で高精度な物を得ることができた。

カラーフィルタの一例を説明するための図 インクジェット装置を用いたカラーフィルタの製造方法の一例を説明するための図 基板全面にＲＧＢ画素を形成する方法を説明するための図 ドロップオンデマンド方式（ＤＯＤ方式）のインクジェットノズルヘッドユニットの概略図 インクジェットノズルヘッドのノズルの千鳥配列を説明する図 インクジェットによってＲＧＢ画素を形成する場合の問題点を説明するための図 本発明に係るインクジェットパターン形成装置の全体構成例を示す外形図 本発明のインクジェットパターン形成装置のインクジェットノズルヘッドユニットを説明するための図 本発明に係るインクジェットパターン形成装置のノズルヘッドの説明図 本発明に係るノズルヘッドのＡ相、Ｂ相、Ｃ相の各相に印加される印加電圧波形とインクの吐出の様子を示す図 本発明に係る形成されるＲＧＢ画素の配列を示した模式図 本発明に係るパターン形成について説明するためのフローチャート 本発明に係るノズルヘッドユニットのノズルから有効なノズルを選択する概略図。 本発明に係る基準データの求め方を説明するための図 本発明に係るドロップ数を増減させる画素を均一に割り振る一例を示す図 本発明に係る１回に吐出すインクの吐出量を設定する手段を説明するための図

符号の説明

１０・・・基板
１１・・・ＢＭパターン
１２・・・Ｒ画素
１３・・・Ｇ画素
１４・・・Ｂ画素
１５・・・透明電極
１６・・・フォトスペーサー／バーテイカルアライメント
１７・・・隔壁で区切られた画素用のセル
２０・・・インクジェットノズルヘッドユニット
２１・・・インク吐出有効幅
２２・・・主走査方向
２３・・・副走査方向
２４・・・主走査方向
２５・・・吐出有効幅に相当するインク領域
２６・・・吐出有効幅に相当するインク領域
３１・・・ノズル
３２・・・ノズルヘッド
３３・・・ノズルヘッド
３４・・・インクジェットノズルヘッド
４０・・・インクジェットノズルヘッドユニット
４２・・・ノズルヘッド
４３・・・ノズルヘッド
４４−１・・・インクジェットノズルヘッド
４４−２・・・インクジェットノズルヘッド
４４−３・・・インクジェットノズルヘッド
４４−４・・・インクジェットノズルヘッド
４４−５・・・インクジェットノズルヘッド
４６・・・Ｒヘッド
４７・・・Ｇヘッド
４８・・・Ｂヘッド
５０・・・基板
５１・・・インクジェットノズルヘッド１によってパターン形成される領域
５２・・・インクジェットノズルヘッド２によってパターン形成される領域
５３・・・インクジェットノズルヘッド３によってパターン形成される領域
５４・・・インクジェットノズルヘッド４によってパターン形成される領域
５５・・・インクジェットノズルヘッド５によってパターン形成される領域
６０・・・インクジェットノズルヘッドユニット
６１・・・テーブル
６２・・・インクジェットノズルヘッド
６４・・・インクジェットパターン形成装置本体
６５・・・インクジェットノズルヘッドユニットコントローラ
７０・・・Ａ相のノズルから吐出されるインク
８０・・・基板
８１−１〜４・・・パターン形成情報が含まれる領域の一例
８２・・・膜厚を測定したＲ画素
９０・・・基板
９１・・・ＢＭパターン
９２・・・ノズル
９３・・・ノズルヘッド

Claims (8)

1. 基板上にインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットノズルヘッドが複数個整列して配列され、前記インクジェットノズルヘッドが複数個整列したインクジェットノズルヘッドユニットと前記基板が相対的に移動して主走査と副走査を複数回繰り返してインクジェットパターンを形成するインクジェットパターン形成装置において、前記インクジェットノズルヘッドユニットを駆動させるためのノズルパラメータ情報及び基板内の画素の位置を示す基板パラメータ情報からインクを吐出する有効なノズルを選択する手段と、前記有効なノズルから吐出するインクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度を求める手段と、インクのドロップ数を増減させる画素を主走査方向に割り振る手段と、インクのドロップ数を増減させるノズルを選択する手段とを具備することを特徴とするインクジェットパターン形成装置。
2. 前記インクのドロップ数を主走査方向の画素毎に増減させる頻度は、基準となるデータをもとに決定することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットパターン形成装置。
3. 前記ドロップ数を増減させる画素の数は、前記基準となるデータと単位ドロップ量と主走査方向のライン数とで決定することを特徴とする請求項１，２に記載のインクジェットパターン形成装置。
4. 前記インクのドロップ数を増減させる画素を主走査方向に割り振る手段は、インクのドロップ数を増減させる画素を主走査方向のライン内に均一になるように、もしくはランダムになるように割り振ることを特徴とする請求項１〜３に記載のインクジェットパターン形成装置。
5. 前記インクのドロップ数を増減させるノズルを選択する手段は、前記インクを吐出する有効なノズルからドロップ数を増減させるノズルを選択することを特徴とする請求項１〜４に記載のインクジェットパターン形成装置。
6. 前記複数のノズルの各ノズルから一回に吐出するインクの吐出量を設定する手段を更に有することを特徴とする請求項１〜５何れかに記載のインクジェットパターン形成装置。
7. 基板上に着色層を形成するカラーフィルタの製造方法であって、請求項１〜６何れかに記載のインクジェットパターン形成装置により、着色層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
8. 基板上に一層あるいは複数の有機機能層を形成する有機機能性素子の製造方法であって、請求項１〜６何れかに記載のインクジェットパターン形成装置により、有機機能層を形成することを特徴とする有機機能性素子の製造方法。

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