上記目的を達成するために、この発明の第1の局面による部品吸着装置は、部品を吸着する複数の吸着ノズルと、複数の吸着ノズルがそれぞれ取り付けられた複数の軸部と、複数の軸部がそれぞれ挿入される複数の穴部を含み、複数の穴部が互いに隣接する方向に連結するように形成された支持部材とを備える。
この第1の局面による部品吸着装置では、上記のように、複数の軸部がそれぞれ挿入される複数の穴部を含み、複数の穴部が互いに隣接する方向に連結するように形成された支持部材を備えることによって、隣接する穴部の間に内壁部分を設けることなく軸部を配置することができる。これにより、穴部間に内壁部分が存在する場合に比べて、吸着ノズルが取り付けられた軸部をより近接して配置することができるので、隣接する軸部間の間隔を小さくすることができる。その結果、装置の小型化を図ることができる。
上記第1の局面による部品吸着装置において、好ましくは、複数の軸部の各々を中心軸回りに回転可能に支持する複数の軸受をさらに備え、複数の軸部は、軸受を介して支持部材の穴部に列状に配列して挿入され、軸受が取り付けられる複数の穴部は、平面的に見て、各々の穴部の内接円の互いに隣接する側の端部同士が、点接触する位置または重なる位置または離間した近傍の位置に位置するように形成されている。このように構成すれば、複数の穴部に取り付けられる軸受を、平面的に見て、互いに点接触する位置、互いに重なる位置または近傍の位置に配置することができる。これにより、複数の軸受にそれぞれ挿入される軸部間の間隔を小さくすることができるので、装置の小型化を図ることができる。
この場合において、好ましくは、軸受が取り付けられる複数の穴部は、隣接するそれぞれの軸部の軸中心間の間隔と略等しい内径を有するように形成されている。このように構成すれば、それぞれの軸受を並べて取り付ける場合には、列状に配列されたそれぞれの軸受の外周部同士がほぼ点接触する位置まで軸部の軸中心間の間隔を小さくすることができるので、簡単な構造で容易に装置の小型化を図ることができる。
上記した部品吸着装置が複数の軸受をさらに備える構成において、好ましくは、複数の軸受は、連結された複数の穴部の各々に、平面的に見て、隣接するそれぞれの軸受の外輪端部同士が、接触する位置または重なる位置または離間した近傍の位置に位置するように嵌め込まれている。このように構成すれば、連結された複数の穴部に取り付けられる複数の軸受間の間隔を、平面的に見て、隣接する軸受の外輪端部同士が接触する位置または重なる位置または離間した近傍の位置に位置するまで小さくすることができる。これにより、複数の軸受にそれぞれ支持される軸部間の間隔を小さくすることができるので、装置の小型化を図ることができる。
上記第1の局面による部品吸着装置において、好ましくは、隣接する複数の穴部を互いに隣接する方向に連結する連結部は、平面的に見て、穴部の隣接する方向と直交する方向の幅が穴部の内径よりも小さく、かつ、鋭角部分がないように形成されている。このように構成すれば、連結部の穴部の隣接する方向と直交する方向の幅を、穴部の内径と略同じ大きさを有する軸受の外径よりも小さくすることができるので、この連結部により軸受を穴部にずれることなく確実に取り付けることができる。また、隣接する穴部の連結部に鋭角部分がないように形成することによって、加工または成型時に、隣接する穴部の間の連結部に反りなどが生じやすい薄肉の鋭角部分が形成されるのを防止することができるので、軸受の装着精度が低下するのを防止することができる。
この発明の第2の局面による部品移載装置は、部品を吸着して移載する部品吸着ユニットと、部品吸着ユニットを移載位置に移動させる移動機構部とを備え、部品吸着ユニットは、部品を吸着する複数の吸着ノズルと、複数の吸着ノズルがそれぞれ取り付けられた複数の軸部と、複数の軸部がそれぞれ挿入される複数の穴部を有し、複数の穴部が互いに隣接する方向に連結するように形成された支持部材とを含む。
この第2の局面による部品移載装置では、上記のように、部品吸着ユニットが、複数の軸部がそれぞれ挿入される複数の穴部を有し、複数の穴部が互いに隣接する方向に連結するように形成された支持部材を含むことによって、隣接する穴部の間に内壁部分を設けることなく軸部を配置することができる。これにより、穴部間に内壁部分が存在する場合に比べて、吸着ノズルが取り付けられた軸部をより近接して配置することができるので、隣接する軸部間の間隔を小さくすることができる。その結果、装置の小型化を図ることができる。また、隣接する軸部間の間隔を小さくすることにより、吸着ノズルの間隔を小さくすることができるので、部品を各々の吸着ノズルに吸着または移載する場合に、部品吸着ユニットの移動量を減少させることができる。これにより、部品の移載時間を短縮することができる。
この場合において、好ましくは、部品吸着ユニットは、複数の軸部の各々を中心軸回りに回転可能に支持する複数の軸受をさらに含み、複数の軸受は、連結された複数の穴部の各々に、平面的に見て、隣接するそれぞれの軸受の外輪端部同士が、接触する位置または重なる位置または離間した近傍の位置に位置するように嵌め込まれている。このように構成すれば、連結された複数の穴部に取り付けられる複数の軸受間の間隔を、平面的に見て、隣接する軸受の外輪端部同士が接触する位置または重なる位置または離間した近傍の位置に位置するまで小さくすることができる。これにより、複数の軸受にそれぞれ支持される軸部間の間隔を小さくすることができるので、それぞれの軸部に取り付けられた吸着ノズルをより近接して配置することができる。これにより、隣接する吸着ノズル間の間隔を小さくすることができるので、部品吸着ユニットの小型化を図ることができる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の一実施形態による表面実装機の全体構成を示す平面図である。図2〜図13は、図1に示した表面実装機の構造を説明するための図である。以下、図1〜図13を参照して、本発明の一実施形態による表面実装機100の構造について説明する。なお、本実施形態では、本発明の部品移載装置を表面実装機に適用した場合の例について説明する。
図1に示すように、本実施形態による表面実装機100は、テープフィーダ110から供給される部品(図示せず)をプリント基板120に実装する装置である。図1に示すように、表面実装機100は、X方向に延びる一対の基板搬送コンベア10と、一対の基板搬送コンベア10の上方をXY方向に移動可能なヘッドユニット20とを備えている。なお、ヘッドユニット20は、本発明の「部品吸着装置」および「部品吸着ユニット」の一例である。一対の基板搬送コンベア10の両側には、部品を供給するための複数のテープフィーダ110が配置されている。ヘッドユニット20は、テープフィーダ110から部品を取得するとともに、基板搬送コンベア10上のプリント基板120に部品を実装する機能を有する。基板搬送コンベア10は基台1上に設置され、ヘッドユニット20は、基台1上方に配置されている。なお、本実施形態において、Y2方向が表面実装機100の前面側である。以下、表面実装機100の具体的な構造を説明する。
一対の基板搬送コンベア10は、プリント基板120をX方向に搬送するとともに、所定の実装作業位置でプリント基板120を停止させ、不図示の基板保持装置により保持させることが可能なように構成されている。
また、テープフィーダ110は図1に示すように、基台1のY1方向側およびY2方向側に互いに向かい合うようにして、X方向に並べて配置されている。これらのテープフィーダ110は、基台1に取り付けられたフィーダプレート(図示せず)に、それぞれ取り付けられている。このテープフィーダ110は、複数の部品(図示せず)を所定の間隔を隔てて保持したテープ(図示せず)が巻き回されたリール(図示せず)を保持している。このテープフィーダ110は、テープをリールから巻き取るようにして所定のピッチで間欠的に送り出すとともに、テープに保持された部品をテープフィーダ110の先端に設けられた部品取出部111まで搬送することにより、部品を供給するように構成されている。また、部品は、IC、トランジスタ、コンデンサなどの小型の電子部品である。
また、図1に示すように、一対の基板搬送コンベア10と、基台1のY1方向側およびY2方向側に互いに向かい合うようにして配列されたテープフィーダ110との間に、部品撮像装置11がそれぞれ配置されている。この部品撮像装置11は、ヘッドユニット20と対向するように基台1上に撮像方向を上方に向けて固定的に設置されている。そして、ヘッドユニット20が後述する吸着ノズル22に部品を吸着させた状態で部品撮像装置11の上方に移動することにより、部品撮像装置11は吸着ノズル22に吸着された部品の下面を撮像することができるように構成されている。これにより、部品撮像装置11は、部品の吸着ノズル22への吸着状態を撮像することが可能である。
また、図1に示すように、ヘッドユニット20は、X方向に延びるヘッドユニット支持部30に沿ってX方向に移動可能に構成されている。具体的には、ヘッドユニット支持部30は、ボールネジ軸31とボールネジ軸31を回転させるサーボモータ32とX方向のガイドレール(図示せず)とを有しているとともに、ヘッドユニット20は、ボールネジ軸31が螺合されるボールナット21を有している。ヘッドユニット20は、サーボモータ32によりボールネジ軸31が回転されることにより、ヘッドユニット支持部30に対してX方向に移動するように構成されている。また、ヘッドユニット支持部30は、基台1上に基板搬送コンベア10を跨ぐように設けられたY方向に延びる一対の固定レール部40に沿ってY方向に移動可能に構成されている。具体的には、一方の固定レール部40は、ヘッドユニット支持部30の両端部をY方向に移動可能に支持するガイドレール41を有し、他方の固定レール部40は、ガイドレール41と、Y方向に延びるボールネジ軸42と、ボールネジ軸42を回転させるサーボモータ43とを有しているとともに、ヘッドユニット支持部30には、ボールネジ軸42が螺合されるボールナット33が設けられている。ヘッドユニット支持部30は、サーボモータ43によりボールネジ軸42が回転されることによって、ガイドレール41に沿ってY方向に移動するように構成されている。このような構成により、ヘッドユニット20は、基台1上方をXY方向に移動することが可能なように構成されている。なお、ヘッドユニット支持部30および固定レール部40は、本発明の「移動機構部」の一例である。
また、ヘッドユニット20には、X方向に列状に配置された10本の吸着ノズル22が下方に突出するように設けられている。吸着ノズル22は、吸着ノズル22の前面側(Y2方向)に取り付けられた5つのモータ54によって、吸着ノズル22の軸を中心に回転可能に構成されている。また、各々の吸着ノズル22は、後述する昇降機構70(図2参照)により上下方向(Z方向)に昇降可能とされている。また、各々の吸着ノズル22は、後述する負圧発生機構80(図2参照)によってその先端に負圧状態を発生させることが可能とされている。吸着ノズル22は、この負圧によって、テープフィーダ110から供給される部品を先端に吸着および保持することが可能である。このテープフィーダ110からの部品の吸着は、ヘッドユニット20がテープフィーダ110の上方に移動して、吸着ノズル22を部品取出部111の上方に位置させるとともに、昇降機構70により吸着ノズル22を下降させることにより行われる。
ヘッドユニット20は、図2に示すように、10本の吸着ノズル22が回転可能に取り付けられたサブユニット50と、吸着ノズル22を昇降させるための昇降機構70と、負圧発生機構80と、2つの基板撮像装置90とがベースプレート23に組み付けられることにより構成されている。このサブユニット50および昇降機構70は、プリント基板120に搭載する部品の種類に応じて交換可能に構成されている。
ベースプレート23は、金属製で板状形状を有するとともに、上記のサブユニット50、昇降機構70および基板撮像装置90を取り付けるための複数のネジ穴(図示せず)が所定の位置に形成されている。また、ベースプレート23には、負圧発生機構80を取り付けるための後述するブラケット82、83およびヘッドユニット20を手動で移動させるための把持部23aなどが図示しない複数のボルトによってそれぞれ取り付けられている。なお、上記の昇降機構70の後述する昇降装置71、負圧発生機構80の後述する負圧発生器81および下端に吸着ノズル22が着脱可能とされる後述するノズルシャフト51(図4参照)により、吸着ヘッド220(図4参照)が構成される。
図3および図4に示すように、サブユニット50は、下方端(Z2方向)に吸着ノズル22がそれぞれ取り付けられた10本のノズルシャフト51(51aおよび51b)と、ノズルシャフト51(吸着ノズル22)を回転させる5つのモータ54が取り付けられた金属製の支持部材60などから構成されている。この支持部材60が4本のボルト53によりベースプレート23に取り付けられることにより、サブユニット50が着脱可能に構成されている。さらに、ベースプレート23は、ボールナット21を回転可能に保持し、ボールナット21と螺合するボールネジ軸31が貫通するとともに不図示のガイドレールに沿って摺動する不図示の可動体に、着脱可能とされている。なお、ノズルシャフト51(51a、51b)は、本発明の「軸部」の一例である。
サブユニット50の支持部材60は、図5に示すように一体的に形成され、10本のノズルシャフト51(図4参照)が上下方向(Z方向)に貫通して挿入されるノズルシャフト支持部60aと、5本の中間軸52(図4参照)が取り付けられる中間軸取付部60bと、5個のモータ54(図4参照)が取り付けられるモータ取付部60cとから構成されている。また、10本のノズルシャフト51および5本の中間軸52のそれぞれに複数のギアが取り付けられることにより、支持部材60には、モータ54の駆動力を伝達して各々のノズルシャフト51を中心軸回りに回転させる機構が組み付けられる。
図5および図6に示すように、支持部材60のノズルシャフト支持部60aは、支持部材60のY1方向側に形成されている。ノズルシャフト支持部60aは、上側支持部61と、中間部62と、下側支持部63とから構成されている。この上側支持部61および下側支持部63には、10本のノズルシャフト51(図3参照)がそれぞれ挿入される10個の穴部612aが形成された軸受取付部611が上下方向(Z方向)に貫通して形成されている。一方、中間部62には、ノズルシャフト51を回転させるための後述する従動ギア518(図7参照)が配置されるギア配置部621が形成されている。
本実施形態では、図6に示すように、上側支持部61および下側支持部63に形成された10個の穴部612aは、平面的に見て内径D1を有する円形の穴がX方向に並んで形成されるとともに、これらの穴部612aが互いに隣接する方向(X方向)に連結するように形成されている。また、隣接する穴部612a間の連結部分には、内側に突出する連結部612bが設けられている。
図7に示すように、上側支持部61および下側支持部63のそれぞれの穴部612aには、後述する円筒状軸受515および516と、円筒状軸受515および516を回転可能に支持する軸受517とが取り付けられるように構成されている。ノズルシャフト51は、この円筒状軸受515および516に挿入される。したがって、ノズルシャフト51は、円筒状軸受515および516を介して軸受517に回転可能に支持されている。なお、図8に示すように、軸受517の外径は穴部612aの内径D1と略等しく、軸受517は、穴部612aに嵌め込まれて取り付けられている。
本実施形態では、図6に示すように、各々の穴部612aは、平面的に見て、各々の穴部612aの内接円C1(一点鎖線参照)の互いに隣接する側の端部同士が、互いに略点接触するように形成されている。また、図8に示すように、各々の穴部612aに軸受517が嵌め込まれた状態では、隣接する軸受517の外周部同士が点接触するか僅かな隙間を持つように構成されている。つまり、図6に示した内接円C1は、図8に示した軸受517の平面的に見た外形形状と略同一の形状を有している。より具体的には、図9に示すように、各々の穴部612aは、隣接するノズルシャフト51の軸中心(軸受517の中心)間の間隔L1と略等しい内径D1を有するように形成されている。これにより、本実施形態では、穴部612aに挿入される10本のノズルシャフト51を各々の軸受517が接するまで近接して配置されるので、ヘッドユニット20の幅(X方向の幅)を小さくすることが可能になることにより、ヘッドユニット20を小型化することが可能となる。なお、軸受517の中心はノズルシャフト51の中心と一致し、ノズルシャフト51の下端部に取り付けられた吸着ノズル22は、この中心回りに回転可能に構成されている。
また、図6に示すように、各々の穴部612aを相互に連結するノズルシャフト支持部60aの壁肉のない連結部612bは、平面的に見て、穴部612aの隣接する方向(X方向)と直交する方向(Y方向)の幅W1が穴部612aの内径D1のよりも小さくなるように形成されている。本実施形態では、この連結部612bの幅W1が、穴部612aの内径D1の約1/2となるように形成されている。
また、各々の穴部612aの連結部612bは、図6および図9に示すように、平面的に見て、穴部612aの隣接する方向に沿った方向(X方向)に直線状にフライス加工されることによって、隣接する穴部612aを穴部612aの内径と略同一ピッチで穴加工する際に穴部612aの境界に形成される鋭角部分(図9の隣接する軸受517の接点近傍の部分)がないように面形成されている。穴部612aの境界に形成される薄肉の鋭角部分は反りなどが生じやすいので、鋭角部分が反りとなって穴部612aに軸受517を嵌合させる時、鋭角部分が隣接する軸受517の間に噛み込まれ易いが、この鋭角部分をフライス加工等の機械加工により除去することによって、この不具合を防止することができる。すなわち、穴部612aに支障なく軸受517を嵌合させることができる。なお、各々の穴部612a形成のための穴加工の前の素材の状態において、連結部612bを含む長穴が鋳出し形成されている場合には、穴加工によって穴部612aを形成しても、穴部612aの境界にノズルシャフト支持部60aの薄肉の鋭角部分が形成されることはなく、同様に穴部612aに支障なく軸受517を嵌合させることができる。
また、図5および図11に示すように、ノズルシャフト支持部60aの上側支持部61には、軸受取付部611に取り付けられた軸受517および円筒状軸受516を上方(Z1方向)から固定する固定板614a、614bをボルト613aにより取り付けるためのネジ穴613が複数形成されている。また、軸受517および円筒状軸受516を下方(Z2方向)から固定する固定板622a、622bを、上方からボルト615a(図8参照)を固定板622a、622bの不図示のネジ穴に螺合させることにより取り付けるための、ボルト615a用の貫通穴615が複数形成されている。同様に、図6および図11に示すように、ノズルシャフト支持部60aの下側支持部63には、軸受取付部611に取り付けられた軸受517および円筒状軸受515を下方(Z2方向)から固定する複数の固定板634を、ボルト633aを螺合させることにより取り付けるためのネジ穴633が複数形成されている。また、軸受517および円筒状軸受515を上方(Z1方向)から固定する固定板623a、623bを、下方から不図示のボルトを固定板623a、623bの不図示のネジ穴に螺合させることにより取り付けるためのボルト用の貫通穴635が複数形成されている。
また、図5に示すように、支持部材60の中間軸取付部60bは、ノズルシャフト支持部60aからY2方向に突出するように形成された中間軸挿入部64および中間軸支持部65から構成されている。この中間軸挿入部64は、ノズルシャフト支持部60aの上側支持部61と連続して一体形成されている。また、中間軸支持部65は、下側支持部63と連続して一体形成されていて、中間軸挿入部64の下方(Z2方向)に配置されている。
中間軸挿入部64には、5つの穴部641が中間軸挿入部64を上下方向(Z方向)に貫通して形成されていて、中間軸52(図8参照)を回転可能に支持する軸受521(図8参照)が嵌まり込むように構成されている。同様に、中間軸支持部65にも、5つの穴部651が形成されている。この穴部651は、中間軸支持部65の下端部で直径が小さくなるように形成され、軸受522(図13参照)が嵌め込まれた状態で、軸受522を介して中間軸52が支持されるように構成されている。
また、図5に示すように、支持部材60のモータ取付部60cには、中間軸取付部60bからY2方向に突出するようにモータ軸取付部66が形成されている。このモータ軸取付部66は、中間軸取付部60bの中間軸挿入部64と連続して一体形成されている。
モータ軸取付部66には、図6に示すように、5つのモータ軸穴661が形成されている。1つのモータ軸穴661の近傍には、それぞれ2つの穴部662が形成されている。5つのモータ54のそれぞれは、モータ軸穴661にモータ54の出力軸54aを挿入し、モータ54の不図示のケーシング上端部を嵌合した状態で穴部662からボルト663(図10参照)により固定される。これにより、モータ54は、図2〜図4に示すように、吸着ノズル22よりも前面側(Y2方向)に突出した位置でモータ軸取付部66から吊り下げられるようにして固定されている。
図10に示すように、それぞれの穴部612aに挿入されたノズルシャフト51(51aおよび51b)は、下端部に吸着ノズル22が交換可能に取り付けられ、吸着する部品に応じて取り替えられるように構成されている。各々のノズルシャフト51の上端部は、連結部材511に軸受512を介して回転可能に取り付けられている。図4に示すように、この連結部材511の上方(Z1方向)にL型のブラケット513が取り付けられている。そして、ブラケット513と昇降機構70の後述する昇降装置71とがボルト513aによって連結されることにより、ノズルシャフト51が上下(Z方向)に昇降するように構成されている。また、図7に示すように、各々のノズルシャフト51(51aおよび51b)は中心部分が中空の筒状構造を有し、上端の連結部材511の前面側(Y2方向)に設けられた空気用継手514と連通されている。
また、図11に示すように、支持部材60の上側支持部61に配置された円筒状軸受516は、上側支持部61の上下端部の位置で外径が他の部分よりも小さくなるように形成されている。その上側支持部61の上下端部に、それぞれ軸受517が取り付けられている。ここで、図9に示すように、軸受517の外径は穴部612aの内径D1に略一致しているので、軸受517は穴部612aに嵌まり込むとともに、軸受517の外周部が隣接する軸受517の外周部と接している。一方、円筒状軸受516の外径は穴部612aの内径D1よりもわずかに小さくなるように形成されていて、隣接する円筒状軸受515(図7参照)と接することなく軸受517に回転可能に支持されている。同様に、図11に示すように、支持部材60の下側支持部63に配置された円筒状軸受515は、下側支持部63の上下端部の位置で外径が他の部分よりも小さくなるように形成されている。その下側支持部63の上下端部に、それぞれ軸受517が取り付けられている。これにより、下側支持部63に配置された円筒状軸受515も、軸受517に回転可能に支持されている。なお、この円筒状軸受515および516は、図8に示すように、隣接する穴部612aに交互に配置されている。
また、各々のノズルシャフト51(51aおよび51b)は、図4に示すように、外周部に上下方向(Z方向)に溝51cが形成されている。図11に示すように、この溝51c(図4参照)に円筒状軸受515および516の内部のボールスプライン515aおよび516aが上下方向(Z方向)に相対移動可能に係合している。これにより、ノズルシャフト51(51aおよび51b)は、円筒状軸受515および516によって、上下方向に摺動可能に支持される。一方、円筒状軸受515および516の各々は、上下を軸受517によって回転可能に支持されているので、ノズルシャフト51(51aおよび51b)は、溝51cと係合したボールスプライン515aおよび516aを介して、軸中心に円筒状軸受515および516と一体的に回転するように構成されている。
図11に示すように、上側支持部61に取り付けられた円筒状軸受516および2つの軸受517は、上側支持部61の上面に取り付けられた固定板614aおよび614bと、上側支持部61の下面に取り付けられた固定板622aおよび622bとによって、上下(Z方向)から挟み込まれるようにして固定されている。図12に示すように、固定板614aおよび614bのそれぞれは、10個の穴部612aの形状に沿うように一体的に形成されており、それぞれの穴部612aに嵌め込まれた軸受517のY1方向側およびY2方向側の外輪端部(図11参照)を押さえるようにして固定している。この固定板614aおよび614bは、X方向の両端にそれぞれ形成されたネジ穴613(図5参照)に螺合されるボルト613aによって固定されている。同様に、図11に示すように、上側支持部61の下面に取り付けられた固定板622aおよび622bも、上側支持部61の下側に取り付けられた軸受517の外輪端部を上方(Z1方向)に押さえるようにして固定している。固定板622aおよび622bは、上側支持部61の上面側から下面側まで貫通するように形成された8つの貫通穴615(図11の破線参照)に8つのボルト615a(図8参照)が挿入され、それぞれ固定板622aおよび622bに形成された図示しないネジ穴に螺合することにより、取り付けられている。このようにして、上側支持部61のそれぞれの穴部612aに円筒状軸受516(515)と2つの軸受517とが取り付けられている。
図11に示すように、下側支持部63に取り付けられた円筒状軸受515および2つの軸受517は、下側支持部63の上面に取り付けられた固定板623aおよび623bと、下側支持部63の下面に取り付けられた固定板634とによって、上下(Z方向)から挟み込まれるようにして固定されている。図12に示すように、固定板623aおよび623bは、それぞれ固定板622aおよび622bと同様に形成されており、それぞれの穴部612aに嵌め込まれた軸受517の外輪端部を押さえるようにして固定している。固定板623aおよび623bは、図6に示すように、下側支持部63の下面側から上面側まで貫通するように形成された11個の貫通穴635(図11の破線参照)に図示しないボルトが挿入され、それぞれ固定板623aおよび623b(図11参照)に形成された図示しないネジ穴に螺合することにより、取り付けられている。一方、図11に示すように、下側支持部63の下面に取り付けられた固定板634は、穴部612aのそれぞれに1つずつ取り付けられている。そして、固定板634は、下側支持部63の下面側に取り付けられた軸受517の外輪端部をそれぞれ板部材634aを介して上方(Z1方向)に押さえるようにして固定している。この板部材634aは、10個の穴部612aとに嵌まるように形成され、ノズルシャフト51を挿入することができるように中央に穴が形成されている。また、固定板634は、Y方向の両端にそれぞれ配置されたネジ穴633(図6参照)に螺合されるボルト633aによって固定されている。このようにして、下側支持部63のそれぞれの穴部612aに円筒状軸受515(516)と2つの軸受517とが固定板623a、623bおよび634により取り付けられている。
図7に示すように、1本のノズルシャフト51(51aおよび51b)について上下に配置された2つの円筒状軸受515および516のうち、一方の円筒状軸受515には、ノズルシャフト51の軸方向(Z方向、ノズルシャフト51aが貫通するものは上方(Z1方向)に、ノズルシャフト51bが貫通するものは下方(Z2方向)に)に延びるように取付部515bが形成されている。図11に示すように、この取付部515bには、モータ54の駆動力をノズルシャフト51(51aおよび51b)に伝達するための従動ギア518(518aおよび518b)が図示しないネジ部材により取り付けられている。これにより、従動ギア518(518aおよび518b)の回転が円筒状軸受515およびボールスプライン515aを介してノズルシャフト51(従動ギア518aからノズルシャフト51a、および従動ギア518bからノズルシャフト51b)に伝達され、吸着ノズル22を回転させるように構成されている。なお、他方の円筒状軸受516には、取付部は形成されていないため、ノズルシャフト51(51aおよび51b)の回転に応じて回転するように構成されている。
また、隣接するノズルシャフト51に取り付けられた従動ギア518は、図7に示すように、互いに接することなく、かつ、互いに上下(Z方向)にずれた高さ位置に配置されている。具体的には、ノズルシャフト51aに取り付けられた従動ギア518aは、下方向(Z2方向)にずれた高さ位置に配置されており、ノズルシャフト51bに取り付けられた従動ギア518bは、上方(Z1方向)にずれた高さ位置に配置されている。図11に示すように、下側に取り付けられた5つの従動ギア518aと、上側に取り付けられた5つの従動ギア518bとは、間隔Hだけ上下方向(Z方向)に離間して配置されていて、互いに接することなく回転するように構成されている。
また、図13に示すように、それぞれのノズルシャフト51(51aおよび51b)に取り付けられた従動ギア518(518aおよび518b)は、5本の中間軸52にそれぞれ2つずつ取り付けられた駆動ギア523(523aおよび523b)によって、モータ54の駆動力が伝達されるように構成されている。駆動ギア523(523aおよび523b)は、各々のモータ54により2本ずつ吸着ノズル22(ノズルシャフト51)が駆動されるように、モータ54の回転を従動ギア518(518aおよび518b)に伝達するように構成されている。すなわち、1本の中間軸52の下側(Z2方向)に取り付けられた駆動ギア523aが、ノズルシャフト51aに取り付けられた従動ギア518aと噛み合い、中間軸52の上側(Z1方向)に取り付けられた駆動ギア523bが、ノズルシャフト51bに取り付けられた従動ギア518bと噛み合うように構成されている。また、図12に示すように、各々の中間軸52には、支持部材60の上側に突出する(図13参照)ようにして、中間ギア524がそれぞれ取り付けられている。この中間ギア524は、モータ54の出力軸54aに取り付けられた出力ギア54bと噛み合うことにより、モータ54の駆動力を中間軸52に伝達する。したがって、本実施形態では、1つのモータ54の出力ギア54bの回転が、1本の中間軸52に取り付けられた中間ギア524と、2つの駆動ギア523aおよび523bとを介して、2つの従動ギア518aおよび518bに伝達されることにより、隣接する2本のノズルシャフト51aおよび51bを回転させるように構成されている。
また、図13に示すように、中間軸52の各々に取り付けられた中間ギア524および駆動ギア523(523aおよび523b)は、上下に分割された構造を有するとともに、内部にねじりコイルバネ525a、525bおよび525cがそれぞれ設けられた、いわゆるシザーズギアを構成している。これにより、中間ギア524、駆動ギア523(523aおよび523b)と噛み合う出力ギア54b、従動ギア518(518aおよび518b)の歯を挟み込むように付勢して、それぞれのギアの噛み合い部分のバックラッシュを実質的に無くすことが可能なように構成されている。これにより、吸着ノズル22の回転精度を向上させることが可能である。
また、中間軸52の各々には、中間ギア524の上部に突出するように検出部材526が取り付けられている。この検出部材526は、中間軸52と一体的に回転する。そして、この検出部材526のY2方向の近傍に、近接センサ55がL字状のブラケット55aを介して支持部材60に取り付けられている。検出部材526は、一部に切り欠きが形成された円柱形状を有していて、近接センサ55がこの切り欠きを検出することにより中間軸52の回転角度位置が検出されるように構成されている。これにより、中間軸52の回転角度位置に基づいて、電源投入時などのモータ54の原点復帰を行うことが可能となるように構成されている。
また、図2に示すように、昇降機構70は、X方向に配列された10個の昇降装置71を連結することにより構成されている。これらの昇降装置71は、ノズルシャフト51(51aおよび51b)と同じ間隔L1で配列されている。これらの昇降装置71は、X方向に伸びるパイプ(図示せず)とボルトにより昇降機構70のX方向の両端部に配置された一対のブラケット72に挟み込まれるようにして連結されている。そして、この一対のブラケット72がボルトによってベースプレート23に固定されることにより、昇降機構70がベースプレート23に取り付けられている。
それぞれの昇降装置71は、上下方向(Z方向)に配列された複数の界磁コイル(図示せず)を内蔵するフレーム71aと、上下方向にS極とN極とが交互に着磁された永久磁石(図示せず)が取り付けられたスライダ(図示せず)とから構成されており、各々の昇降装置71のスライダが独立して所定の速度および昇降量で上下(Z方向)に昇降可能となっている。このスライダの下端部が各々のノズルシャフト51の連結部材511の上方(Z1方向)に取り付けられたL型のブラケット513とボルト513a(図4参照)によって連結されることにより、ノズルシャフト51が上下(Z方向)に昇降可能に構成されている。
また、ベースプレート23には、昇降機構70を取り囲むようにしてブラケット82および83が取り付けられている。すなわち、昇降機構70のX方向の両外側にヘッドユニット20の前面側(Y2方向)に延びるようにして一対のブラケット82が取り付けられていて、この一対のブラケット82のそれぞれのY2方向側の端部に、X方向に伸びるブラケット83が両端を支持されるように取り付けられている。そして、X方向に伸びるブラケット83の前面側(Y2方向)には、負圧発生機構80が取り付けられている。つまり、負圧発生機構80は、上記のブラケット82および83を介して、昇降機構70の前面側(Y2方向側)に突出するようにして、ベースプレート23に取り付けられている。
負圧発生機構80も昇降機構70と同様に、10個の負圧発生器81から構成されていて、これらの負圧発生器81をX方向に配列して1つの負圧発生機構80を構成している。各々の負圧発生器81は、10本のノズルシャフト51のそれぞれの上端を支持する連結部材511に設けられた空気用継手514に空気パイプ(図示せず)によって接続されている。なお、各々の負圧発生器81には、不図示の負圧発生部と、この下流側に不図示の切替弁とが内蔵されている。この切替弁は、負圧発生部と空気用継手514との連通状態と、大気と空気用継手514との連通状態と、さらに別配置される不図示の空気圧縮ポンプからなる正圧源と空気用継手514との連通状態とを、選択的に切替可能である。これにより負圧発生機構80は、10本の吸着ノズル22のそれぞれについて個別に、部品吸着のための負圧状態の発生、吸着部品を切り離して装着するための負圧解除、さらには装着を短時間で実施するための正圧状態の発生とを切り替えることが可能に構成されている。
このように、ヘッドユニット20に設けられた10本の吸着ノズル22は、それぞれの吸着ノズル22が取り付けられた10本のノズルシャフト51を5つのモータ54により2本(ノズルシャフト51aおよび51b)1組で駆動することによって、それぞれの吸着ノズル22(ノズルシャフト51)の軸を中心に回転可能に構成されている。また、各々の吸着ノズル22は、各々のノズルシャフト51に連結部材511およびブラケット513を介して取り付けられた10個の昇降装置71によって、個別に昇降可能に構成されている。また、各々の吸着ノズル22は、各々のノズルシャフト51に連通された空気用継手514および図示しない空気パイプを介して10個の負圧発生器81にそれぞれ接続されることにより、ノズル先端部に個別に負圧状態を発生させることができるように構成されている。
また、ヘッドユニット20において、サブユニット50のX方向両外側には、それぞれ基板撮像装置90が取り付けられている。この基板撮像装置90は、それぞれ撮像方向を下方(Z2方向)に向けたカメラ90aを内蔵していて、プリント基板120の表面に設けられた基板マーク(図示せず)を撮像することにより部品の装着位置の基準点を取得する。そして、この基板マークの撮像画像に基づいて、部品の装着位置が認識されるように構成されている。
また、表面実装機100の動作は、図示しない制御部によって制御されている。この制御部により、モータ54の回転および原点復帰の制御や、昇降機構70および負圧発生機構80の制御、部品撮像装置11および基板撮像装置90による撮像の制御や、ヘッドユニット20を移動させる各サーボモータの駆動制御などを行うように構成されている。また、制御部は、表面実装機100の図示しないコネクタに接続されたそれぞれのテープフィーダ110と電気的に接続され、制御信号を送ることにより複数のテープフィーダ110の駆動制御を個別に行うように構成されている。
次に、本実施形態の表面実装機100によるプリント基板120への部品の実装動作について説明する。
まず、図1に示すように、プリント基板120が一対の基板搬送コンベア10を介して基台1上に搬入されるとともに、基台1の中央の装着作業位置まで搬送され固定保持される。この際、ヘッドユニット20がプリント基板120の上方に移動して、プリント基板120の図示しない複数の基板マークを、基板撮像装置90により撮像する。これにより、部品の装着位置の基準点を取得する。
また、プリント基板120の搬入動作と並行して、実装対象の部品がヘッドユニット20によりテープフィーダ110から取り出される。具体的には、ヘッドユニット20がテープフィーダ110の先端に設けられた部品取出部111の上方に移動されることにより、テープフィーダ110に保持される実装対象の部品の上方にヘッドユニット20の吸着ノズル22が配置される。
その後、吸着ノズル22を昇降機構70により下降させるとともに、所定のタイミングで負圧発生機構80によって吸着ノズル22の先端に負圧が供給される。これにより、部品取出部111に位置する部品が吸着ノズル22により吸着および保持される。この後直ちにテープフィーダ110は、次の部品を部品取出部111の位置となるまで、テープ送りを実施する。
部品の吸着後、昇降機構70によって部品を保持した吸着ノズル22が上昇し、ヘッドユニット20はプリント基板120の上方の、基板マークを基準とした装着位置に移動される。この際、モータ54が吸着ノズル22を駆動して、吸着ノズル22が保持している部品を搭載角度に一致するまで回転する。そして、ヘッドユニット20を移動させながら、図1に示すように、基台1に取り付けられた部品撮像装置11の上方を移動させることにより、吸着ノズル22に保持された部品の撮像が行われる。これにより、部品の下面の画像を撮像する。
また、部品の下面の画像のデータは、図示しない制御部に取り込まれる。制御部は、部品の下面の画像に基づいて、部品の吸着位置の正しい吸着位置に対するずれ量を算出する。そして、その算出したずれ量に基づいてヘッドユニット20が移動するとともに吸着ノズル22が回転して、部品の装着位置の補正が行われる。上述した部品の装着位置の補正処理は、ヘッドユニット20が部品撮像装置11の上方からプリント基板120の装着位置に移動するのと並行して行われる。
そして、図1に示すように、ヘッドユニット20がプリント基板120の装着位置に移動された後、吸着ノズル22が下降されて部品がプリント基板120に装着される。以上の処理が繰り返し行われることにより、対象となる全ての部品のプリント基板120への装着が行われる。なお、ノズルシャフト51の内部には、吸着ノズル22が下降されて部品がプリント基板120に装着される際、プリント基板120側からの反力が衝撃的になる場合に、その反力を緩和するいわゆるバフィングバネ51d(図7では表示を省略、図10に表示)が内蔵されている。
また、部品の実装が完了したプリント基板120は、一対の基板搬送コンベア10を介して基台1から搬出される。このようにして、表面実装機100による部品の実装動作が終了する。なお、この搬送と並行して次のプリント基板120が装着作業位置に向けて搬入される。
本実施形態では、上記のように、10本のノズルシャフト51(51a、51b)がそれぞれ挿入される10個の穴部612aを含み、10個の穴部612aが互いに隣接する方向(X方向)に連結するように形成された支持部材60を備えることによって、隣接する穴部612aの間に内壁部分を設けることなくノズルシャフト51(51a、51b)を配置することができる。これにより、穴部612a間に内壁部分が存在する場合に比べて吸着ノズル22が取り付けられたノズルシャフト51(51a、51b)をより近接して配置することができるので、隣接するノズルシャフト51(51a、51b)間の間隔L1を小さくすることができる。その結果、装置の小型化を図ることができる。また、隣接するノズルシャフト51(51a、51b)間の間隔L1を小さくすることにより、吸着ノズル22の間隔L1を小さくすることができるので、部品を各々の吸着ノズル22に吸着または移載する場合に、ヘッドユニット20の移動量を減少させることができる。これにより、部品の移載時間を短縮することができる。
また、本実施形態では、上記のように、10本のノズルシャフト51(51a、51b)は、軸受517を介して支持部材60の穴部612aに列状に配列して挿入され、軸受517が取り付けられる複数の穴部612aは、平面的に見て、各々の穴部612aの内接円C1の互いに隣接する側の端部同士が、点接触する位置に形成することによって、複数の穴部612aに取り付けられる軸受517を、平面的に見て、軸受517の外周部が互いに点接触する位置に配置することができる。これにより、複数の軸受517にそれぞれ挿入されるノズルシャフト51(51a、51b)間の間隔L1を小さくすることができるので、装置の小型化を図ることができる。
また、本実施形態では、上記のように、軸受517が取り付けられる複数の穴部612aを、隣接するそれぞれのノズルシャフト51(51a、51b)の軸中心間の間隔L1と略等しい内径D1を有するように形成することによって、列状に配列されたそれぞれの軸受517の外周部同士が略点接触する位置までノズルシャフト51(51a、51b)の軸中心間の間隔L1を小さくすることができるので、簡単な構造で容易にヘッドユニット20の小型化を図ることができる。
また、本実施形態では、上記のように、複数の軸受517を、連結された複数の穴部612aの各々に、平面的に見て、隣接するそれぞれの軸受517の外輪端部同士が、略接触する位置に位置するように嵌め込むことによって、連結された複数の穴部612aに取り付けられる複数の軸受517間の間隔を、平面的に見て、隣接する軸受517の外輪端部同士が略接触する位置に位置するまで小さくすることができる。これにより、複数の軸受517にそれぞれ支持されるノズルシャフト51(51a、51b)間の間隔L1を小さくすることができるので、それぞれのノズルシャフト51(51a、51b)に取り付けられた吸着ノズル22をより近接して配置することができる。これにより、隣接する吸着ノズル22間の間隔を小さくすることができるので、ヘッドユニット20の小型化を図ることができる。
また、本実施形態では、上記のように、隣接する複数の穴部612aの連結部612bを、平面的に見て、穴部612aの隣接する方向と直交する方向(Y方向)の幅W1が穴部612aの内径D1よりも小さく、かつ、鋭角部分がないように形成することによって、連結部612bの穴部612aの隣接する方向と直交する方向(Y方向)の幅W1を、穴部612aの内径D1と略同じ大きさを有する軸受517の外径よりも小さくすることができるので、この連結部612bにより軸受517を穴部612aにずれることなく確実に取り付けることができる。また、隣接する穴部612aの連結部612bに鋭角部分がないように形成することができる。連結部612bに鋭角部分がある場合には、加工時あるいは軸受517の嵌合時に、鋭角部分が隣接する穴部612aの中に曲がる反りなどが生じ易く、この反りが隣接する軸受517間に噛み込まれることに起因して軸受517の装着精度が低下することがあるが、本実施形態では、連結部612bに鋭角部分がないように形成するので、この不具合を防止することができる。
また、本実施形態では、上記のように、隣接する複数の穴部612aの連結部612bを、平面的に見て、穴部612aの隣接する方向(X方向)に沿った方向にフライス加工により形成されること、あるいは予め鋳出し成形されることにより、鋭角部分がないように構成することが可能であり、それぞれの連結部612bについて穴部612aの隣接する方向と直交する方向(Y方向)の幅W1を揃えることができるとともに、鋭角部分が形成されることもない。
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
たとえば、上記実施形態では、本発明の部品移載装置を表面実装機100に適用した例を示したが、本発明の部品移載装置は表面実装機以外の部品試験装置(ICハンドラー)などの装置にも広く適用することが可能である。同様に、上記実施形態では本発明の部品吸着装置を表面実装機100のヘッドユニット20に適用した例を示したが、本発明の部品吸着装置は部品試験装置(ICハンドラー)などの表面実装機以外のヘッドユニットに適用してもよい。また、ヘッドユニット以外の部品吸着装置に適用してもよい。
また、上記実施形態では、支持部材60には、10本のノズルシャフト51(図3参照)がそれぞれ挿入される10個の穴部612aが形成された例を示したが、本発明はこれに限らず、ノズルシャフト51および穴部612aの数を変えてもよい。ノズルシャフトは、2本以上の何本でもよい。また、ノズルシャフトが挿入される穴部も、ノズルシャフトの本数に応じた数だけ設ければよい。
また、上記実施形態では、各々の穴部612aは、平面的に見て、各々の穴部612aの内接円C1の互いに隣接する側の端部同士が、互いに点接触するように形成されている例を示したが、本発明はこれに限らず、図14および図15に示した第1変形例のように、隣接する軸受517aを上下方向にずらす場合には、各々の穴部を、各々の内接円の互いに隣接する側の端部同士が互いに重なる位置に形成してもよい。図14および図15に示す第1変形例では、支持部材600aに10本のノズルシャフト51が軸受517aを介してそれぞれ挿入される10個の穴部712aが形成されている。それぞれの穴部712aは、X方向に列状に配置されており、互いに隣接する方向(X方向)に連結するように形成されている。この穴部712aは、穴部712aに嵌め込まれる軸受517aの外径と略等しい内径D2を有する。そして、各々の穴部712aは、各々の穴部712aの内接円C2(一点鎖線参照)の互いに隣接する側の端部が互いに重なる位置に形成されている。すなわち、図14に示すように、隣接するノズルシャフト51の軸中心(軸受517aの中心)間の間隔L2が、穴部712a(軸受517a)の内径D2よりも小さくなるように構成されている。このため、図14および図15に示すように、隣接するノズルシャフト51に取り付けられたそれぞれの軸受517aは、互いに上下にずれた位置に配置されていて、平面的に見て、隣接する軸受517aの外輪端部同士は部分的に重なるように配置されている。また、図14に示すように、各々の穴部712aの互いの境界部分の鋭角部分を除去する面取り加工がされるか、あるいは鋳出しにより素材段階で面形成されることによって鋭角部分がそもそも形成されないかにより、連結部712bが形成されている。連結部712bは、穴部712aの隣接する方向と直交する方向(Y方向)の幅W2が、穴部712aの内径D2より小さく、かつ、穴部712aの隣接する方向(X方向)に沿って直線状の内壁面が形成されている。なお、図14および図15においては、穴部712a、軸受517aおよびノズルシャフト51の関係を説明するため、上記実施形態で示した他の部分の構成は省略している。
この第1変形例では、10個の穴部712aを、平面的に見て、各々の穴部712aの内接円C2の互いに隣接する側の端部同士が重なる位置に形成することによって、穴部712aに嵌め込まれる軸受517aを上下方向にずらした位置に隣接して配置するとともに、平面的に見て、隣接する軸受517a同士が部分的に重なる位置に配置されている。これにより、10個の軸受517aにそれぞれ挿入されるノズルシャフト51の間の間隔L2をさらに小さくすることができるので、ヘッドユニット20をより小型化することができる。
また、この第1変形例では、複数の軸受517aを、連結された10個の穴部712aの各々に、平面的に見て、隣接するそれぞれの軸受517aの外輪端部同士が、重なる位置に位置するように嵌め込むことによって、連結された複数の穴部712aに取り付けられる軸受517a間の間隔を、平面的に見て、隣接する軸受517aの外輪端部同士が部分的に重なる位置に位置するまで小さくすることができる。これにより、複数の軸受517aにそれぞれ支持されるノズルシャフト51間の間隔L2を小さくすることができるので、それぞれのノズルシャフト51に取り付けられた吸着ノズル22をより近接して配置することができる。これにより、隣接する吸着ノズル22間の間隔を小さくすることができるので、ヘッドユニット20の小型化を図ることができる。
さらに、図16に示した第2変形例のように、各々の穴部を、各々の穴部の内接円の互いに隣接する側の端部同士が互いに離間しながらも近傍の位置に配置されるように形成してもよい。図16に示す第2変形例では、支持部材600bに10本のノズルシャフト51が軸受517bを介してそれぞれ挿入される10個の穴部812aが形成されている。それぞれの穴部812aは、X方向に列状に配置されており、互いに隣接する方向(X方向)に連結するように形成されている。この穴部812aは内径D3を有し、穴部812aに嵌め込まれる軸受517bの外径と略一致する。そして、各々の穴部812aは、各々の穴部812aの内接円C3の互いに隣接する側の端部同士が互いに離間しながらも近傍に配置されるように形成されている。すなわち、図16に示すように、隣接するノズルシャフト51の軸中心(軸受517bの中心)間の間隔L3が、穴部812a(軸受517b)の内径D3よりも若干大きくなるように構成されている。このため、隣接するノズルシャフト51に取り付けられたそれぞれの軸受517bは、互いに間隔L4だけ離間して、各々の近傍に配置されている。この間隔L4は、たとえば穴部812aの加工誤差(製造誤差)に起因するノズルシャフト51の間の間隔(ピッチ)L3の寸法公差および穴部812aの内径D3の寸法公差を考慮して、間隔L3および内径D3の値が加工誤差により最大限ずれたとしても間隔L3が内径D3よりも小さくならないような値に設定するのが好ましい。このように構成すれば、穴部812aの加工誤差に起因して間隔L3が内径D3よりも小さくなることにより、内径D3と略同じ外径を有する軸受517bを隣接して配置できなくなるという不都合が発生するのを抑制することができる。
また、この第2変形例では、図16に示すように、各々の穴部812aの連結部812bは、穴部812aの隣接する方向と直交する方向(Y方向)の幅W3が、穴部812aの内径D3より小さくなるように形成されている。また、穴部812aの隣接する方向(X方向)に沿って直線状に加工によりあるいは鋳出しにより面形成されることにより、隣接する内接円C3の間の鋭角部分が除去されるか、あるいは鋭角部分がそもそも形成されないでいる。なお、図16においても、穴部812a、軸受517bおよびノズルシャフト51の関係を説明するため、上記実施形態で示した他の部分の構成は省略している。
この第2変形例においても、10個の穴部812aを、平面的に見て、各々の穴部812aの内接円C3の互いに隣接する側の端部同士が、互いに離間した近傍の位置に配置されるように形成することによって、穴部812aに嵌め込まれる軸受517bを、平面的に見て、隣接する他の軸受517bの外周部近傍の位置に配置することができる。これにより、10個の軸受517bにそれぞれ挿入されるノズルシャフト51の間の間隔L3を、軸受517bが互いに近傍の位置に配置されるまで小さくすることができるので、ヘッドユニット20の小型化を図ることができる。
また、この第2変形例においても、複数の軸受517bを、連結された10個の穴部812aの各々に、平面的に見て、隣接するそれぞれの軸受517bの外輪端部同士が、互いに間隔L4だけ離間した近傍の位置に位置するように嵌め込むことによって、連結された10個の穴部812aに取り付けられる複数の軸受517b間の間隔を、平面的に見て、隣接する軸受517bの外輪端部同士が互いに離間した近傍の位置に位置するまで小さくすることができる。これにより、複数の軸受517bにそれぞれ支持されるノズルシャフト51間の間隔L3を小さくすることができるので、それぞれのノズルシャフト51に取り付けられた吸着ノズル22をより近接して配置することができる。これにより、隣接する吸着ノズル22間の間隔を小さくすることができるので、ヘッドユニット20の小型化を図ることができる。
また、上記実施形態では、各々の穴部612aが連結される連結部612bは、平面的に見て、穴部612aの隣接する方向(X方向)と直交する方向(Y方向)の幅W1が穴部612aの内径D1の約1/2となるように形成されている例を示したが、本発明はこれに限らず、穴部の直径の1/2である必要はない。たとえば、図14に示した第1変形例のように、連結部712bのY方向の幅W2を、穴部712aの内径D2の2/3程度としてもよい。また、図16に示した第2変形例のように、連結部812bのY方向の幅W3を、穴部812aの内径D3の1/3程度としてもよい。この連結部の、穴部の隣接する方向と直交する方向(Y方向)の幅は、穴部の直径よりも小さければよい。
また、上記実施形態では、各々の穴部612aの連結部612bは、図6および図9に示すように、平面的に見て、穴部612aの隣接する方向に沿った方向(X方向)に直線状に面形成された例を示したが、本発明はこれに限らず、連結部は直線状に面形成されなくてもよい。連結部は、穴部の隣接する方向に沿って面形成されていればよく、平面的に見て曲線状に面形成されていてもよい。なお、この連結部の形成面は、加工(削り加工など)により形成されてもよいし、鋳出しによって形成されてもよい。
また、上記実施形態では、従動ギア518(518aおよび518b)の回転が円筒状軸受515およびボールスプライン515aを介してノズルシャフト51(51aおよび51b)に伝達され、吸着ノズル22を回転させるように構成した例を示したが、本発明はこれに限らず、ノズルシャフトは円筒状軸受およびボールスプラインを介して回転される必要はない。たとえば、ノズルシャフトの上端部にモータの出力軸を取り付け、直接回転させるように構成してもよい。この場合には、ボールスプラインおよび円筒状軸受は必要ないため、支持部材に形成されたそれぞれの穴部に嵌め込まれた軸受は、円筒状軸受を介することなく直接ノズルシャフトを回転可能に支持するように構成すればよい。
また、上記実施形態では、10本の吸着ノズル22(ノズルシャフト51)がX方向に列状に配置された例を示したが、本発明はこれに限らず、複数の吸着ノズルはX方向に列状に配置されていなくてもよい。たとえば、複数の吸着ノズルが2列に並んで配置されていてもよいし、円弧状に並んで配列されていてもよい。
また、上記実施形態では、ヘッドユニット20は、X方向に延びるヘッドユニット支持部30と、Y方向に延びる一対の固定レール部40とによって、基台1上をXY方向に移動することが可能なように構成した例を示したが、本発明はこれに限らず、ヘッドユニットは、たとえばプリント基板をXまたはY方向に移動可能に構成することによって、XおよびY方向の一方のみに移動可能に構成されていてもよい。