JP2010054710A - フォトマスク及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ダイポール照明光による露光転写で形成されるパターンの変形および露光マージンの低下を抑制できるフォトマスク及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】ダイポール照明光を用いた露光によるパターン転写に用いられるフォトマスクであって、ダイポール照明光が入射する面において、ダイポール照明光の有効光源分布の配列方向Xに対して平行で且つメインパターン10の中心を通る直線を第1の直線L1、メインパターン10の中心を通り第1の直線L1に対して直交する直線を第2の直線L2とすると、補助パターンは、中心が第1の直線L1上に位置する第1の補助パターン11と、中心が第1の直線L1と第2の直線L2との間の領域に位置する第2の補助パターン12とを有する。
【選択図】図1
【解決手段】ダイポール照明光を用いた露光によるパターン転写に用いられるフォトマスクであって、ダイポール照明光が入射する面において、ダイポール照明光の有効光源分布の配列方向Xに対して平行で且つメインパターン10の中心を通る直線を第1の直線L1、メインパターン10の中心を通り第1の直線L1に対して直交する直線を第2の直線L2とすると、補助パターンは、中心が第1の直線L1上に位置する第1の補助パターン11と、中心が第1の直線L1と第2の直線L2との間の領域に位置する第2の補助パターン12とを有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ダイポール照明光を用いた露光によるパターン転写に用いられるフォトマスク及び半導体装置の製造方法に関する。
例えば半導体ウェーハへのコンタクトホールパターンの露光転写に際して、ダイポール照明と、転写体には転写されない補助パターンをメインパターンに対して付加したフォトマスクとを組み合わせた露光技術が特許文献1に開示されている。
補助パターンの主たる機能は露光マージンを向上させることであるが、補助パターンの位置を調整することで転写形成されるパターンの変形を抑制することも可能である。しかし、従来の補助パターンでは、パターン変形の抑制と露光マージンの向上とを両立させることが難しかった。
特開2007−240865号公報
本発明は、ダイポール照明光による露光転写で形成されるパターンの変形および露光マージンの低下を抑制できるフォトマスク及び半導体装置の製造方法を提供する。
本発明の一態様によれば、ダイポール照明光を用いた露光によるパターン転写に用いられるフォトマスクであって、被転写体に形成される実パターンに対応して形成され、前記被転写体に転写されるメインパターンと、前記メインパターンの周囲に形成され、前記被転写体には転写されない補助パターンと、を備え、前記ダイポール照明光が入射する面において、前記ダイポール照明光の有効光源分布の配列方向に対して平行で且つ前記メインパターンを通る直線を第1の直線、前記メインパターンを通り前記第1の直線に対して直交する直線を第2の直線とすると、前記補助パターンは、中心が前記第1の直線上に位置する第1の補助パターンと、中心が前記第1の直線と前記第2の直線との間の領域に位置する第2の補助パターンと、を有することを特徴とするフォトマスクが提供される。
また、本発明の他の一態様によれば、上記フォトマスクを介して前記ダイポール照明光をレジストに照射する露光工程と、前記露光工程の後、前記レジストを現像する現像工程と、前記現像工程の後、前記レジストをマスクとして前記被転写体をエッチングするエッチング工程と、を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
また、本発明の他の一態様によれば、上記フォトマスクを介して前記ダイポール照明光をレジストに照射する露光工程と、前記露光工程の後、前記レジストを現像する現像工程と、前記現像工程の後、前記レジストをマスクとして前記被転写体をエッチングするエッチング工程と、を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
本発明によれば、ダイポール照明光による露光転写で形成されるパターンの変形および露光マージンの低下を抑制できるフォトマスク及び半導体装置の製造方法が提供される。
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、各図面中、共通する要素には同じ符号を付している。
図1(a)は、本発明の実施形態に係るフォトマスクに形成されたパターンを例示する模式図である。
本実施形態に係るフォトマスクは、露光照明波長に対して透明な基板(例えばガラス基板)上に遮光膜13が形成された構造を有し、パターンは遮光膜13に開口部として形成されている。
このフォトマスクには、メインパターン10と補助パターン11、12とが形成され、これらパターン10、11、12はいずれも四角形状に形成されている。パターン10、11、12は、例えばアパーチャを用いた電子線の部分一括直描法によりマスクに描画され、このときの描画を容易にし且つ精度を高める観点から、直線と直角部とを組み合わせた矩形や正方形に形成することが望ましい。
メインパターン10は、例えばメモリなどの半導体デバイスにおけるコンタクトホールに対応するパターンであり、このメインパターン10は被転写体である半導体ウェーハに転写される実パターンに対応する。
各々の補助パターン11、12は、露光転写時の限界解像度を下回るサイズで形成され、自身は半導体ウェーハには転写されず、露光時に所望の干渉効果を生じさせることでメインパターン10の解像性能を向上させる役割を担う。
本実施形態では、露光照明として、光軸の中心を外した位置に絞りを入れることにより、被転写体に対し露光光束を斜めに入射させる斜入射照明を用いる。具体的には、図2に示すダイポール照明(2重極照明)18を用いる。このダイポール照明18は2つの発光領域19a、19bを有し、他の領域は遮光領域となっている。2つの発光領域19aと発光領域19bは照明の中心Oに対して対称に位置している。
ここで、ダイポール照明18の有効光源(発光領域)分布の配列方向をX方向とする。このX方向は、フォトマスクに入射する直前のダイポール照明光18の2つの強度ピークを結ぶ方向である。
そして、図1(a)に示すパターンが形成されたフォトマスクにおけるダイポール照明光が入射する面において、上記X方向に対して平行で且つメインパターン10の中心を通る直線を第1の直線L1とし、メインパターン10の中心を通り第1の直線L1に対して直交する直線を第2の直線L2とする。また、X方向に対して直交する方向をY方向とし、第2の直線L2はY方向に対して平行に延びる。
補助パターンは、第1の補助パターン11と第2の補助パターン12とを含む。第1の補助パターン11は、その中心が第1の直線L1上に位置する。1つのメインパターン10につき、2つの第1の補助パターン11がX方向でメインパターン10を挟む位置に形成されている。
第2の補助パターン12は、その中心が第1の直線L1と第2の直線L2との間の領域に位置する。第1の直線L1と第2の直線L2とによって区切られた、メインパターン10周囲の4つの領域のそれぞれに第2の補助パターン12が形成されている。例えば、矩形もしくは正方形状のメインパターン10の対角線上に4つの第2の補助パターン12はそれぞれ位置している。第2の直線L2上には、補助パターンは形成されていない。
図1(b)は、図1(a)のパターンが形成されたフォトマスクを用いたダイポール照明光の露光転写により、被転写体(例えば半導体ウェーハ上のレジスト)に形成される実パターン15の一例を示す。
この実パターン15は、フォトマスク上における一つのメインパターン10に対応するものである。また、実パターン15は、半導体デバイス上における例えば一つのコンタクトホールに対応し、真円もしくは正方形状に形成される(図1(b)には真円形状を例示)。フォトマスクのメインパターン10は、被転写体に形成される実パターン15が真円もしくは正方形となるように、その縦横寸法を調整されている。
メインパターン10、第1の補助パターン11および第2の補助パターン12は、それぞれ、X方向(第1の直線L1)に対して平行な2辺と、Y方向(第2の直線L2)に対して平行な2辺とを有する矩形もしくは正方形状に形成されている。2つの第1の補助パターン11はメインパターン10の中心に対して対称に配置され、4つの第2の補助パターン12もメインパターン10の中心に対して対称に配置されている。また、第1の補助パターン11と、これをY方向に挟んで位置する第2の補助パターン12との距離はともに等しくされている。
図5は、本発明の実施形態のマスクパターンと比較例のマスクパターンとで、ダイポール照明光を適用した光学像シミュレーションを行い、その結果得られた露光マージン(露光裕度、DOF)を示すグラフである。横軸は、露光裕度(exposure latitude)を示し、縦軸は、フォーカス裕度(DOF:Depth Of Field)を示す。
また、図5のグラフにおける、a及びbは、図1(a)に示す本発明の実施形態のマスクパターンを適用して光学像をシミュレーションした場合についての結果を示し、aはX方向についての露光マージンを、bはY方向についての露光マージンを示す。
ここで、図3(a)は第1の比較例のマスクパターンを示し、図4は第2の比較例のマスクパターンを示す。これら第1の比較例及び第2の比較例におけるマスクパターンにおいても、ターゲットとする実パターン(転写パターン)は、図1に示す本発明実施形態と同様、真円としている。
図3(a)に示す第1の比較例のマスクパターンは、図1(a)に示す本発明の実施形態のマスクパターンにおいて第1の補助パターン11を形成せずメインパターン10と第2の補助パターン12だけのパターンである。図4に示す第2の比較例のマスクパターンは、図1(a)に示す本発明の実施形態のマスクパターンにおいて第2の補助パターン12を形成せずメインパターン10と第1の補助パターン11だけのパターンである。
図5のグラフにおける、c及びdは、図4に示す第2の比較例のマスクパターンを適用して光学像をシミュレーションした場合についての結果を示し、cはX方向についての露光マージンを、dはY方向についての露光マージンを示す。
また、図3(b)は、図3(a)に示す第1の比較例のマスクパターンを適用した光学像シミュレーションにより得られた転写パターン像(レジスト像)16を示す。
第1の補助パターン11がない第1の比較例の場合、メインパターン10のマスク値(寸法及び形状)を図1(a)のままとすると、図3(b)に示すように、Y方向に対してX方向が長くなる形状に転写パターン像16が大きく変形してしまう。すなわち、ターゲットとする真円のパターンが得られない。
第1の補助パターン11がない第1の比較例の場合、メインパターン10のマスク値(寸法及び形状)を図1(a)のままとすると、図3(b)に示すように、Y方向に対してX方向が長くなる形状に転写パターン像16が大きく変形してしまう。すなわち、ターゲットとする真円のパターンが得られない。
これに対して、第1の比較例に対して第1の補助パターン11を付加した構成の本発明実施形態(図1(a))では、図1(b)に示すように真円のパターン15が得られた。
このことから、第1の補助パターン11を形成することは、転写パターンの変形抑制に効果があることがわかる。すなわち、第1の補助パターン11により、X方向のパターン変形が抑制されることで、被転写体に転写される実パターンを所望の真円にするためのメインパターン10のマスク値変動を抑制することができ、OPC(Optical Proximity Correction)処理が軽減できる。
一方、第2の補助パターン12がない図4に示す第2の比較例では、転写パターン像(レジスト像)の変形は抑えられたが、図5のグラフcに表されるように、X方向についての露光裕度とDOFが共に本発明実施形態(グラフa)に比べて低下する。同様にY方向についても、第2の比較例では、図5のグラフdに表されるように、露光裕度とDOFが共に本発明実施形態(グラフb)に比べて低下する。
したがって、第2の補助パターン12は、露光マージン(露光裕度とDOF)の向上に寄与する。第2の補助パターン12により、露光マージンが向上することで、安定したパターンの形成が期待できる。
次に、図8は、本発明の実施形態のマスクパターンと比較例(第3の比較例、第4の比較例)のマスクパターンとで、ダイポール照明光を適用した光学像シミュレーションを行い、その結果得られた露光マージン(露光裕度、DOF)を示すグラフである。横軸は、露光裕度(exposure latitude)を示し、縦軸は、フォーカス裕度(DOF:Depth Of Field)を示す。
図8のグラフにおける、a及びbは、図1(a)に示す本発明の実施形態のマスクパターンを適用して光学像をシミュレーションした場合についての結果を示し、aはX方向についての露光マージンを、bはY方向についての露光マージンを示す。
ここで、図6は第3の比較例のマスクパターンを示し、図7は第4の比較例のマスクパターンを示す。これら第3の比較例及び第4の比較例におけるマスクパターンにおいても、ターゲットとする実パターン(転写パターン)は、図1に示す本発明実施形態と同様、真円としている。第3の比較例及び第4の比較例共に、本発明実施形態の第1の補助パターンに対応するものがなく、メインパターンと第2の補助パターンだけを形成したものである。
図8のグラフにおける、c及びdは、図6に示す第3の比較例のマスクパターンを適用して光学像をシミュレーションした場合についての結果を示し、cはX方向についての露光マージンを、dはY方向についての露光マージンを示す。
図8のグラフにおける、e及びfは、図7に示す第4の比較例のマスクパターンを適用して光学像をシミュレーションした場合についての結果を示し、eはX方向についての露光マージンを、fはY方向についての露光マージンを示す。
図6に示す第3の比較例は、メインパターン21の周囲における、第1の直線L1と第2の直線L2との間の領域に、4つの補助パターン(第2の補助パターンに対応)22が形成されている。図7に示す第4の比較例は、メインパターン23の周囲における、第1の直線L1と第2の直線L2との間の領域に、4つの補助パターン(第2の補助パターンに対応)24が形成されている。
図6に示す第3の比較例では、メインパターン21のマスク値調整及び補助パターン22の位置調整により、転写されるパターンの変形は抑えられる。しかし、図8のグラフdに表されるように、Y方向についてのDOFが本発明実施形態(グラフb)に比べて低下する。
DOFの低下を抑えるために、図7に示す第4の比較例のように補助パターン24の位置を調整すると、図8のグラフe、fに表されるように、露光裕度が本発明実施形態(グラフa、b)に比べて大きく低下する。また、このとき、転写パターンを真円にするためのメインパターン23のマスク値調整量が大きく、OPC処理が困難な場合が発生する。
これに対して、第1の補助パターン11及び第2の補助パターン12を有する本発明の実施形態によれば、メインパターンに対してそれほど大きなOPC処理を行わなくても、所望の形状(例えば真円や正方形)の転写パターンを得ることができ、なおかつ露光マージン(露光裕度及びDOF)を向上させて安定したパターン形成を行える。
一般に、例えばメモリのセル部におけるコンタクトホールは、いわゆる千鳥パターン状に形成され、このような比較的密に配置されたパターンに対する露光転写に適した照明形状としてダイポール照明が用いられている。一方、セル部の周辺に形成されたコンタクトホールは他のパターンとの距離が比較的大きな孤立パターン(疎パターン)として存在し、この場合には、補助パターンを付加しないメインパターンだけを形成したフォトマスクと、そのマスクを用いた露光に適した照明形状であるコンベンショナル照明(垂直入射照明)とを組み合わせた露光方法が用いられていた。このように、コンタクトホールが密に形成されているか疎であるかで、それぞれの露光に適した照明形状が異なるため、一回の露光でセル部と周辺部のコンタクトホールパターンを同時に露光することができなかった。
これに対して、本発明の実施形態では、前述したように、ダイポール照明光の有効光源分布の配列方向に対して所定の関係で配置された第1の補助パターン11及び第2の補助パターン12をメインパターン10の周囲に形成することで、セル部の密パターン形成に適したダイポール照明光を用いつつ、周辺部の孤立パターンに対してもパターン変形を抑え、且つ露光マージンも低下させることなくパターン形成を行える。すなわち、同じ被転写体上に形成された密パターンと疎パターンとを同じダイポール照明光を用いた一回の露光で形成でき、コスト低減を図れる。
なお、本発明は、孤立パターン(疎パターン)に対してだけでなく、密パターンの露光転写にも適用可能である。
図9及び図10に、転写形成すべき密パターンに対応したマスクパターンのレイアウトの一例を示す。なお、図9及び図10には、例えば4つのメインパターンが近接配置された部分を示すが、フォトマスク上でメインパターンは、転写形成すべき実パターンに応じた個数形成されている。
図9及び図10に、転写形成すべき密パターンに対応したマスクパターンのレイアウトの一例を示す。なお、図9及び図10には、例えば4つのメインパターンが近接配置された部分を示すが、フォトマスク上でメインパターンは、転写形成すべき実パターンに応じた個数形成されている。
図9(a)は、隣り合うメインパターン10間で補助パターン11、12を共有せず、一つのメインパターン10につき2つの第1の補助パターン11と4つの第2の補助パターン12をそれぞれ付加したレイアウト例を示す。
図9(b)は、X方向で隣り合うメインパターン10間で、第1の補助パターン31を共有したレイアウト例を示す。
図10(a)は、X方向及びY方向で隣り合うメインパターン10間で、第2の補助パターン32を共有したレイアウト例を示す。
図10(b)は、第1の補助パターン31及び第2の補助パターン32の両方とも、隣り合うメインパターン10間で共有したレイアウト例を示す。
次に、前述した本発明の実施形態に係るフォトマスクを用いた半導体装置の製造方法について、図11を参照し説明する。
まず、電子線描画により前述したメインパターン10、第1の補助パターン11および第2の補助パターン12を形成し、フォトマスクを作成する(ステップ111)。
次に、半導体ウェーハにおける被加工膜上に形成したレジストに対して、ダイポール照明光を上記フォトマスクを介して露光する(ステップ112)。このとき、メインパターン10に対応したパターン(例えば真円もしくは正方形のコンタクトホールパターン)のみがレジストに転写され、限界解像度を下回るサイズの補助パターン11、12は転写されない。
次に、レジストを現像(ステップ113)した後、そのレジストをマスクにして被加工膜をエッチングする(ステップ114)ことで、被加工膜にメインパターン10に対応したパターンが形成される。
以上、具体例を参照しつつ本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明は、それらに限定されるものではなく、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
前述したメインパターン、第1の補助パターンおよび第2の補助パターンの形状、サイズ、個数、配置位置は一例であって、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更可能である。
10…メインパターン、11,31…第1の補助パターン、12,32…第2の補助パターン、18…ダイポール照明、19a,19b…発光領域、L1…第1の直線、L2…第2の直線
Claims (5)
- ダイポール照明光を用いた露光によるパターン転写に用いられるフォトマスクであって、
被転写体に形成される実パターンに対応して形成され、前記被転写体に転写されるメインパターンと、前記メインパターンの周囲に形成され、前記被転写体には転写されない補助パターンと、を備え、
前記ダイポール照明光が入射する面において、前記ダイポール照明光の有効光源分布の配列方向に対して平行で且つ前記メインパターンを通る直線を第1の直線、前記メインパターンを通り前記第1の直線に対して直交する直線を第2の直線とすると、
前記補助パターンは、中心が前記第1の直線上に位置する第1の補助パターンと、中心が前記第1の直線と前記第2の直線との間の領域に位置する第2の補助パターンと、を有することを特徴とするフォトマスク。 - 1つの前記メインパターンにつき、2つの前記第1の補助パターンが前記メインパターンを挟む位置に形成されていることを特徴とする請求項1記載のフォトマスク。
- 前記第1の直線と前記第2の直線とによって区切られた前記メインパターンの周囲の4つの領域のそれぞれに、前記第2の補助パターンが形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のフォトマスク。
- 前記第2の補助パターンの少なくとも2つは、前記メインパターン又は前記第1の補助パターンを中心として対称に配置されていることを特徴とする請求項3記載のフォトマスク。
- 請求項1記載のフォトマスクを介して前記ダイポール照明光をレジストに照射する露光工程と、
前記露光工程の後、前記レジストを現像する現像工程と、
前記現像工程の後、前記レジストをマスクとして前記被転写体をエッチングするエッチング工程と、
を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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US9857676B2 (en) | 2013-05-27 | 2018-01-02 | International Business Machines Corporation | Method and program product for designing source and mask for lithography |
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