JP2010054650A - 光走査装置および画像記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】部品種類が少なく安価な構成で二次元走査が可能な光走査装置を提供するとともに、この光走査装置を用いて往復走査記録させたときでも画像品質の良好な画像記録装置を提供する。
【解決手段】光源からのレーザ光を垂直方向に偏向する第一の振動ミラー１０と、この第一の振動ミラー１０からの光を水平方向に偏向する第二の振動ミラー２０により二次元走査を行う光走査装置である。このような光走査装置において、片方の振動ミラーの共振周波数が他方の振動ミラーの共振周波数の２倍になる関係で駆動され、両振動ミラーは両端が固定された梁の中央にミラーが設置された構成で、同一形状の振動板が用いられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、光源からの光を走査させるための光走査装置と、その光走査装置を用いて画像を形成しその画像の記録を行う画像記録装置とに関する。

レーザプリンタ等の画像形成装置は、レーザ光を走査することにより、感光体（感光ドラム）上に潜像を形成する。このようなレーザ光の走査は、レーザスキャニングユニットと呼ばれる光走査装置により実現される。レーザスキャニングユニットは、形成画像に応じて変調されて光源から出射されたレーザ光をミラーにより偏向し、偏向したレーザ光を感光体上にスポット状に結像する。この種のレーザスキャニングユニットに使用される偏向ミラーとして、複数の反射面を有するポリゴンミラーが広く知られている。ポリゴンミラーを備えるレーザスキャニングユニットは、モータ等の駆動手段によりポリゴンミラーを一方向に回転させることによりレーザ光を偏向する。

近年の書込速度高速化の要求に応じて、ポリゴンミラーの回転速度は高まっているが、ポリゴンミラーの回転数を高めると、風切音やモータの振動等に起因して発生する音が大きくなり静寂性を確保することが困難になる。また、ポリゴンミラーを備えるレーザスキャニングユニットは、モータ等の駆動手段を備える必要があるため、小型化や軽量化が困難であるという問題もある。このため、レーザスキャニングユニットに往復型の偏向ミラーが使用されることもある。

このような往復型の偏向ミラーとして振動ミラーが知られている。この振動ミラーは、レーザ光の走査方向に対して垂直方向に配置されたねじり回転軸を有する機械的振動子により構成されている。そして、振動子に支持されたミラーを往復振動させることでレーザ光を走査させる。

近年、このような振動ミラーの製造に半導体製造技術が適用されるようになっている。このような振動ミラーは、単結晶シリコン基板等の半導体基板を加工することにより形成され、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）振動ミラーとして注目されている（例えば、特許文献１、２等参照。）。
特開２００３−８４２２６号公報 特開２００１−３０５４７２号公報 ＵＳ特許７００９７４８号

しかしながら、上述のようなＭＥＭＳ振動ミラーをレーザプリンタなどに適用した場合、振動ミラーの振動の片方向（一方の向き）だけを用いて記録を行うと、記録速度が落ちるとともに、記録に用いている時間の全体に対する割合が小さいため、効率が悪い。一方で、往復振動の両方向（両方の向き）において記録を行うと、ビームの往復の主走査の間に感光体が副走査方向に移動することになる。このため、ビームが感光体上でＺ字状の軌跡を描くことになり、走査の左右で副走査方向のドットピッチが変化してしまい、画像品質の低下を招いてしまう。

また、これに対して、主走査方向用と副走査方向用の２つの振動ミラーによって副走査方向の軌跡を補正することによって画像品質の低下を防止する方法も提案されている。（例えば、上記特許文献３）しかしながら、２つの異なる振動板を使用する必要があり部品種類が多くなり高価になるなどの課題があった。

本発明は、このような実情を鑑みて従来の課題を解決するものであって、部品種類の少ない安価な構成で副走査方向の補正を可能とする光走査装置を提供することを目的としている。また、上記光走査装置を用い、画像品質劣化のない画像記録装置を提供することを目的としている。

上記目的を達成するため、本発明は以下の技術的手段を採用している。本願発明に係る光走査装置は、光源と、前記光源からの光を反射して走査する第一の振動ミラーと、前記第一の振動ミラーで走査した光を反射し前記第一の振動ミラーによる走査方向と直交する方向に走査する第二の振動ミラーを備えている。そして、前記のどちらか一方の振動ミラーの共振周波数が他方の振動ミラーの共振周波数の２倍となる振動モードで駆動される。前記第一の振動ミラーと前記第二の振動ミラーは両端が固定された梁からなる振動板と前記梁の中央に設置されたミラーを含んだ構成であり、前記第一の振動ミラーと前記第二の振動ミラーには同一形状の振動板が用いられる。

また、本願発明に係る光走査装置は、第一の振動ミラーと第二の振動ミラーは振動板の梁が光軸に対して互いに直交する方向に配置される。そして、前記第一の振動ミラーおよび前記第二の振動ミラーともに前記振動板の梁を軸にしてねじり振動するモードで振動するよう構成されてもよい。

本発明によれば、部品種類が少なく安価な構成で二次元的に光の走査軌跡の補正が可能な光走査装置、又は、高速記録が可能で画像品質の良好な画像記録装置を提供することが可能である。

本願発明に係る光走査装置の第１の実施形態は、光源と、前記光源からの光を反射して走査する第一の振動ミラーと、前記第一の振動ミラーで走査した光を反射し前記第一の振動ミラーによる走査方向と直交する方向に走査する第二の振動ミラーを備える。前記のどちらか一方の振動ミラーの共振周波数が他方の振動ミラーの共振周波数の２倍となる振動モードで駆動される。そして、前記第一の振動ミラーと前記第二の振動ミラーは両端が固定された梁からなる振動板と前記梁の中央に設置されたミラーを含んだ構成となっている。また、前記第一の振動ミラーと前記第二の振動ミラーには同一形状の振動板が用いられている。

また、本願発明に係る光走査装置の第２の実施形態は、第一の振動ミラーと第二の振動ミラーが振動板の梁が光軸に対して互いに直交する方向に配置されている。そして、前記第一の振動ミラーおよび前記第二の振動ミラーともに前記振動板の梁を軸にしてねじり振動するモードで振動するよう構成されている。

また、本願発明に係る光走査装置の第３の実施形態は、第１の実施形態において、第一の振動ミラーと第二の振動ミラーは振動板の梁が光軸に対して同一方向となるよう配置される。そして、前記第一の振動ミラーと前記第二の振動ミラーのどちらか一方の振動ミラーは前記振動板の梁を軸としてねじり振動するモードで振動するとともに他方の振動ミラーはミラー位置が振動の節となる梁の曲げ振動モードで振動するよう構成される。

このような構成によれば、２つの振動ミラーに同一形状の振動板を用いることができ、部品の種類を減らすとともに安価な構成で二次元的に走査軌跡の補正が可能な装置を提供することが可能となる。

また、本願発明に係る画像記録装置の実施形態は、上記第１〜３のいずれかの実施形態の光走査装置を備え、前記光走査装置からの光が走査面上を走査し、前記走査面が前記光走査装置に対して相対的に移動しながら記録を行う画像記録装置である。そして、このような画像記録装置において、前記走査面の相対的移動に同期して光の軌跡を補正する補正手段を備えている。本構成によれば、記録に用いる光の軌跡の補正を安価な構成で実現することが可能となる。

以下、本発明の最良の実施形態について、その実施例を、図面を参照しながら詳細に説明する。

（実施例１：レーザスキャニングユニットの構成１）
本発明に係る光走査装置をレーザスキャニングユニットに適用したときの構成例を図１に示す。レーザスキャニングユニット５０は、光源５２、第一の振動ミラー１０、第二の振動ミラー２０、結像レンズ系５４、アパーチャ５５、シリンドリカルレンズ５６、反射ミラー６４、振幅検出センサ６５、スリット６６を筐体５１内に備える。

光源５２は、回路基板６３上に実装されたレーザダイオード６１と、コリメータレンズ６２とを備える一体のユニットとして構成されている。回路基板６３は、外部から入力される画像信号にしたがってレーザダイオード６１が出射するレーザ光の強度変調を行う。変調されたレーザ光はコリメータレンズ６２に入射される。コリメータレンズ６２は、円筒形状のガラスまたはプラスチックのレンズからなり、レーザダイオード６１から出力されたレーザ光をコリメータレンズ６２の光軸と一致した略平行光に変換して出力する。なお、レーザダイオード６１の発光点は、コリメータレンズ６２の焦点に配置されている。

光源５２から出力されたレーザ光は、アパーチャ５５、シリンドリカルレンズ５６を通じて第一の振動ミラー１０の反射面に入射される。第一の振動ミラー１０はねじり軸がレーザスキャニングユニット５０の底面に対して平行方向になるよう配置されている。これにより入射したレーザ光を前記底面に対して垂直方向に偏向する。

次に、第一の振動ミラー１０によって反射されたレーザ光は第二の振動ミラー２０の反射面に入射される。第二の振動ミラー２０はねじり軸がレーザスキャニングユニット５０の底面に対して垂直方向となるよう配置されている。上記のように、第一の振動ミラー１０と第二の振動ミラー２０はねじり軸が互いに直交するよう配置されている。第二の振動ミラー２０によって今度はレーザ光を前記底面に対して水平方向に偏向する。

第二の振動ミラー２０により偏向されたレーザ光は結像レンズ系５４に入射される。ここでは、結像レンズ系５４は、２枚のアクリルレンズにより構成されており、第二の振動ミラー２０により偏向されたレーザ光を、走査面上にスポット状に結像させる。すなわち、結像レンズ系５４は、正弦的に振動する第二の振動ミラー２０により反射され、入射角が時間とともに三角関数的に変化するレーザ光を、走査面上に等間隔なスポット列として結像させるアークサインθレンズになっている。

反射ミラー６４および振幅検出センサ６５およびスリット６６は、第二の振動ミラー２０によって走査面を水平方向に走査する領域の両方の外側に１組ずつ設けられている。走査されたレーザ光は反射ミラー６４で反射された後、スリット６６を通って振幅検出センサ６５に入射されるよう構成されている。また、振幅検出センサ６５は図示しない制御回路に接続されている。

第二の振動ミラー２０は、これらの反射ミラー６４を越えて外側まで走査されるよう大きな振幅を持って振動するよう駆動され、これにより１往復の振動の間にそれぞれの振幅検出センサ６５から２回ずつ検出信号が出力される。ここで、２つの振幅検出センサ６５からの信号間の時間が一定になるよう制御すれば、第二の振動ミラー２０のねじり振動の振幅は一定に保たれ、これにより画像も所定の位置に記録される。

また、スリット６６は図２に示すように光が通過するスリット幅が副走査方向に次第に変化するような形状となっている。このため、ビームの副走査方向における通過位置が変化するとスリットを横切るのにかかる時間が変化し、振幅検出センサ６５における検出パルス幅や検出光量が変化するよう構成されている。したがって、ビームが通過するときの検出パルス幅や検出光量によってビームが通過する副走査位置を検出することが可能となる。

以上のような構成において、第一の振動ミラー１０の共振周波数は第二の振動ミラー２０の共振周波数の２倍となるよう構成されている。このように共振周波数が２倍であるために、両者をそれぞれの共振周波数で駆動し、両者の振動の原点位置が一致するような位相に合わせることにより、図３（ａ）に示すような８の字状のレーザ光軌跡を繰り返し描くことが可能である。

次に、上記第一の振動ミラー１０の振動部の構造について説明する。図４は、第一の振動ミラー１０の振動部の構造を示す概略斜視図である。図４に示すように、第一の振動ミラー１０は、プレス加工により成形された振動板１と、ミラー５と、永久磁石６とを備え、これらはそれぞれ接着剤により貼り合わされて構成されている。ここで、振動板１はチタン合金などの金属材料で構成され、本実施形態では、チタン合金（Ｔｉ−１５Ｖ−３Ｃｒ−３Ｓｎ−３Ａｌ、ＡＭＳ４９１４）を採用している。永久磁石６は円盤形状で希土類材料の磁石が用いられており円盤の面の表裏方向に着磁されている。

永久磁石６と反対の面にはミラー５が設置されており、ミラー５はシリコンやガラスなどの材料をベースとしてアルミ材料などの反射膜が設けられさらにその上に保護膜が設けられて構成される。第一の振動ミラー１０におけるミラー５に入射するレーザ光スポットは水平方向に大きく垂直方向に小さい形状となっており、ミラー５はこれに合わせて水平方向に長く垂直方向に短い形状で構成されている。

振動板１は、矩形状の枠体２と、両端が枠体２に支持された梁３と、梁３の中央に設けられミラー５および永久磁石６が固定される支持部４とから構成されており、これらが一枚の板から一体的に形成されている。振動板１は梁３をねじり振動軸として往復振動する。梁３は上記のレーザスキャニングユニットの底面に対して平行となるよう配置される。コア８は振動板１に平行な面から見て永久磁石６を垂直方向における両側から挟むように配置されている。コイル９はコア８を磁化し、コイル９に交番で電流を流すことによって、永久磁石６に対して交番磁界を加え振動板１に対してねじり方向（梁３がねじれる方向）に振動を与える。

次に、上記第二の振動ミラー２０の構造を図５によって説明する。第二の振動ミラー２０における振動板２１には第一の振動ミラー１０の振動板１と同じ振動板が使用されている。また、永久磁石２６にも第一の振動ミラー１０の永久磁石６と同じ磁石が使用されている。第二の振動ミラー２０は梁２３がレーザスキャニングユニットの底面に対して垂直となるように配置され、梁２３をねじり軸として往復振動する。ミラー２５に入射するレーザ光スポットも水平方向に大きく垂直方向に小さい形状となっており、ミラー２５は水平方向に長く垂直方向に短い形状で構成されている。コア２８は振動板２１に平行な面から見て永久磁石２６を水平方向における両側から挟むように配置されている。コイル２９はコア２８を磁化し、コイル２９に交番で電流を流すことによって、永久磁石２６に対して交番磁界を加え振動板２１に対してねじり方向（梁２３がねじれる方向）に振動を与える。

振動ミラーのねじり振動における共振周波数ｆ₀は、ねじり梁のばね定数Ｋと、ミラーと永久磁石と振動板の支持部の合計慣性モーメントＪとにより、以下の式１で示される。

ところで、前述のように、第一の振動ミラー１０の共振周波数は、第二の振動ミラー２０の共振周波数の２倍になるように設定されている。両振動ミラーには同じ振動板が用いられているため、ばね定数Ｋは同じ値となる。この場合、第一の振動ミラー１０の慣性モーメントが第二の振動ミラーの慣性モーメントの４分の１になるように設計することで、第一の振動ミラー１０の共振周波数が第二の振動ミラーの共振周波数の２倍となる関係にすることが可能である。両振動ミラーにおいて永久磁石と振動板の支持部も同一であり、これらの部分のねじり軸回りの慣性モーメントも同じになるため、ミラーの形状及び質量によって慣性モーメントが調整されて上記の関係が形成される。

（実施例２：レーザスキャニングユニットの構成２）
次に本発明に係る第２の実施例としての光走査装置について説明する。

図６は本発明に係る光走査装置をレーザスキャニングユニットに適用したときの構成例の概略平面図で、図７に示す第一の振動ミラー３０と図８に示す第二の振動ミラー４０が用いられている。その他の構成物については前記実施例１のレーザスキャニングユニットと同様である。

本実施例においては、第一の振動ミラー３０は、図７に示すように、振動板３１と、ミラー３５と、永久磁石３６とを備え、これらがそれぞれ接着剤によって貼り合わされて構成されている。振動板３１は、矩形状の枠体３２と、両端が枠体３２に固定された梁３３と、梁３３の中央に設けられミラー３５と永久磁石３６が固定される支持部３４とから構成されている。

振動板３１は、図９に側面図を示すように梁３３の両端を固定端とし支持部３４が振動の節となる２次の曲げ振動モードで振動する。この曲げ振動モードにおいては、支持部３４と支持部３４に取り付けられたミラー３５は振動の節に位置するため、光軸方向の移動は発生しない。梁３３は上記のレーザスキャニングユニットの底面に対して垂直方向となるよう配置される。コア３８は振動板３１に平行な面から見て永久磁石３６を垂直方向における両側から挟むように配置されている。コイル３９はコア３８を磁化し、コイル３９に交番で電流を流すことによって、永久磁石３６に対して交番磁界を加え振動板３１に対し曲げ方向に振動を与える。これにより、光源からのレーザ光をレーザスキャニングユニットに対して垂直方向に偏向させる。

第二の振動ミラー４０は図８に示すように実施例１における第二の振動ミラー２０とほぼ同じ構成で、レーザスキャニングユニットの底面に垂直に配置された梁４３を中心軸にしたねじり振動が行われる。第一の振動ミラー３０によって反射された光は第二の振動ミラー４０によって水平方向に偏向走査される。上記の構成において、第一の振動ミラー３０の曲げ振動の共振周波数が第二の振動ミラー４０のねじり振動の共振周波数の２倍になるように設定されている。両者をそれぞれの共振周波数で駆動し、両者の振動の原点位置が一致するような位相に合わせることにより、８の字状のレーザ光軌跡を繰り返し描くことが可能である。

なお、上記の２つの実施例においては、第一の振動ミラーで垂直方向の偏向を行い、第二の振動ミラーで水平方向の偏向を行っているが、第一の振動ミラーで水平方向の偏向を行い、第二の振動ミラーで垂直方向の偏向を行うような構成としても構わない。

（実施例３：画像記録装置の構成）
次に、上記のように構成されたレーザスキャニングユニットを備える本発明に係る画像記録装置の構成例について説明する。

図１０は、当該画像記録装置の主要部の概略構成平面図である。

レーザスキャニングユニット５０は上記の図１で説明した構成の第一の振動ミラー１０と第二の振動ミラー２０を備え、感光体７０はレーザスキャニングユニット５０により走査されたレーザ光により潜像記録が行われる。感光体７０は記録が行われている間、図示の矢印Ｆの方向に一定速度で回転走査される。感光体７０に潜像が記録された後、公知の電子写真記録方法によって用紙上への記録が行われる。

上記のような構成の画像記録装置において、第一の振動ミラー１０に対する駆動周波数が第二の振動ミラー２０に対する駆動周波数の２倍になるような周波数関係で駆動する。これとともに、第一の振動ミラー１０の振動の原点が第二の振動ミラーの振動の原点と一致するような位相関係で駆動することにより、図３（ａ）のような８の字状のレーザ光軌跡を描かせることが可能である。

すなわち、上記のような構成において、感光体７０が図１０の矢印Ｆの方向に一定速度で回転しながら記録が行われるときに、感光体７０に対し図１０中の左側から右側に向けて記録が行われるときに走査ビームを図３（ａ）の矢印Ｇ方向になるように走査させる。これととともに、図１０中の右側から左側に向けて記録が行われるときに図３（ａ）の矢印Ｈ方向の走査が行われるように補正する補正手段（図示せず）を設ければ、往復記録時のビーム走査を副走査方向において、ほぼ平行になるように補正できる。ここで、補正手段とは、当該画像記録装置に内蔵されたプログラムである。なお、副走査方向の補正量は、第一の振動ミラー１０の振幅を変えることで調整することが可能である。

レーザ光が走査されるときに振幅検出センサ６５から出力される信号を図１１に示す。

図１１において、周期Ｔが主走査における１周期を表す。この１周期中に振幅検出センサ６５からは左右それぞれ２個ずつ合計４個のパルスが出力される。即ち、図面左側の振幅検出センサ６５を外側に向かって通過するときに1個、内側に向かって通過するときに１個、さらに図面右側の振幅検出センサ６５を外側に向かって通過するときに１個、内側に向かって通過するときに１個の、合計４個のパルスが出力される。図中において、パルスＡとパルスＢとが左の振幅検出センサからのパルスで、パルスＣとパルスＤとが右の振幅検出センサからのパルスである。第一の振動ミラー１０の振動と第二の振動ミラー２０の振動の位相関係と振幅はこれら２個の振幅検出センサ６５によって検出することができる。

まず、第二の振動ミラーによる水平方向の走査の振幅は、２個の振幅検出センサ６５から出力されるパルスの間隔（図中のＴ₁およびＴ₂）によって検出することが可能である。次に第一の振動ミラー１０と第二の振動ミラー２０の振動の位相関係については、以下の方法により検出可能である。

つまり、２個の振幅検出センサ６５を通過した際に出力される各検出パルスＡ、Ｂ、Ｃ、Ｄのパルス幅Ｔ_A、Ｔ_B、Ｔ_C、Ｔ_Dによりビームが副走査方向のどの位置を通過したか検出することができる。もし各振幅検出センサ６５を通過するビームの副走査方向位置が往復走査時に副走査方向における振動原点位置に対して対称になっていない場合には、第一の振動ミラーの振動原点と第二の振動ミラーの振動原点が一致しない位相で駆動されていることがわかる。例えば、図３（ｂ）のように主走査方向と副走査方向の原点が一致しない軌跡を描いている場合には、副走査方向のビーム通過位置が振動原点に対して対称とならない。また、第一の振動ミラー１０の振幅についても、２個の振幅検出センサ６５から出力されるパルス幅によって副走査方向のビーム通過位置を検出することで振幅を検出することが可能である。

これらの方法によって測定された結果に基づき、図示しないプログラムによって振幅および位相の制御が行われて両振動ミラーが駆動される。また、走査の方向は、振幅検出センサによる検出パルスのタイミングに基づき、第一の振動ミラーおよび第二の振動ミラーの駆動信号の位相によって制御される。

以上のように、本発明の画像記録装置によれば、振動ミラーの往復とも記録に用いることができるため記録の高速化が可能である。また、往復記録時に走査ビームの副走査方向における位置補正を行うことができ、副走査方向にほぼ一定間隔の記録を行うことができて画像品質を良好に保つことが可能である。

なお、本発明は上述した各実施形態に限定される趣旨ではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲において、種々の変形および応用が可能である。例えば、上記実施形態では、振動板に金属材料を用いた場合について説明したが、シリコン材料を用いた場合でも 適用可能である。

以上説明したように、本発明によれば、部品種類が少なく安価な構成で二次元走査が可能な光走査装置を提供することが可能であり、また、高速記録が可能で画像品質の良好な画像記録装置を提供することが可能である。

本発明の光走査装置及び画像記録装置は、画像形成装置、レーザプリンタ、デジタル複写機などに利用することが可能である。

本発明の実施例１におけるレーザスキャニングユニットの構造図。 スリットの形状を示す図。 光走査装置により走査されるビームの軌跡を示す図。 本発明の実施例１における第一の振動ミラーの構造を示す概略斜視図。 本発明の実施例１における第二の振動ミラーの構造を示す概略斜視図。 本発明の実施例２におけるレーザスキャニングユニットの構造図。 本発明の実施例２における第一の振動ミラーの構造を示す概略斜視図。 本発明の実施例２における第二の振動ミラーの構造を示す概略斜視図。 本発明の実施例２おける第一の振動ミラーの振動モードを示す図。 本発明の画像記録装置の概略平面図。 光走査装置の走査時に振幅検出センサから出力されるパルスを示す図。

符号の説明

１、２１、３１、４１ 振動板
２、２２、３２、４２ 枠体
３、２３、３３、４３ 梁
４、２４、３４、４４ 支持部
５、２５、３５、４５ ミラー
６、２６、３６、４６ 永久磁石
８、２８、３８、４８ コア
９、２９、３９、４９ コイル
１０ 第一の振動ミラー
２０ 第二の振動ミラー
３０ 実施例２における第一の振動ミラー
４０ 実施例２における第二の振動ミラー
５０ レーザスキャニングユニット
５２ 光源
５４ 結像レンズ系（アークサインθレンズ）
５６ シリンドリカルレンズ
６４ 反射ミラー
６５ 振幅検出センサ
６６ スリット
７０ 感光体

Claims (4)

1. 光源と、
   両端が固定された梁からなる振動板、及びその振動板の中央に設置されたミラーを具備し、前記光源からの光を反射して一の方向に走査する第一の振動ミラーと、
   前記第一の振動ミラーで走査された光を反射して、前記一の方向とは直交する方向に走査する第二の振動ミラーと、
   を備え、
   前記第一の振動ミラー及び前記第二の振動ミラーは、互いに同一形状の前記振動板がそれぞれに用いられており、その第一又はその第二のどちらか一方の振動ミラーの共振周波数が他方の振動ミラーの共振周波数の２倍となる振動モードを有する、
   ことを特徴とする光走査装置。
2. 前記第一の振動ミラーと前記第二の振動ミラーとは、それぞれの梁が互いに直交する方向に配置され、かつ、その第一の振動ミラーおよびその第二の振動ミラーはともにそれぞれの梁を軸にしてねじり振動する、請求項１記載の光走査装置。
3. 前記第一の振動ミラーと前記第二の振動ミラーとは、それぞれの梁が同一方向となるように配置され、かつ、その第一の振動ミラー及びその第二の振動ミラーのうち一方の振動ミラーはその梁を軸としてねじり振動するとともに、他方の振動ミラーはその梁におけるミラーの設置された位置が振動の節となる梁の曲げ振動する、請求項１記載の光走査装置。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の光走査装置を備え、前記光走査装置からの光が走査面上を走査し、かつ前記走査面が前記光走査装置に対して相対的に移動しながら、前記走査面上に画像の記録を行う画像記録装置であって、
   前記走査面に対する走査の、その走査面の相対的移動の方向に直交した方向における位置及び向きの変化に同期して、光の前記走査面に対する走査の方向を補正する補正手段を備える
   ことを特徴とする画像記録装置。

Images