JP2010053373A5

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Publication number: JP2010053373A5
Application number: JP2008216838A
Authority: JP
Filing date: 2008-08-26
Publication date: 2011-09-29
Anticipated expiration: 2028-08-26

Description

本発明の蒸着装置は、光入射側に互いに所定の角度をなすように形成された第１面及び第２面を有するスクリーンに蒸着により反射層を形成する蒸着装置であって、前記スクリーンを支持する支持部材と、前記第１面に対向配置され、蒸着材料を蒸発させて前記第１面に前記反射層を形成する蒸発源とを備えることを特徴とする。 Deposition apparatus of the present invention is a vapor deposition apparatus for forming a reflective layer by vapor deposition on a screen having a first surface and a second surface formed to each other to form a predetermined angle to the light incident side, a pre-Symbol screen And a supporting member that supports the first surface, and an evaporation source that evaporates an evaporation material and forms the reflective layer on the first surface.

本発明によれば、スクリーンに反射層を形成する蒸発源が、当該スクリーンに形成された第１面及び第２面のうち、第１面に対向するように設けられているので、例えば、前述した第１面及び第２面を有するスクリーンにおける当該第１面に反射層を形成しやすくすることができるとともに、第２面に反射層を形成しにくくすることができる。すなわち、画像光が入射される第１面に対してのみ、蒸着材料を付着させることができる。従って、スクリーンの適切な箇所に反射層を形成することができ、このようなスクリーンを用いることにより、蛍光灯等の外光が、第２面や観察者に向かって反射することを防止でき、ひいては視認される画像光のコントラストの低下を抑制することができる。 According to the present invention, the evaporation source for forming the reflective layer on the screen is provided so as to face the first surface among the first surface and the second surface formed on the screen. it is possible to easily form a reflective layer on the first surface of the screen with a first surface and a second surface that can be difficult to form a reflective layer on the second surface. That is, with respect to the first surface on which the image light is Ru is incident only can Rukoto depositing a vapor deposition material. Therefore, a reflective layer can be formed at an appropriate location on the screen, and by using such a screen, external light such as a fluorescent lamp can be prevented from being reflected toward the second surface and the viewer, As a result, it is possible to suppress a decrease in contrast of visually recognized image light.

本発明では、前記支持部材は、前記スクリーンを鉛直方向に沿って、前記第１面が鉛直方向先端側を向くように支持し、前記蒸発源は、前記支持部材により支持された前記スクリーンの鉛直方向先端側に配置されていることが好ましい。
本発明によれば、鉛直方向に沿って配置されたスクリーンに対して、蒸発源が鉛直方向先端側、すなわち、下側に位置している。ここで、蒸発源により蒸発した蒸着材料は、当該蒸発源から上方に向かって進行するので、電子銃等を用いることなく、第１面及び第２面のうち、蒸発源に対向する第１面に、当該蒸発源によって蒸発した蒸着材料を付着させることができる。従って、蒸着装置の構成を簡略化することができる。 In the present invention, the support member supports the screen along the vertical direction so that the first surface faces the front end side in the vertical direction, and the evaporation source is a vertical of the screen supported by the support member. It is preferable that it is arranged on the direction tip side.
According to the present invention, the evaporation source is located on the vertical front end side, that is, on the lower side with respect to the screen arranged along the vertical direction. Here, since the vapor deposition material evaporated by the evaporation source proceeds upward from the evaporation source , the first surface facing the evaporation source among the first surface and the second surface without using an electron gun or the like. Further, the vapor deposition material evaporated by the evaporation source can be attached. Therefore, the configuration of the vapor deposition apparatus can be simplified.

本発明では、前記支持部材により支持された前記スクリーンを、前記第１面及び前記第２面が配列される所定の方向に沿う回転軸を中心として回動させる回動手段を備えることが好ましい。
本発明によれば、支持部材が、回動手段により前記所定の方向に沿う回転軸を中心として回転するため、前述したスクリーンにおいて第１面及び第２面が前記所定の方向に直交する方向に沿ってそれぞれ形成されている場合に、当該第１面のみが、蒸発源と常時、対向する位置となる。これによれば、第１面にのみ蒸着材料を付着させて反射層を形成でき、蒸発源からの蒸着材料をむら無くスクリーンに付着させることができる。また、回動手段の回転により、スクリーンが搬送される場合には、当該スクリーンに連続して反射層を形成することができるので、スクリーンの生産性を向上することができる。 In this invention, it is preferable to provide the rotation means which rotates the said screen supported by the said supporting member centering on the rotating shaft along the predetermined direction in which the said 1st surface and the said 2nd surface are arranged .
According to the present invention, the support member, for rotation about a rotation axis along the predetermined direction by the rotation means, in the direction in which the first and second surfaces are perpendicular to the predetermined direction in the screen described above if along are formed respectively, only the first surface, the evaporation source and constantly that Do the opposite position. According to this, by only attaching the deposition material on the first surface can form a reflective layer, an evaporation material from the evaporation source can be attached to evenly screen. Further, when the screen is conveyed by the rotation of the rotating means, the reflective layer can be formed continuously on the screen, so that the productivity of the screen can be improved.

本発明では、前記支持部材により支持された前記スクリーンと前記蒸発源との間に介装され、前記蒸発源により蒸発された前記蒸着材料を遮蔽して、前記蒸着材料を前記第１面に略均一に付着させる遮蔽部材を備えることが好ましい。
本発明によれば、遮蔽部材により、蒸発源で蒸発された蒸着材料のスクリーンへの付着範囲が制限されるので、蒸発源に近い位置にあるスクリーンに蒸着材料が付着することを抑制でき、反射層の膜厚を小さくできる。従って、蒸発源から近い位置での膜厚と遠い位置での膜厚とを略均一にできる。
本発明では、前記第１面及び前記第２面は、互いに交差し、かつ、鉛直方向に沿って交互に形成されていることが好ましい。 In the present invention, the vapor deposition material interposed between the screen supported by the support member and the evaporation source, shields the vapor deposition material evaporated by the evaporation source, and the vapor deposition material is substantially disposed on the first surface. It is preferable to provide a shielding member that uniformly adheres.
According to the present invention, the shielding member restricts the deposition range of the vapor deposition material evaporated by the evaporation source on the screen, so that it is possible to suppress the deposition material from adhering to the screen located near the evaporation source, and to reflect The film thickness of the layer can be reduced. Therefore, the film thickness at a position near the evaporation source and the film thickness at a position far from the evaporation source can be made substantially uniform.
In the present invention, it is preferable that the first surface and the second surface intersect with each other and are alternately formed along the vertical direction.

坩堝４は、図２に示すように、内部に蒸着材料を充填する容器４１と、容器４１の下部に設けられるヒータ４２とを備え、容器４１はヒータ４２により加熱される。このようにして、蒸発された蒸着材料は、坩堝４の上方に形成された開口を介してスクリーン７に下方から付着され、これによりスクリーン７に後述する反射層７２１が形成される。
この坩堝４は、前述のように、移動機構２３によって支持され、鉛直方向に沿って上下に移動する。坩堝４の設置位置は、スクリーン７の大きさや形状等に応じて設定されるが、蒸着材料をスクリーン７に対して斜め下方から付着させるため、当該スクリーン７の斜め下方に設置される。なお、蒸着材料は、本実施形態では、アルミニウム等の金属片が採用されているが、これに限らず、他の材料であってもよい。 As shown in FIG. 2, the crucible 4 includes a container 41 filled with a vapor deposition material, and a heater 42 provided at the lower portion of the container 41, and the container 41 is heated by the heater 42. In this way, the evaporated vapor deposition material is attached to the screen 7 from below through the opening formed above the crucible 4, whereby a reflective layer 721 described later is formed on the screen 7.
As described above, the crucible 4 is supported by the moving mechanism 23 and moves up and down along the vertical direction. Installation position of the crucible 4 is set according to the size and shape of the screen 7, because deposited obliquely from below an evaporation material to the screen 7, are disposed obliquely downward of the screen 7. In this embodiment, the vapor deposition material is a piece of metal such as aluminum, but is not limited thereto, and may be another material.

このような坩堝４とスクリーン７との間には、遮蔽板４３が摺動自在に設けられている。ここで、坩堝４により蒸発された蒸着材料は、スクリーン７の後述する第１面としての傾斜面７２に向かって進行して、当該スクリーン７に付着する。しかしながら、蒸着材料は、スクリーン７において坩堝４から近い位置に付着しやすいため、当該坩堝４に近い位置の膜厚は、坩堝４から遠い位置の膜厚よりも厚くなる。そのため、遮蔽板４３を進退させることで、坩堝４に近い位置に対して付着する蒸着材料の量を減少させることで、坩堝４より遠い位置の膜厚との差を少なくする。 A shielding plate 43 is slidably provided between the crucible 4 and the screen 7. Here, the vapor deposition material evaporated by the crucible 4 advances toward an inclined surface 72 as a first surface, which will be described later, of the screen 7 and adheres to the screen 7. However, the deposition material, and it is easily attached to a position close to the crucible 4 at the scan clean 7, the thickness of the position close to the crucible 4 is thicker than the thickness of a position far from the crucible 4. Therefore, by moving the shielding plate 43 back and forth, the amount of vapor deposition material adhering to a position close to the crucible 4 is reduced, thereby reducing the difference from the film thickness at a position farther from the crucible 4.

[スクリーンの構成]
図３は、蒸着装置１で蒸着材料が付着されたスクリーン７の一部を破断した図である。
蒸着装置１により反射層が形成されるスクリーン７は、画像光を斜め下方から近接投射するプロジェクタ（図示略）に用いられるものである。
このスクリーン７の光入射側には、当該スクリーン７を鉛直方向に沿って壁等に配置した際に、それぞれ水平方向に沿って延出し、かつ、互いに鉛直方向に沿って交互に形成された第２面としての水平面７１及び傾斜面７２が形成され、これらにより光入射側の面は断面視略鋸歯状に形成されている。 [Screen structure]
FIG. 3 is a view in which a part of the screen 7 to which the vapor deposition material is adhered is broken by the vapor deposition apparatus 1.
The screen 7 on which the reflective layer is formed by the vapor deposition apparatus 1 is used for a projector (not shown) that projects image light from an obliquely lower position.
On the light incident side of the screen 7, when the screen 7 is arranged on a wall or the like along the vertical direction, the screen 7 extends along the horizontal direction and is alternately formed along the vertical direction. A horizontal plane 71 and an inclined plane 72 are formed as two planes, and the plane on the light incident side is formed in a substantially sawtooth shape in sectional view.

１…蒸着装置、４…坩堝（蒸発源）、６…モータ（回動手段）、７…スクリーン、２３…移動機構、３３…冷却ロール（支持部材）、３５…回転軸、４３…遮蔽板（遮蔽部材）、７１…水平面（第２面）、７２…傾斜面（第１面）、７２１…反射層。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Deposition apparatus, 4 ... Crucible (evaporation source), 6 ... Motor (rotating means), 7 ... Screen, 23 ... Moving mechanism, 33 ... Cooling roll (supporting member), 35 ... Rotating shaft, 43 ... Shielding plate ( Shield member), 71 ... Horizontal plane ( second surface), 72 ... Inclined surface ( first surface), 721 ... Reflective layer.

Claims

A vapor deposition apparatus for forming a reflective layer by vapor deposition on a screen having a first surface and a second surface formed to form a predetermined angle with each other on a light incident side ,
And a support member for supporting the previous Symbol screen,
An evaporation apparatus, comprising: an evaporation source disposed opposite to the first surface and evaporating an evaporation material to form the reflective layer on the first surface.

The vapor deposition apparatus according to claim 1,
The support member supports the screen along the vertical direction so that the first surface faces the front end side in the vertical direction,
The said evaporation source is arrange | positioned at the vertical direction front end side of the said screen supported by the said supporting member. The vapor deposition apparatus characterized by the above-mentioned.

In the vapor deposition apparatus of Claim 1 or Claim 2,
A vapor deposition apparatus comprising: a rotation unit configured to rotate the screen supported by the support member about a rotation axis along a predetermined direction in which the first surface and the second surface are arranged .

In the vapor deposition apparatus in any one of Claims 1-3,
An evaporation apparatus comprising: a moving mechanism that moves the evaporation source along the predetermined direction.

In the vapor deposition apparatus in any one of Claims 1-4,
The vapor deposition material, which is interposed between the screen supported by the support member and the evaporation source and is evaporated by the evaporation source, is shielded to adhere the vapor deposition material to the first surface substantially uniformly. A vapor deposition apparatus comprising a shielding member.

  In the vapor deposition apparatus in any one of Claims 1-5,
  The first surface and the second surface intersect with each other and are alternately formed along the vertical direction.
  The vapor deposition apparatus characterized by the above-mentioned.