JP2010053373A - Vapor deposition apparatus - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、蒸着装置に関し、特に、スクリーンの反射層を蒸着により形成する蒸着装置に関する。 The present invention relates to a vapor deposition apparatus, and more particularly to a vapor deposition apparatus that forms a reflective layer of a screen by vapor deposition.
従来、フィルムに反射層を蒸着により形成する蒸着装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
この特許文献1に記載の蒸着装置は、蒸発源と、被蒸着材料(フィルム)を巻回するローラ(送り出し軸、巻き取り軸)とを有している。この蒸着装置において、蒸発源が加熱されると、蒸着材料が蒸発して、被蒸着材料に付着することとなる。
Conventionally, a vapor deposition apparatus that forms a reflective layer on a film by vapor deposition is known (see, for example, Patent Document 1).
The vapor deposition apparatus described in
一方、プロジェクタからの画像光が投影されるスクリーンが知られている。このようなスクリーンの光入射側には、反射層が形成されることが一般的であるが、スクリーンには、様々な形状のものがある。例えば、広角の投射レンズにより、画像光を斜方から近接投射するプロジェクタに用いられるスクリーンが、鉛直方向に沿って壁等に配置された場合に、水平に沿う水平面と、当該水平面とのなす角が鋭角となる傾斜面とが交互に形成されたものが提案されている。このような構成のスクリーンによれば、画像光の投射方向に対向する面である傾斜面に入射された画像光を、観察者の方向に反射している。 On the other hand, a screen on which image light from a projector is projected is known. A reflective layer is generally formed on the light incident side of such a screen, but there are various screen shapes. For example, when a screen used in a projector for projecting image light from an oblique direction by a wide-angle projection lens is disposed on a wall or the like along the vertical direction, the angle formed by the horizontal plane along the horizontal and the horizontal plane There has been proposed a structure in which inclined surfaces having an acute angle are alternately formed. According to the screen having such a configuration, the image light incident on the inclined surface that is the surface facing the image light projection direction is reflected in the direction of the observer.
しかしながら、特許文献1に記載の蒸着装置を用いて、前述のスクリーンに蒸着材料を付着させると、ローラによって送り出されたスクリーンの水平面及び傾斜面のそれぞれが、蒸発源に対向してしまう場合があり、このような場合、水平面及び傾斜面のそれぞれに蒸着材料が付着してしまう。そして、傾斜面だけではなく、水平面にも反射層が形成された前述のスクリーンを用いると、水平面に蛍光灯等の外光が入射された場合には、外光が、傾斜面や観察者に向かって反射するおそれがあり、コントラストが低下するという問題がある。このため、適切な位置に反射層を形成することができる蒸着装置が要望されてきた。
However, when a vapor deposition material is attached to the aforementioned screen using the vapor deposition apparatus described in
本発明の目的は、適切な位置に層を形成することができる蒸着装置を提供することにある。 The objective of this invention is providing the vapor deposition apparatus which can form a layer in a suitable position.
本発明の蒸着装置は、スクリーンに蒸着により反射層を形成する蒸着装置であって、前記スクリーンの光入射側には、互いに所定の角度で交差する第1面および第2面が、所定の方向に沿って交互に形成され、当該蒸着装置は、前記スクリーンを支持する支持部材と、前記第1面に対向配置され、蒸着材料を蒸発させて前記第1面に前記反射層を形成する蒸発源とを備えることを特徴とする。 The vapor deposition apparatus of the present invention is a vapor deposition apparatus that forms a reflective layer on a screen by vapor deposition, and on the light incident side of the screen, a first surface and a second surface intersecting each other at a predetermined angle are in a predetermined direction. The evaporation apparatus includes a supporting member that supports the screen and an evaporation source that is disposed to face the first surface and evaporates an evaporation material to form the reflective layer on the first surface. It is provided with these.
本発明によれば、スクリーンに反射層を形成する蒸発源が、当該スクリーンに形成された第1面及び第2面のうち、第1面に対向するように設けられているので、例えば、前述した第1面及び第2面を有するスクリーンにおける当該第1面に反射層を形成しやすくなることができるとともに、第2面に反射層を形成しにくくすることができる。すなわち、画像光が入射する第1面に対してのみ付着することができる。従って、スクリーンの適切な箇所に反射層を形成することができ、このようなスクリーンを用いることにより、蛍光灯等の外光が、第2面や観察者に向かって反射することを防止でき、ひいては視認される画像光のコントラストの低下を抑制することができる。 According to the present invention, the evaporation source for forming the reflective layer on the screen is provided so as to face the first surface among the first surface and the second surface formed on the screen. The reflective layer can be easily formed on the first surface of the screen having the first surface and the second surface, and the reflective layer can be hardly formed on the second surface. That is, it can adhere only to the 1st surface into which image light injects. Therefore, a reflective layer can be formed at an appropriate location on the screen, and by using such a screen, external light such as a fluorescent lamp can be prevented from being reflected toward the second surface and the viewer, As a result, it is possible to suppress a decrease in contrast of visually recognized image light.
本発明では、前記スクリーンは、前記支持部材により鉛直方向に沿って支持され、前記第1面は、鉛直方向先端側を向くように、前記第2面と鉛直方向に沿って交互に形成され、前記蒸発源は、前記支持部材により支持された前記スクリーンの鉛直方向先端側に配置されていることが好ましい。
本発明によれば、鉛直方向に沿って配置されたスクリーンに対して、蒸発源が鉛直方向先端側、すなわち、下側に位置している。ここで、蒸発源により蒸発した蒸着材料は、当該蒸発源から上方に向かって進行するので、電子銃等を用いることなく、スクリーンに鉛直方向に沿って交互に形成された第1面及び第2面のうち、蒸発源に対向する第1面に、当該蒸発源によって蒸発した蒸着材料を付着させることができる。従って、蒸着装置の構成を簡略化することができる。
In the present invention, the screen is supported along the vertical direction by the support member, and the first surface is alternately formed along the vertical direction with the second surface so as to face the front end side in the vertical direction. It is preferable that the evaporation source is disposed on the front end side in the vertical direction of the screen supported by the support member.
According to the present invention, the evaporation source is located on the vertical front end side, that is, on the lower side with respect to the screen arranged along the vertical direction. Here, since the vapor deposition material evaporated by the evaporation source proceeds upward from the evaporation source, the first surface and the second surface alternately formed along the vertical direction on the screen without using an electron gun or the like. The vapor deposition material evaporated by the evaporation source can be attached to the first surface of the surface facing the evaporation source. Therefore, the configuration of the vapor deposition apparatus can be simplified.
本発明では、前記支持部材により支持された前記スクリーンを、前記所定の方向に沿う回転軸を中心として回動させる回動手段を備えることが好ましい。
本発明によれば、支持部材が、回動手段により所定方向に沿う回転軸を中心として回転するため、前述したスクリーンの第1面のみが、蒸発源と常時、対向する位置となり、第1面にのみ蒸着材料が付着し、反射層を形成でき、蒸発源からの蒸着材料をむら無くスクリーンに付着させることができる。また、回動手段の回転により、スクリーンが搬送される場合には、当該スクリーンに連続して反射層を形成することができるので、スクリーンの生産性を向上することができる。
In this invention, it is preferable to provide the rotation means which rotates the said screen supported by the said supporting member centering on the rotating shaft along the said predetermined direction.
According to the present invention, since the support member is rotated about the rotation axis along the predetermined direction by the rotating means, only the first surface of the screen described above is always at a position facing the evaporation source, and the first surface The vapor deposition material adheres only to the surface, and a reflective layer can be formed, so that the vapor deposition material from the evaporation source can be uniformly adhered to the screen. Further, when the screen is conveyed by the rotation of the rotating means, the reflective layer can be formed continuously on the screen, so that the productivity of the screen can be improved.
本発明では、前記所定の方向に沿って前記蒸発源を移動させる移動機構を備えることが好ましい。
本発明によれば、蒸発源が、鉛直方向に沿って移動する移動機構に取り付けられているので、例えば、スクリーンの形状及び寸法に応じて、蒸着材料が付着する蒸着面と対向する位置に蒸発源を移動させて、取り付けることができ、前述したスクリーンの第1面にのみ蒸着材料を確実に付着でき、反射層を形成できる。従って、蒸着装置の汎用性を向上することができる。
In this invention, it is preferable to provide the moving mechanism which moves the said evaporation source along the said predetermined direction.
According to the present invention, since the evaporation source is attached to the moving mechanism that moves along the vertical direction, the evaporation source evaporates to a position facing the evaporation surface to which the evaporation material adheres, for example, according to the shape and dimensions of the screen. The source can be moved and attached, the vapor deposition material can be reliably attached only to the first surface of the screen, and a reflective layer can be formed. Therefore, the versatility of the vapor deposition apparatus can be improved.
本発明では、前記支持部材により支持された前記スクリーンと前記蒸発源との間に介装され、前記蒸発源により蒸発された前記蒸着材料を遮蔽して、前記蒸着材料を前記第1面に略均一に付着させる遮蔽部材を備えることが好ましい。
本発明によれば、遮蔽部材により、蒸発源で蒸発された蒸着材料のスクリーンへの付着範囲が制限されるので、蒸発源に近い位置にあるスクリーンに蒸着材料が付着することを抑制でき、反射層の膜厚を小さくできる。従って、蒸発源から近い位置での膜厚と遠い位置での膜厚とを略均一にできる。
In the present invention, the vapor deposition material interposed between the screen supported by the support member and the evaporation source, shields the vapor deposition material evaporated by the evaporation source, and the vapor deposition material is substantially disposed on the first surface. It is preferable to provide a shielding member that uniformly adheres.
According to the present invention, the shielding member restricts the deposition range of the vapor deposition material evaporated by the evaporation source on the screen, so that it is possible to suppress the deposition material from adhering to the screen located near the evaporation source, and to reflect The film thickness of the layer can be reduced. Therefore, the film thickness at a position near the evaporation source and the film thickness at a position far from the evaporation source can be made substantially uniform.
以下、本発明に係る一実施形態を図面に基づいて説明する。
[蒸着装置の構成]
図1は、本実施形態に係る蒸着装置1の平面図であり、図2は、図1の蒸着装置1のII−II線断面図である。
なお、以下で記載する「上」、「下」、「左」、「右」は、図1及び図2における図面視において、上下左右に相当するものである。
蒸着装置1は、布状のスクリーンに対して、蒸着材料であるアルミニウム等を付着させて、当該スクリーンに反射層を形成するものである。この蒸着装置1は、図1に示すように、チャンバ2と、当該チャンバ2内に配置される搬送装置3及び蒸発源としての坩堝4とを備える。
Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be described with reference to the drawings.
[Configuration of evaporation equipment]
FIG. 1 is a plan view of a
Note that “upper”, “lower”, “left”, and “right” described below correspond to up, down, left, and right in the drawings in FIGS. 1 and 2.
The
チャンバ2は、図1に示すように、左右側面に開閉扉21,22を備え、チャンバ2の左側面の内面には、坩堝4を支持する移動機構23が取り付けられている。また、チャンバ2の下面には、図2に示すように、真空ポンプ5が取り付けられる。
開閉扉21,22は、チャンバ2内のメンテナンス時や、後述する搬送装置3の送り出しロール31または巻き取りロール32を使用者が着脱する際に、使用される。
移動機構23は、坩堝4を鉛直方向に沿って移動させる。
真空ポンプ5は、例えば、ロータリーポンプや油拡散ポンプ等であり、チャンバ2内の空気を排気し、真空状態にするものである。蒸着時のチャンバ2内部の真空圧は、本実施形態では、4×10−5(Pa)に設定されるが、使用条件に基づいて適宜設定可能である。
As shown in FIG. 1, the
The open /
The
The vacuum pump 5 is, for example, a rotary pump, an oil diffusion pump, or the like, and exhausts the air in the
搬送装置3は、送り出しロール31及び巻き取りロール32と、支持部材としての冷却ロール33と、複数のガイドロール34と、これらのロール31〜33を回転させる移動手段としてのモータ6とを備える。各ロール31〜34は、チャンバ2内に鉛直に立設されるとともに、鉛直方向に沿う回転軸35を有している。
The transport device 3 includes a
送り出しロール31は、スクリーン7(二点鎖線で図示)を予め巻回しておくものであり、鉛直方向にスライドさせることで、チャンバ2内に着脱される。送り出しロール31の回転軸35は、モータ6によって、時計回りに回転駆動される。
巻き取りロール32は、蒸着材料が付着されたスクリーン7を巻回するものであり、送り出しロール31と同様に、鉛直方向にスライドさせることで、チャンバ2内に着脱される。このような巻き取りロール32の回転軸35は、送り出しロール31と同様に、モータ6によって、時計回りに回転駆動される。
The
The take-
冷却ロール33は、坩堝4と対向する位置に配置され、内部に冷却装置(図示略)を備える。チャンバ2内部の温度が、坩堝4の後述するヒータ42によって上昇するため、冷却ロール33(約30℃)がスクリーン7を支持しつつ冷却することにより、当該スクリーン7の変形等を抑制している。冷却ロール33の回転軸35は、モータ6によって、反時計回りに回転駆動される。
ガイドロール34は、送り出しロール31から冷却ロール33、および冷却ロール33から巻き取りロール32に向けて、スクリーン7を案内(ガイド)して送るものである。ガイドロール34の回転軸35は、鉛直方向に沿っており、当該ガイドロール34は自由に回転するようになっている。
このような搬送装置3により、スクリーン7は、毎分3mの速度で送り出しロール31から巻き取りロール32に向けて送られる。
The
The guide roll 34 guides and sends the screen 7 from the
By such a conveying device 3, the screen 7 is sent from the
坩堝4は、図2に示すように、内部に蒸着材料を充填する容器41と、容器41の下部に設けられるヒータ42とを備え、容器41はヒータ42により加熱される。このようにして、蒸発された蒸着材料は、坩堝4の上方に形成された開口を介してスクリーン7に下方から付着され、これによりスクリーン7に後述する反射層721が形成される。
この坩堝4は、前述のように、移動機構23によって支持され、鉛直方向に沿って上下に移動する。坩堝4の設置位置は、スクリーン7の大きさや形状等に応じて設定されるが、蒸着材料がスクリーン7に対して斜め下方から付着するため、当該スクリーン7の斜め下方に設置される。なお、蒸着材料は、本実施形態では、アルミニウム等の金属片が採用されているが、これに限らず、他の材料であってもよい。
As shown in FIG. 2, the crucible 4 includes a
As described above, the crucible 4 is supported by the moving
このような坩堝4とスクリーン7との間には、遮蔽板43が摺動自在に設けられている。ここで、坩堝4により蒸発された蒸着材料は、スクリーン7の後述する第1面としての傾斜面72に向かって進行して、当該スクリーン7に付着する。しかしながら、蒸着材料は、坩堝4から近いスクリーン7に付着しやすいため、当該坩堝4に近い位置の膜厚は、坩堝4から遠い位置の膜厚よりも厚くなる。そのため、遮蔽板43を進退させることで、坩堝4に近い位置に対して付着する蒸着材料の量を減少させることで、坩堝4より遠い位置の膜厚との差を少なくする。
A shielding
[スクリーンの構成]
図3は、蒸着装置1で蒸着材料が付着されたスクリーン7の一部を破断した図である。
蒸着装置1により反射層が形成されるスクリーン7は、画像光を斜め下方から近接投射するプロジェクタ(図示略)に用いられるものである。
このスクリーン7の光入射側には、当該スクリーン7を鉛直方向に沿って壁等に配置した際に、それぞれ水平方向に沿って延出し、かつ、互いに鉛直方向に沿って交互に形成された第2面としての水平面71及び傾斜面72を有する断面視略鋸歯状に形成されている。
[Screen structure]
FIG. 3 is a view in which a part of the screen 7 to which the vapor deposition material is adhered is broken by the
The screen 7 on which the reflective layer is formed by the
On the light incident side of the screen 7, when the screen 7 is arranged on a wall or the like along the vertical direction, the screen 7 extends along the horizontal direction and is alternately formed along the vertical direction. It is formed in a substantially sawtooth shape in sectional view having a
このうち、水平面71は、水平方向に沿って形成されている。このため、スクリーン7を鉛直方向に沿って壁等に配置した場合、当該水平面71が上側を向くこととなるため、蛍光灯等の外光が入射される場合がある。しかしながら、水平面71には、反射層721が形成されないので、入射された外光が観察者や水平面71に向かって反射されることがない。
傾斜面72は、水平面71とのなす角が鋭角になり、下側を向くように形成されている。この傾斜面72の表面には、前述の蒸着装置1により、アルミニウム等の金属の反射層721が形成される。傾斜面72には、プロジェクタからの画像光が入射され、当該画像光は、傾斜面72によって観察者に向かって反射される。
Among these, the
The
[蒸着装置の動作]
使用者は、チャンバ2の右側面の開閉扉22を開放して、スクリーン7が予め巻回された送り出しロール31をチャンバ2内に装着する。蒸着作業の前に、図1に示すように、送り出しロール31に巻回されたスクリーン7をガイドロール34、冷却ロール33、及びガイドロール34に沿って、巻き取りロール32にスクリーン7の一端を取り付けておく。
[Operation of vapor deposition equipment]
The user opens the opening / closing
次に、チャンバ2の左側面の開閉扉21を開放して、坩堝4内に蒸着材料を充填し、移動機構23により坩堝4を所望の位置に移動させる。そして、蒸着装置1を稼働させると、送り出しロール31、冷却ロール33、および巻き取りロール32の各回転軸35が、モータ6にて駆動されて、ヒータ42にて加熱された蒸着材料が蒸発し、スクリーン7に付着する。
この際、坩堝4は、スクリーン7の下方側に位置するので、蒸着材料は、坩堝4に対向するスクリーン7の傾斜面72にのみ付着し、当該傾斜面72に反射層721が形成される。このようにして反射層721が形成されたスクリーン7は、毎分3mで巻き取りロール32に巻き取られていく。蒸着作業後は、開閉扉22を開放して、巻き取りロール32を取り出す。
Next, the open /
At this time, since the crucible 4 is positioned below the screen 7, the vapor deposition material adheres only to the
上述した本実施形態の蒸着装置1によれば、以下の効果がある。
冷却ロール33の斜め下方側には、 坩堝4が設けられているので、スクリーン7の傾斜面72に蒸着材料が付着して、反射層721を形成できる。すなわち、プロジェクタから投射される画像光に対向する面である傾斜面72にのみ反射層721を形成することができ、スクリーン7の適切な箇所に反射層721を形成することができ、このようなスクリーン7を用いることにより、蛍光灯等の外光が、水平面71や観察者に向かって反射することを防止でき、ひいては視認される画像光のコントラストの低下を抑制することができる。
According to the
Since the crucible 4 is provided obliquely below the
冷却ロール33が鉛直方向に立設して、モータ6により鉛直方向に沿う回転軸35を中心として回転するため、前述したスクリーン7の傾斜面72のみが、坩堝4と常時、対向する位置となり、傾斜面72にのみ蒸着材料が付着し、反射層721を形成でき、坩堝4からの蒸着材料をむら無くスクリーン7に付着させることができる。また、モータ6により、スクリーン7が搬送される場合には、当該スクリーン7に連続して反射層721を形成することができるので、スクリーン7の生産性を向上することができる。
Since the
坩堝4が、鉛直方向に沿って移動する移動機構23に取り付けられているので、スクリーン7の形状及び寸法に応じて、蒸着材料が付着する傾斜面72と対向する位置に坩堝4を移動させて、取り付けることができ、前述したスクリーン7の傾斜面72にのみ蒸着材料を確実に付着でき、反射層721を形成できる。従って、蒸着装置の汎用性を向上することができる。
Since the crucible 4 is attached to the moving
また、坩堝4に近いスクリーン7の傾斜面72の膜厚は、坩堝4より遠いスクリーン7の傾斜面72の膜厚よりも厚くなるため、坩堝4に近い傾斜面72に対して付着する蒸着材料の量を減少させて、坩堝4に近い傾斜面72の膜厚と坩堝4より遠い傾斜面72の膜厚との差を少なくできる。
Moreover, since the film thickness of the
[実施形態の変形]
なお、本発明を実施するための最良の構成、方法などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状、数量などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、数量などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
[Modification of Embodiment]
The best configuration, method, and the like for carrying out the present invention have been disclosed above, but the present invention is not limited to this. That is, the invention has been illustrated and described with particular reference to certain specific embodiments, but without departing from the spirit and scope of the invention, Various modifications can be made by those skilled in the art in terms of quantity and other detailed configurations.
Therefore, the description limited to the shape, quantity and the like disclosed above is an example for easy understanding of the present invention, and does not limit the present invention. The description by the name of the member which remove | excluded the limitation of one part or all of such restrictions is included in this invention.
例えば、前記実施形態では、送り出しロール31、巻き取りロール32、および冷却ロール33は、モータ6によって一方の方向にのみ回転駆動されていたが、モータ6に膜厚を一定にする制御部を接続して、両方向に回動駆動されるように設定してもよい。また、各ロール31〜33の動作に応じて、移動機構23が坩堝4を上下動させる制御をしてもよい。これによれば、スクリーン7は、坩堝4からの距離に関係なく、膜厚をより均一化できる。
For example, in the above-described embodiment, the
前記実施形態では、坩堝4内の蒸着材料の蒸発により蒸着材料をスクリーン7に付着していたが、電子銃を用いて、電子ビームを蒸発源に照射することにより、加熱して蒸発させ、スクリーン7に付着させてもよい。 In the above embodiment, the vapor deposition material is attached to the screen 7 by evaporation of the vapor deposition material in the crucible 4, but the screen is heated and evaporated by irradiating the electron beam with an electron gun using an electron gun. 7 may be attached.
前記実施形態では、スクリーン7の水平面71および傾斜面72は、それぞれが鉛直方向に沿って、交互に形成されるとしたが、本発明は、これに限定されず、水平面71および傾斜面72が円弧状であってもよい。
また、前記実施形態では、水平面71が上側を向いていたが、下側を向いて、傾斜面72と交互に形成されてもよい。
In the above embodiment, the
Moreover, in the said embodiment, although the
本発明は、スクリーンに反射層を形成する蒸着装置に利用できる。 The present invention can be used for a vapor deposition apparatus for forming a reflective layer on a screen.
1…蒸着装置、4…坩堝(蒸発源)、6…モータ(回動手段)、7…スクリーン、23…移動機構、33…冷却ロール(支持部材)、35…回転軸、43…遮蔽板(遮蔽部材)、71…水平面(第1面)、72…傾斜面(第2面)、721…反射層。
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記スクリーンの光入射側には、互いに所定の角度で交差する第1面および第2面が、所定の方向に沿って交互に形成され、
当該蒸着装置は、
前記スクリーンを支持する支持部材と、
前記第1面に対向配置され、蒸着材料を蒸発させて前記第1面に前記反射層を形成する蒸発源とを備える
ことを特徴とする蒸着装置。 A vapor deposition apparatus for forming a reflective layer on a screen by vapor deposition,
On the light incident side of the screen, first and second surfaces intersecting each other at a predetermined angle are alternately formed along a predetermined direction,
The vapor deposition apparatus
A support member for supporting the screen;
An evaporation apparatus, comprising: an evaporation source disposed opposite to the first surface and evaporating an evaporation material to form the reflective layer on the first surface.
前記スクリーンは、前記支持部材により鉛直方向に沿って支持され、
前記第1面は、鉛直方向先端側を向くように、前記第2面と鉛直方向に沿って交互に形成され、
前記蒸発源は、前記支持部材により支持された前記スクリーンの鉛直方向先端側に配置されている
ことを特徴とする蒸着装置。 The vapor deposition apparatus according to claim 1,
The screen is supported along the vertical direction by the support member,
The first surface is alternately formed along the vertical direction with the second surface so as to face the front end side in the vertical direction,
The said evaporation source is arrange | positioned at the vertical direction front end side of the said screen supported by the said supporting member. The vapor deposition apparatus characterized by the above-mentioned.
前記支持部材により支持された前記スクリーンを、前記所定の方向に沿う回転軸を中心として回動させる回動手段を備える
ことを特徴とする蒸着装置。 In the vapor deposition apparatus of Claim 1 or Claim 2,
A vapor deposition apparatus comprising: a rotation unit configured to rotate the screen supported by the support member about a rotation axis along the predetermined direction.
前記所定の方向に沿って前記蒸発源を移動させる移動機構を備える
ことを特徴とする蒸着装置。 In the vapor deposition apparatus in any one of Claims 1-3,
An evaporation apparatus comprising: a moving mechanism that moves the evaporation source along the predetermined direction.
前記支持部材により支持された前記スクリーンと前記蒸発源との間に介装され、前記蒸発源により蒸発された前記蒸着材料を遮蔽して、前記蒸着材料を前記第1面に略均一に付着させる遮蔽部材を備える
ことを特徴とする蒸着装置。 In the vapor deposition apparatus in any one of Claims 1-4,
The vapor deposition material, which is interposed between the screen supported by the support member and the evaporation source and is evaporated by the evaporation source, is shielded to adhere the vapor deposition material to the first surface substantially uniformly. A vapor deposition apparatus comprising a shielding member.
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