JP2010049987A - フォトレジストを使用する製造システムおよびその照明光源 - Google Patents

Abstract

【課題】照明灯をその長所を生かすとともに欠点をカバーした用途に用いる。具体的にはフォトレジストを使用する製造システムについてその最適な照明灯を提供する。
【解決手段】４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たないフォトレジストを使用する製造システム用照明光源を提供する。通常蛍光灯用照明器具に装着可能とするとともに、接続用口金部の色を黄色系の色とし、口金色が銀色の通常蛍光灯と区別する。紫外線カット窓ガラス、天井の黄色ライン、黄色ダクトなどと、紫外線領域光を出さない白色照明光源により「イエロールーム」のイメージを残しつつ、快適かつて誤作業のない環境を作る。白色照明下のフォトレジスト使用室の監視モニタ画像を擬似的に黄色く画像処理し、「イエロールーム」の画像であることを直感させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、照明光源に関する。

従来種々の目的のために種々の照明光源が提案されている。最も古典的なものは白熱電球であるが、その後蛍光灯が普及し、さらに目的によっては水銀灯も用いられてきた。また、近年ＬＥＤの利用が進み、白色ＬＥＤを蛍光灯と互換可能に構成して一般の天井照明に用いることも提案されている。
特開２００４−３３５４２６号公報

しかしながら、各種の照明灯をその長所を生かすとともに欠点をカバーして用いることについては、さらに検討すべき課題が多い。

本発明の課題は、上記に鑑み、照明灯をその長所を生かすとともに欠点をカバーした用途に用いることにあり、さらに詳しくは、フォトレジストを使用する製造システムについてその最適な照明灯のあり方を検討することにある。

上記課題を達成するため、本発明は、４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たないことを特徴とするフォトレジストを使用する製造システム用照明光源を提供する。

従来のフォトレジストを使用する製造システムでは、感光可能状態にあるフォトレジストが照明光源からの紫外線で感光してしまうのを防止するため、５００ｎｍよりも短い波長をほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を設けた黄色蛍光灯が用いられている。このため、フォトレジスト処理室は「イエロールーム」と称されているが、作業者にとって黄色照明下で長時間作業することは必ずしも快適とは言えず、また実際問題として、色の識別が困難となるとともに人間の視感度では黄色の室内照明が暗く感じられる等の問題がある。

これに対し、本発明は上記のように構成したので、従来カットすべきとされていた４５０ｎｍから５００ｎｍに充分な強度をもたせることで自然に近い白色照明を可能とするとともにフォトレジストにとって問題となる紫外線が発生しないので、作業者にとって快適であるとともに、従来困難であった種類の異なるフォトレジストの判別が感光可能状態でも可能となり、さらに作業者が書類を読んだり書いたりするのにも問題のない明るさの照明環境が提供できる。なお、このようなフォトレジストを使用する製造システム用照明光源として、好適な一例は白色ＬＥＤである。

本発明の製造システム用照明光源の具体的な特徴によれば、蛍光灯用照明器具に装着可能であるとともに、通常の蛍光灯と識別可能に構成される。これによって、従来の黄色蛍光灯用の照明器具を流用して本発明の照明光源を採用することができる。

本発明のさらに具体的な特徴によれば、外観の少なくとも一部の色が通常の蛍光灯と異なる色に構成される。これによって、紫外線を発生する通常の蛍光灯を誤って取り付けることを防止することができる。本発明のさらに具体的な特徴によれば、接続用口金部の色が黄色系の色に構成される。これによって、「イエロールーム」の照明が白色になってもその環境が紫外線を嫌うことが「イエロールーム」の名残の黄色系の色で直感でき、銀色の口金の通常の蛍光灯を誤って取り付ける事故を未然に防ぐ効果が高まる。

本発明の他の特徴によれば、外界からの入射光に対し紫外線遮断処理を施した透光部分と、紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源を有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システムが提供される。これによって、作業者にとって快適であるとともに、実作業性にも優れた白色照明がフォトレジストへの感光の心配なしに可能になるとともに、紫外線遮断処理を施した透光部分の存在によって従来の「イエロールーム」のイメージが残り、作業への注意喚起が可能となる。

上記本発明の具体的な実施にあたっては、照明光源を全て紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源とすることも可能であり、一方、照明光源が紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源と５００ｎｍより短波長側の発光をカットした黄色蛍光灯の両者を含むよう構成することも可能である。なお、後者の場合は、本発明のさらに具体的な特徴によれば、紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源を手元照明に用いるのが好適である。

本発明の他の特徴によれば、紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源と、感光可能状態にあるフォトレジストを使用する工程であること表示する表示部を有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システムが提供される。これによって、作業者にとって快適であるとともに、実作業性にも優れた白色照明がフォトレジストへの感光の心配なしに可能になるとともに、表示部によって「イエロールーム」に求められていた紫外線への注意喚起が可能となる。

上記本発明の具体的な特徴によれば、表示部は黄色系の色による表示部とするのが好適である。これによって従来の「イエロールーム」のイメージが残り、作業への注意喚起が効果的となる。より具体的には、天井の白色照明光源近傍や、換気ダクトなどが、表示部とするのに好適な例である。

本発明の他の特徴によれば、感光可能状態にあるフォトレジストを使用するとともに紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源によって照明される第１の部屋と、紫外線領域に実質的な発光強度を持つ白色照明光源によって照明される第２の部屋と、第１の部屋に設けられる第１の監視カメラと、第２の部屋に設けられる第２の監視カメラと、第１の監視カメラおよび第２の監視カメラの画像をモニタするモニタ部と、モニタ部における第１の監視カメラの画像に擬似的に着色画像処理する制御部とを有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システムが提供される。

従来のフォトレジスト処理室は黄色蛍光灯によって照明される「イエロールーム」であったため、そのモニタ画像も全体が黄色の色調を帯びており、通常は自然色の画像である監視カメラモニタ室の各モニタの中で目立ち、一見してそれがフォトレジスト処理室の画像であることがわかるものであった。しかしながら本発明では従来の「イエロールーム」の照明が白色となるため、制御部によっての第１の部屋の画像に擬似的な着色処理をし、第１の部屋の画像が、従来見慣れた「イエロールーム」の画像であることが一見してわかるようにしている。この効果を好適なものとするため、上記本発明の具体的な特徴によれば、第１の監視カメラの画像には擬似的に黄色系の着色画像処理が行われる。

図１は、本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第１実施例を示すブロック図である。このような製造システムは、半導体、プリント基板、フラットパネルディスプレイ、フレキシブル基板、メッキ工程などのフォトレジストを使用する製品の製造に利用することができるが、図１の第１実施例は、フォトレジストを使用してウエハにパターンを形成する半導体製造システムに関するものである。

フォトレジスト処理室２は、ウエハに塗布されたフォトレジストに不要な紫外線が当たらないよう配慮された処理室であり、クリーンルーム４内において隔壁６により他の一般処理室８等と隔てて配置されている。ドア１０は、フォトレジスト処理室２と一般処理室８の間を作業者１２が出入りするとともに、ウエハ等を搬入搬出するために設けられているものである。

フォトレジスト処理室２には、ウエハに所望のパターンを転写する工程に必要な装置が設けられており、具体的には、ウエハにフォトレジストを均一に塗布するためのスピンコート部１４、フォトレジストが塗布されたウエハに紫外線によりパターンを露光する露光部１６、紫外線が当たることによって現像液に溶けやすくなったフォトレジストの部分を溶かして塗布前のウエハ表面を露出させるとともに紫外線が当たっておらず現像液に溶けない部分を残す現像部１８等が設置されている。

フォトレジスト処理室２では、上記のようなスピンコート部１４、露光部１６、現像部１８などが設置されているため、本来紫外線が当たってはいけないウエハ上のフォトレジストに紫外線が当たると残すべきフォトレジストの部分が現像液に溶けやすくなってしまい、ウエハへのパターンの転写が正しく行われなくなる。このような不要な紫外線の発生源として典型的なものが室内照明のための蛍光灯である。従って、フォトレジスト処理室２のドア１０に設けられたドアガラス２０および他の処理室との隔壁に設けられたガラス窓２２には、一般処理室８等の蛍光灯天井照明２４に含まれる紫外線をカットし、これがフォトレジスト処理室内に入射するのを防止するためのオレンジ色の紫外線カットフィルムが貼られている。このため、一般処理室８等の外部からは、ドアガラス２０やガラス窓２２の色によりその内部がフォトレジスト処理室２であることが一目瞭然となる。

さらに、フォトレジスト処理室２には、室内照明として白色発光ダイオード（以下、「白色ＬＥＤ」）天井照明２４、２６等が設けられている。図１では簡単のため２つのみ図示しているが、実際には多数の白色ＬＥＤ天井照明が設けられている。

従来のフォトレジスト処理室には、５００ｎｍよりも短い波長をほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を蛍光灯ガラス内面に設けその上に蛍光体を塗布した構造の黄色蛍光灯が用いられていた。このため、フォトレジスト処理室は「イエロールーム」と俗称される。しかしながら、作業者１２にとって黄色照明下で長時間作業することは必ずしも快適とは言えず、また実際問題として、色の識別が困難となって自然光の下では可能な種類の異なるフォトレジストの目視での判別がフォトレジスト処理室２では不可能となっていた。さらに、５００ｎｍよりも短い波長のカットによって人間の視感度では黄色の室内照明は暗く感じられる。このためフォトレジスト処理室内の黄色蛍光灯の本数は、一般処理室における通常蛍光灯の数よりも多く設置されていたが、それでも、人間の目では、一般処理室よりもフォトレジスト処理室の方が暗く感じる照明環境となっていた。

これに対し、本発明に関する図１の白色ＬＥＤ天井照明２４、２６は、４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たないものである。これによって、フォトレジストにとって問題となる紫外線を発生しないとともに、作業環境として快適であり、従来困難であった種類の異なるフォトレジストの判別がフォトレジスト処理室２の中でも可能となるとともに、作業者１２作業者が書類２８を読んだり書いたりするのにも問題のない照明環境を提供している。この点については、後に詳述する。

一般処理室８は、現像後のウエハにエッチングを行うエッチング部３０が設けられている。エッチング部３０では、その後不要となったフォトレジスト除去工程も含まれている。現像後のフォトレジストには照明等による紫外線が当たっても問題ないので、一般処理室８には既に述べたように通常の蛍光灯天井照明２４が設けられている。また、ドア１０の上には非常口を示す一般の蛍光灯非常口灯３２が設けられている。

これに対し、フォトレジスト処理室２では、ドア１０の上にはＬＥＤ非常口灯３４が設けられており、常時点灯されている非常口灯から不要な紫外線が発生するのを防止している。なお、フォトレジスト処理室２は有害な溶剤等を利用するため、排気ダクト３６の設置が不可欠となっている。図１では簡単のため1本しか図示していないが、フォトレジスト処理室2内には多数のダクトが設けられている。

以上のようなクリーンルームには、各室にカラーの監視カメラ３８、４０、４２が設けられている。図１では簡単のため各室一台ずつしか図示していないが、通常は各室複数の監視カメラが設けられており、特にフォトレジスト処理室２には、多数のダクト３６が這っている等の事情で室内が入り組んでいるため、他の室よりも多数の監視カメラ４０が設けられている。監視カメラモニタ室４４では、各監視カメラ３８、４０、４２から送られてきた監視画像をそれぞれモニタ４６、４８、５０で監視している。

従来のフォトレジスト処理室は黄色蛍光灯によって照明される「イエロールーム」であったため、そのモニタ画像も全体が黄色の色調を帯びており、通常は自然色の画像である監視カメラモニタ室の各モニタの中で目立ち、一見してそれがフォトレジスト処理室の画像であることがわかるものであった。しかしながら本発明のフォトレジスト処理室２の照明は白色ＬＥＤ天井照明２４、２６であるため、そのままではフォトレジスト処理室モニタ４８の色調が一般処理室モニタ４６、５０と同じ自然色となり、従来のような判別ができない。そこで本発明の監視カメラモニタ室４４では、フォトレジスト処理室モニタ４８の画像が一般処理室モニタ４６，５０とは異なる黄色の色調となるようを意図的に自動画像処理するよう制御し、従来見慣れた「イエロールーム」の画像であることが一見してわかるようにしている。

図２は、本発明の白色ＬＥＤ天井照明２４、２６等に用いられる照明灯を通常の蛍光灯管と対比して図示した斜視図である。図２（Ａ）は通常の蛍光灯管であって、ガラス管部６０およびその両端の口金部６２、６４を有している。通常の蛍光灯管の口金部６２、６４の外観は銀色である。ここれに対し、図２（Ｂ）は本発明の白色ＬＥＤ天井照明２４、２６等に用いられるＬＥＤ照明灯管であって、通常の蛍光灯管のガラス管部６０と外観および寸法が同じ外管部７０を有する。そしてこの外管部７０の内部には多数の白色ＬＥＤが配置されている。図２（Ｂ）のＬＥＤ照明口金部７２、７４は、口金部６２、６４と同形のものであり、これらＬＥＤ照明口金部７２、７４から給電される家庭用電源の電力によって外管部７０内の各ＬＥＤを駆動するためのドライバ回路を内蔵している。このように、図２（Ｂ）のＬＥＤ照明灯管は、通常の蛍光灯管を取り付ける通常の照明器具にそのまま取り付けることができるので、フォトレジスト処理室の照明器具を交換しなくても、その照明環境を快適かつ有用なものに変更することができる。

ところで、従来のフォトレジスト処理室に取り付けられる黄色蛍光灯も寸法が図２（Ａ）に示す通常の蛍光灯管と同じであるが、ガラス管部が黄色であるため、明らかに通常の蛍光灯管と区別でき、しかも「イエロールーム」用であることが周知なので、紫外線を出す通常の蛍光灯管を誤ってフォトレジスト処理室に取り付ける恐れはほとんどない。しかしながら図２（Ｂ）における本発明の白色ＬＥＤ天井照明２４、２６等に用いられるＬＥＤ照明灯管は外観も寸法も通常の蛍光灯管に近似しており、なおかつ白色ＬＥＤの採用によってフォトレジスト処理室もいわゆる「イエロールーム」ではなくなっているので、通常処理室との違いの意識が薄れ、紫外線を出す通常の蛍光灯管を誤ってフォトレジスト処理室に取り付ける可能性が生じる。そこで、図２（Ｂ）に示すＬＥＤ照明口金部７２、７４は、外観が「イエロールーム」をイメージさせる黄色又は金色（以下「黄色系」と称する）の色になっており、これによって、フォトレジスト処理室２に通常の蛍光灯管を取り付けようとしたときには、その口金部６２、６４が銀色であることから誤りに気づくことができる。

図３は、蛍光灯および白色ＬＥＤの発光スペクトルをフォトレジストの吸光スペクトルと比較したグラフである。図３（Ａ）は蛍光灯の発光スペクトル８０のイメージを示すものであって、いくつかの強い輝線スペクトルを持ち、それが紫外線領域に及んでいる。一方図３（Ｂ）はフォトレジストの吸光スペクトルのイメージであり、フォトレジストの感光剤の吸光スペクトル８２は、３４０ｎｍ付近および４００ｎｍ付近におけるピークを含む紫外線領域で大きな吸光を示している。また、フォトレジストの樹脂の吸光スペクトル８４は、それより波長の短い２８０ｎｍ付近にピークを有する紫外線領域での吸光特性を示している。そしてフォトレジストにおける図３（Ｂ）のような紫外線領域における吸光特性が図３（Ａ）の蛍光灯の発光スペクトル８０における紫外線領域での強い輝線スペクトルと重なるため、通常の蛍光灯をフォトレジスト処理室の天井照明に用いるとフォトレジストが感光してしまい、正しいパターンの転写の障害となる。そのため、従来のフォトレジスト処理室では、図３（Ａ）にイメージで示すように５００ｎｍよりも短い波長領域８６をほぼ完全にカットする黄色フィルタ層を設けた黄色蛍光灯が用いられてきた。

これに対し、図３（Ｃ）は、青色発光ダイオードを黄色蛍光体を含む樹脂で封止した白色ＬＥＤにおける発光スペクトルを示し、青色発光ダイオード本来の４５０ｎｍから４７０ｎｍをピークとする青色光と、この青色光が黄色蛍光体を刺激することによって発生する黄色蛍光の合成による全体として白色となる発光特性を有している。本発明は、図（Ｃ）のように４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たない白色光源がフォトレジト処理室の照明に好適であることを見出したものであり、従来のように５００ｎｍよりも短い波長領域８６をほぼ完全にカットした黄色蛍光灯で照明すべきとされていた「イエロールーム」の概念を覆すものである。

図４は、本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第２実施例を示すブロック図である。その構成の大部分は図１の第１実施例と同様なので、共通する部分には同一の番号を付し、特に必要がない限り説明を省略する。図４の第２実施例が図１の第１実施例と異なるのは、ドア１０２にドアガラスがなく、隔壁１０４にもガラス窓がないことである。このように、第２実施例のフォトレジスト室１０６は光学的にも外部と隔絶されており、隔壁部分のガラスから紫外線が入射するのを防止するため必要がない反面、外部から中の様子をうかがい知ることもできないし、フォトレジスト処理室特有のオレンジ色の紫外線カットフィルムも存在しない。

また、図４の第２実施例では、図１の第１実施例と同様、白色ＬＥＤ天井照明２４、２６により、フォトレジスト室１０６を照明しており、ドア１０２を空けてフォトレジスト処理室１０６に入っても照明は白色で外部と変わりがない。このように、図の第２実施例では、白色ＬＥＤ天井照明２４、２６に取り付けられるＬＥＤ照明灯管におけるＬＥＤ照明口金部７２、７４の色が黄色系であることを除き、このままでは従来の「イエロールーム」の痕跡がない。従って、不要な紫外線に注意して作業すべき環境であることを看過した誤作業が生じる恐れがある。このため、図４の第２実施例では、フォトレジスト処理室の天井に従来の黄色蛍光灯が取り付けられていた状態が擬似的にイメージできる黄色ライン１０８が設けられている。さらに、フォトレジスト処理室を這っている排気ダクト１１０を「イエロールーム」をイメージさせる黄色とし、在来の習慣を利用して紫外線に注意して作業すべき環境であることについて注意を喚起する構成としている。

図５は、本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第３実施例を示すブロック図である。その構成の大部分は図１の第１実施例と同様なので、共通する部分には同一の番号を付し、特に必要がない限り説明を省略する。とはいえ、図５の第３実施例では、天井照明として従来の黄色蛍光灯天井照明２０２、２０４が踏襲されているという大きな違いがある。また、ドア１０の上には、従来と同じ黄色蛍光灯を光源とする黄色蛍光灯非常口灯が設けられている。従って、図５の第３実施例のフォトレジスト処理室２０８は基本的には従来と同様の「イエロールーム」となっている。

図５の第３実施例が従来の「イエロールーム」と異なるのは、白色ＬＥＤ手元照明２１０が設けられていることである。図５では、簡単のため、作業者１２作業者が書類２８を読んだり書いたりする場所にのみ白色ＬＥＤ手元照明２１０を図示しているが、実際には、フォトレジストの色を確認する部分やその他種々の表示部分などに適宜白色ＬＥＤ手元照明２１０が設けられる。黄色蛍光灯によって照明した場合の実際上の問題点は、文字や表示を読んだり書いたりするときに人間の視感度として感じる暗さおよび目視による色の確認である。従って、図５の第３実施例ではこのような問題が生じている要所々々に白色ＬＥＤ手元照明２０８を設けるよう構成している。

白色ＬＥＤ手元照明２１０に用いる照明灯は、図２（Ｂ）に示すものと同様にして通常の蛍光灯管と寸法が同じものであって、通常の蛍光灯管を取り付ける手元照明装置にそのまま取り付けることができるものである。また、その口金部は、図２（Ｂ）のＬＥＤ照明口金部７２、７４と同様にして外観が「イエロールーム」をイメージさせる黄色系の色になっており、これによって、フォトレジスト処理室２０８内の手元照明装置に通常の蛍光灯管を取り付けようとしたときには、その口金部が銀色であることから誤りに気づくことができるものである。

なお、図５の第３実施例におけるクリーンルーム２１２のための監視カメラモニタ室２１４は従来の「イエロールーム」を持つクリーンルーム用のものと同様のものである。つまり、フォトレスト処理室モニタ２１６は、一般処理室モニタモンタ４６、５０と同様のものであって、図１のフォトレジスト処理室モニタ４８のような一般処理室モニタ４６，５０とは異なる自動的な画像処理を施すものではない。フォトレジスト処理室２０８は基本的には通常の「イエロールーム」であり、フォトレジスト処理室モニタ２１６には、監視カメラ４０で撮影されたとおりの黄色の画像が表示されるからである。

なお、上記本発明の実施は上記の実施例に限らず、他の種々の実施によりその利点を教授できるものである。例えば、本発明におけるフォトレジスト処理室用の白色光源は、４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たないものである限り、上記の実施例に限るものではない。例えば、上記の実施例では、青色発光ダイオードを黄色蛍光体を含む樹脂で封止した白色ＬＥＤを用いる例について説明したが、その他の白色発光ダイオードを採用することも可能である。その他の白色発光ダイオードとしては、青色発光ダイオードを緑色蛍光体および赤色（又はオレンジ色）蛍光体を含む樹脂で封止した白色ＬＥＤ、青色発光ダイオードと赤色発光ダイオードと緑色発光ダイオードを組み合わせてなる白色ＬＥＤなどによっても本発明の実施が可能である。さらに、発光ダイオードに代えて、白色の有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）を用いてもよい。

また、図２では、フォトレジスト処理室用のＬＥＤ照明灯管をこれと外観および寸法が同じ通常の蛍光灯管と識別するために口金の色を「イエロールーム」を連想させるものとしたが、本発明の実施はこれに限るものではない。本発明のフォトレジスト処理室用白色照明灯管は、通常の蛍光灯管を取り付ける通常の照明器具にそのまま取り付けることができるとともに、紫外線を出す通常の蛍光灯管を誤ってフォトレジスト処理室に取り付ける恐れを除去することがその特徴の一つであって、誤取り付けを防止するためには、実施例のような構成の他、図２（Ｂ）において、外管部７０の一部を黄色にする等の実施も可能である。

さらに、図４において、「イエロールーム」をイメージさせるための構成は、天井の黄色ラインや排気ダクトの黄色着色に限らず、ドア１０の黄色着色や作業者１２の着衣を黄色にするなど、種々の実施が可能である。また、図４の第２実施例の特徴は、紫外線カットフィルムが貼られたガラスのないフォトレジスト処理室１０６での実施に限るものではなく、図１の第1実施例のようなフォトレジスト処理室２において併用することも可能である。

本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第１実施例を示すブロック図である。 本発明の白色ＬＥＤ天井照明に用いられる照明灯を通常の蛍光灯管と対比して図示した斜視図である。 蛍光灯および白色ＬＥＤの発光スペクトルをフォトレジストの吸光スペクトルと比較したグラフである。 本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第２実施例を示すブロック図である 本発明の実施の形態に係るフォトレジストを使用する製造システムの第３実施例を示すブロック図である。

符号の説明

２４、２６、２１０ フォトレジストを使用する製造システム用照明光源
７２、７４ 接続用口金部
２０、２２ 紫外線遮断処理を施した透光部分
２４、２６、２１０ 紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源
２０２、２０４ ５００ｎｍより短波長側の発光をカットした黄色蛍光灯
２１０ 手元照明
１０８、１１０ 表示部
２、１０６ 第１の部屋
２４ 紫外線領域に実質的な発光強度を持つ白色照明光源
８ 第２の部屋
４０ 第１の監視カメラ
３８ 第２の監視カメラ
４６、４８ モニタ部
４４ 制御部

Claims (16)

1. ４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たないことを特徴とするフォトレジストを使用する製造システム用照明光源。
2. 白色ＬＥＤを用いることを特徴とする請求項１記載のフォトレジストを使用する製造システム用照明光源。
3. 蛍光灯用照明器具に装着可能であるとともに、通常の蛍光灯と識別可能に構成されたことを特徴とする請求項１または２記載のフォトレジストを使用する製造システム用照明光源。
4. 外観の少なくとも一部の色が通常の蛍光灯と異なる色に構成されたことを特徴とする請求項３記載のフォトレジストを使用する製造システム用白色照明光源。
5. 接続用口金部の色が黄色系の色に構成されたことを特徴とする請求項４記載のフォトレジストを使用する製造システム用照明光源。
6. 外界からの入射光に対し紫外線遮断処理を施した透光部分と、紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源を有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システム。
7. 前記白色照明光源は、４５０ｎｍから５００ｎｍにおいて実質的な発光強度を有するとともに４００ｎｍより波長が短い領域では実質的な発光強度を持たないことを特徴とするフォトレジストを使用する製造システム。
8. 照明光源が、全て紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源であることを特徴とする請求項６または７記載のフォトレジストを使用する製造システム。
9. 照明光源が、紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源と５００ｎｍより短波長側の発光をカットした黄色蛍光灯を含むことを特徴とする請求項６または７記載のフォトレジストを使用する製造システム。
10. 前記紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源が手元照明に用いられることを特徴とする請求項９記載のフォトレジストを使用する製造システム。
11. 紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源と、感光可能状態にあるフォトレジストを使用する工程であること表示する表示部を有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システム。
12. 前記表示部は黄色系の色による表示部であることを特徴とする請求項１１記載のフォトレジストを使用する製造システム。
13. 前記表示部は天井の紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源近傍に設けられていることを特徴とする請求項１１または１２記載のフォトレジストを使用する製造システム。
14. 換気ダクトを有し、前記表示部は前記喚起ダクトに設けられていることを特徴とする請求項１１から１３のいずれかに記載のフォトレジストを使用する製造システム。
15. 感光可能状態にあるフォトレジストを使用するとともに紫外線領域に実質的な発光強度を持たない白色照明光源によって照明される第１の部屋と、紫外線領域に実質的な発光強度を持つ白色照明光源によって照明される第２の部屋と、第１の部屋に設けられる第１の監視カメラと、第２の部屋に設けられる第２の監視カメラと、前記第１の監視カメラおよび前記第２の監視カメラの画像をモニタするモニタ部と、前記モニタ部における前記第１の監視カメラの画像に擬似的に着色画像処理する制御部とを有することを特徴とするフォトレジストを使用する製造システム。
16. 前記制御部は、前記第１の監視カメラの画像に擬似的に黄色系の着色画像処理を行うことを特徴とする請求項１５記載のフォトレジストを使用する製造システム。

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