JPS6273026A - クリ−ンル−ムの照明装置 - Google Patents
クリ−ンル−ムの照明装置Info
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- JPS6273026A JPS6273026A JP60211778A JP21177885A JPS6273026A JP S6273026 A JPS6273026 A JP S6273026A JP 60211778 A JP60211778 A JP 60211778A JP 21177885 A JP21177885 A JP 21177885A JP S6273026 A JPS6273026 A JP S6273026A
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- JP
- Japan
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- light emitting
- clean room
- light
- emitting diode
- emitting diodes
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はクリーンルームの照明装置に係り、特に半導体
製造工場等のクリーンルームに適した照明装置に関する
。
製造工場等のクリーンルームに適した照明装置に関する
。
半導体製造は無塵環境を必要とするため、その製造は通
常クリーンルーム内で行われる。一般に、クリーンルー
ムは、天井面に取付けられた複数のＨＥＰＡ （高性能
）フィルタを通して清浄エアをクリーンルーム室内に吹
き出し、又室内のエアを床面から吸い込んで再び天井面
のＨＥＰＡフィルタを通すというエア循環方式を採用し
ている。
常クリーンルーム内で行われる。一般に、クリーンルー
ムは、天井面に取付けられた複数のＨＥＰＡ （高性能
）フィルタを通して清浄エアをクリーンルーム室内に吹
き出し、又室内のエアを床面から吸い込んで再び天井面
のＨＥＰＡフィルタを通すというエア循環方式を採用し
ている。
第８図は従来のエア循環方式のクリーンルームの説明図
が示されている。図に於いてクリーンルーム１０の天井
室１２は、右側面に導入口１４が設けられ、循環エアは
この導入口１４を通って天井室１２に供給される。又、
天井室１２には、複数のＨＥＰＡフィルタ１６．１６が
配置され、更にＨＥＰＡフィルタ１６の下方にパンチン
グボード１８が設けられ、天井室１２のエアは、ＨＥ
Ｐ Ａフィルタ１６及びパンチングボード１８を通って
室内２０に送られる。又、隣接するＨＥＰＡフィルタ１
６．１６間には、梁２２が設けられ、室内２０を照明す
る蛍光灯２４が梁２２の底面２２ａに取付けられる。室
内２０には各種半導体製造機器２６が配置される。
が示されている。図に於いてクリーンルーム１０の天井
室１２は、右側面に導入口１４が設けられ、循環エアは
この導入口１４を通って天井室１２に供給される。又、
天井室１２には、複数のＨＥＰＡフィルタ１６．１６が
配置され、更にＨＥＰＡフィルタ１６の下方にパンチン
グボード１８が設けられ、天井室１２のエアは、ＨＥ
Ｐ Ａフィルタ１６及びパンチングボード１８を通って
室内２０に送られる。又、隣接するＨＥＰＡフィルタ１
６．１６間には、梁２２が設けられ、室内２０を照明す
る蛍光灯２４が梁２２の底面２２ａに取付けられる。室
内２０には各種半導体製造機器２６が配置される。
一方、基礎床２８には複数の支柱３０．３０・・・が立
設され、これ等の支柱３０によって床面用グレーチング
３２が敷設され、室内２０のエアは、このグレーチング
３２を通って床下チャンバ３４に吸い込まれる。チャン
バ３４の右側面には排気口３６が設けられ、チャンバ３
４内のエアは排気口３６より吸い込まれ、図示しない空
気調和装置、ダクトを介して天井室１２の導入口１４に
再び送られる。
設され、これ等の支柱３０によって床面用グレーチング
３２が敷設され、室内２０のエアは、このグレーチング
３２を通って床下チャンバ３４に吸い込まれる。チャン
バ３４の右側面には排気口３６が設けられ、チャンバ３
４内のエアは排気口３６より吸い込まれ、図示しない空
気調和装置、ダクトを介して天井室１２の導入口１４に
再び送られる。
一般に半導体製造工程に於いて、ＩＣの回路パターンは
ステッパー（縮小投影型露光装置）を用いて写真技術を
利用してウェハー上に焼付けられる。即ち、シリコンウ
ェハーに感光樹脂を塗り、その上から光を当てて回路パ
ターンを焼付ける露光工程が必要となる。
ステッパー（縮小投影型露光装置）を用いて写真技術を
利用してウェハー上に焼付けられる。即ち、シリコンウ
ェハーに感光樹脂を塗り、その上から光を当てて回路パ
ターンを焼付ける露光工程が必要となる。
従ってクリーンルームで、照明に蛍光灯２４を使用する
と、蛍光灯等から発生する紫外線によって半導体製造の
露光作業に重大な悪影響を与える。この為従来、クリー
ンルームでは、蛍光灯２４に紫外線をカプトする黄色塗
装又は、紫外線カントフィルタを被せている。しかし、
このような処理をすると、蛍光灯２４からの光が自然光
（白色光）と異なり、黄色光となるため、製品等の目印
に使用される色別標識の判断を阻害するだけでなく、作
業者に心理的悪影響を与え、作業上好ましくない。
と、蛍光灯等から発生する紫外線によって半導体製造の
露光作業に重大な悪影響を与える。この為従来、クリー
ンルームでは、蛍光灯２４に紫外線をカプトする黄色塗
装又は、紫外線カントフィルタを被せている。しかし、
このような処理をすると、蛍光灯２４からの光が自然光
（白色光）と異なり、黄色光となるため、製品等の目印
に使用される色別標識の判断を阻害するだけでなく、作
業者に心理的悪影響を与え、作業上好ましくない。
更に蛍光灯２４は必要最小限の取付幅（例えば２００ｍ
ｍ）を必要とする為、蛍光灯２４の下方領域Ａは、ＨＥ
ＰＡフィルタ１６からの清浄エアが直接到達せず渦流が
発生し、室内で発生する塵埃の滞留域となり、クリーン
ルームの必要。な清浄度が得られない。
ｍ）を必要とする為、蛍光灯２４の下方領域Ａは、ＨＥ
ＰＡフィルタ１６からの清浄エアが直接到達せず渦流が
発生し、室内で発生する塵埃の滞留域となり、クリーン
ルームの必要。な清浄度が得られない。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、紫外
線が除去され自然光に近い白色光が得られると共に、照
明装置等の設置に伴う塵埃滞留域が生しないクリーンル
ームの照明装置を提案することを目的としている。
線が除去され自然光に近い白色光が得られると共に、照
明装置等の設置に伴う塵埃滞留域が生しないクリーンル
ームの照明装置を提案することを目的としている。
本発明はこのような事１ｎに鑑みてなされたもので、天
井面に取付けられた高性能フィルタを通して清浄エアを
室内に吹き出すと共に、室内のエアを吸い込んでエアを
排気するクリーンルームに於いて、前記天井面に発光ダ
イオードを配置することを特徴とする。
井面に取付けられた高性能フィルタを通して清浄エアを
室内に吹き出すと共に、室内のエアを吸い込んでエアを
排気するクリーンルームに於いて、前記天井面に発光ダ
イオードを配置することを特徴とする。
以下添付図面に従って本発明に係るクリーンルームの照
明装置の好ましい実施例を詳説する。第１図は本発明に
係る照明装置が設けられたクリーンルームの断面図、第
２図は、本発明に係る照明装置が設けられた梁の底面図
である。第１図に示す実施例に於いて第８図で示したク
リーンルームと同一の部材若しくは類似の部材には同一
の符号を付し、その詳しい説明は省略する。第１図に示
すように、ＨＥＰＡフィルタ１６．１６間の梁２３は、
底面２３ａの幅！、が約３０鰭に形成され、底面２３ａ
には、各々複数の赤色発光ダイオード３８Ｒと、緑色発
光ダイオード３８Ｇと、青色発光ダイオード３８Ｂとが
設けられている。第２図に示すように梁２３の底面２３
ａの梁幅１３には、互いに色の異なる直径約７龍の発光
ダイオード３８Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂ３個が並設され、梁
底面２３ａの長手方向に沿って、色の異なるダイオード
３８Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂが順次交互に設けられている。
明装置の好ましい実施例を詳説する。第１図は本発明に
係る照明装置が設けられたクリーンルームの断面図、第
２図は、本発明に係る照明装置が設けられた梁の底面図
である。第１図に示す実施例に於いて第８図で示したク
リーンルームと同一の部材若しくは類似の部材には同一
の符号を付し、その詳しい説明は省略する。第１図に示
すように、ＨＥＰＡフィルタ１６．１６間の梁２３は、
底面２３ａの幅！、が約３０鰭に形成され、底面２３ａ
には、各々複数の赤色発光ダイオード３８Ｒと、緑色発
光ダイオード３８Ｇと、青色発光ダイオード３８Ｂとが
設けられている。第２図に示すように梁２３の底面２３
ａの梁幅１３には、互いに色の異なる直径約７龍の発光
ダイオード３８Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂ３個が並設され、梁
底面２３ａの長手方向に沿って、色の異なるダイオード
３８Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂが順次交互に設けられている。
前記の如く構成された本実施例に於いて、赤、緑、青の
光の三原色で組み合わせた各々発光ダイオード３８Ｒ１
３８Ｇ、３８Ｂからの発光は合成されて白色光となり、
クリーンルーム１０の室内２０を照明する。この白色光
は自然光に近（、また発光ダイオードからの光は単一波
長で紫外線を有していないため、半導体製造の露光作業
に悪影宮を与えない。
光の三原色で組み合わせた各々発光ダイオード３８Ｒ１
３８Ｇ、３８Ｂからの発光は合成されて白色光となり、
クリーンルーム１０の室内２０を照明する。この白色光
は自然光に近（、また発光ダイオードからの光は単一波
長で紫外線を有していないため、半導体製造の露光作業
に悪影宮を与えない。
又、発光ダイオード３８Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂは蛍光灯の
ように取付スペースが大きくないので梁２３の幅ｌ、を
約３０１）に形成でき、これによって梁２３下の塵埃の
滞留域Ｂの梁２３からの距離り、が約１５０ ＋ｕとな
る。この塵埃滞留域Ｂの減少によって、室内２０の清浄
度が維持される。
ように取付スペースが大きくないので梁２３の幅ｌ、を
約３０１）に形成でき、これによって梁２３下の塵埃の
滞留域Ｂの梁２３からの距離り、が約１５０ ＋ｕとな
る。この塵埃滞留域Ｂの減少によって、室内２０の清浄
度が維持される。
又、第３図は本発明に係る２の実施例を示したもので、
第８図で示したクリーンルームと同一の部材若しくは類
似の部材には同一の符号を付し、その詳しい説明は省略
する。第３図に示す実施例ではパンチングボード１８ａ
の通気孔４０以外の部分４２に各種発光ダイオード３８
Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂが設けられている。このように構成
すると天井室１２の全面のＨＥＰＡフィルタ１６ａは一
体的に連接され、９２３が不要になっている。又、パン
チングボード１８ａ自体を各発光ダイオード３８Ｒ１３
８Ｇ、３８Ｂの配線用プリント基板として構成すれば、
ボード１８ａ自体が配線基板となり、天井室の配線構造
が簡単になる。
第８図で示したクリーンルームと同一の部材若しくは類
似の部材には同一の符号を付し、その詳しい説明は省略
する。第３図に示す実施例ではパンチングボード１８ａ
の通気孔４０以外の部分４２に各種発光ダイオード３８
Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂが設けられている。このように構成
すると天井室１２の全面のＨＥＰＡフィルタ１６ａは一
体的に連接され、９２３が不要になっている。又、パン
チングボード１８ａ自体を各発光ダイオード３８Ｒ１３
８Ｇ、３８Ｂの配線用プリント基板として構成すれば、
ボード１８ａ自体が配線基板となり、天井室の配線構造
が簡単になる。
このような構成の実施例では、梁２３の設置が不要なの
で従来の塵埃滞留域は解消され、ボード１８ａ上のダイ
オード３８Ｒ，３８Ｇ、３８Ｂの配線も簡略になる。ま
た発光ダイオード３８Ｒ２３８Ｇ、３８Ｂの厚さが整流
効果ももたらす利点もある。
で従来の塵埃滞留域は解消され、ボード１８ａ上のダイ
オード３８Ｒ，３８Ｇ、３８Ｂの配線も簡略になる。ま
た発光ダイオード３８Ｒ２３８Ｇ、３８Ｂの厚さが整流
効果ももたらす利点もある。
又、第４図に示す第３実施例では、天井から取付部材４
４を吊り下げ、この取付は部材４４に各種の発光ダイオ
ード３８Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂを取付けてもよい。このよ
うな構造にすれば、製造機器２６が直接照明されて充分
な明るさが得られ、またダイオード３８Ｒ１３８Ｇ、３
８Ｂを取付ける取付部材４２は小さくて済むので塵埃滞
留域は生じない。
４を吊り下げ、この取付は部材４４に各種の発光ダイオ
ード３８Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂを取付けてもよい。このよ
うな構造にすれば、製造機器２６が直接照明されて充分
な明るさが得られ、またダイオード３８Ｒ１３８Ｇ、３
８Ｂを取付ける取付部材４２は小さくて済むので塵埃滞
留域は生じない。
更に第５図に示す第４実施例ではように、ＨＥＰＡフィ
ルタ１６ａを所定間隔に保持するためのスペーサー４６
の先端に各発光ダイオ−）’３８Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂを
設けてもよい。このようにすれば、発光ダイオード３８
Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂの取付部材が不要となり、また塵埃
滞留域は解消され、室内２０は常に清浄に維持される。
ルタ１６ａを所定間隔に保持するためのスペーサー４６
の先端に各発光ダイオ−）’３８Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂを
設けてもよい。このようにすれば、発光ダイオード３８
Ｒ１３８Ｇ、３８Ｂの取付部材が不要となり、また塵埃
滞留域は解消され、室内２０は常に清浄に維持される。
第６図及び第７図は本発明に係るクリーンルームの照明
装置の第５実施例を示す断面図である。
装置の第５実施例を示す断面図である。
第６図に示すようにＨＥＰＡフィルタ１６は天井の梁２
３に脚６０を介して取り付けられ、ＨＥ ＰＡフィルタ
１６の下面には照明ユニット５０が設けられる。照明ユ
ニット５０はＨＥ Ｐ Ａフィルタ１６のフィルタ５６
の折曲端の下方に沿って配置され、第７図に示すように
各フィルタ５６の折曲端の下方に並設される。照明ユニ
ソ１−５０は透明な外筒５２と外筒５２内に配置される
赤色発光ダイオード３８Ｒと緑色発光ダイオード３８Ｇ
と青色発光ダイオード３８Ｂと、外筒５２の両端に取り
付けられた差込み５３とから構成されている。
３に脚６０を介して取り付けられ、ＨＥ ＰＡフィルタ
１６の下面には照明ユニット５０が設けられる。照明ユ
ニット５０はＨＥ Ｐ Ａフィルタ１６のフィルタ５６
の折曲端の下方に沿って配置され、第７図に示すように
各フィルタ５６の折曲端の下方に並設される。照明ユニ
ソ１−５０は透明な外筒５２と外筒５２内に配置される
赤色発光ダイオード３８Ｒと緑色発光ダイオード３８Ｇ
と青色発光ダイオード３８Ｂと、外筒５２の両端に取り
付けられた差込み５３とから構成されている。
照明ユニット５０はＨＥＰＡフィルタ１６の支持枠５８
に設けられたソケット５４に差込み５３を介して取り付
け、取り外しが行われ、照明ユニッ）５０内の発光ダイ
オード３８は差込み５３、ソケット５４を介して図示し
ない電源に接続されるこのような構成の照明ユニット５
０に於いて、照明ユニット５０は半導体製造の露光作業
に悪影百を与えることなく、塵埃滞留域が生しにくいの
でクリーンルーム内の清浄度が維持される。又、気流の
流出を害することもない。
に設けられたソケット５４に差込み５３を介して取り付
け、取り外しが行われ、照明ユニッ）５０内の発光ダイ
オード３８は差込み５３、ソケット５４を介して図示し
ない電源に接続されるこのような構成の照明ユニット５
０に於いて、照明ユニット５０は半導体製造の露光作業
に悪影百を与えることなく、塵埃滞留域が生しにくいの
でクリーンルーム内の清浄度が維持される。又、気流の
流出を害することもない。
以上説明したように本発明に係るクリーンルームの照明
装置によれば、発光ダイオードを光源とすることにより
、クリーンルームの照明を紫外線が除去された自然光に
近い白色光と使用することができ、又、照明装置等の設
置に伴う塵埃滞留域を解消することができる。
装置によれば、発光ダイオードを光源とすることにより
、クリーンルームの照明を紫外線が除去された自然光に
近い白色光と使用することができ、又、照明装置等の設
置に伴う塵埃滞留域を解消することができる。
第１図は本発明に係る照明装置が設けられたクリーンル
ームの断面図、第２図は、本発明に係る照明装置が設け
られた梁の底面図、第３図、第４図、第５図、第６図及
び第７図は本発明に係る照明装置が設けられた他の実施
例の説明図、第８図は従来の照明装置が設けられたクリ
ーンルームの断面図である。 １０・・・クリーンルーム、 １２・・・天井室、
１６・・・ＨＥ Ｐ Ａフィルタ、 １８・・・パン
チングボード、 ３８Ｒ・・・赤色発光ダイオード、
３８Ｇ・・・緑色発光ダイオード、 ３８Ｂ・・・青色
発光ダイオード。
ームの断面図、第２図は、本発明に係る照明装置が設け
られた梁の底面図、第３図、第４図、第５図、第６図及
び第７図は本発明に係る照明装置が設けられた他の実施
例の説明図、第８図は従来の照明装置が設けられたクリ
ーンルームの断面図である。 １０・・・クリーンルーム、 １２・・・天井室、
１６・・・ＨＥ Ｐ Ａフィルタ、 １８・・・パン
チングボード、 ３８Ｒ・・・赤色発光ダイオード、
３８Ｇ・・・緑色発光ダイオード、 ３８Ｂ・・・青色
発光ダイオード。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）天井面に取付けられた高性能フィルタを通して清
浄エアを室内に吹き出すと共に、室内のエアを吸い込ん
でエアを排気するクリーンルームに於いて、前記天井面
に発光ダイオードを配置することを特徴とするクリーン
ルームの照明装置。 （２）前記発光ダイオードに赤色発光ダイオードを用い
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項のクリーンル
ームの照明装置。 ５ 前記発光ダイオードに赤色発光ダイオードと、緑色
発光ダイオードと、青色発光ダイオードとを用いること
を特徴とする特許請求の範囲第１項のクリーンルームの
照明装置。 （４）前記複数の発光波長を有する発光ダイオード照明
源とする各発光ダイオードはパンチングボードに取付け
られることを特徴とする特許請求の範囲第１項のクリー
ンルームの照明装置。 （５）前記各発光ダイオードは天井から吊下げられた取
付け部材に設けられることを特徴とする特許請求の範囲
第１項のクリーンルームの照明装置。 （６）前記各発光ダイオードは高性能フィルタのスペー
サ下端部に取付けられることを特徴とする特許請求の範
囲第１項のクリーンルームの照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60211778A JPS6273026A (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | クリ−ンル−ムの照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60211778A JPS6273026A (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | クリ−ンル−ムの照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6273026A true JPS6273026A (ja) | 1987-04-03 |
Family
ID=16611438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60211778A Pending JPS6273026A (ja) | 1985-09-25 | 1985-09-25 | クリ−ンル−ムの照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6273026A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003036159A1 (en) * | 2001-10-25 | 2003-05-01 | Tir Systems Ltd. | Solid state continuous sealed clean room light fixture |
| JP2010049987A (ja) * | 2008-08-22 | 2010-03-04 | Rohm Co Ltd | フォトレジストを使用する製造システムおよびその照明光源 |
| JP2010092941A (ja) * | 2008-10-03 | 2010-04-22 | Rohm Co Ltd | フォトレジストを使用する製造システム、ｌｅｄ照明灯管および照明器具 |
| US7717775B2 (en) * | 2005-06-10 | 2010-05-18 | M+W Zander Holding Ag | Filter for suspended particles, especially for use in clean rooms |
| JP2011145052A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-07-28 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワー装置 |
| DE102014004921B3 (de) * | 2014-04-07 | 2015-04-16 | Innovations-Transfer Uphoff Gmbh & Co. Kg | Reinraumbeleuchtungsvorrichtung |
-
1985
- 1985-09-25 JP JP60211778A patent/JPS6273026A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| GB2398116A (en) * | 2001-10-25 | 2004-08-11 | Tir Systems Ltd | Solid state continuous sealed clean room light fixture |
| US6871983B2 (en) | 2001-10-25 | 2005-03-29 | Tir Systems Ltd. | Solid state continuous sealed clean room light fixture |
| GB2398116B (en) * | 2001-10-25 | 2005-05-25 | Tir Systems Ltd | Solid state continuous sealed clean room light fixture |
| DE10297364B4 (de) * | 2001-10-25 | 2009-07-23 | Tir Technology LP, Burnaby | Kontinuierlich versiegelte Festkörper-Reinraum-Beleuchtungsvorrichtung |
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| DE102014004921B3 (de) * | 2014-04-07 | 2015-04-16 | Innovations-Transfer Uphoff Gmbh & Co. Kg | Reinraumbeleuchtungsvorrichtung |
| EP2929864A1 (de) | 2014-04-07 | 2015-10-14 | Innovations-Transfer Uphoff GmbH & Co. KG | Reinraumbeleuchtungsvorrichtung |
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