JP2010048966A - 可変形状鏡 - Google Patents

Abstract

【課題】小型化した可変形状鏡を提供する。
【解決手段】可変形状鏡は、薄膜２１１と、薄膜２１１を全周にわたって保持している第１枠２１４と、第１枠２１４に固定された光学的に透明な第１基板２２２と、第１枠２１４に固定された第２枠２１９と、第２枠２１９に固定された第２基板２５１とを有している。薄膜２１１は上面に反射膜２１２を有し、下面に薄膜電極２１３を有している。第１基板２２２は、薄膜２１１から離れて反射膜２１２の側に位置している。第２枠２１９は、薄膜電極２１３の側に位置している。第２基板２５１は、薄膜２１１から離れて薄膜電極２１３の側に位置し、薄膜電極２１３に対向する駆動電極２５２を有している。薄膜２１１と第１枠２１４と第１基板２２２は第１封止室２２３を規定し、薄膜２１１と第１枠２１４と第２枠２１９と第２基板２５１は第２封止室２２４を規定している。可変形状鏡は、第１封止室２２３と第２封止室２２４をつなぐ気体流路２０１を有している。
【選択図】 図３

Description

本発明は可変形状鏡に関する。

特開２００６−２１５４６７号公報は可変形状鏡を開示している。この可変形状鏡を図１６に示す。図１６に示すように、可変形状鏡４０は、電圧が印加される電極４４と、この電極４４と対向して配置された反射膜４１とを備えている。反射膜４１は、電極４４に印加された静電電圧により歪みを生じる薄膜状の反射面からなっている。反射膜４１と電極４４とを覆い、内部を真空状態に保持する真空室５０を備えている。真空室５０は、反射膜４１への入射光、反射膜４１からの射出光を透過する透明窓板５１を備えている。真空室５０は、電極４４が配置された基板４３をその底部とし、底部から反射膜４１の周囲に立設された壁部材５２と、壁部材５２に取り付けられた透明窓板５１とで構成されている。

この構成により、ミラー部が真空中に配置されるため、空気抵抗がなくなり応答速度が本来の構造体の固有振動数で決まる応答速度に近づく。また、外部の湿度変化の影響を受けないため、安定した変形特性が得られる。また、直接ミラー面が汚れることがなくなるため、ミラーの性能が長期間維持される。
特開２００６−２１５４６７号公報

特開２００６−２１５４６７号公報の可変形状鏡は、基板４３と壁部材５２と透明窓板５１で真空室５０が形成されているため、封止するデバイスと封止構造が別体に設けられており構成部品点数が多く、比較的小型化が困難である。そもそも先行技術の可変形状鏡においては反射膜４１を真空に保てればよく、小型化については問題にしていなかった。

本発明は、この様な実状を考慮して成されたものであり、その目的は、小型化した可変形状鏡を提供することである。

本発明による可変形状鏡は、一方の面に反射膜を有し、他方の面に薄膜電極を有している薄膜と、前記薄膜を全周にわたって保持している第１枠と、前記薄膜から離れて前記反射膜の側に位置している、前記第１枠に固定された光学的に透明な第１基板と、前記薄膜電極の側に位置している、前記第１枠に固定された第２枠と、前記薄膜から離れて前記薄膜電極の側に位置し、前記薄膜電極に対向する駆動電極を有している、前記第２枠に固定された第２基板と、前記薄膜と前記第１枠と前記第１基板とによって規定された第１封止室と、少なくとも前記薄膜と前記第２枠と前記第２基板とによって規定された第２封止室とをつなぐ気体流路とを有している。

本発明によれば、小型化した可変形状鏡が提供される。

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態による可変形状鏡の分解斜視図、図２は、図１に示した可変形状鏡の上面図、図３は、図２中のＡ−Ａ線に沿った可変形状鏡の断面図である。図３に示すようにＸ，Ｙ，Ｚを規定し、便宜上＋Ｚ側を上、−Ｚ側を下と定義するが、実際の配置はこれに限定されない。

図１〜図３に示すように、第１実施形態による可変形状鏡は、薄膜２１１と、薄膜２１１を全周にわたって保持している環状の保持部材として機能する第１枠２１４と、第１枠２１４に固定された光学的に透明な第１基板２２２と、第１枠２１４に固定された環状の間隔形成部材として機能する第２枠２１９と、第２枠２１９に固定された第２基板２５１とを有している。

薄膜２１１は、上面に反射膜２１２を有し、下面に薄膜電極２１３を有している。反射膜２１２と薄膜電極２１３は、例えば、クロム（Ｃｒ）膜の下地層の上に金（Ａｕ）膜を設けて形成されている。

薄膜２１１と第１枠２１４は同一部材から形成されている。薄膜２１１と第１枠２１４は、例えばシリコン基板を凹形状にエッチングして形成されているが、これに限定されない。

第１基板２２２は、薄膜２１１から所定の間隔Ｚ１だけ離れて反射膜２１２の側に位置している。第１基板２２２は、例えばホウケイ酸ガラス製であるが、これに限定されない。使用する光の波長に対して光学的に透明であればよい。

第２枠２１９は、薄膜電極２１３の側に位置している。第２枠２１９は、第２基板２５１と一体化されている。第２枠２１９と第２基板２５１は同一部材から形成されている。第２枠２１９と第２基板２５１は例えばホウケイ酸ガラスから形成されているが、これに限定されない。

第２基板２５１は、薄膜２１１から所定の間隔Ｚ２だけ離れて薄膜電極２１３の側に位置しており、薄膜電極２１３に対向する駆動電極２５２を有している。駆動電極２５２は、例えば、クロム（Ｃｒ）膜の下地層の上に金（Ａｕ）膜を設けて形成されている。

薄膜２１１と第１枠２１４と第１基板２２２は第１封止室２２３を規定している。また、薄膜２１１と第１枠２１４と第２枠２１９と第２基板２５１は第２封止室２２４を規定している。第１封止室２２３と第２封止室２２４は共に外界に対して封止されている。

可変形状鏡は、第１封止室２２３と第２封止室２２４をつなぐ気体流路２０１を有している。気体流路２０１は、第１枠２１４を貫通して第１基板２２２と第２封止室２２４の間に延びている断面が円形の貫通孔２０１ａと、第１基板２２２の下面に形成された矩形の溝２０１ｂとから構成されている。第１枠２１４の幅Ｘ１は第２枠２１９の幅Ｘ２よりもΔＸ内側に大きくなっていて、貫通孔２０１ａはΔＸの範囲に形成されている。気体流路２０１によって第１封止室２２３と第２封止室２２４は気体の行き来が可能につながれている。その結果、第１封止室２２３と第２封止室２２４は同一圧力に維持される。

第１基板２２２と第１枠２１４と第２枠２１９と第２基板２５１は図示しない接合材によって全周にわたって気密に接合されている。また接合材は気体流路２０１を塞いでしまわないように構成されている。

可変形状鏡は、本実施形態では可変形状鏡デバイスとして機能する。駆動電極２５２と薄膜電極２１３の間に図示しない配線により外部から電位差を与えることにより薄膜２１１が変形する。薄膜２１１は所望の大きさ分、変形可能な剛性となる厚みになっている。

（作用１）第１枠２１４は、薄膜２１１を保持するとともに、薄膜２１１の上面と第１基板２２２との所定の間隔を規定する。さらに第１封止室２２３を封止する一構成要素となる。

第２枠２１９は、薄膜２１１の下面と第２基板２５１との所定の間隔を規定する。その結果、第２枠２１９は、第２基板２５１に形成された駆動電極２５２と薄膜２１１に形成された薄膜電極２１３との所定の間隔を規定する。さらに第２封止室２２４を封止する一構成要素となる。

すなわち、本実施形態の可変形状鏡は、封止以外の作用を持つ構成要素で封止されている。

（効果１）１つの構成要素で複数の作用を持つので、可変形状鏡の小型化が比較的容易になる。

（作用２）気体流路２０１がない構成の場合は、薄膜２１１が電圧制御により変形して凸になった方の封止室が、凹になった方の封止室よりも体積が大きい。よって気体の状態方程式ＰＶ＝ｎＲＴ（Ｐ：圧力、Ｖ：体積、ｎ：気体分子数、Ｒ：気体定数、Ｔ：気体の絶対温度）より、温度が一定であれば凹になった方の封止室が、凸になった方の封止室よりも圧力が大きくなる。つまり、第１封止室２２３と第２封止室２２４の差圧による力は電圧制御とは逆向きの力として作用することになり、その結果、薄膜２１１に所望の変形量の変形をさせるには、この逆向きの力として作用する差圧分の力を考慮して、印加電位差を大きくする必要がある。また、薄膜２１１の応答速度が遅くなる。

一方、本実施形態の構成の通り気体流路２０１を設けることにより、薄膜２１１の変形形状によらず第１封止室２２３と第２封止室２２４の圧力が同じに維持される。

（効果２）より小さな電位差で薄膜２１１を駆動できる。また、薄膜２１１の応答速度が速くなる。

（作用３）第２枠２１９に気体流路２０１を形成する必要がない。

（効果３）第２枠２１９に気体流路形成工程を施す工程を削減できる。

（作用４）気体流路２０１を形成するためには、第１枠２１４については貫通孔２０１ａのみ形成すればよい（第２実施形態では溝２０１ｃを貫通孔２０１ａに加えて第１枠２１４に形成する必要がある）。

（効果４）第１枠２１４の剛性を維持するのが比較的容易である。

（作用５）第１封止室２２３と第２封止室２２４が常に同じ圧力に維持される。

（効果５）製造組立て時の諸条件により第１封止室２２３と第２封止室２２４の圧力が異なることによる差圧によって薄膜２１１の初期形状が変形することなく、所望の形状が得られる。

（作用６）第１封止室２２３と第２封止室２２４を別々に封止しても、第１封止室２２３と第２封止室２２４の製造組立て時の諸条件によって発生する差圧が薄膜２１１に作用して変形し、薄膜２１１を劣化や破損することがない。

（効果６）組立や検査などの製造工程の自由度が高くなる。

（作用７）また本実施形態においては、第１枠２１４を貫通して形成された貫通孔２０１ａと第１基板に形成された溝２０１ｂとによって気体流路２０１が構成されている。

（効果７）このため、例えば製造工程などで比較的容易に気体流路２０１を構成することができる。

さらに本実施形態では第２枠２１９は第２基板２５１と一体化されている。製造方法の例をあげると、平板の片方の面を凹形状に削る、あるいはモールド技術などで作成する。

（作用８）部品点数が低減化される。

（効果８）組み立てが容易になる。

なお、貫通孔２０１ａの寸法や形状は本実施形態に限定されないが、第１枠２１４が求められる機能を発揮可能な剛性を得られるように配慮されているのが好ましい。例えば薄膜２１１を駆動した際あるいは静止中の変形が適切になるように、第１枠２１４が薄膜２１１を保持可能な剛性を得られるようにするのが好ましい。同様に溝２０１ｂの寸法や形状も本実施形態に限定されないが、第１基板２２２が求められる機能を発揮可能な剛性を得られるようにするのが好ましい。

＜第１実施形態の第１変形例（図４）と第２変形例（図５）＞
気体流路２０１の個数は１つに限定されない。図４と図５に示すように、第１変形例と第２変形例による可変形状鏡は、気体流路２０１と同様の別の気体流路を有している。つまり、第１変形例と第２変形例による可変形状鏡は、複数の気体流路２０１を有している。第１変形例による可変形状鏡は、図４に示すように、二つの気体流路２０１を有し、第２変形例による可変形状鏡は、図５に示すように、四つの気体流路２０１を有している。これら複数の気体流路２０１は、薄膜２１１の中心に対して点対称に配置されている。気体流路２０１の個数は、第１枠２１４や第１基板２２２に求められる機能を発揮可能な剛性を得られることを勘案して個数を決めることが望ましい。

（作用）薄膜２１１の中心に対して第１枠２１４に気体流路２０１が点対称に配置されているので、薄膜２１１を保持する第１枠２１４の剛性の偏りが少ない。

（効果）第１枠２１４の剛性の偏りが少ないので、薄膜２１１を駆動した際、あるいは静止中の薄膜２１１の変形形状を所望の形状（気体流路２０１を形成しない時に極力近い形状）にするのが比較的容易になる。

なお後述する第２実施形態や第３実施形態およびそれらの変形例に対しても、気体流路２０１の個数、形状、配置は限定されないが、第１枠２１４や第１基板２２２が求められる機能を発揮可能な剛性を得られることを勘案して構成するのが好ましい。特に配置に関しては気体流路２０１が薄膜２１１に対して点対称に配置されていると、上述の作用により上述の効果を得る。

＜第１実施形態の第３変形例（図６）＞
図６に示すように、第３変形例による可変形状鏡では、薄膜２１１を構成する部材の外周領域を薄膜の保持領域２５０とし、薄膜の保持領域２５０と枠２１４ａとが接合されたものにより、第１枠２１４を構成している。枠２１４ａと薄膜の保持領域２５０の両方に貫通孔２０１ａが形成されている。薄膜２１１と薄膜の保持領域２５０の材質は、枠２１４ａの材質と同じであっても異なっていてもどちらでもよい。例えば両者ともシリコンで構成されてもよい。また、例えば、薄膜２１１と薄膜の保持領域２５０の材質が酸化シリコンで、枠２１４ａの材質がシリコンでもよい。また、製造上の都合などから、薄膜２１１と薄膜の保持領域２５０と枠２１４ａの間にさらに他の材質が構成されていてもよい。この場合、他の材質にも貫通孔２０１ａが形成される。

＜第１実施形態の第４変形例（図７）＞
図７に示すように、第４変形例による可変形状鏡では、第２枠２１９が、第２基板２５１と第１枠２１４のいずれとも独立した部材で構成されている。例えば、平板に開口部を設けた部材を第２枠２１９とし、別の平板を第２基板２５１として、両者を接合してもよい。第２枠２１９と第２基板２５１は図示していない接合材によって全周にわたって気密に接合されている。

（作用）第２基板２５１の製造の選択肢が増える。特に第２基板２５１の駆動電極２５２を設ける面を研磨して平坦にしたい場合、第２枠２１９を第２基板２５１に接合する前に研磨すると研磨工程が容易に高精度に行える。

（効果）設計自由度が向上する。特に第２基板２５１の駆動電極２５２を設ける面を平坦にしやすい。

＜第１実施形態の第５変形例（図８）＞
図８に示すように、第５変形例による可変形状鏡では、第１枠と第２枠が同じ部材で構成されている。このような構造体は、例えば、平板の両面に凹形状を形成することによって得られる。

（作用１）部品点数が減る。

（効果１）組み立て性が向上する。

（作用２）接合部が減る。

（効果２）封止性が比較的向上しやすい。

＜第２実施形態＞
図９は、本発明の第２実施形態による可変形状鏡の上面図、図１０は、図９中のＡ−Ａ線に沿った可変形状鏡の断面図である。図９と図１０において、図１〜図３に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。

図９と図１０に示すように、第２実施形態による可変形状鏡では、気体流路２０１が、第１枠２１４を貫通して第１基板２２２と第２封止室２２４の間に延びている貫通孔２０１ａと、第１枠２１４に形成された溝２０１ｃとから構成されている。

第２実施形態による可変形状鏡には、第１実施形態による可変形状鏡と同じ作用効果（ただし作用効果４を除く）の他に以下の作用効果がある。

（作用１）気体流路２０１を形成するために、第１基板２２２と第１枠２１４の位置合わせの必要がない。

（効果１）第１基板２２２と第１枠２１４の接合工程が簡略化される。

（作用２）第１基板２２２に溝を構成する必要がないので、設計する際に第１基板２２２の剛性を勘案する必要が低減する。

（効果２）設計自由度が向上する。

＜第２実施形態の変形例（図１１）＞
図１１に示すように、本変形例による可変形状鏡では、第３枠２２０が第１基板２２２と第１枠２１４の間に設けられており、第１基板２２２が反射膜２１２に対して傾斜して配置されている。第１封止室２２３は薄膜２１１と第１枠２１４と第３枠２２０と第１基板２２２とによって規定されている。気体流路２０１は、第１枠２１４を貫通して第１基板２２２と第２封止室２２４の間に延びている貫通孔２０１ａと、第１基板２２２と第１枠２１４の間のすき間２０１ｃ’とから構成されている。

＜第３実施形態＞
図１２は、本発明の第３実施形態による可変形状鏡の断面図である。図１２において、図９と図１０に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。

図１２に示すように、第３実施形態による可変形状鏡では、第２枠２１９が第１枠２１４と一体化されている。

薄膜２１１と第１枠２１４と第１基板２２２とによって第１封止室２２３が規定され、薄膜２１１と第２枠２１９と第２基板２５１とによって第２封止室２２４が規定されている。

気体流路２０１は、第１枠２１４と第２枠２１９を貫通して第１基板２２２と第２基板２５１の間に延びている貫通孔２０１ｄと、第１枠２１４に形成された溝２０１ｃと、第２枠２１９に形成された溝２０１ｅとから構成されている。

本実施形態では第１枠２１４の幅Ｘ１は第２枠２１９の幅Ｘ２と同じになっている。

（作用）第１枠２１４の幅Ｘ１と第２枠２１９の幅Ｘ２の関係によらず気体流路２０１が形成可能である。

（効果）設計自由度が向上する。

本実施形態では、気体流路２０１の一部が第２枠２１９に形成された溝２０１ｅで構成されているが、第２枠２１９が溝２０１ｅを有する代わりに、第２基板２５１が、気体流路２０１の一部を構成する溝を有していてもよい。また、第１枠２１４と第２枠２１９を貫通する貫通孔２０１ｄは、第２基板２５１まで延びていて、第２枠２１９に形成された溝２０１ｅを介して第２封止室２２４につながっているが、これに代えて、第１枠２１４と第２枠２１９を貫通する貫通孔が、第２基板２５１まで延びていず、直接第２封止室２２４につながっていてもよい。

＜第４実施形態＞
図１３は、本発明の第４実施形態による可変形状鏡の上面図、図１４は、図１３中のＡ−Ａ線に沿った可変形状鏡の断面図である。図１３と図１４において、図１〜図３に示した部材と同一の参照符号を付した部材は同様の部材であり、その詳しい説明は省略する。

図１３と図１４に示すように、第４実施形態による可変形状鏡では、気体流路が、薄膜２１１を貫通して第１封止室２２３と第２封止室２２４の間に延びている微細な多数の貫通孔を含む孔領域２０１ｆで構成されている。

本実施形態の可変形状鏡は、孔領域２０１ｆと同様の別の孔領域を有している。つまり、可変形状鏡は、複数の孔領域２０１ｆ、例えば四つの孔領域２０１ｆを有している。これら四つの孔領域２０１ｆは、薄膜２１１の中心に対して点対称に配置されている。

（作用１）孔領域２０１ｆを形成しても、外界に対して第１封止室２２３と第２封止室２２４の封止性を決めるシールパスが減少することがない。

（効果１）封止性の信頼性が向上する。

（作用２）孔領域２０１ｆは微細な多数の貫通孔で構成されるため、孔領域２０１ｆを形成しても、薄膜２１１の剛性を低下させにくい。なお、薄膜２１１の剛性は、薄膜２１１の特性、例えば共振周波数など特性に影響を与える。

（効果２）設計の自由度が向上する。

孔領域２０１ｆの個数と形状と配置は、薄膜２１１の求められる特性を発揮可能な剛性を得られることを勘案して構成するのが好ましい。さらに配置に関しては本実施形態のように孔領域２０１ｆが薄膜２１１の中心に対して点対称に配置されていると、以下の作用効果を得る。

（作用３）薄膜２１１の剛性の偏りが少ない。

（効果３）薄膜２１１の剛性の偏りが少ないので、薄膜２１１を駆動した際、あるいは静止中の薄膜２１１の変形形状を所望の形状（孔領域２０１ｆを形成しないときに極力近い形状）にするのが比較的容易になる。

本実施形態では、気体流路が、微細な多数の貫通孔を含む四つの孔領域２０１ｆで構成されているが、各孔領域２０１ｆは単一の貫通孔に代替されてもよい。つまり、気体流路は、薄膜２１１を貫通して第１封止室２２３と第２封止室２２４の間に延びている貫通孔で構成されてもよい。この場合、気体流路の形成が比較的容易である。また、薄膜２１１の剛性を部分的に意図的に低下させ、変形しやすくしたい場合に効果的である。

＜第４実施形態の変形例＞
図１５に示すように、本変形例による可変形状鏡では、孔領域２０１ｆが、薄膜２１１の周縁全周にわたって形成されている。本変形例においても孔領域２０１ｆが薄膜２１１の中心に対して点対称に配置されている。

（作用）全周にわたって孔領域２０１ｆが形成されているため、薄膜２１１の剛性が周方向に一様になっている。

（効果）薄膜２１１を駆動した際、あるいは静止中の薄膜２１１の変形形状を所望の形状（孔領域２０１ｆを形成しないときに極力近い形状）にするのが比較的容易である。

本発明による可変形状鏡は、上述した実施形態およびそれらの変形例に限定されず、以下のように変形されてもよい。

（１）例えば駆動電極２５２を第２基板２５１ではなく第１基板２２２に設け、さらに反射膜２１２と薄膜電極２１３を入れ替えた構成の可変形状鏡としてもよい。

（２）各実施形態（それらの変形例を含む）を適宜組み合わせた構成としてもよい。

（３）第１基板２２２の材質はホウケイ酸ガラスなどのガラスにすることにより、第１基板２２２は光（主として可視光）を透過することができる。なお、第１基板２２２の材質はホウケイ酸ガラスや、それ以外のガラスに限定されない。第１基板２２２の材質は例えばシリコンなどでもよく、シリコンの場合には第１基板２２２は赤外線を透過することができる。すなわち、使用する光の波長に対して光学的に透明であればよい。

（４）第１枠２１４の材質はシリコンに限定されない。

（５）第２枠２１９の材質はシリコンに限定されない。

（６）第２基板２５１の材質はホウケイ酸ガラスに限定されない。

（７）駆動電極２５２と薄膜電極２１３と反射膜２１２はクロム（Ｃｒ）膜が下地の金（Ａｕ）膜に限定されない。例えばアルミ（Ａｌ）膜で構成されてもよい。また、駆動電極２５２と薄膜電極２１３と反射膜２１２に用いられる膜の構成は同一でもよいし、異なってもよい。

（８）第１基板２２２と第２基板２５１の形状は四角形に限定されない。

（９）薄膜２１１の形状は円形に限定されない。これに伴い、第１枠の内周の形状は円形に限定されない。

（１０）第１枠の外周の形状は四角形に限定されない
（１１）第２枠の内周の形状は円形に限定されない。第２枠の外周の形状は四角に限定されない
（１２）反射膜２１２や薄膜電極２１３の形状は円形に限定されない。さらに薄膜２１１の全面に形成されることに限定されない。例えばパターニングされていてもよい。また反射膜２１２と薄膜電極２１３に関して、その形状、全面に形成されているか否か、パターニングされている場合においてはパターニング形状については、それぞれ反射膜２１２と薄膜電極２１３とで同じでもよいし異なってもよい。

（１３）駆動電極２５２は１つの円形状電極と１つの輪帯状電極とからなるものにその数や形や組み合わせなど限定されない。駆動電極２５２は、例えば四角形の電極が複数行列状に並んでいる構成であってもよい。

（１４）１つの可変形状鏡に１つの第１封止室２２３と１つの第２封止室２２４に限定されない。

（１５）第１基板２２２と第１枠２１４を接合する接合材、あるいは第１枠２１４と第２基板２５１を接合する接合材は、はんだ材、有機系接着剤、低融点ガラスなどが上げられるが、これらに限定されない。また例えば封止材が低融点ガラスや有機系接着剤などの場合は、第１基板２２２、第１枠２１４および第２基板２５１の接合する面に金属膜を形成する必要がない。一方、はんだ接合の場合は、第１基板２２２、第１枠２１４および第２基板２５１の接合する面に金属膜を形成する。なお、はんだ材と低融点ガラスからは接合後アウトガスが比較的発生しにくいので、可変形状鏡の封止に寄与する接合には比較的適している。また有機系接着剤は種類を選択することによって硬化の手段として熱硬化や室温硬化、紫外線照射による硬化などを選択可能なので、設計自由度が高くなる。また、接合材を用いる接合方法にも限定されない。例えば第１実施形態の部材の構成であれば、陽極接合が可能であり、上述のような接合材を用いる必要がなくなるので、接合材の供給方法や気体流路をふさがないように構成することなどを考慮する必要がない。

（１６）第１実施形態〜第３実施形態およびそれらの変形例において、気体流路２０１が多孔質で構成されていてもよい。

（１７）第１基板２２２と第１枠の間や、第１枠と第２枠の間などに、製造上の都合などで他の材料等が構成されていてもよい。この場合、他の材料等にも気体流路２０１を塞いでしまわないように適宜気体流路が形成される。

これまで、図面を参照しながら本発明の実施形態を述べたが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において様々な変形や変更が施されてもよい。

本発明の第１実施形態による可変形状鏡の分解斜視図である。 図１に示した可変形状鏡の上面図である。 図２中のＡ−Ａ線に沿った可変形状鏡の断面図である。 本発明の第１実施形態の第１変形例による可変形状鏡の上面図である。 本発明の第１実施形態の第２変形例による可変形状鏡の上面図である。 本発明の第１実施形態の第３変形例による可変形状鏡の断面図である。 本発明の第１実施形態の第４変形例による可変形状鏡の断面図である。 本発明の第１実施形態の第５変形例による可変形状鏡の断面図である。 本発明の第２実施形態による可変形状鏡の上面図である。 図９中のＡ−Ａ線に沿った可変形状鏡の断面図である。 第２実施形態の変形例による可変形状鏡の断面図である。 本発明の第３実施形態による可変形状鏡の断面図である。 本発明の第４実施形態による可変形状鏡の上面図である。 図１３中のＡ−Ａ線に沿った可変形状鏡の断面図である。 本発明の第４実施形態の変形例による可変形状鏡の上面図である。 特開２００６−２１５４６７号公報に開示されている可変形状鏡を示している。

符号の説明

４０…可変形状鏡、４１…反射膜、４３…基板、４４…電極、５０…真空室、５１…透明窓板、５２…壁部材、２０１…気体流路、２０１ａ…貫通孔、２０１ｂ…溝、２０１ｃ…溝、２０１ｄ…貫通孔、２０１ｅ…溝、２０１ｆ…孔領域、２１１…薄膜、２１２…反射膜、２１３…薄膜電極、２１４…第１枠、２１４ａ…枠、２１９…第２枠、２２０…第３枠、２２２…第１基板、２２３…第１封止室、２２４…第２封止室、２５０…保持領域、２５１…第２基板、２５２…駆動電極。

Claims (14)

1. 一方の面に反射膜を有し、他方の面に薄膜電極を有している薄膜と、
   前記薄膜を全周にわたって保持している第１枠と、
   前記薄膜から離れて前記反射膜の側に位置している、前記第１枠に固定された光学的に透明な第１基板と、
   前記薄膜電極の側に位置している、前記第１枠に固定された第２枠と、
   前記薄膜から離れて前記薄膜電極の側に位置し、前記薄膜電極に対向する駆動電極を有している、前記第２枠に固定された第２基板と、
   前記薄膜と前記第１枠と前記第１基板とによって規定された第１封止室と、少なくとも前記薄膜と前記第２枠と前記第２基板とによって規定された第２封止室とをつなぐ気体流路とを有している、可変形状鏡。
2. 前記第２枠が、前記第２基板と一体化されている、請求項１に記載の可変形状鏡。
3. 前記第２枠が、前記第２基板と前記第１枠のいずれとも独立した部材で構成されている、請求項１に記載の可変形状鏡。
4. 前記第２枠が、前記第１枠と一体化されている、請求項１に記載の可変形状鏡。
5. 前記第１枠が、前記第２封止室を部分的に規定しており、前記気体流路が、前記第１枠を貫通して前記第１基板と前記第２封止室の間に延びている貫通孔を含んでいる、請求項１〜３のいずれかひとつに記載の可変形状鏡。
6. 前記気体流路が、前記第１基板に形成された溝を含んでいる、請求項５に記載の可変形状鏡。
7. 前記気体流路が、前記第１枠に形成された溝を含んでいる、請求項５に記載の可変形状鏡。
8. 前記気体流路が、前記第１枠と前記第２枠を貫通して前記第１基板と前記第２基板の間に延びている貫通孔を含んでいる、請求項４に記載の可変形状鏡。
9. 前記気体流路が、前記第１枠に形成された溝と前記第２枠に形成された溝とを含んでいる、請求項８に記載の可変形状鏡。
10. 前記気体流路が、前記薄膜を貫通して前記第１封止室と前記第２封止室の間に延びている貫通孔で構成されている、請求項１〜４のいずれかひとつに記載の可変形状鏡。
11. 前記気体流路と同様の別の気体流路を含み、これら複数の気体流路が、前記薄膜の中心に対して点対称に配置されている、請求項１〜１０のいずれかひとつに記載の可変形状鏡。
12. 前記気体流路が、前記薄膜を貫通して前記第１封止室と前記第２封止室の間に延びている多数の貫通孔を含む孔領域で構成されている、請求項１〜４のいずれかひとつに記載の可変形状鏡。
13. 前記孔領域と同様の別の孔領域を含み、これら複数の孔領域が、前記薄膜の中心に対して点対称に配置されている、請求項１２に記載の可変形状鏡。
14. 前記孔領域が、前記薄膜の周縁全周にわたって延びている、請求項１２に記載の可変形状鏡。

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