JP2010041015A - 半導体ウエハ収納容器用保管棚 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】FOUP保管棚内のFOUP設置棚2の上面に、FOUPの吸排気口6と合致する位置に突起状栓を設け、FOUP設置棚2にFOUPが設置・保管されると、FOUPの吸排気口6とFOUP設置棚2の上面の突起状栓が嵌合し、FOUPの吸排気口6がシールされ、FOUPの自重によりシール性が強められる構造の、FOUP設置棚2の上面に突起状栓を備えたFOUP用保管棚である。前記突起状栓を、円錐形栓34、バネ付き円錐形栓にすると、シール性をさらに強めることができる。
【選択図】図8
Description
その結果、半導体プロセスに要求される環境も一段厳しくなり、ウエハを収納したFOUP内の雰囲気も、工程によっては、水分、ケミカルガス等を完全に除去することが必要になってきた。
Note; 図10:シャッター付ブレスフィルターを参照こと。
半導体ウエハ収納容器(FOUP)の底部には気圧の変化により容器内と外部に圧力差が生じないようFilter付の吸排気口が設けられ、前記FOUPを保管する保管棚において,保管棚内のFOUP設置棚の上面に、FOUPの吸排気口と合致する位置に突起状栓を設け、FOUP設置棚にFOUPが設置・保管されると、FOUPの吸排気口と棚の上面の突起状栓が勘合し、FOUPの吸排気口がシールされる構造の突起状栓を備えたFOUP用保管棚である。
[請求項1]の突起状栓において、先端がFOUPの円形の吸排気口の径より小さく、底部はFOUPの円形の吸排気口の径より大きな径の円錐状になっており、FOUPが棚に設置・保管されると、FOUPの重量でFOUPの円形の吸排気口と前記円錐状栓の傾斜部が勘合し、円形の吸排気口がシールされる構造の円錐状栓を備えたFOUP用保管棚である。
[請求項2]の円錐状栓において、円錐状栓と、円錐状栓が設置される棚との間にバネが挿入され、円錐状栓が上下左右に動けるようにして、経年変化により変形するFOUPの円形吸排気口と円錐状栓の位置の誤差を吸収し、FOUP保管時、円形吸排気口と円錐状栓の傾斜部が勘合し、円形吸排気口がシールされる構造の、バネ内臓の円錐状栓を備えたFOUP用保管棚である。
FOUP3には、ドア5及び取り付け用のドアフランジ12がある。内部にはウエハ13が25枚収納できるようになっている。上部にはFOUP吊り上げ用の吊り上げフランジ10、FOUP底部9には吸排気口6が設けられ、FOUP3内に塵が入らないように、ブレスフィルター8が設けられている。
これらFOUPの構造・仕様は国際標準として、決められている。
FOUPの吸排気口6と勘合し、FOUPがシールされる円錐状のFOUPシール用栓22、FOUP3のFOUP設置棚への設置位置を決めるキネマティックカップリング用ピン23、FOUP3がFOUP設置棚の定位置に有るか無いかを検出するFOUP検出器24が準備されている。
図8は、円錐形栓34を備えたFOUP設置棚2にFOUPが設置された時の状態を示す。FOUP3がFOUP底部9のキネマティックカップリング用穴14とFOUP設置棚2のキネマティックカップリング用ピン23で位置決めされながらFOUP設置棚2に置かれると、FOUP3の底部9の吸排気口6とFOUP設置棚2の円錐形栓34が勘合する。FOUP3の底部9の吸排気口縁7はFOUP設置棚2のFOUPシール用円錐形栓34の傾斜部35に接触し、FOUP3の自重により押し付けられ、N2ガスが漏れない状態にシールされる。
図9は、バネ付円錐形栓31を備えたFOUP設置棚2にFOUPが設置された時の状態を示す。FOUP3がFOUP底部9のキネマティックカップリング用穴14とFOUP設置棚2のキネマティックカップリング用ピン23で位置決めされながらFOUP設置棚2に置かれると、FOUP3の底部9の吸排気口6とFOUP設置棚2のバネ付円錐形栓31が勘合する。
FOUP3の底部9の吸排気口縁7はFOUP設置棚2のFOUPシール用バネ付円錐形栓31のカバー33の傾斜部36に接触し、FOUP3の自重により押し付けられ、N2ガスが漏れない状態にシールされる。
2 FOUP設置棚
3 FOUP
4 搬送ロボット
5 ドア
6 給排気口
7 給排気口縁
8 ブレスフィルタ
9 FOUP底部
10 吊り上げフランジ
11 底板
12 ドアフランジ
13 ウェハ
14 キネマティクカップリング穴
22 FOUPシール用栓
23 キネマティクカップリングピン
24 FOUP検出器
30 バネ
31 バネ付き円錐形栓
32 ガイド
33 カバー
34 円錐形栓
35 傾斜部
36 傾斜部
37 シャター
38 シャッター押えバネ
Claims (3)
- 半導体ウエハ収納容器(FOUP)の底部には気圧の変化により容器内と外部に圧力差が生じないようFilter付の吸排気口が設けられ、前記FOUPを保管する保管棚において,保管棚内のFOUP設置棚の上面に、FOUPの吸排気口と合致する位置に突起状栓を設け、FOUP設置棚にFOUPが設置・保管されると、FOUPの吸排気口と棚の上面の突起状栓が勘合し、FOUPの吸排気口がシールされる構造の突起状栓を備えたFOUP用保管棚。
- [請求項1]の突起状栓において、先端がFOUPの円形の吸排気口の径より小さく、底部はFOUPの円形の吸排気口の径より大きな径の円錐状になっており、FOUPが棚に設置・保管されると、FOUPの重量でFOUPの円形の吸排気口と前記円錐状栓の傾斜部が勘合し、円形の吸排気口がシールされる構造の円錐状栓を備えたFOUP用保管棚。
- [請求項2]の円錐状栓において、円錐状栓と、円錐状栓が設置される棚との間にバネが挿入され、円錐状栓が上下左右に動けるようにして、経年変化により変形するFOUPの円形吸排気口と円錐状栓の位置の誤差を吸収し、FOUP保管時、円形吸排気口と円錐状栓の傾斜部が勘合し、円形吸排気口がシールされる構造の、バネ内臓の円錐状栓を備えたFOUP用保管棚。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008224088A JP2010041015A (ja) | 2008-08-05 | 2008-08-05 | 半導体ウエハ収納容器用保管棚 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008224088A JP2010041015A (ja) | 2008-08-05 | 2008-08-05 | 半導体ウエハ収納容器用保管棚 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010041015A true JP2010041015A (ja) | 2010-02-18 |
Family
ID=42013191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008224088A Pending JP2010041015A (ja) | 2008-08-05 | 2008-08-05 | 半導体ウエハ収納容器用保管棚 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010041015A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9520311B2 (en) | 2013-06-26 | 2016-12-13 | Daifuku Co., Ltd. | Processing facility |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000340641A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-12-08 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2005026674A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-27 | Kondo Kogyo Kk | 半導体ウェハ収納容器内空気清浄装置 |
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2008
- 2008-08-05 JP JP2008224088A patent/JP2010041015A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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JP2000340641A (ja) * | 1999-05-27 | 2000-12-08 | Kokusai Electric Co Ltd | 基板処理装置 |
JP2005026674A (ja) * | 2003-06-13 | 2005-01-27 | Kondo Kogyo Kk | 半導体ウェハ収納容器内空気清浄装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US9520311B2 (en) | 2013-06-26 | 2016-12-13 | Daifuku Co., Ltd. | Processing facility |
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