JP2010040079A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】磁気ランダム・アクセス・メモリの書込に関連する回路のレイアウト面積を低減する。
【解決手段】可変磁気抵抗素子(VR)の磁化容易軸(EX)と直交する方向に書込ビット線(WBL0,WBL1)を配置し、書込データに応じて双方向に書込ビット線に電流を流す。一方、書込ビット線と交差するようにビット線(BL0−BL3)を配置し、書込データの論理値にかかわらず一定方向に電流を流す。書込ビット線へは、セルトランジスタ(CT)の耐圧よりも高い高電圧(VCC)から電流を供給する。
【選択図】図3
【解決手段】可変磁気抵抗素子(VR)の磁化容易軸(EX)と直交する方向に書込ビット線(WBL0,WBL1)を配置し、書込データに応じて双方向に書込ビット線に電流を流す。一方、書込ビット線と交差するようにビット線(BL0−BL3)を配置し、書込データの論理値にかかわらず一定方向に電流を流す。書込ビット線へは、セルトランジスタ(CT)の耐圧よりも高い高電圧(VCC)から電流を供給する。
【選択図】図3
Description
この発明は、不揮発性半導体記憶装置に関し、特に、磁気抵抗素子の磁化方向に応じてデータを記憶する薄膜磁性体半導体記憶装置の構成に関する。より特定的には、この発明は、電流誘起磁界により可変磁気抵抗素子の磁化方向を設定する薄膜磁性体半導体記憶装置のデータ書込部の配置に関する。
不揮発性半導体記憶装置の1つに、薄膜磁性体半導体記憶装置(MRAM:磁気ランダム・アクセス・メモリ)がある。このMRAMは、データの記憶に磁気抵抗効果を利用する。すなわち、記憶素子に可変磁気抵抗素子を用いる。この可変磁気抵抗素子においては、バリア層を挟んで自由層と固定層とが対向して配置される。自由層は記憶データに応じて磁化方向が設定され、一方、固定層は、その磁化方向が記憶データにかかわらず固定される。自由層および固定層の磁化方向が一致する場合、可変磁気抵抗素子の抵抗値は小さくなる。逆に、自由層と固定層の磁化方向が逆(反平行)の場合には、その抵抗値が高くなる。この可変磁気抵抗素子の抵抗値の高低を、2値データの“0”および“1”に対応付ける。
データの書込時においては、ビット線およびデジット線を流れる電流が誘起する磁界を用いて自由層の磁化方向を設定する。MRAMにおいては、フラッシュメモリのように、高電圧を用いて絶縁膜を介して電荷を移動させる必要はない。従って、MRAMは、フラッシュメモリなどに比べて、低電圧動作が可能であり、また、高速アクセスが可能であり、また理想的には、書込回数が制限されない。これらの理由により、MRAMは、携帯機器の用途に適した候補の1つと考えられ、種々の構成が提案されている。
このようなMRAMの構成の一例が、非特許文献1(T. Tsuji et al.,“A 1.2V 1Mbit Embedded MRAM Core with Folded Bit-Line Array Architecture,”2004 Symposium on VLSI Circuits Digest of Technical Papers, June 2004, pp.450-453.)に示されている。この非特許文献1に示される構成においては、MRAMセルは、1つの可変磁気抵抗素子(MTJ素子(磁気トンネル接合素子)またはTMR素子(トンネリング磁気抵抗素子))と、この可変磁気抵抗素子に直列に接続される1つの選択トランジスタ(セルトランジスタ)とで構成される。
可変磁気抵抗素子の上部電極をビット線に結合し、可変磁気抵抗素子下部に、書込ワード線(デジット線)が配置される。可変磁気抵抗素子が行方向に整列して配置され、一方一方、セルトランジスタは、2行の読出用のワード線に交互に結合され、可変磁気抵抗素子はセルトランジスタを介して対応の列のビット線に結合される。書込ワード線(デジット線)を流れる電流が誘起する磁界とビット線を流れる電流が誘起する磁界とにより、選択メモリセルの可変磁気抵抗素子の自由層の磁化方向を設定する。
データ読出時においては、1つのワード線が選択され、対をなすビット線の一方にメモリセルの記憶データに応じた電流が流れ、他方に、ダミーセルの抵抗値に応じた参照電流が流れる。この非特許文献1においては、2ビット単位でメモリセルを選択し、ダミーセルとして高抵抗状態のダミーセルおよび低抵抗状態のダミーセルを用い、これらの2つのダミーセルを流れる電流の平均電流を参照電流として用いて、2ビットのメモリセルの記憶データの検出を行なう。
上述の非特許文献1に示される構成においては、デジット線に、書込データの論理値にかかわらず、一定の方向に電流が流れる。ビット線において、書込データの論理値に応じた方向に電流が流れる。このため、各ビット線の両側に、ビット線ドライバが配置される。このビット線ドライバは、各々、充電用のPチャネルMOSトランジスタ(絶縁ゲート型電界効果トランジスタ)および放電用のNチャネルMOSトランジスタで構成される。ビット線を流れる電流により、自由層の磁化方向を設定するため、ビット線は、可変磁気抵抗素子の磁化容易軸と直交する方向に配置される。デジット線は、書込時の磁化反転を容易とするためのアシスト磁界を供給するために、可変磁気抵抗素子の磁化困難軸と直交する方向に配置される。
データ書込時、ビット線ドライバを介してビット線に電流が供給される。この書込時、可変磁気抵抗素子を介してセルトランジスタにビット線上の電圧が供給されるため、通常、ビット線ドライバの動作電源電圧(VDD)は、セルトランジスタの耐圧に応じた電圧に設定される。通常、セルトランジスタとしては、読出時の高速動作および高集積化を目的として、ロジックトランジスタ(プロセッサに含まれるトランジスタ)と同様、低電圧動作のトランジスタが用いられる。したがって、ビット線ドライバの動作電源電圧は、セルトランジスタの耐圧で決定される低電圧である。
一方、デジット線においては、この書込時に必要十分なデジット線電流を流すために、デジット線ドライバを構成するトランジスタを飽和領域で動作させる。通常、デジット線は一端が電源ノードに結合され、他端がディジット線ドライバを介して接地ノードに結合される。したがって、このデジット線ドライバが、十分な大きさのゲート−ソース間電圧Vgsを得るために、ディジット線電圧としては、ビット線ドライバの動作電源電圧(VDD)よりも高い電圧(VCC)が用いられる。このため、通常、デジット線ドライバとしては、セルトランジスタよりも耐圧の高い高耐圧トランジスタが用いられる。
T. Tsuji et al.,"A 1.2V 1Mbit Embedded MRAM Core with Folded Bit-Line Array Architecture,"2004 Symposium on VLSI Circuits Digest of Technical Papers, June 2004, pp.450-453.
T. Tsuji et al.,"A 1.2V 1Mbit Embedded MRAM Core with Folded Bit-Line Array Architecture,"2004 Symposium on VLSI Circuits Digest of Technical Papers, June 2004, pp.450-453.
データ書込時においては、選択メモリセルが接続されるビット線に書込電流が供給される。このビット線書込電流は、ビット線ドライバの動作電源電圧(VDD)から供給される。十分な大きさのビット線書込電流を供給するためには、ビット線ドライバのトランジスタを飽和領域で動作させる。この場合には、ビット線ドライバのゲートーソース間電圧の絶対値Vgsをできるだけ大きくするのが望ましい。しかしながら、このビット線ドライバの動作電源電圧は、セルトランジスタの耐圧で決定される電圧レベルであり、その上限が制限される。
データ書込時には、ビット線に書込電流が供給される。このビット線書込電流としては、ビット線の寄生抵抗を介して十分な大きさの電流を流すことが要求され、このビット線書込電流を供給するビット線ドライバ電源電圧(VDD)が、ビット線書込電流のために大部分が消費される。このビット線書込電流のために、ビット線ドライバの動作電源電圧が低下すると、ビット線ドライバのトランジスタ(PチャネルMOSトランジスタ)のゲート−ソース間電圧Vgsの絶対値が低下し、十分な電流を供給することができなくなる。特に、ビット線ドライバの電源電圧が、セルトランジスタの耐圧で決定される低電圧レベルのときには、この電圧低下の影響が大きくなる。
したがって、十分な大きさのビット線書込電流をビット線(ビット線寄生抵抗)に供給するためには、このビット線ドライバのサイズ(チャネル幅とチャネル長の比)を大きくして、そのオン抵抗を小さくし、十分な電流駆動力を実現する必要がある。この結果、ビット線ドライバのレイアウト面積が増加するという問題が生じる。
また、ビット線ドライバは、各ビット線の両側に配置される。ビット線ドライバは、CMOSドライバであり、1ビット線当たり、2個のPチャネルMOSトランジスタおよび2個のNチャネルMOSトランジスタが配置される。従って、このビット線ドライバのレイアウトの面積が大きく、ビット線ドライバトランジスタの面積増加によるビット線ドライブ回路全体の面積増加に対する影響が大きくなる。
前述の非特許文献1に示される構成においては、ビット線書込ドライバの充電トランジスタのソース電圧を、デジット線ドライバの動作電源電圧(VCC)と同じ電圧レベルとし、放電用トランジスタのゲート電圧を、このドライバ電源電圧VCCよりも低い電圧レベルに設定し、ビット線書込電流を調整している。しかしながら、非特許文献1においては、選択列のビット線BLをドライバ電源電圧VCCに充電した後に、ビット線の放電を行なっている。従って、セルトランジスタの耐圧を保証することができないという問題があり、セルトランジスタとしてロジックトランジスタを用いて、高集積化および高速読出を実現する構成に対しては、この非特許文献1のビット線ドライバの構成を適用することができない。
それゆえ、この発明の目的は、レイアウト面積を大幅に低減することのできる不揮発性半導体記憶装置を提供することである。
この発明に係る不揮発性半導体記憶装置は、可変磁気抵抗素子の下部に、この可変磁気抵抗素子の磁化容易軸と直交する方向に書込ビット線を配置する。可変磁気抵抗素子には、ビット線を電気的かつ磁気的に結合する。この可変磁気抵抗素子は、セルトランジスタを介してソース線に結合される。データ書込時、ビット線に、書込データの論理値にかかわらず固定された方向に電流を流す。一方、書込ビット線には、書込データの論理値に応じた方向に電流を流す。
磁化反転用書込電流を流す書込ビット線が、可変磁気抵抗素子下部に、この可変磁気抵抗素子の磁化容易軸と直交する方向に配置される。したがって、この書込ビット線はセルトランジスタと電気的に分離されるため、書込ビット線に供給される電圧を、セルトランジスタの耐圧電圧で決定される電圧よりも高く設定することができる。これにより、書込ビット線ドライバのトランジスタを十分に飽和領域で動作させることができ、この書込ビット線ドライバのトランジスタのサイズを低減することができる。これにより、ビット線書込ドライバのレイアウト面積を低減することができる。
[実施の形態1]
図1は、この発明の実施の形態1に従う不揮発性半導体記憶装置(MRAM)のメモリセルアレイのレイアウトを概略的に示す図である。図1においては、4行4列に配列されるメモリセルのレイアウトを示す。
図1は、この発明の実施の形態1に従う不揮発性半導体記憶装置(MRAM)のメモリセルアレイのレイアウトを概略的に示す図である。図1においては、4行4列に配列されるメモリセルのレイアウトを示す。
図1において、矩形状の活性領域1が間をおいてX方向およびY方向に整列して配置される。この活性領域1には、2ビットのメモリセルのトランジスタ(セルトランジスタ)が形成される。
X方向に整列して、可変磁気抵抗素子VRaおよびVRbが配置される。この可変磁気抵抗素子VRaおよびVRbそれぞれに対応してローカル配線2aおよび2bが配置される。これらのローカル配線2aおよび2bは、それぞれ、可変磁気抵抗素子VRaおよびVRbを載置し、可変磁気抵抗素子VRaおよびVRbの下部電極に電気的に接続される。
ローカル配線2aおよび2bは、それぞれビア4aおよび4bを介してそれぞれ中間配線3aおよび3bに電気的に接続される。中間配線3aおよび3bは、それぞれX方向に長い矩形形状を有し、活性領域1に対応する領域内において、互いに間をおいて配置される。
中間配線3aおよび3bはプラグ(脚)を有し、このプラグにより、下層の中間配線5aおよび5bに電気的に接続される。中間配線5aおよび5bは、Y方向において整列して配置され、それぞれ、コンタクト6aおよび6bを介して下部の活性領域1に電気的に接続される。
各可変磁気抵抗素子行に対応して、可変磁気抵抗素子VR(VRa,VRb)下部に、書込ビット線WBLがX方向に延在して配置される。図1においては、書込ビット線WBL0およびWBL1を示す。可変磁気抵抗素子VR(VRa,VRb)は、Y方向に沿った磁化容易軸EXおよびX方向に沿った磁化困難軸HXを有し、書込ビット線WBL(WBL0,WBL1)は、この可変磁気抵抗素子VR(VRa,VRb)の磁化容易軸EXと直交する方向に配置される。この書込ビット線WBL(WBL0,WBL1)は、可変磁気抵抗素子VRaおよびVRbと電気的に分離され、かつ磁気的に結合される。
また、X方向に連続的に延在してかつY方向において間をおいて、書込ビット線WBL(WBL0,WBL1)の両側に、ワード線WLが配置される。図1においては、ワード線WL0−WL3を代表的に示す。これらのワード線WL0−WL3は、それぞれ活性領域1に形成されるセルトランジスタのゲート電極を構成する。
Y方向に連続的に延在してかつ可変磁気抵抗素子列に対応してビット線BL,BL_Bが配置される。このビット線BLおよびBL_Bは、対をなして配置され、データ読出時に一方が参照ビット線として用いられる。図1においては、一例として、ビット線BL0、BL2がビット線BLを構成し、ビット線BL1およびBL3が、補のビット線BL_Bを構成する。これらのビット線BL0−BL3は、それぞれ、対応の列の可変磁気抵抗素子VR(VRa,VRb)の上部電極に電気的に接続される。
各ビット線対の両側に、Y方向に連続的に延在してソース線SLが配置される。ソース線SLは、コンタクト7を介して活性領域1に電気的に接続される。ソース線コンタクト7は、したがって、活性領域1に形成される2つのメモリセルのセルトランジスタに共通に設けられる。
図2は、図1に示すレイアウトの線L2−L2に沿った断面構造を概略的に示す図である。図2においては、ビット線BLおよび可変磁気抵抗素子VRの断面構造を、メモリセルの各構成要素の接続関係を明確にするために併せて示す。
図2において、半導体基板領域10表面に活性領域1が形成される。活性領域1は、不純物が注入された領域であり、図2においては、セルトランジスタのドレインを構成する不純物領域1aおよび1bと、ソース領域を構成する不純物領域1cを示す。ワード線WL(WL2,WL3)下部にチャネルが形成される。チャネル形成領域にも不純物注入が行なわれており、図2においては、このチャネル領域においても、不純物領域1a、1bおよび1cが連通するように示す。この不純物領域1cは、先の非特許文献1に示されるように、表面にシリサイドが形成され、低抵抗化が図られル構成が用いられても良く、図1に示すコンタクト7を介してソース線SLに電気的に接続される。
不純物領域1aおよび1bは、それぞれコンタクト6aおよび6bを介して中間配線5aおよび5bにそれぞれ電気的に接続される。これらの中間配線5aおよび5b上部に、それぞれ、プラグ3aおよび3bが形成される。プラグ3aは、バイア4aを介してローカル配線2(2a)に電気的に接続される。ローカル配線2(2a)に、可変磁気抵抗素子VR(VRaまたはVRb)が配置され、可変磁気抵抗素子VRの下部電極(図2には明確に示さず)がローカル配線2に電気的に接続される。可変磁気抵抗素子VRの上部電極は、ビット線BLに電気的に接続される。
この図2に示すように、書込ビット線WBLが、可変磁気抵抗素子VRの下部に、ローカル配線2と非接触で配置される。書込ビット線WBLは、図1に示すように、可変磁気抵抗素子VR(VRa,VRb)の磁化困難軸HXと平行な方向、すなわち磁化容易軸EXと直交する方向に配置される。したがって、書込ビット線WBLに書込データの論理値に応じた方向に電流を流すことにより、書込ビット線WBLが誘起する磁界は、磁化容易軸EXと平行な方向となる。
一方、ビット線BLまたはBL_Bには、書込データの論理値にかかわらず、一定の方向に電流を流す。このビット線BLまたはBL_Bは、可変磁気抵抗素子VR(VRa,VRb)の磁化困難軸HXと直交する方向に配置されている。したがって、ビット線BLおよびBL_Bを流れる電流が誘起する磁界は、この可変磁気抵抗素子の磁化困難軸HXと平行な方向となる。このビット線BLおよびBL_Bの書込電流が、アシスト磁界(半選択電流)となり、書込ビット線WBL(WBL0,WBL1)を流れる電流が誘起する磁界が、磁化反転磁界となる。
書込ビット線WBLは、セルトランジスタと分離されており、書込ビット線WBLには、セルトランジスタの耐圧により決定される電圧(VDD)よりも大きな電圧(VCC)を印加することができる。応じて、書込ビット線ドライバのトランジスタのゲート−ソース間電圧Vgsの絶対値を十分に大きくすることができ、ドライバトランジスタの電流駆動力を、その面積を増大させることなく、大きくすることができる。
図3は、図1に示すメモリセルアレイの電気的回路構成および周辺の書込および読出に関連する部分の構成の一例を概略的に示す図である。図3において、メモリサブアレイ20においてメモリセルMCが行列状に配列される。メモリセルMCは、可変磁気抵抗素子VRとセルトランジスタCTの直列体で構成される。メモリセルの各行に対応して書込ビット線WBL(WBL0,WBL1)が配設され、メモリセルの各列に対応してビット線BL(BL0−BL3)が配設される。また、メモリセル行に対応して、書込ビット線WBL(WBL0,WBL1)と平行にワード線WL(WL0−WL3)が配設される。またビット線BLと平行にソース線SLが配設され、列方向(ビット線延在方向)において隣接する2ビットのメモリセルのセルトランジスタCTが共通のコンタクト(7)を介して対応のソース線SLに結合される。
ビット線の両端にメモリサブアレイ20に関して対向してビット線ドライブ回路24および25が設けられる。ビット線ドライブ回路24は、ビット線BL(BL0−BL3)に対応して設けられる放電トランジスタNTを含む。放電トランジスタNTは、データ書込時に、図示しない列選択信号に従って選択的にオン状態に設定される。ビット線ドライブ回路25は、ビット線BL(BL0−BL3)それぞれに対応して設けられる充電トランジスタPTを含む。充電トランジスタPTは、データ書込時、図示しない列選択信号に従って選択的に導通状態とされ、選択列のビット線へ、電源電圧VDDから電流を供給する。
このビット線ドライブ電源電圧VDDは、セルトランジスタCTの耐圧により決定される電圧レベルである。データ書込時、ビット線ドライブ回路24および25により、選択列のビット線には、書込データの論理値にかかわらず、常に固定された方向(図3の右から左方向)に沿ってビット線書込電流が流れる。このビット線BLは、可変磁気抵抗素子VRの磁化困難軸と直交する方向に配設されており、このビット線書込電流により、いわゆる半選択電流(アシスト磁界誘起電流)が供給される。
書込ビット線WLの両端に、メモリサブアレイ20に関して対向して書込ビット線ドライブ回路22Uおよび22Lが設けられる。書込ビット線ドライブ回路22Uは、書込ビット線WBL(WBL0,WBL1)それぞれに対応して設けられる書込ビット線ドライバ30uを含み、書込ビット線ドライブ回路22Lは、書込ビット線WBLそれぞれに対応して設けられる書込ビット線ドライバ30lを含む。書込ビット線ドライバ30uは、PチャネルMOSトランジスタPQ1およびNチャネルMOSトランジスタNQ1を含み、書込ビット線ドライバ30Lは、PチャネルMOSトランジスタPQ2およびNチャネルMOSトランジスタNQ2を含む。
これらの書込ビット線ドライバ30uおよび30lへは、電源電圧VCCが動作電源電圧として供給される。MOSトランジスタPQ1、PQ2、NQ1およびNQ2は、それぞれ、セルトランジスタCTよりも耐圧の高いトランジスタであり、図3においては、ゲート部分に付された斜線で高耐圧トランジスタであることを示す。
書込ビット線ドライバ30uおよび30lは、データ書込時、書込データの論理値に応じて、選択メモリセル行に対応して配置される書込ビット線に書込データの論理値に応じた方向に電流を供給する。書込ビット線WBLは、可変磁気抵抗素子VRの磁化容易軸(EXと直交する方向の配置されており、したがって、書込ビット線WBLを流れる電流が誘起する磁界は、ビット線BLを流れる電流が誘起する磁界にアシストされて、選択メモリセルの可変磁気抵抗素子VRの磁化方向を反転させることができる。
図2に示すように、書込ビット線WBLは、可変磁気抵抗素子VRの下層に配置されており、セルトランジスタCTとは電気的に分離されている。したがって、書込ビット線WBLに高い電源電圧VCCが供給されても、セルトランジスタCTに対しては何ら悪影響は及ぼさない。このため、書込ビット線ドライバ30uおよび30lにおいて、PチャネルMOSトランジスタPQ1およびPQ2の導通時のゲート−ソース間電圧Vgspの絶対値およびNチャネルMOSトランジスタNQ1およびNQ2の導通時のゲート−ソース間電圧Vgsnは、ビット線ドライブ回路25へ供給される電源電圧VDDよりも高い電圧レベルである。一般に、MOSトランジスタの飽和領域におけるドレイン電流は、(Vs−Vth)の二乗に比例する。Vthは、しきい値電圧を示す。したがって、MOSトランジスタPQ1、PQ2、NQ2、NQ1の導通時の駆動電流量を大きくすることができ、電源電圧VDDを用いた磁化反転用のビット線書込電流を生成するビット線ドライバの構成に比べて、ビット線書込ドライブ回路22Uおよび22Lのレイアウト面積を低減することができる。
なお、ビット線ドライブ回路24および25におけるMOSトランジスタPTおよびNTは、可変磁気抵抗素子VRの磁化反転をアシストするための磁界を生成することが要求されるだけであり、大きな電流駆動力は要求されない。
なお、データ読出時においては、ワード線WLが選択状態に駆動され、また、読出回路28に含まれるセンスアンプSAに、選択列に対応して配置される対をなすビット線BLおよびBL_Bが結合され、ビット線電流に従ってデータの読出が行なわれる。この場合、図3に示すように、対をなすビット線BL(BL0,BL2)および補のビット線BL_B(BL1,BL3)の一方にメモリセルが接続され、他方のビット線は、参照ビット線として用いられる。この参照ビット線には、図示しないダミーセルが接続される。また、ビット線と読出回路28の間には、列選択信号に従って選択列のビット線対をセンスアンプSAに結合する列選択回路が配置されるが、図3においては、図面を簡略化するために、この列選択回路の構成は示していない。
図4は、図3に示す書込ビット線ドライブ回路22Uおよび22Lに含まれる書込ビット線ドライバ30uおよび30lの制御部の構成の一例を概略的に示す図である。図4において、書込ビット線ドライバ30uに対して書込タイミング発生器40uが設けられ、書込ビット線ドライバ30lに対して書込タイミング発生器40lが設けられる。
書込タイミング発生器40uは、行選択信号(行デコード信号)RSと書込データWDとを受け、所定のタイミングで書込タイミング信号φP1およびφN1を生成する。これらの書込タイミング信号φP1およびφN1に従って、それぞれ、書込ビット線ドライバ30uのPチャネルMOSトランジスタPQ1およびNチャネルMOSトランジスタNQ1が選択的にオン状態に設定される。この行選択信号RSは、書込ビット線を指定する行選択信号であり、従って、2行のメモリセルを指定する行選択信号である。この1行のメモリセルを指定する行アドレスの最下位ビットを縮退状態としてデコードすることにより、この行選択信号RSを生成する。
書込タイミング発生器40lは、行選択信号RSと補の書込データ/WDとを受け、書込タイミング信号φP2およびφN2を生成する。これらの書込タイミング信号φP2およびφN2に従って、書込ビット線ドライバ30lのMOSトランジスタPQ2およびNQ2が選択的にオン状態に設定される。
これらの書込タイミング発生器40uおよび40lに与えられる書込データWDおよび/WDは、データ書込時、互いに相補な論理値を有する。したがって、書込ビット線ドライバ30uおよび30lにおいて、互いに異なる導電型のMOSトランジスタがオン状態に駆動される。たとえば、書込ビット線ドライバ30uにおいてPチャネルMOSトランジスタPQ1がオン状態に設定された場合、書込ビット線ドライバ30lにおいては、NチャネルMOSトランジスタNQ2がオン状態に設定される。これにより、書込ビット線WBLに対し、MOSトランジスタPQ1から電流が供給され、この書込ビット線WBL上に供給される電流が、MOSトランジスタNQ2を介して放電される。
書込タイミング発生器40uおよび40lは、データ書込時、書込ビット線WBLを先ず、電源電圧VCCレベルに充電する。この後、NチャネルMOSトランジスタNQ1またはNQ2をオン状態に設定して、書込ビット線WBLに電流を流す(非特許文献1参照)。この書込電流タイミング制御により、書込ビット線WBLに急激な突入電流が流れるのを抑制する。したがって、データ書込時の書込ビット線WBLおよびビット線BLの電流を流すタイミング制御としては、通常のデジット線およびビット線を用いるMRAMの場合と同様のタイミング制御が行なわれればよい。
図5は、図3に示すビット線ドライブ回路24および25に含まれるビット線ドライバの制御部の構成を概略的に示す図である。図5において、ビット線書込ドライブトランジスタNTに対しタイミング制御回路42が設けられ、ビット線書込ドライブトランジスタPTに対しタイミング制御回路43が設けられる。タイミング制御回路42は、列選択信号CSLと書込指示信号WEとに従って書込列選択信号WCSLを生成して、ビット線書込ドライブトランジスタNTのゲートへ与える。
タイミング制御回路43は、列選択信号CSLと書込モード指示信号WEとに従って、補の書込列選択信号/WCSLを生成して、ビット線書込ドライブトランジスタPTのゲートへ与える。
データ書込時、外部からの書込コマンドに従って書込モード指示信号WEが活性化される。また、この書込コマンドに従って、図示しない列デコード回路において列アドレスのデコード動作が行われ、デコード結果に従って指定された列に対応する列選択信号が活性化される。応じて、指定された列に対応して配置されたタイミング制御回路42および43が、この活性状態の列選択信号CSLに従って書込列選択信号WCSLおよび/WCSLを活性化する。応じて、ビット線書込ドライブトランジスタNTおよびPTがオン状態となり、ビット線BLに対しては、常にビット線ドライブトランジスタPTからビット線ドライブトランジスタNTに向かって書込電流が流れる。これらのタイミング制御回路42および43により、図4に示す書込ビット線ドライブ回路の書込ビット線WBLの電流供給動作に対するタイミング調整を行なう。
これらのビット線書込ドライブトランジスタPTおよびNTは、データ読出時ともに非導通状態に設定される。これにより、図3に示すように、ビット線BLを、図示しない列選択回路を介して読出回路に接続してデータ読出用の配線として利用することができる。
なお、ワード線ドライブ回路29に含まれるワード線ドライバ35は、データ書込時においてはすべて非活性状態であり、データ読出モード時において、行選択信号に従って選択行のワード線WLを選択状態へ駆動する。この読出時の行選択信号は、1行のメモリセルを指定する行選択信号であり、1行のメモリセルを指定する行アドレスの全ビットをデコードして生成される。
また、この図5に示す構成において、列選択信号CSLに代えてメモリセル列を指定するYアドレスYADが用いられて、タイミング制御回路42および43においてデコード動作が行なわれてもよい。
以上のように、この発明の実施の形態1に従えば、書込ビット線をこの可変磁気抵抗素子の下層にメモリセルの可変磁気抵抗素子の磁化容易軸と直交する方向に配置し、書込ビット線に、書込データの論理値に応じた方向に電流を双方向的に流している。また、ビット線には、書込データの論理値にかかわらず一定の方向に電流を流す。したがって、書込ビット線を、セルトランジスタと電気的に分離でき、書込ビット線には、セルトランジスタの耐圧により決定される電圧よりも高い電圧を供給することができる。応じて、書込ビット線ドライバのトランジスタサイズを増大させることなく、書込ビット線の電流量を増大させることができる。これにより、書込ビット線ドライブ回路のレイアウト面積を低減することができる。
[実施の形態2]
図6は、この発明の実施の形態2に従うMRAMの要部の構成を概略的に示す図である。図6において、4つのメモリサブアレイ20A−20Dが配置される。これらのメモリサブアレイ20A−20D各々においては、先の実施の形態1と同様、メモリセルが行列状に配列される。実施の形態1と同様、メモリセルは、可変磁気抵抗素子VRとセルトランジスタCTの直列体で構成され、メモリサブアレイ20A−20Dそれぞれにおいて、折返しビット線構成に、メモリセルが配置される。
図6は、この発明の実施の形態2に従うMRAMの要部の構成を概略的に示す図である。図6において、4つのメモリサブアレイ20A−20Dが配置される。これらのメモリサブアレイ20A−20D各々においては、先の実施の形態1と同様、メモリセルが行列状に配列される。実施の形態1と同様、メモリセルは、可変磁気抵抗素子VRとセルトランジスタCTの直列体で構成され、メモリサブアレイ20A−20Dそれぞれにおいて、折返しビット線構成に、メモリセルが配置される。
X方向に整列して配置されるメモリサブアレイ20Aおよび20Cに共通に書込ビット線WBL(WBL0,WBL1)が配設され、この書込ビット線の両端に対向して、書込ビット線ドライブ回路22UAおよび22LAが設けられる。書込ビット線ドライブ回路22UAは、書込ビット線WBLそれぞれに対応して設けられる書込ビット線ドライバ30uを含み、書込ビット線ドライブ回路22LAも、同様、書込ビット線WBLそれぞれに対応して設けられる書込ビット線ドライバ30lを含む。
同様、X方向に整列して配置されるメモリサブアレイ20Bおよび20Dに共通に書込ビット線WBLが配設され、書込ビット線WBLの両端に対向して、書込ビット線ドライブ回路22UBおよび22LBが設けられる。書込ビット線ドライブ回路22UBは、書込ビット線それぞれに対応して設けられる書込ビット線ドライバ30uを含み、書込ビット線ドライブ回路22LBは、書込ビット線それぞれに対して設けられる書込ビット線ドライバ30lを含む。
書込ビット線ドライバ30uおよび30lは、それぞれ、実施の形態1と同様、CMOS構成のドライバである。
Y方向に整列するメモリサブアレイ20Aおよび20Bに共通にビット線BL(BL0−BL3)が設けられ、また、メモリサブアレイ20Cおよび20Dに対しても共通にビット線BL(BL0−BL3)が設けられる。ビット線BLを駆動するため、メモリサブアレイ20Aに隣接してビット線ドライブ回路24Aが配設される。また、メモリサブアレイ20Bに隣接してビット線ドライブ回路25Aが設けられる。メモリサブアレイ20Cおよび20Dのビット線に対応して、ビット線ドライブ回路24Bおよび25Bが、このメモリサブアレイ20Cおよび20Dに関して対向してビット線BLの両端に配置される。
ビット線ドライブ回路24Aおよび24Bは、各々、対応のメモリサブアレイのビット線BL(BL0−BL3)それぞれに対応して設けられる放電用のNチャネルMOSトランジスタNT(ビット線ドライブトランジスタ)を含む。ビット線ドライブ回路25Aおよび25Bの各々は、対応のメモリサブアレイに配置されるビット線BL(BL0−BL3)それぞれに対応して配置される充電用のPチャネルMOSトランジスタ(ビット線ドライブトランジスタ)PTを含む。
さらに、メモリサブアレイ20A−20D各々において、メモリセル行に対応してワード線WLが配設され、また、ソース線SLがメモリセル列それぞれに対応して配設され、対応の列のメモリセルのトランジスタ(CT)に結合される。メモリサブアレイ20A−20Dそれぞれに対応して、ワード線ドライブ回路29A−29Dが設けられる。これらのワード線ドライブ回路29A−29Dは、それぞれワード線WLに対応して設けられるワード線ドライバ35を含む。
Y方向に整列するメモリサブアレイ20Aおよび20Bの間に読出回路28Aが設けられ、メモリサブアレイ20Cおよび20Dの間に読出回路28Bが設けられる。読出回路28Aおよび28Bは、各々、センスアンプSAと定電圧供給用のトランジスタRTを含む。読出回路28Aおよび28Bは、それぞれ対応のメモリサブアレイのソース線SLを流れる電流を検知する。この場合、図6に示すサブアレイ構成においては、各ビット線においてダミーセルがソース線との間に接続されており、選択メモリセルとダミーセル各々を介して対応のソース線SLに流れる電流をセンスアンプSAにより検知する。図6に示す構成においても、選択列のソース線を読出回路のセンスアンプに結合するメモリサブアレイ20Aおよび20Bまたは20Cおよび20Dの間の列選択回路は、図面を簡略化するため示していない。
定電圧供給トランジスタRTは、一例としてNチャネルMOSトランジスタで構成され、データ読出時、定電圧Vbiasを、対応のビット線BLに供給する。この定電圧供給トランジスタRTのゲートへは、またデータ読出時、読出列選択信号に基づくタイミング制御信号が与えられ、選択列に対応するビット線に定電圧Vbiasがビット線読出電圧として供給される。
この図6に示す構成においては、データ書込時、選択列に対応する書込ビット線WBLが選択状態へ駆動され、書込データの論理値に応じた方向に電流が流れる。この場合、書込ビット線ドライバ30uおよび30lは、高電圧VCCが供給されており、書込ビット線WBLの長さが、2つのメモリサブアレイにわたって延在し、その配線抵抗が大きくなる場合においても、十分な大きさの電流を供給することができる。
また、書込ビット線ドライブ回路20UAおよび22UB、22LAおよび22LBは、それぞれ、X方向に整列するメモリサブアレイにより共有されており、書込ビット線ドライブ回路のレイアウト面積を、各メモリサブアレイそれぞれに書込ビット線ドライブ回路を設ける構成に比べて、さらに低減することができる。
また、ビット線ドライブ回路24A、25A、24Bおよび25Bも、Y方向に整列するメモリサブアレイにより共有されており、ビット線ドライブ回路のレイアウト面積を、各メモリサブアレイそれぞれにビット線ドライブ回路を設ける構成に比べて、低減することができる。
この場合、ビット線BLは、2つのメモリサブアレイにわたって延在するため、その長さは長くなるものの、このビット線BLには、データ書込時、メモリセルの可変磁気抵抗素子の磁化方向の反転をアシストするための半選択電流を供給することが要求されるだけであり、電源電圧VDDをビット線ドライバの動作電源電圧として利用する場合においても、十分な大きさのアシスト用ビット線書込電流を供給することができる。
また、データ読出時においては、ソース線SLを流れる電流をセンスアンプSAにより検知している。また、メモリセルの選択は、ワード線WLを選択状態へ駆動することにより行なう。これらのワード線WLおよびソース線SLは、メモリサブアレイ20A−20D各々内において延在するだけである。したがって、これらのワード線WLおよびソース線SLの寄生抵抗の増大は抑制され、動作読出時の動作速度は、実施の形態1の場合と同様であり、読出動作速度に悪影響を及ぼすことなく、書込に関連する回路のレイアウト面積を低減することができる。これにより、この不揮発性半導体記憶装置の全体のレイアウト面積を低減することができる。
なお、この実施の形態2に示す構成においても、メモリサブアレイ20A−20Dそれぞれにおけるデータの書込および読出動作は、実施の形態1の場合と同様であり、書込ビット線WBLが、可変磁気抵抗素子VRの磁化容易軸と直交する方向に配設され、ビット線BLが、可変磁気抵抗素子の磁化困難軸と直交する方向に配設され、これらの書込ビット線WBLおよびビット線BLを流れる電流が誘起する磁界により選択メモリセルの磁化方向が設定される。
また、データ読出時においては、低電圧Vbiasにより、選択列のビット線BLを充電した後に、ワード線WLを選択状態へ駆動する。したがって、ビット線の配線抵抗の影響は、データ読出時、十分に抑制することができる。
以上のように、この発明の実施の形態2に従えば、書込ビット線およびビット線をそれぞれ、複数のメモリサブアレイで共有している。したがって、実施の形態1の効果に加えて、さらに、ビット線ドライブ回路および書込ビット線ドライブ回路のレイアウト面積を低減することができる。また、ワード線およびソース線を、各メモリサブアレイ内において配置し、ソース線を流れる電流をセンスアンプ(読出回路)により検知している。したがって、読出動作速度の低下は十分に抑制される。
なお、上述の説明において可変磁気抵抗素子は、TMR素子およびMTJ素子のいずれであってもよい。ビット線および書込ビット線を流れる電流が誘起する磁界の合成磁界により、可変磁気抵抗素子の磁化方向が設定される構成であれば、本発明は、適用可能である。
この発明に係る不揮発性半導体記憶装置(MRAM)は、単体の不揮発性半導体記憶装置および携帯機器などの組込み用途に対するMRAMに適用することにより、レイアウト面積が低減されたMRAMを実現することができる。
1 活性領域、VR、VRa,VRb 可変磁気抵抗素子、WBL,WBL0,WBL1 書込ビット線、BL,BL_B,BL0−BL3 ビット線、SL ソース線、22U,22L,22UA,22UB,22LA,22LB 書込ビット線ドライブ回路、24,25,24A,24B,25A,25B ビット線ドライブ回路、28,28A,28B 読出回路、RT 定電圧供給トランジスタ、20,20A−20D メモリサブアレイ。
Claims (1)
- 行列状に配列され、各々がセルトランジスタと可変磁気抵抗素子の直列体を有する複数のメモリセルを備え、前記可変磁気抵抗素子は磁化容易軸と磁化困難軸とを有し、
各メモリセル列に対応して配置され、各々に対応の列のメモリセルの可変磁気抵抗素子が電気的にかつ磁気的に結合される複数のビット線、
各メモリセル行に対応して配置され、各々が対応の行のメモリセルのセルトランジスタの制御電極に結合される複数のワード線、
各メモリセル行に対応してかつ対応の行のメモリセルの可変磁気抵抗素子の下部に前記磁化容易軸と直交するようにかつ前記可変磁気抵抗素子と電気的に分離されるように配置される複数の書込ビット線、
各前記ビット線に対応して配置され、各々がデータ書込時、選択列のビット線に書込データの論理値にかかわらず固定方向に電流を供給するビット線ドライブ回路、および
各前記書込ビット線に対応して設けられ、前記データ書込時、前記書込データの論理値に応じた方向に選択行の書込ビット線に電流を供給する書込ビット線ドライブ回路を備える、不揮発性半導体記憶装置。
Priority Applications (1)
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