JP2010030834A - ガラス板の切断方法、及びガラス板切断用テーブル装置 - Google Patents
ガラス板の切断方法、及びガラス板切断用テーブル装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010030834A JP2010030834A JP2008194667A JP2008194667A JP2010030834A JP 2010030834 A JP2010030834 A JP 2010030834A JP 2008194667 A JP2008194667 A JP 2008194667A JP 2008194667 A JP2008194667 A JP 2008194667A JP 2010030834 A JP2010030834 A JP 2010030834A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- cutting
- laser beam
- beam irradiation
- cutting line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】 ガラス板上のレーザビーム照射点が切断予定線に追従移動する際に、レーザビーム照射点の近傍にあって、切断予定線を挟んで存在する一対のテーブルエレメントの双方を真空吸引を介してその上に載置されたガラス板に吸着させ、かつそれら一対のテーブルエレメントのいずれか一方又は双方に、切断予定線から離れる方向への力を加える。
【選択図】 図1
Description
2 リニアガイド
3 テーブルエレメント
3a 載物面
4 ピエゾ素子
5 X方向ストッパ
6 Y方向ストッパ
7 吹出孔
8 吸引孔
9 切断完了線
9−1〜9−5 切断予定線
10 ガラス板
100 ガラス板切断用テーブル装置
Claims (4)
- それぞれ載物面を有する複数のテーブルエレメントを載物面同士が面一となるように平面的に分散配置してなるガラス板切断用テーブルを用意するステップと、
ガラス板に照射されると、そのガラス板を透過し、かつ透過の際に一部がガラス板に吸収されて、透過部分のガラス板を全厚みに亘って加熱する性質を有するレーザビームを出射可能なレーザビーム照射装置を用意するステップと、
前記ガラス板切断用テーブルに切断対象となるガラス板を載置し、かつその載置されたガラス板に前記レーザビーム照射装置から出射されるレーザビームを照射し、かつそのレーザビームとガラス板とを相対的に移動させることにより、ガラス板上のレーザビーム照射点を所望の切断予定線に追従移動させるステップと、
前記ガラス板上のレーザビーム照射点が前記切断予定線に追従移動する際に、前記レーザビーム照射点の近傍にあって、前記切断予定線を挟んで存在する一対のテーブルエレメントの双方を真空吸引を介してその上に載置されたガラス板に吸着させ、かつそれら一対のテーブルエレメントのいずれか一方又は双方に、前記切断予定線から離れる方向への力を加えるステップとを包含し、
それにより、前記ガラス板上のレーザビーム照射点における熱応力による亀裂発生作用を、前記テーブルエレメントを介して前記ガラス板に加えられる面方向への引っ張り力により促進しつつ、当該ガラス板を所望の切断予定線に沿って切断する、ことを特徴とするガラス板の切断方法。 - ガラス板に照射されると、そのガラス板を透過し、かつ透過の際に一部がガラス板に吸収されて、透過部分のガラス板を全厚みに亘って加熱する性質を有するレーザビームを、切断対象となるガラス板に照射し、かつそのレーザビームとガラス板とを相対的に移動させて、ガラス板上のレーザビーム照射点を所望の切断予定線に追従移動させることにより、レーザビーム照射点のガラス板に生ずる熱応力による亀裂発生作用を利用して、当該ガラス板を所望の切断予定線に沿って切断するようにしたガラス板の切断方法に使用されるガラス板切断用テーブル装置であって、
それぞれの載物面同士が面一となるようにして、平面的かつ縦横に分散配置された複数のテーブルエレメントと、
前記複数のテーブルエレメントのうちで、縦方向又は横方向の想定される切断予定線を挟んでその両側に位置する一連のテーブルエレメントのそれぞれの載物面にあって、その上に載置されるガラス板を真空吸着するための吸引孔と、
前記複数のテーブルエレメントのうちで、縦方向又は横方向の想定される切断予定線の片側又は両側に位置する一連のテーブルエレメントを切断予定線から離れる方向へと移動させるための駆動手段と、
前記吸引孔からの吸引動作、並びに、前記テーブルエレメントの移動動作を制御するための制御手段とを包含し、
前記制御手段は、
前記ガラス板上のレーザビーム照射点が前記切断予定線に追従移動する際に、前記レーザビーム照射点の近傍にあって、前記切断予定線を挟んで存在する一対のテーブルエレメントの双方を真空吸引を介してその上に載置されたガラス板に吸着させ、かつそれら一対のテーブルエレメントのいずれか一方又は双方に、前記切断予定線から離れる方向への力が加わるように仕組まれている、ことを特徴とするガラス板切断用テーブル装置。 - 前記複数のテーブルエレメントのうちの全部又は一部の載物面には、気体吹出孔が設けられており、さらに
前記制御手段は、
前記ガラス板上のレーザビーム照射点が前記切断予定線に追従移動する際に、真空吸着動作に寄与しないテーブルエレメントの載物面に設けられた前記気体吹出孔から気体を吹き出すことにより、載物面とガラス板との摩擦を流体ベアリングの原理で軽減するように仕組まれている、ことを特徴とする請求項2に記載のガラス板切断用テーブル装置。 - 前記想定される切断予定線は2以上の本数だけ設定されており、
前記制御手段は、
2以上の本数の切断予定線の1つが指定されるとき、その指定された切断予定線の両側に位置するテーブルエレメント列に関して、前記吸引動作並びにテーブルエレメントの移動動作を実行するように仕組まれている、ことを特徴とする請求項2又は3に記載のガラス板切断用テーブル装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008194667A JP5057088B2 (ja) | 2008-07-29 | 2008-07-29 | ガラス板の切断方法、及びガラス板切断用テーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008194667A JP5057088B2 (ja) | 2008-07-29 | 2008-07-29 | ガラス板の切断方法、及びガラス板切断用テーブル装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010030834A true JP2010030834A (ja) | 2010-02-12 |
JP5057088B2 JP5057088B2 (ja) | 2012-10-24 |
Family
ID=41735807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008194667A Expired - Fee Related JP5057088B2 (ja) | 2008-07-29 | 2008-07-29 | ガラス板の切断方法、及びガラス板切断用テーブル装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5057088B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101009454B1 (ko) | 2010-07-06 | 2011-01-19 | 에이앤이테크놀로지(주) | 레이저를 이용한 유리기판 절단가공 시스템 |
WO2013031773A1 (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | 旭硝子株式会社 | 強化ガラスパネルの製造方法 |
WO2013100126A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板加工装置およびその加工方法 |
KR101297556B1 (ko) | 2010-10-08 | 2013-08-14 | 주식회사 로보스타 | 유리기판 절단장치 |
CN112171090A (zh) * | 2020-09-27 | 2021-01-05 | 嘉兴艾可镭光电科技有限公司 | 一种皮秒激光平面玻璃打孔设备 |
US10898974B2 (en) | 2016-09-30 | 2021-01-26 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Abutment, laser cutting device and control method thereof |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004506588A (ja) * | 2000-08-24 | 2004-03-04 | カール−ツァイス−スティフツング | 平板ガラス板を多数の矩形板に切断する方法及び装置 |
JP2006199553A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Sharp Corp | 基板分断装置及び基板分断方法 |
JP2007090860A (ja) * | 2005-09-01 | 2007-04-12 | Shibaura Mechatronics Corp | 脆性材料の割断加工システム及びその方法 |
-
2008
- 2008-07-29 JP JP2008194667A patent/JP5057088B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004506588A (ja) * | 2000-08-24 | 2004-03-04 | カール−ツァイス−スティフツング | 平板ガラス板を多数の矩形板に切断する方法及び装置 |
JP4729242B2 (ja) * | 2000-08-24 | 2011-07-20 | ショット アクチエンゲゼルシャフト | 平板ガラス板を多数の矩形板に切断する方法及び装置 |
JP2006199553A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Sharp Corp | 基板分断装置及び基板分断方法 |
JP2007090860A (ja) * | 2005-09-01 | 2007-04-12 | Shibaura Mechatronics Corp | 脆性材料の割断加工システム及びその方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101009454B1 (ko) | 2010-07-06 | 2011-01-19 | 에이앤이테크놀로지(주) | 레이저를 이용한 유리기판 절단가공 시스템 |
KR101297556B1 (ko) | 2010-10-08 | 2013-08-14 | 주식회사 로보스타 | 유리기판 절단장치 |
WO2013031773A1 (ja) * | 2011-09-01 | 2013-03-07 | 旭硝子株式会社 | 強化ガラスパネルの製造方法 |
WO2013100126A1 (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-04 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板加工装置およびその加工方法 |
JP2013136488A (ja) * | 2011-12-28 | 2013-07-11 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス板加工装置およびその加工方法 |
KR20140106543A (ko) * | 2011-12-28 | 2014-09-03 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리판 가공 장치 및 그 가공 방법 |
KR101953659B1 (ko) * | 2011-12-28 | 2019-03-04 | 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤 | 유리판 가공 장치 및 그 가공 방법 |
US10898974B2 (en) | 2016-09-30 | 2021-01-26 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Abutment, laser cutting device and control method thereof |
CN112171090A (zh) * | 2020-09-27 | 2021-01-05 | 嘉兴艾可镭光电科技有限公司 | 一种皮秒激光平面玻璃打孔设备 |
CN112171090B (zh) * | 2020-09-27 | 2022-07-15 | 嘉兴艾可镭光电科技有限公司 | 一种皮秒激光平面玻璃打孔设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5057088B2 (ja) | 2012-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2470326B1 (en) | Methods for laser cutting glass substrates | |
JP5976906B2 (ja) | ガラス基板のレーザスクライブおよび分離方法 | |
JP5609870B2 (ja) | 脆性材料基板の割断方法及び割断装置並びにその割断方法により得られる車両用窓ガラス | |
JP5057088B2 (ja) | ガラス板の切断方法、及びガラス板切断用テーブル装置 | |
JP5108886B2 (ja) | 脆性材料基板の加工方法およびこれに用いるクラック形成装置 | |
JP5325209B2 (ja) | 脆性材料基板の加工方法 | |
JP5437333B2 (ja) | ガラス基板のスクライブ方法及び加工装置 | |
KR101165982B1 (ko) | 취성 재료 기판의 가공 방법 | |
JP2007537124A (ja) | 非金属材基板の切断装置及び切断方法 | |
TW200415128A (ja) | ||
JP5562254B2 (ja) | 脆性材料の分割装置および割断方法 | |
CN103249686B (zh) | 切割钢化玻璃基板的方法 | |
TW201620845A (zh) | 分斷方法及分斷裝置 | |
JP5590642B2 (ja) | スクライブ加工装置及びスクライブ加工方法 | |
WO2009128315A1 (ja) | 脆性材料基板の加工方法 | |
WO2020032124A1 (ja) | ガラス板の製造方法 | |
JP2017014032A (ja) | スクライブ方法並びにスクライブ装置 | |
JP2007261885A (ja) | 重ねガラスの割断方法 | |
JP5993684B2 (ja) | 脆性材料基板の分断方法及びスクライブ装置 | |
JP6420648B2 (ja) | ガラス板の割断装置 | |
KR20190083459A (ko) | 레이저 스팟 빔을 이용한 절단 장치 | |
JP2009196175A (ja) | 割断装置、割断方法、およびフラットパネルディスプレイの製造方法 | |
JP2014065629A (ja) | 脆性材料基板の分断方法及びスクライブ装置 | |
JP2023180693A (ja) | シリコン基板の基板分断方法および基板分断装置 | |
JP2013082598A (ja) | 高強度ガラス基板の加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120521 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120523 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120613 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120704 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120717 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150810 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |