JP2010026084A - 光学装置 - Google Patents
光学装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010026084A JP2010026084A JP2008185091A JP2008185091A JP2010026084A JP 2010026084 A JP2010026084 A JP 2010026084A JP 2008185091 A JP2008185091 A JP 2008185091A JP 2008185091 A JP2008185091 A JP 2008185091A JP 2010026084 A JP2010026084 A JP 2010026084A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- cantilever
- substrate
- optical device
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
【解決手段】 光学装置2は、基板10と支柱20a,20bと片持ち梁22a,22bとミラー構造体38と電極12a,12bを備えている。ミラー構造体38の表面に形成されているアルミニウム膜36で光ビームを反射することができる。D1側に静電引力を作用させると、片持ち梁22a,22bを基板10に近づく方向に湾曲させることができる。片持ち梁22a,22bの先端に固定されたミラー構造体38は片持ち梁と同じ方向に傾斜する。ミラー構造体38を揺動軸26の周りに揺動させることによって、光ビームの進行方向を大きく変えることができる。片持ち梁22a,22bは揺動軸26に直交する方向に伸びている。このために、片持ち梁の長さに制限されることなく光学装置2を小型化することができる。
【選択図】図1
Description
基板とミラーが平行に伸びている状態において基板とミラーとの間の間隔の距離が長いと、ミラーの一端を基板にひきつけてトーションバーを捩じるための吸引力が得にくい。それに対して、前記間隔の距離が短いと、基板に対してミラーを大きく傾斜させることができない。
特許文献1の技術では、トーションバー(即ちミラーの揺動軸)を、ミラーの中心から偏心した位置に配置する。この構成によると、基板とミラーとの間の間隔の距離を短くしながら、ミラーを大きく傾斜させることができる。
しかしながら特許文献1の光学装置では、一対のトーションバーの各々が長く、小型の光学装置を密に配置することを妨げている。特に、トーションバーの伸びている方向、すなわちミラーの揺動軸に沿った方向の幅を短くすることができない。特許文献1の光学装置は、小型の光学装置を密に配置することができない点で不満を残している。
本発明の光学装置は、基板と片持ち梁とミラーとアクチュエータを備えている。片持ち梁の基端は基板に固定されている。片持ち梁は、基板から間隙を隔てた高さを基板に平行であるとともにミラーの揺動軸に直交する方向に伸びている。片持ち梁は、屈曲可能な柔軟性を備えており、片持ち梁の先端を基板に近づける方向に屈曲させることができる。なお、ここでいう「屈曲」とは、屈曲点が1点以上存在する場合を総称しており、屈曲点が無限大に存在して全体がなだらかに湾曲する場合をも含んでいる。
なお請求項1の発明では、請求項2の発明が利用するアクチュエータと区別するために、上記したアクチュエータを第1アクチュエータと表現している。
また、特許文献1の光学装置は、トーションバーを直列に配置している。この構成によると、光学装置の幅を2本分の梁の長さよりも小さくすることができない。一方において、本発明の光学装置では、片持ち梁を並列に配置している。このために、光学装置の幅を1本分の梁の長さにまで小さくすることができ、梁の長さが光学装置の小型化の妨げとなることを軽減することができる。光学装置の幅を小型化し、小型の光学装置を高密度に配置することができる。
延長部位と第2アクチュエータを付設すると、第1アクチュエータを利用して片持ち梁の先端側に位置する部分のミラーを基板に近づけることもできれば、第2アクチュエータを利用して片持ち梁の基端側に位置する部分のミラーを基板に近づけることもできる。この結果、揺動軸の周りにミラーを両側に揺動させることができ、ミラーの指向方向を大きく変化させることができる。光ビームの反射方向を大きく変えることができる。
上記のスリットを設けると、スリットによって3方が囲まれた部分が形成される。この部分は、ミラーの延長部位に連続しており、ミラーの延長部位の傾斜角度に倣って傾斜する。このために、第2アクチュエータによってミラーの延長部位と基板との間に吸引力を発生させると、スリットによって3方が囲まれた部分は、スリットの外側の部分よりも大きく傾斜する。スリットに囲まれた部分で光ビームを反射するようにすれば、光ビームの反射方向をさらに大きく変えることができる。
ミラーを支持する片持ち梁の本数を1本に抑えることができると、光学装置に占めるミラーの面積率を大きくすることができる。これによって、光ビームの反射効率を増加させることができる。
(特徴1)基板はシリコン単結晶で構成されている。
(特徴2)片持ち梁と板状部は不純物を含むシリコン単結晶で構成されている。
(特徴3)反射膜としてアルミニウム膜が使用されている。
図1は、実施例1の光学装置2の平面図を示し、図2は、光学装置2の正面図を示している。光学装置2を利用する場合、1つの光学装置2を単独で利用することもできるが、複数の光学装置2を1次元または2次元に配置して利用することもできる。1次元に配置すれば1次元の投影画像を生成することができ、2次元に配置すれば2次元の投影画像を生成することができる。本実施例では、1つの光学装置2に関する説明をする。
シリコン膜34の部分34a,34b,34c,34dの表面には、光ビームを反射するアルミニウム膜36が形成されている。シリコン膜34とアルミニウム膜36の積層によってミラー構造体38が形成されている。片持ち梁22aと片持ち梁22bは、ミラー構造体38の両側において、D1−D2方向に伸びている。
基板10の表面上に電極12aと電極12bが形成されている。電極12aはシリコン膜34の部分34aの近傍に向かい合う位置に形成されており、電極12bはシリコン膜34の部分34dの近傍に向かいあう位置に形成されている。
ミラー構造体38が揺動軸26の周りに反時計方向に揺動する場合、揺動軸26からシリコン膜34のD2側の端縁34fまでの距離が長く(支柱20a、20bからシリコン膜34のD2側の端縁34fまでの距離に比して)、シリコン膜34のD2側の端部近傍34dが基板10に接触するまでひきつけても、大きな傾斜角は得られない。θ2<θ1である。しかしながら図3の(a)と(b)を対比すると明らかに、光学装置2のミラー構造体38は、水平位置から、時計方向にθ1だけ傾斜し、反時計方向にθ2だけ傾斜する。あわせてθ1+θ2だけ傾斜角が切り換わる。反射方向42と44を対比すると明らかに、反射方向が大きく切り換えられる。
光学装置2の幅を小型化すると、ミラーのトルクが小さくなる。このために、光学装置3ではミラーを大きく揺動させるために剛性の小さい梁が必要になる。しかしながら、光学装置2では曲げ梁(片持ち梁22a,22b)を使用しているために梁の剛性が十分に小さい。幅W,Lを小さくしても梁の長さを大きくしてさらに剛性を低下させる必要がない。即ち、光学装置2では、曲げ梁を使用しているために、梁の長さに制限されることなく光学装置の幅を小型化することができる。これによって、小型の光学装置3を高密度に配置することができる。
また、光学装置2では、片持ち梁22a,22bを並列に配置している。仮に片持ち梁22a,22bを直列に配置すると、片持ち梁22a,22bの長さ(部分34bの揺動軸26に直交する方向の幅)の2倍の長さの幅よりも小さい幅に小型化することができない。光学装置2では、梁を並列に配置することができるために、梁の長さに制限されることなく光学装置の幅を小型化することができる。これによって、小型の光学装置3を高密度に配置することができる。
図5は、第2実施例の光学装置4の平面図を示す。光学装置4は、ミラー構造体58のみが光学装置2と異なっており、その他の構成は光学装置2と同様である。このために、ミラー構造体58を除く部分については詳しい説明を省略する。以下、第3,4実施例についても、光学装置2と異なる部分のみを説明し、重複説明を省略する。
一対のスリット55a、55bは、片持ち梁22a,22bと平行に伸びている。第3のスリット55cは、一対のスリット55a、55bのD1側の端部55a1,55b1の間を接続している。
一対のスリット55a,55bのD2側の端部近傍では、外側に向けて広がっているために、一対のスリット55a,55bのD2側の端部近傍の外側には、細幅部分52a,52bが形成されている。ミラー構造体58のD2側の端部近傍58dは、細幅部分52a,52bに接続されている。そのために、ミラー構造体58のD2側の端部近傍58dを基板10に近づける場合には、細幅部分52a,52bが中心となって湾曲する。スリット55で3方向を囲まれている部分57の表面にアルミニウム膜56が形成されている。
この結果、アルミニウム膜56は、図3(b)に示した第1実施例の傾斜角θ2よりも大きく傾斜する。θ3<θ4であり、θ2<θ4でもある。
光学装置4では、アルミニウム膜56を反時計方向に大きく傾斜させることができ、アルミニウム膜56入射する光ビームの反射方向を大きく変えることができる。
図7は、第3実施例の光学装置6の平面図を示す。光学装置6は、ミラー構造体68と支柱21と片持ち梁23のみが光学装置2と異なっており、その他の構成は光学装置2と同様である。ミラー構造体68は、シリコン膜64とアルミニウム膜66とスリット65で構成されている。シリコン膜64の表面上にアルミニウム膜66が形成されている。スリット65は、ミラー構造体68のD1−D2方向に直交する方向の幅の中心位置をD1−D2方向に伸びるように形成されている。スリット65の内側に支柱21と片持ち梁23が存在している。片持ち梁23のD2側の端部は支柱21に固定されている。片持ち梁23は支柱21に固定されている端部からD1側に伸びている。片持ち梁23の先端にミラー構造体68のD1側の端部近傍34aが固定されている。
スリット65は、支柱21及び片持ち梁23の形状に沿った形状であることが好ましい。図7では、片持ち梁23のD1−D2方向に直交する方向の幅に合わせて、スリット65の同じ方向の幅を細くしている。これによって、光学装置6におけるアルミニウム膜66の占有面積率を向上させ、光ビームの反射効率を増加させることができる。
図8は、第4実施例の光学装置8の正面図を示す。光学装置8は、基板10とミラー構造体38との間に静電引力を発生させる構成のみが光学装置2と異なっており、その他の構成は光学装置2と同様である。光学装置8は、支柱70a,70bと片持ち梁72a,72bとミラー構造体78を備えている。ミラー構造体78はシリコン膜74とアルミニウム膜76を備えている。支柱70a,70bと片持ち梁72a,72bとシリコン膜34は、シリコン単結晶で形成されており、絶縁体である。ミラー構造体78の基板10側の面のD1側に電極32aが存在している。ミラー構造体38の基板10側の面のD2側に電極32bが存在している。基板10のD1側に電極13aが存在している。支柱20aから電極13aまでの距離をL1とし、支柱20aからミラー構造体38のD1側の電極32aまでの距離をL2とすると、光学装置8では、距離L2よりも距離L1のほうが小さい。この構成によると、電極32aと電極13aとの間に静電引力を発生させた場合、図9に示すように、片持ち梁22a,22bの先端を支柱20a,20bに向けてひきつける力74が得られる。この力によって、片持ち梁22a、22bの先端部は大きく湾曲し、ミラー構造体38を傾斜角θ5となるまで大きく傾斜させることができる。傾斜角θ5は、図3(a)に示した第1実施例の傾斜角θ1よりも大きい。ミラー構造体38を揺動軸26の周りに大きく揺動させることによって、光ビームの反射方向を大きく変えることができる。
10:基板
12a,12b;電極
20a,20b:支柱
22a,22b:片持ち梁
26:揺動軸
34:シリコン膜
36:アルミニウム膜
38:ミラー構造体
D1:片持ち梁の先端方向
D2:片持ち梁の基端方向
Claims (6)
- ミラーを揺動軸の周りに揺動させて光ビームの反射方向を変える光学装置であり、
基板と、
基端が前記基板に固定されており、前記基板から間隙を隔てた高さを前記基板に平行であるとともに前記揺動軸に直交する方向に伸びており、屈曲可能な柔軟性を備えている片持ち梁と、
前記片持ち梁の先端に固定されており、前記片持ち梁の先端側から基端側に向けて伸びる板状部を備えており、前記板状部の反基板側に反射面が形成されているミラーと、
前記片持ち梁の前記先端と前記ミラーが固定されている部位の近傍と前記基板との間に形成されており、前記部位を前記基板に近づける吸引力を発生させる第1アクチュエータを備えている光学装置。 - 前記ミラーは、前記片持ち梁の前記先端から前記基端を越えて伸びており、
前記基端を越えて伸びている延長部位と前記基板との間に形成されており、前記延長部位を前記基板に近づける吸引力を発生させる第2アクチュエータを備えており、
前記第1アクチュエータと前記第2アクチュエータのいずれかを選択して作動させることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。 - 一対の片持ち梁が前記ミラーを挟んで平行に伸びていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学装置。
- 前記ミラーに、前記片持ち梁と平行に伸びる一対のスリットと、その一対のスリットの前記先端側の端部同士を接続するスリットが形成されていることを特徴とする請求項2又は3に記載の光学装置。
- 前記ミラーにスリットが形成されており、
そのスリット内を前記片持ち梁が伸びていることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学装置。 - 前記第1アクチュエータが、前記基板に固定されている電極と、前記ミラーに固定されている電極で構成されており、
前記片持ち梁の前記基端から前記基板側の前記電極までの距離が、前記片持ち梁の前記基端から前記ミラー側の前記電極までの距離よりも短いことを特徴とする請求項1から5のいずれかの1項に記載の光学装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008185091A JP5151756B2 (ja) | 2008-07-16 | 2008-07-16 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008185091A JP5151756B2 (ja) | 2008-07-16 | 2008-07-16 | 光学装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010026084A true JP2010026084A (ja) | 2010-02-04 |
JP5151756B2 JP5151756B2 (ja) | 2013-02-27 |
Family
ID=41732000
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008185091A Expired - Fee Related JP5151756B2 (ja) | 2008-07-16 | 2008-07-16 | 光学装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5151756B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110426843A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-11-08 | 无锡微视传感科技有限公司 | 二维扫描微镜 |
CN114815469B (zh) * | 2021-01-29 | 2023-07-14 | 精工爱普生株式会社 | 投影仪以及投影仪装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004037717A (ja) * | 2002-07-02 | 2004-02-05 | Sony Corp | 熱駆動マイクロミラーおよび電子機器 |
JP2005122146A (ja) * | 2000-08-03 | 2005-05-12 | Reflectivity Inc | マイクロミラー素子、マイクロミラー素子用のパッケージ、およびそのための投射システム |
-
2008
- 2008-07-16 JP JP2008185091A patent/JP5151756B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005122146A (ja) * | 2000-08-03 | 2005-05-12 | Reflectivity Inc | マイクロミラー素子、マイクロミラー素子用のパッケージ、およびそのための投射システム |
JP2004037717A (ja) * | 2002-07-02 | 2004-02-05 | Sony Corp | 熱駆動マイクロミラーおよび電子機器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110426843A (zh) * | 2019-09-02 | 2019-11-08 | 无锡微视传感科技有限公司 | 二维扫描微镜 |
CN114815469B (zh) * | 2021-01-29 | 2023-07-14 | 精工爱普生株式会社 | 投影仪以及投影仪装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5151756B2 (ja) | 2013-02-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9134533B2 (en) | Optical scanner and image forming apparatus | |
JP3862623B2 (ja) | 光偏向器及びその製造方法 | |
EP2769256B1 (en) | Mems scanning micromirror | |
JP4380233B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP2005173411A (ja) | 光偏向器 | |
JP2008040353A (ja) | 光学デバイス、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP5659672B2 (ja) | 光スキャナー、ミラーチップ、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置 | |
JP5598296B2 (ja) | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP5333286B2 (ja) | 光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP2011232589A (ja) | 光走査装置 | |
JP5151756B2 (ja) | 光学装置 | |
JP2012108165A (ja) | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP2012123116A (ja) | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP2005169553A (ja) | マイクロアクチュエータ | |
JP2006343482A (ja) | 光スキャナ | |
JP5007648B2 (ja) | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 | |
JP2012108164A (ja) | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP2012123117A (ja) | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
JP2014102355A (ja) | 光偏向器 | |
JP6092589B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP2004237400A (ja) | プレーナー型アクチュエータ | |
JP2010237273A (ja) | ミラーチルトアクチュエーター | |
WO2018179041A1 (ja) | 光偏向器 | |
JP2002328317A (ja) | 光偏向器 | |
JP2012128307A (ja) | 光スキャナー、光スキャナーの製造方法、および画像形成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110314 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120515 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120529 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120821 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120925 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121119 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |