JP2010025734A - 接触燃焼式ガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】支持基台22に設けられた陥没部27と、ダイアフラムDと、を連結し、ダイアフラムDを支持する複数のブリッジ14のうち、電極端子13への電圧の印加に応じてヒータ素子26からの熱を第二ブリッジ14Bに伝導するダミー部材Cを第二ブリッジ14Bに搭載することにより、第一ブリッジ14Aと第二ブリッジ14Bの膜構成の違いによる応力のバランスを緩和できる。また、電極端子13に電圧を印加すると、ヒータ素子26が加熱し第一ブリッジ14A及び、第二ブリッジ14Bに伝達する熱を均等化することにより、経時変化によるブリッジ14の反りやねじれ等の歪みによる破損を緩和できる。
【選択図】図1
Description
13 電極端子
14A 第一ブリッジ
14B 第二ブリッジ
22 支持基台
26 ヒータ素子
28 本体部
29 接続部
C ダミー部材
D ダイアフラム
Claims (1)
- 凹部を備えた支持基台と、前記支持基台上に設けられた一対の電極端子と、前記支持基台の凹部上に成膜されたダイアフラムと、前記ダイアフラム上に設けられた本体部と前記本体部から延在して前記一対の電極端子に接続する接続部とを有するヒータ素子と、前記ダイアフラムから延在して前記支持基台と連結し、かつ、前記ヒータ素子の接続部が搭載された第一ブリッジと、前記ダイアフラムから延在して前記支持基台と連結する第二ブリッジと、を備え、前記一対の電極端子に電圧を印加すると前記ヒータ素子が加熱し、検出対象ガスと接触燃焼して温度の上昇を伴う抵抗値の変化を捉える接触燃焼式ガスセンサにおいて、
前記第二ブリッジに搭載されて、前記電極端子への電圧の印加に応じて前記ヒータ素子からの熱を前記第二ブリッジに伝導するダミー部材を有することを特徴とする接触燃焼式ガスセンサ。
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