JP2010025208A - Roll device - Google Patents

Roll device Download PDF

Info

Publication number
JP2010025208A
JP2010025208A JP2008186377A JP2008186377A JP2010025208A JP 2010025208 A JP2010025208 A JP 2010025208A JP 2008186377 A JP2008186377 A JP 2008186377A JP 2008186377 A JP2008186377 A JP 2008186377A JP 2010025208 A JP2010025208 A JP 2010025208A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bearing
gap
gas
roll
supplied
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008186377A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP5169570B2 (en
Inventor
Hikari Sato
光 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oiles Industry Co Ltd
Original Assignee
Oiles Industry Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Oiles Industry Co Ltd filed Critical Oiles Industry Co Ltd
Priority to JP2008186377A priority Critical patent/JP5169570B2/en
Priority to TW098123635A priority patent/TWI393823B/en
Priority to PCT/JP2009/003312 priority patent/WO2010007768A1/en
Priority to KR1020117000971A priority patent/KR101183697B1/en
Priority to CN2009801280789A priority patent/CN102089538B/en
Publication of JP2010025208A publication Critical patent/JP2010025208A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5169570B2 publication Critical patent/JP5169570B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C13/00—Rolls, drums, discs, or the like; Bearings or mountings therefor
    • F16C13/02—Bearings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
  • Rolls And Other Rotary Bodies (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a roll device having high rotational accuracy, low rotational friction, and improved rotating speed. <P>SOLUTION: This roll device 1 includes a hollow roll body 2, a shaft body 4 inserted into the hollow of the roll body 2 with a gap 3 interposed therebetween, and a pair of static pressure gas bearings 7 and 8 disposed at both ends 5 and 6 of the roll body 2, respectively, and interposed between the roll body 2 and the shaft body 4. The static pressure gas bearing 7 includes a radial bearing surface 32 and thrust bearing surfaces 35 and 40. The static pressure gas bearing 8 includes a radial bearing surface 92. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、プラスチックのシートやフィルム等のコーティング、フィルム状にした電子デバイス製造（ロール・ツー・ロール方式）や、当該シート、フィルム等の搬送に用いられるロール装置に関する。   The present invention relates to coating of plastic sheets and films, manufacturing of electronic devices in a film form (roll-to-roll method), and a roll apparatus used for conveying the sheets, films and the like.

特開平１１−１９０３３８号公報JP 11-190338 A

例えば特許文献１においては、ラジアル方向及びスラスト方向に関して静圧気体軸受を用いたロール装置が提案されている。   For example, Patent Document 1 proposes a roll device using a static pressure gas bearing in the radial direction and the thrust direction.

ところで、斯かるロール装置は、プラスチックのシートやフィルム等のコーティング、フィルム状にした電子デバイス製造（ロール・ツー・ロール方式）や、当該シート、フィルム等の搬送に用いられるために、例えば振れ精度１μｍ以下といったより高い回転精度や回転摩擦の低減、回転速度の向上が求められる。   By the way, such a roll device is used for coating plastic sheets and films, manufacturing electronic devices in a film form (roll-to-roll method), and transporting the sheets and films. Higher rotational accuracy such as 1 μm or less, reduction of rotational friction, and improvement of rotational speed are required.

本発明は、上記諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、より高い回転精度、回転摩擦の低減、回転速度の向上を図り得るロール装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above-described points, and an object of the present invention is to provide a roll apparatus that can achieve higher rotational accuracy, reduced rotational friction, and improved rotational speed.

本発明のロール装置は、中空のロール体と、ロール体の中空部に隙間をもって挿通されていると共に両端部がロール体から突出している軸体と、ロール体の両端部に夫々配されていると共にロール体と軸体との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受とを具備しており、一方の静圧気体軸受は、ロール体の内周面に対して軸受隙間をもって対面しているラジアル軸受面及びロール体の一端部に固着されている中空円板状のプレートの一方の面に対して軸受隙間をもって対面しているスラスト軸受面を有していると共に軸体に固着されている一方の軸受体と、前記プレートの他方の面に対して軸受隙間をもって対面しているスラスト軸受面を有していると共に軸体に固着されている他方の軸受体と、前記プレートと軸体との間に介在されていると共に一方の軸受体と他方の軸受体とを連結している環状の連結体と、一方の軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給すべき気体、一方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給すべき気体及び他方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給すべき気体を給気することができるように、一方の軸受体、他方の軸受体及び連結体に形成されている給気通路と、一方の軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給された気体を軸体の一端部側に排気すると共に一方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給された気体を当該軸受隙間の外周側から軸体の一端部側に排気することができるように、プレートに形成されている一方の排気通路と、一方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給された気体を当該軸受隙間の内周側から軸体の一端部側に排気すると共に他方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給された気体を当該軸受隙間の内周側から軸体の一端部側に排気することができるように、連結体及び他方の軸受体に形成されている他方の排気通路とを具備しており、他方の静圧気体軸受は、ロール体の内周面に対して軸受隙間をもって対面しているラジアル軸受面を有していると共に軸体に固着されている軸受体と、この軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給すべき気体を給気することができるように、当該軸受体に形成されている給気通路と、当該軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給された気体及び一方の静圧気体軸受の一方の軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給された気体を軸体の他端部側に排気することができるように、他方の静圧気体軸受の軸受体に形成されている排気通路とを具備している。   The roll device of the present invention is arranged in a hollow roll body, a shaft body that is inserted through the hollow portion of the roll body with a gap and has both end portions protruding from the roll body, and both end portions of the roll body. And a pair of hydrostatic gas bearings interposed between the roll body and the shaft body, and one hydrostatic gas bearing faces the inner peripheral surface of the roll body with a bearing clearance. A radial bearing surface and a thrust bearing surface facing with a bearing clearance to one surface of a hollow disk-shaped plate fixed to one end of the roll body and fixed to the shaft body The other bearing body fixed to the shaft body and having a thrust bearing surface facing the other surface of the plate with a bearing clearance, and the plate and the shaft. Interposed between the body And an annular coupling body that connects one bearing body and the other bearing body, gas to be supplied to the bearing clearance from the radial bearing surface of one bearing body, and bearing from the thrust bearing surface of one bearing body It is formed in one bearing body, the other bearing body, and the coupling body so that the gas to be supplied to the gap and the gas to be supplied to the bearing gap can be supplied from the thrust bearing surface of the other bearing body. The gas supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of the air supply passage and one bearing body is exhausted to one end of the shaft body, and the gas supplied to the bearing gap from the thrust bearing surface of one bearing body One exhaust passage formed in the plate and the gas supplied to the bearing clearance from the thrust bearing surface of the one bearing body so that the exhaust can be exhausted from the outer peripheral side of the bearing clearance to the one end side of the shaft body. Within the bearing clearance So that the gas supplied to the bearing gap from the thrust bearing surface of the other bearing body can be exhausted from the inner peripheral side of the bearing gap to the one end side of the shaft body. And the other exhaust passage formed in the other bearing body, and the other hydrostatic gas bearing faces the inner peripheral surface of the roll body with a bearing clearance. A bearing body that has a bearing surface and is fixed to the shaft body, and a gas that should be supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of the bearing body is formed on the bearing body. The gas supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of the bearing body and the gas supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of one bearing body of the one hydrostatic gas bearing. So that it can be exhausted to the other end. And an exhaust passage formed in the bearing body of the other hydrostatic gas bearing.

本発明のロール装置によれば、特に、上述の一方の静圧気体軸受及び他方の静圧気体軸受を具備しているために、ロール体の回転精度を高めることができ、ロール体の重量を軽くすることができて回転摩擦の低減及び回転速度の向上を図り得、一方の静圧気体軸受及び他方の静圧気体軸受のラジアル方向に関する軸受径を大きくすることができ、また、一方の静圧気体軸受においてスラスト方向に関してもロール体を非接触支持するために、軸体等の熱膨張の影響を少なくし得、一方の静圧気体軸受によりラジアル方向及びスラスト方向に関して非接触支持すると共に他方の静圧気体軸受によりラジアル方向に関して非接触支持することでロール体の他方の静圧気体軸受側の部位をフリーにすることができて、軸方向の熱膨張の影響を少なくし得、しかも、軸受隙間に供給された気体（圧縮気体）を円滑にロール装置の外部に排気することができて、当該気体の不安定な排気に基づくロール体の回転精度の低下、回転摩擦の増大及び回転速度の低下を防止し得る。   According to the roll device of the present invention, in particular, since the one static pressure gas bearing and the other static pressure gas bearing described above are provided, the rotation accuracy of the roll body can be increased, and the weight of the roll body can be increased. It can be lightened to reduce the rotational friction and improve the rotational speed, and the bearing diameter in the radial direction of one static pressure gas bearing and the other static pressure gas bearing can be increased. In the pressurized gas bearing, since the roll body is supported in the thrust direction in a non-contact manner, the influence of the thermal expansion of the shaft body and the like can be reduced. The non-contact support in the radial direction by the static pressure gas bearing can free the part on the other static pressure gas bearing side of the roll body and reduce the influence of thermal expansion in the axial direction. In addition, the gas (compressed gas) supplied to the bearing gap can be smoothly exhausted to the outside of the roll device, and the rotation accuracy of the roll body is reduced due to unstable exhaust of the gas. Increase and decrease in rotation speed can be prevented.

本発明のロール装置の好ましい例では、排気通路は、軸体の長手方向において一方の静圧気体軸受のラジアル軸受面から気体が供給される軸受隙間に隣接していると共にプレートの一方の面に形成されている環状通路と、この環状通路に連通すると共にプレートの他方の面で開口するように当該プレートに形成されている連通路とを具備している。   In a preferred example of the roll device of the present invention, the exhaust passage is adjacent to the bearing gap to which gas is supplied from the radial bearing surface of one of the hydrostatic gas bearings in the longitudinal direction of the shaft body and on one surface of the plate. An annular passage formed, and a communication passage formed in the plate so as to communicate with the annular passage and open on the other surface of the plate are provided.

本発明のロール装置の好ましい例では、排気通路は、プレートの内周面と連結体の外周面との間に形成された環状隙間と、連結体及びプレートを貫いて形成されており、プレートの他方の面で開口している通路と、この通路に連通していると共に前記環状隙間で開口している連通路とを具備している。   In a preferred example of the roll device of the present invention, the exhaust passage is formed through an annular gap formed between the inner peripheral surface of the plate and the outer peripheral surface of the connecting body, and the connecting body and the plate. A passage opening on the other surface and a communication passage communicating with the passage and opening at the annular gap are provided.

本発明によれば、より高い回転精度、回転摩擦の低減、回転速度の向上を図り得るロール装置を提供し得る。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the roll apparatus which can aim at the higher rotational precision, reduction of rotational friction, and the improvement of a rotational speed can be provided.

次に本発明を、図に示す好ましい実施の形態の例に基づいて更に詳細に説明する。なお、本発明はこれら例に何等限定されないのである。   Next, the present invention will be described in more detail based on an example of a preferred embodiment shown in the drawings. The present invention is not limited to these examples.

図１から図６において、本例のロール装置１は、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されている軸体４と、ロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８とを具備している。   1 to 6, a roll apparatus 1 of this example includes a hollow roll body 2, a shaft body 4 inserted through a hollow portion of the roll body 2 with a gap 3, and both end portions 5 and 6 of the roll body 2. And a pair of static pressure gas bearings 7 and 8 respectively interposed between the roll body 2 and the shaft body 4.

ロール体２は、円筒状本体１１と、外周面１３が円筒状本体１１の一端部５における内周面１２の部位に固着されていると共に内周面１４が静圧気体軸受７に対して軸受隙間３１をもって対面している円筒体１５と、外周面１６が円筒状本体１１の他端部６における内周面１２の部位に固着されていると共に内周面１７が静圧気体軸受８に対して軸受隙間９１をもって対面している円筒体１８と、軸体４の一端部２１側に位置する円筒体１５の環状の端面１９に固着されている中空円板状のプレート２０とを具備している。円筒体１５及び１８の肉厚は互いに等しい。プレート２０は、円筒体１５を介して円筒状本体１１の一端部５に固着されている。   In the roll body 2, a cylindrical main body 11 and an outer peripheral surface 13 are fixed to a portion of the inner peripheral surface 12 in one end portion 5 of the cylindrical main body 11, and an inner peripheral surface 14 is a bearing with respect to the static pressure gas bearing 7. The cylindrical body 15 facing with a gap 31 and the outer peripheral surface 16 are fixed to a portion of the inner peripheral surface 12 at the other end 6 of the cylindrical main body 11 and the inner peripheral surface 17 is against the static pressure gas bearing 8. A cylindrical body 18 facing each other with a bearing gap 91, and a hollow disk-like plate 20 fixed to an annular end face 19 of the cylindrical body 15 located on the one end 21 side of the shaft body 4. Yes. The thicknesses of the cylinders 15 and 18 are equal to each other. The plate 20 is fixed to one end portion 5 of the cylindrical main body 11 via the cylindrical body 15.

円柱状若しくは円筒状の軸体４は、円筒状本体１１、円筒体１５及び１８及びプレート２０に対して隙間３をもってロール体２に挿通されている。軸体４の両端部２１及び２２の夫々は、ロール体２の両端部５及び６から突出しており、当該両端部２１及び２２でフレーム等に固定支持されている。軸体４は、当該軸体４の長手方向に関して円筒体１５及び１８間に位置する大径軸部２３と、大径軸部２３の両側に位置する小径軸部２４及び２５と、大径軸部２３と小径軸部２４及び２５の夫々との連結部に形成されている段部２７及び２８とを具備している。小径軸部２４及び２５の径は、本例では互いに等しいが、異なっていてもよい。   The columnar or cylindrical shaft body 4 is inserted into the roll body 2 with a gap 3 with respect to the cylindrical main body 11, the cylindrical bodies 15 and 18, and the plate 20. Both end portions 21 and 22 of the shaft body 4 protrude from both end portions 5 and 6 of the roll body 2, and are fixedly supported on the frame or the like by the both end portions 21 and 22. The shaft body 4 includes a large diameter shaft portion 23 positioned between the cylindrical bodies 15 and 18 with respect to the longitudinal direction of the shaft body 4, small diameter shaft portions 24 and 25 positioned on both sides of the large diameter shaft portion 23, and a large diameter shaft. Step portions 27 and 28 formed at the connecting portion between the portion 23 and the small diameter shaft portions 24 and 25 are provided. The diameters of the small diameter shaft portions 24 and 25 are equal to each other in this example, but may be different from each other.

静圧気体軸受７は、内周面１４に対して軸受隙間３１をもって対面しているラジアル軸受面３２及び他端部２２側に位置するプレート２０の面３３に対して軸受隙間３４をもって対面しているスラスト軸受面３５を有していると共に軸体４に固着されている円筒状の一方の軸受体３６と、一端部２１側に位置するプレート２０の面３８に対して軸受隙間３９をもって対面しているスラスト軸受面４０を有していると共に軸体４に固着されている中空円板状の他方の軸受体４１と、プレート２０と軸体４との間に介在されていると共に軸受体３６及び４１を連結している環状の連結体４２と、ラジアル軸受面３２から軸受隙間３１に供給すべき気体、スラスト軸受面３５から軸受隙間３４に供給すべき気体及びスラスト軸受面４０から軸受隙間３９に供給すべき気体を給気することができるように、軸受体３６、軸受体４１及び連結体４２に形成されている給気通路４４と、ラジアル軸受面３２から軸受隙間３１に供給された気体を一端部２１側に排気すると共にスラスト軸受面３５から軸受隙間３４に供給された気体を当該軸受隙間３４の外周側から一端部２１側に排気することができるように、プレート２０に形成されている一方の排気通路４５と、スラスト軸受面３５から軸受隙間３４に供給された気体を当該軸受隙間３４の内周側から一端部２１側に排気すると共にスラスト軸受面４０から軸受隙間３９に供給された気体を当該軸受隙間３９の内周側から一端部２１側に排気することができるように、連結体４２及び軸受体４１に形成されている他方の排気通路４６とを具備している。   The hydrostatic gas bearing 7 faces the radial bearing surface 32 facing the inner peripheral surface 14 with a bearing gap 31 and the surface 33 of the plate 20 located on the other end 22 side with the bearing gap 34. A cylindrical bearing body 36 having a thrust bearing surface 35 and fixed to the shaft body 4 is opposed to a surface 38 of the plate 20 located on the one end 21 side with a bearing gap 39. A hollow disc-like bearing body 41 having a thrust bearing surface 40 and fixed to the shaft body 4, and interposed between the plate 20 and the shaft body 4 and a bearing body 36. , 41 to which the annular coupling body 42 is connected, the gas to be supplied from the radial bearing surface 32 to the bearing gap 31, the gas to be supplied from the thrust bearing surface 35 to the bearing gap 34, and the bearing clearance from the thrust bearing surface 40. In order to be able to supply the gas to be supplied to the air bearing 9, the air supply passage 44 formed in the bearing body 36, the bearing body 41 and the coupling body 42, and the radial bearing surface 32 are supplied to the bearing gap 31. It is formed in the plate 20 so that the gas can be exhausted to the one end 21 side and the gas supplied from the thrust bearing surface 35 to the bearing gap 34 can be exhausted from the outer peripheral side of the bearing gap 34 to the one end 21 side. The gas supplied to the bearing gap 34 from the one exhaust passage 45 and the thrust bearing surface 35 is exhausted from the inner peripheral side of the bearing gap 34 to the one end 21 side and supplied from the thrust bearing surface 40 to the bearing gap 39. The connecting body 42 and the other exhaust passage 46 formed in the bearing body 41 are provided so that the generated gas can be exhausted from the inner peripheral side of the bearing gap 39 to the one end 21 side. To have.

軸受体３６及び４１は、プレート２０を挟んで互いに対向して配されている。軸受体３６及び４１は、連結体４２にねじ等を介して互いに連結されている。   The bearing bodies 36 and 41 are arranged to face each other with the plate 20 in between. The bearing bodies 36 and 41 are connected to the connecting body 42 via screws or the like.

軸受体３６は、内周面５１で小径軸部２４に固着されていると共に大径軸部２３側の端面５３で段部２７に固着されている円筒状の本体５５と、本体５５の外周面５２に接合されている多孔質体としての円筒状の多孔質金属焼結層５６と、本体５５のプレート２０側の端面５４に形成されている環状凹溝５８に接合されている多孔質体としての環状の多孔質金属焼結層５７とを具備している。   The bearing body 36 is fixed to the small diameter shaft portion 24 at the inner peripheral surface 51 and is fixed to the step portion 27 at the end surface 53 on the large diameter shaft portion 23 side, and the outer peripheral surface of the main body 55. As a porous body joined to a cylindrical porous metal sintered layer 56 joined to 52 and an annular groove 58 formed on the end face 54 of the main body 55 on the plate 20 side. And an annular porous metal sintered layer 57.

多孔質金属焼結層５６及び５７の夫々は、その全表面の無秩序な多数の部位で開口すると共に無秩序に互いに連通する多数の細孔を内部に有している。ラジアル軸受面３２は、多孔質金属焼結層５６の支持すべき円筒体１５に対面して露出する外周面からなり、スラスト軸受面３５は、多孔質金属焼結層５７の支持すべきプレート２０に対面して露出する当該プレート２０側の面からなる。スラスト軸受面３５は、本例では端面５４に対して面一であるが、例えば、横方向に関して端面５４に対して一方側又は他方側に配されてもよい。多孔質金属焼結層５６及び５７の夫々は、４重量％以上１０重量％以下の錫と、１０重量％以上４０重量％以下のニッケルと、０．１重量％以上０．５重量％未満の燐と、２重量％以上１０重量％以下の無機物質粒子と、残部が銅とからなっていてもよい。多孔質金属焼結層５６及び５７に分散含有される無機物質粒子は、黒鉛、窒化ホウ素、フッ化黒鉛、フッ化カルシウム、酸化アルミニウム、酸化ケイ素及び炭化ケイ素のうちの少なくとも一つからなっていてもよい。   Each of the sintered porous metal layers 56 and 57 has a large number of pores that open at a large number of disordered portions on the entire surface and communicate with each other in a disordered manner. The radial bearing surface 32 has an outer peripheral surface exposed to the cylindrical body 15 to be supported by the porous metal sintered layer 56, and the thrust bearing surface 35 has the plate 20 to be supported by the porous metal sintered layer 57. The surface on the plate 20 side exposed to face. The thrust bearing surface 35 is flush with the end surface 54 in this example, but may be disposed on one side or the other side with respect to the end surface 54 in the lateral direction, for example. Each of the sintered porous metal layers 56 and 57 includes 4% by weight to 10% by weight tin, 10% by weight to 40% by weight nickel, and 0.1% by weight to less than 0.5% by weight. Phosphorus, 2% by weight or more and 10% by weight or less of inorganic substance particles, and the balance may be made of copper. The inorganic substance particles dispersedly contained in the porous metal sintered layers 56 and 57 are made of at least one of graphite, boron nitride, graphite fluoride, calcium fluoride, aluminum oxide, silicon oxide, and silicon carbide. Also good.

軸受体３６に対して一端部２１側に配された軸受体４１は、内周面６１で小径軸部２４に固着されている中空円板状の本体６２と、本体６２のプレート２０側の面６３に形成されている環状凹溝６５に接合されている多孔質体としての環状の多孔質金属焼結層６４とを具備している。スラスト軸受面４０は、多孔質金属焼結層６４の支持すべきプレート２０に対面して露出する当該プレート２０側の面からなる。スラスト軸受面４０は、面６３に対して面一である。多孔質金属焼結層６４は、多孔質金属焼結層５７と同様に形成されており、プレート２０を間にして互いに対向して配されている。   The bearing body 41 disposed on the one end 21 side with respect to the bearing body 36 includes a hollow disc-shaped main body 62 fixed to the small diameter shaft portion 24 with an inner peripheral surface 61, and a surface of the main body 62 on the plate 20 side. And an annular porous metal sintered layer 64 as a porous body joined to an annular groove 65 formed in 63. The thrust bearing surface 40 is composed of a surface on the plate 20 side exposed to face the plate 20 to be supported by the porous metal sintered layer 64. The thrust bearing surface 40 is flush with the surface 63. The porous metal sintered layer 64 is formed in the same manner as the porous metal sintered layer 57 and is disposed so as to face each other with the plate 20 in between.

給気通路４４は、本体５５の外周面５２に形成された複数の環状通路７１、７２及び７３と、環状凹溝５８の底面に形成された環状通路７４と、環状凹溝６５の底面に形成された環状通路７５と、本体５５、連結体４２及び本体６２を貫いて形成されており、環状通路７１から７５の夫々に連通していると共に本体６２の外周面で開口している連通路７６とを具備している。斯かる給気通路４４では、前記開口から供給される気体（圧縮気体）を連通路７６を介して環状通路７１から７５の夫々に流入させ、当該流入した気体を多孔質金属焼結層５６、５７及び６４の夫々に供給し、而して、軸受隙間３１、３４及び３９に気体を供給する。   The air supply passage 44 is formed on a plurality of annular passages 71, 72, and 73 formed on the outer peripheral surface 52 of the main body 55, an annular passage 74 formed on the bottom surface of the annular groove 58, and a bottom surface of the annular groove 65. The annular passage 75 is formed through the main body 55, the coupling body 42, and the main body 62, and communicates with each of the annular passages 71 to 75 and opens at the outer peripheral surface of the main body 62. It is equipped with. In such an air supply passage 44, the gas (compressed gas) supplied from the opening is caused to flow into each of the annular passages 71 to 75 via the communication passage 76, and the introduced gas is supplied to the porous sintered metal layer 56, The gas is supplied to the bearing gaps 31, 34 and 39, respectively.

排気通路４５は、特に図６に示すように、軸体４の長手方向において軸受隙間３１に隣接していると共にプレート２０の面３３に形成されている環状通路８１と、環状通路８１に連通すると共にプレート２０の面３８で開口するようにプレートに形成されている連通路８２とを具備している。斯かる排気通路４５では、軸受隙間３１に供給された気体をプレート２０側から排気すると共に軸受隙間３４に供給された気体を当該軸受隙間３４の外周側から排気する。尚、軸受隙間３９に供給された気体のうちの外周側に排出された気体はそのままロール装置１の外部に排気されることとなる。   As shown particularly in FIG. 6, the exhaust passage 45 is adjacent to the bearing gap 31 in the longitudinal direction of the shaft body 4 and communicates with the annular passage 81 formed in the surface 33 of the plate 20. And a communication passage 82 formed in the plate so as to open at the surface 38 of the plate 20. In the exhaust passage 45, the gas supplied to the bearing gap 31 is exhausted from the plate 20 side, and the gas supplied to the bearing gap 34 is exhausted from the outer peripheral side of the bearing gap 34. Of the gas supplied to the bearing gap 39, the gas discharged to the outer peripheral side is exhausted to the outside of the roll device 1 as it is.

排気通路４６は、特に図６に示すように、プレート２０の内周面８５と連結体４２の外周面８６との間に形成された環状隙間８７と、連結体４２及び本体６２を貫いて形成されており、本体６２の一端部２１側の面６６で開口している通路８８と、通路８８に連通していると共に環状隙間８７で開口している連通路８９とを具備している。斯かる排気通路４６では、軸受隙間３４に供給された気体を当該軸受隙間３４の内周側から排気すると共に軸受隙間３９に供給された気体を当該軸受隙間３９の内周側から排気する。   As shown particularly in FIG. 6, the exhaust passage 46 is formed through the annular gap 87 formed between the inner peripheral surface 85 of the plate 20 and the outer peripheral surface 86 of the connecting body 42, and the connecting body 42 and the main body 62. And a passage 88 opened on the surface 66 on the one end 21 side of the main body 62, and a communication passage 89 communicating with the passage 88 and opening with an annular gap 87. In the exhaust passage 46, the gas supplied to the bearing gap 34 is exhausted from the inner peripheral side of the bearing gap 34 and the gas supplied to the bearing gap 39 is exhausted from the inner peripheral side of the bearing gap 39.

静圧気体軸受８は、内周面１７に対して軸受隙間９１をもって対面しているラジアル軸受面９２を有していると共に軸体４に固着されている軸受体９３と、軸受体９３のラジアル軸受面９２から軸受隙間９１に供給すべき気体を給気することができるように、当該軸受体９３に形成されている給気通路９４と、ラジアル軸受面９２から軸受隙間９１に供給された気体及びラジアル軸受面３２から軸受隙間３１に供給された気体、即ち、静圧気体軸受７及び８間の気体を他端部２２側に排気することができるように、軸受体９３に形成されている排気通路９５とを具備している。   The hydrostatic gas bearing 8 has a radial bearing surface 92 facing the inner peripheral surface 17 with a bearing gap 91 and is fixed to the shaft body 4, and a radial of the bearing body 93. An air supply passage 94 formed in the bearing body 93 and a gas supplied from the radial bearing surface 92 to the bearing gap 91 so that the gas to be supplied from the bearing surface 92 to the bearing gap 91 can be supplied. And the gas supplied to the bearing gap 31 from the radial bearing surface 32, that is, the gas between the static pressure gas bearings 7 and 8, is formed in the bearing body 93 so as to be exhausted to the other end 22 side. And an exhaust passage 95.

軸受体９３は、内周面１０１で小径軸部２５に固着されていると共に大径軸部２３側の端面１０３で段部２８に固着されている円筒状の本体１０５と、本体１０５の外周面１０２に接合されている多孔質体としての円筒状の多孔質金属焼結層１０６とを具備している。ラジアル軸受面９２は、多孔質金属焼結層１０６の支持すべき円筒体１８に対面して露出する外周面からなる。多孔質金属焼結層１０６は、多孔質金属焼結層５６と同様に形成されている。   The bearing body 93 is fixed to the small diameter shaft portion 25 at the inner peripheral surface 101 and is fixed to the step portion 28 at the end surface 103 on the large diameter shaft portion 23 side, and the outer peripheral surface of the main body 105. And a cylindrical porous metal sintered layer 106 as a porous body joined to 102. The radial bearing surface 92 is composed of an outer peripheral surface exposed to face the cylindrical body 18 to be supported by the porous metal sintered layer 106. The porous metal sintered layer 106 is formed in the same manner as the porous metal sintered layer 56.

給気通路９４は、特に図１に示すように、本体１０５の外周面１０２に形成された複数の環状通路１１１、１１２及び１１３と、環状通路１１１から１１３の夫々に連通していると共に本体１０５の他端部２２側の端面１０４で開口するように本体１０５に形成されている連通路１１４とを具備している。斯かる給気通路９４では、前記開口から供給される気体（圧縮気体）を連通路１１４を介して環状通路１１１から１１３の夫々に流入させ、当該流入した気体を多孔質金属焼結層１０６の夫々に供給し、而して、軸受隙間９１に気体を供給する。   As shown in FIG. 1 in particular, the air supply passage 94 communicates with each of the plurality of annular passages 111, 112, and 113 formed on the outer peripheral surface 102 of the main body 105 and the annular passages 111 to 113 and the main body 105. And a communication passage 114 formed in the main body 105 so as to open at the end face 104 on the other end 22 side. In such an air supply passage 94, the gas (compressed gas) supplied from the opening is caused to flow into each of the annular passages 111 to 113 through the communication passage 114, and the introduced gas is supplied to the porous metal sintered layer 106. Then, the gas is supplied to the bearing gap 91.

排気通路９５は、特に図１に示すように、端面１０３及び１０４の夫々で開口して本体１０５に形成された通路からなる。斯かる排気通路９５では、軸受隙間３１及び９１の夫々に供給された気体のうちロール体２の中空部に排出された気体が端面１０３における開口から流入され、流入された気体を端面１０４側の開口から排気する。尚、軸受隙間９１に供給された気体のうちの他端部２２側に排出された気体はそのままロール装置１の外部に排気されることとなる。   As shown in FIG. 1 in particular, the exhaust passage 95 is a passage formed in the main body 105 by opening at each of the end faces 103 and 104. In such an exhaust passage 95, the gas discharged into the hollow portion of the roll body 2 out of the gas supplied to each of the bearing gaps 31 and 91 is introduced from the opening in the end face 103, and the introduced gas is supplied to the end face 104 side. Exhaust through the opening. In addition, the gas discharged | emitted by the other end part 22 side among the gas supplied to the bearing clearance 91 will be exhausted as it is outside the roll apparatus 1 as it is.

尚、符号１２０は、ボルト１２１の締め込みによって軸体４に圧接するスリット付の緊締具であり、緊締具１２０の夫々は静圧気体軸受７及び８の夫々を軸体４に固着するために用いられる。   Reference numeral 120 denotes a tightening tool with a slit that presses against the shaft body 4 by tightening a bolt 121, and each of the tightening tools 120 is used to fix the static pressure gas bearings 7 and 8 to the shaft body 4. Used.

斯かるロール装置１では、給気通路４４及び９４から多孔質金属焼結層５６、５７、６４及び１０６の夫々に給気されることによりラジアル軸受面３２及び９２並びにスラスト軸受面３５及び４０の夫々から軸受隙間３１、３４、３９及び９１の夫々に気体が供給され、而して、静圧気体軸受７及び８によりロール体２の非接触にてＲ方向に回転自在に支持する。ロール体２の横方向に関する位置ずれは軸受隙間３４及び３９における非接触支持によって禁止される。軸受隙間３１、３４、３９及び９１の夫々に供給された気体は、排気通路４５、４６及び９５の夫々から上述のように排気される。   In the roll apparatus 1, the radial bearing surfaces 32 and 92 and the thrust bearing surfaces 35 and 40 are supplied by supplying air to the porous metal sintered layers 56, 57, 64 and 106 from the supply passages 44 and 94, respectively. Gas is supplied to the bearing gaps 31, 34, 39, and 91 from each, and is thus supported by the static pressure gas bearings 7 and 8 so as to be rotatable in the R direction without contact with the roll body 2. Misalignment of the roll body 2 in the lateral direction is prohibited by non-contact support in the bearing gaps 34 and 39. The gas supplied to each of the bearing gaps 31, 34, 39 and 91 is exhausted from the exhaust passages 45, 46 and 95 as described above.

本例のロール装置１によれば、中空のロール体２と、ロール体２の中空部に隙間３をもって挿通されていると共に両端部２１及び２２がロール体２から突出している軸体４と、ロール体２の両端部５及び６に夫々配されていると共にロール体２と軸体４との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受７及び８とを具備しており、静圧気体軸受７は、ロール体２の内周面１４に対して軸受隙間３１をもって対面しているラジアル軸受面３２及びロール体２の一端部５に固着されている中空円板状のプレート２０の一方の面３３に対して軸受隙間３４をもって対面しているスラスト軸受面３５を有していると共に軸体４に固着されている一方の軸受体３６と、前記プレート２０の他方の面３８に対して軸受隙間３９をもって対面しているスラスト軸受面４０を有していると共に軸体４に固着されている他方の軸受体４１と、前記プレート２０と軸体４との間に介在されていると共に一方の軸受体３６と他方の軸受体４１とを連結している環状の連結体４２と、一方の軸受体３６のラジアル軸受面３２から軸受隙間３１に供給すべき気体、一方の軸受体３６のスラスト軸受面３５から軸受隙間３４に供給すべき気体及び他方の軸受体４１のスラスト軸受面４０から軸受隙間３９に供給すべき気体を給気することができるように、一方の軸受体３６、他方の軸受体４１及び連結体４２に形成されている給気通路４４と、一方の軸受体３６のラジアル軸受面３２から軸受隙間３１に供給された気体を軸体４の一端部２１側に排気すると共に一方の軸受体３６のスラスト軸受面３５から軸受隙間３４に供給された気体を当該軸受隙間３４の外周側から軸体４の一端部２１側に排気することができるように、プレート２０に形成されている一方の排気通路４５と、一方の軸受体３６のスラスト軸受面３５から軸受隙間３４に供給された気体を当該軸受隙間３４の内周側から軸体４の一端部２１側に排気すると共に他方の軸受体４１のスラスト軸受面４０から軸受隙間３９に供給された気体を当該軸受隙間３９の内周側から軸体４の一端部２１側に排気することができるように、連結体４２及び他方の軸受体４１に形成されている他方の排気通路４６とを具備しており、他方の静圧気体軸受８は、ロール体２の内周面１７に対して軸受隙間９１をもって対面しているラジアル軸受面９２を有していると共に軸体４に固着されている軸受体９３と、この軸受体９３のラジアル軸受面９２から軸受隙間９１に供給すべき気体を給気することができるように、当該軸受体９３に形成されている給気通路９４と、当該軸受体９３のラジアル軸受面９２から軸受隙間９１に供給された気体及び一方の静圧気体軸受７の一方の軸受体３６のラジアル軸受面３２から軸受隙間３１に供給された気体を軸体４の他端部２２側に排気することができるように、他方の静圧気体軸受８の軸受体９３に形成されている排気通路９５とを具備しているために、ロール体２の回転精度を高めることができ、ロール体２の重量を軽くすることができて回転摩擦の低減及び回転速度の向上を図り得、一方の静圧気体軸受７及び他方の静圧気体軸受８のラジアル方向に関する軸受径を大きくすることができ、また、一方の静圧気体軸受７においてスラスト方向に関してもロール体２を非接触支持するために、軸体４等の熱膨張の影響を少なくし得、一方の静圧気体軸受７によりラジアル方向及びスラスト方向に関して非接触支持すると共に他方の静圧気体軸受８によりラジアル方向に関して非接触支持することでロール体２の他方の静圧気体軸受８側の部位をフリーにすることができて、軸方向の熱膨張の影響を少なくし得、しかも、軸受隙間３１、３４、３９及び９１の夫々に供給された気体を円滑にロール装置１の外部に排気することができて、当該気体の不安定な排気に基づくロール体２の回転精度の低下、回転摩擦の増大及び回転速度の低下を防止し得る。   According to the roll apparatus 1 of this example, the hollow roll body 2 and the shaft body 4 that is inserted through the hollow portion of the roll body 2 with a gap 3 and both end portions 21 and 22 project from the roll body 2; A pair of static pressure gas bearings 7 and 8 are provided at both ends 5 and 6 of the roll body 2 and are interposed between the roll body 2 and the shaft body 4, respectively. The gas bearing 7 has one of a radial bearing surface 32 facing the inner peripheral surface 14 of the roll body 2 with a bearing gap 31 and a hollow disk-like plate 20 fixed to one end portion 5 of the roll body 2. A thrust bearing surface 35 facing the surface 33 with a bearing gap 34 and one bearing body 36 fixed to the shaft body 4, and the other surface 38 of the plate 20. Slurs facing with bearing gap 39 The other bearing body 41 which has the bearing surface 40 and is fixed to the shaft body 4, is interposed between the plate 20 and the shaft body 4, and one bearing body 36 and the other bearing body. , A gas to be supplied to the bearing gap 31 from the radial bearing surface 32 of one bearing body 36, and a gas to be supplied to the bearing gap 34 from the thrust bearing surface 35 of one bearing body 36. The one bearing body 36, the other bearing body 41, and the coupling body 42 are formed so that the gas to be fed and the gas to be supplied to the bearing gap 39 from the thrust bearing surface 40 of the other bearing body 41 can be supplied. The gas supplied to the bearing gap 31 from the air supply passage 44 and the radial bearing surface 32 of the one bearing body 36 is exhausted to the one end 21 side of the shaft body 4 and the thrust bearing surface of the one bearing body 36 is exhausted. Bearing clearance from 35 One exhaust passage 45 formed in the plate 20 and one bearing body so that the gas supplied to 34 can be exhausted from the outer peripheral side of the bearing gap 34 to the one end 21 side of the shaft body 4. The gas supplied to the bearing gap 34 from the thrust bearing surface 35 of the 36 is exhausted from the inner peripheral side of the bearing gap 34 to the one end 21 side of the shaft body 4 and from the thrust bearing surface 40 of the other bearing body 41 to the bearing gap. The other exhaust formed in the coupling body 42 and the other bearing body 41 so that the gas supplied to the bearing 39 can be exhausted from the inner peripheral side of the bearing gap 39 to the one end 21 side of the shaft body 4. The other hydrostatic gas bearing 8 has a radial bearing surface 92 facing the inner peripheral surface 17 of the roll body 2 with a bearing gap 91 and the shaft body 4. Bearing body 9 fixed to 3, an air supply passage 94 formed in the bearing body 93, and the bearing body 93 so that the gas to be supplied to the bearing gap 91 can be supplied from the radial bearing surface 92 of the bearing body 93. The gas supplied to the bearing gap 91 from the radial bearing surface 92 and the gas supplied to the bearing gap 31 from the radial bearing surface 32 of one bearing body 36 of the one hydrostatic gas bearing 7 are supplied to the other end of the shaft body 4. Since the exhaust passage 95 formed in the bearing body 93 of the other static pressure gas bearing 8 is provided so that the air can be exhausted to the 22 side, the rotation accuracy of the roll body 2 can be improved. The weight of the roll body 2 can be reduced, the rotational friction can be reduced and the rotational speed can be improved, and the bearing diameter in the radial direction of the one static pressure gas bearing 7 and the other static pressure gas bearing 8 is increased. Can also In order to support the roll body 2 in a non-contact manner with respect to the thrust direction in the hydrostatic gas bearing 7 on one side, the influence of thermal expansion of the shaft body 4 and the like can be reduced. The non-contact support in the radial direction by the other static pressure gas bearing 8 and the non-contact support in the radial direction by the other static pressure gas bearing 8 can free the portion of the roll body 2 on the other static pressure gas bearing 8 side. The influence of expansion can be reduced, and the gas supplied to each of the bearing gaps 31, 34, 39, and 91 can be smoothly exhausted to the outside of the roll device 1, so that the gas is unstablely exhausted. It is possible to prevent a decrease in rotational accuracy, an increase in rotational friction, and a decrease in rotational speed of the roll body 2 based on it.

本発明の実施の形態の例の一部省略断面説明図である。It is a partially-omitted cross-sectional explanatory drawing of the example of embodiment of this invention. 図１に示す例のＩＩ−ＩＩ線断面矢視説明図である。It is II-II sectional view taken on the line of the example shown in FIG. 図１に示す例のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面矢視説明図である。FIG. 3 is an explanatory view taken along the line III-III of the example shown in FIG. 1. 図１に示す例のＩＶ−ＩＶ線断面矢視説明図である。It is IV-IV sectional view explanatory drawing of the example shown in FIG. 図１に示す例のＶ−Ｖ線断面矢視説明図である。It is VV sectional view explanatory drawing of the example shown in FIG. 図４に示す例のＶＩ−ＶＩ線断面矢視説明図である。It is VI-VI line sectional view explanatory drawing of the example shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ ロール装置
２ ロール体
４ 軸体
７ 静圧気体軸受
８ 静圧気体軸受
３１、３４、３９、９１ 軸受隙間
３２、９２ ラジアル軸受面
３５、４０ スラスト軸受面
４４、９４ 給気通路
４５、４６、９５ 排気通路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Roll apparatus 2 Roll body 4 Shaft body 7 Static pressure gas bearing 8 Static pressure gas bearing 31, 34, 39, 91 Bearing clearance 32, 92 Radial bearing surface 35, 40 Thrust bearing surface 44, 94 Air supply path 45, 46, 95 Exhaust passage

Claims (3)

中空のロール体と、ロール体の中空部に隙間をもって挿通されていると共に両端部がロール体から突出している軸体と、ロール体の両端部に夫々配されていると共にロール体と軸体との間に夫々介在されている一対の静圧気体軸受とを具備しており、一方の静圧気体軸受は、ロール体の内周面に対して軸受隙間をもって対面しているラジアル軸受面及びロール体の一端部に固着されている中空円板状のプレートの一方の面に対して軸受隙間をもって対面しているスラスト軸受面を有していると共に軸体に固着されている一方の軸受体と、前記プレートの他方の面に対して軸受隙間をもって対面しているスラスト軸受面を有していると共に軸体に固着されている他方の軸受体と、前記プレートと軸体との間に介在されていると共に一方の軸受体と他方の軸受体とを連結している環状の連結体と、一方の軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給すべき気体、一方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給すべき気体及び他方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給すべき気体を給気することができるように、一方の軸受体、他方の軸受体及び連結体に形成されている給気通路と、一方の軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給された気体を軸体の一端部側に排気すると共に一方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給された気体を当該軸受隙間の外周側から軸体の一端部側に排気することができるように、プレートに形成されている一方の排気通路と、一方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給された気体を当該軸受隙間の内周側から軸体の一端部側に排気すると共に他方の軸受体のスラスト軸受面から軸受隙間に供給された気体を当該軸受隙間の内周側から軸体の一端部側に排気することができるように、連結体及び他方の軸受体に形成されている他方の排気通路とを具備しており、他方の静圧気体軸受は、ロール体の内周面に対して軸受隙間をもって対面しているラジアル軸受面を有していると共に軸体に固着されている軸受体と、この軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給すべき気体を給気することができるように、当該軸受体に形成されている給気通路と、当該軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給された気体及び一方の静圧気体軸受の一方の軸受体のラジアル軸受面から軸受隙間に供給された気体を軸体の他端部側に排気することができるように、他方の静圧気体軸受の軸受体に形成されている排気通路とを具備しているロール装置。   A hollow roll body, a shaft body that is inserted through the hollow portion of the roll body with a gap and whose both ends protrude from the roll body, and a roll body and a shaft body that are respectively disposed at both ends of the roll body And a pair of static pressure gas bearings interposed between the radial bearing surface and the roll facing each other with a bearing gap with respect to the inner peripheral surface of the roll body. One bearing body having a thrust bearing surface facing the one surface of a hollow disk-like plate fixed to one end of the body with a bearing gap and fixed to the shaft body; The other bearing body having a thrust bearing surface facing the other surface of the plate with a bearing gap and being fixed to the shaft body, and interposed between the plate and the shaft body And one bearing body An annular connecting body connecting the other bearing body, a gas to be supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of the one bearing body, a gas to be supplied to the bearing gap from the thrust bearing surface of the one bearing body, and An air supply passage formed in one of the bearing bodies, the other bearing body, and the coupling body so that the gas to be supplied to the bearing gap can be supplied from the thrust bearing surface of the other bearing body, The gas supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of the bearing body is exhausted to one end side of the shaft body, and the gas supplied to the bearing gap from the thrust bearing surface of one bearing body is shafted from the outer peripheral side of the bearing gap. One exhaust passage formed in the plate and the gas supplied to the bearing gap from the thrust bearing surface of one bearing body so that it can be exhausted to one end of the body, the inner circumferential side of the bearing gap From one end side of the shaft body The connecting body and the other bearing body so that the gas supplied to the bearing gap from the thrust bearing surface of the other bearing body can be exhausted from the inner peripheral side of the bearing gap to the one end portion side of the shaft body. And the other hydrostatic gas bearing has a radial bearing surface facing the inner peripheral surface of the roll body with a bearing gap and a shaft. A bearing body fixed to the body, an air supply passage formed in the bearing body so as to supply a gas to be supplied to the bearing gap from a radial bearing surface of the bearing body, and the bearing The gas supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of the body and the gas supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of one bearing body of the one hydrostatic gas bearing may be exhausted to the other end side of the shaft body. Allow the other hydrostatic gas bearing The roll apparatus which comprises the exhaust passage currently formed in the bearing body of. 排気通路は、軸体の長手方向において一方の静圧気体軸受のラジアル軸受面から気体が供給される軸受隙間に隣接していると共にプレートの一方の面に形成されている環状通路と、この環状通路に連通すると共にプレートの他方の面で開口するように当該プレートに形成されている連通路とを具備している請求項１に記載のロール装置。   The exhaust passage is adjacent to the bearing gap to which gas is supplied from the radial bearing surface of one of the hydrostatic gas bearings in the longitudinal direction of the shaft body and is formed on one surface of the plate, and the annular passage The roll apparatus according to claim 1, further comprising a communication path formed in the plate so as to communicate with the path and open on the other surface of the plate. 排気通路は、プレートの内周面と連結体の外周面との間に形成された環状隙間と、連結体及びプレートを貫いて形成されており、プレートの他方の面で開口している通路と、この通路に連通していると共に前記環状隙間で開口している連通路とを具備している請求項１又は２に記載のロール装置。   The exhaust passage includes an annular gap formed between the inner peripheral surface of the plate and the outer peripheral surface of the connecting body, a passage that is formed through the connecting body and the plate, and is open on the other surface of the plate; The roll device according to claim 1, further comprising a communication passage communicating with the passage and opening at the annular gap.
JP2008186377A 2008-07-17 2008-07-17 Roll device Expired - Fee Related JP5169570B2 (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008186377A JP5169570B2 (en) 2008-07-17 2008-07-17 Roll device
TW098123635A TWI393823B (en) 2008-07-17 2009-07-13 Reel device
PCT/JP2009/003312 WO2010007768A1 (en) 2008-07-17 2009-07-14 Roll device
KR1020117000971A KR101183697B1 (en) 2008-07-17 2009-07-14 Roll device
CN2009801280789A CN102089538B (en) 2008-07-17 2009-07-14 Roll device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008186377A JP5169570B2 (en) 2008-07-17 2008-07-17 Roll device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010025208A true JP2010025208A (en) 2010-02-04
JP5169570B2 JP5169570B2 (en) 2013-03-27

Family

ID=41550179

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008186377A Expired - Fee Related JP5169570B2 (en) 2008-07-17 2008-07-17 Roll device

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP5169570B2 (en)
KR (1) KR101183697B1 (en)
CN (1) CN102089538B (en)
TW (1) TWI393823B (en)
WO (1) WO2010007768A1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015025559A (en) * 2014-11-05 2015-02-05 オイレス工業株式会社 Cam follower
JP2015045414A (en) * 2014-11-05 2015-03-12 オイレス工業株式会社 Roll device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2690853T3 (en) * 2014-09-10 2018-11-22 Fosber S.P.A. Device for transverse cutting of a web and machine material containing said device

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4883240A (en) * 1972-02-10 1973-11-06
JPS61217460A (en) * 1985-03-18 1986-09-27 Nobuyuki Hirohata Roll
JPS62258217A (en) * 1986-04-30 1987-11-10 Nippon Seiko Kk Roll supporting device
JPH11190337A (en) * 1997-12-25 1999-07-13 Ntn Corp Guide roller
JP2002103218A (en) * 2000-10-02 2002-04-09 Seiko Instruments Inc Center apparatus and working machine using the same
JP2002349545A (en) * 2001-05-30 2002-12-04 Smc Corp Non-contact type guide roller
JP2004019839A (en) * 2002-06-19 2004-01-22 Toshiba Mach Co Ltd Coating roll device and coating film manufacturing method using the same
JP2004225746A (en) * 2003-01-20 2004-08-12 Toshiba Mach Co Ltd Free roll device and bearing method for free roll device

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100351535C (en) * 2003-11-28 2007-11-28 广东工业大学 Machine tool electric main shaft realizing supporting float by adopting hydrostatic bearing

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4883240A (en) * 1972-02-10 1973-11-06
JPS61217460A (en) * 1985-03-18 1986-09-27 Nobuyuki Hirohata Roll
JPS62258217A (en) * 1986-04-30 1987-11-10 Nippon Seiko Kk Roll supporting device
JPH11190337A (en) * 1997-12-25 1999-07-13 Ntn Corp Guide roller
JP2002103218A (en) * 2000-10-02 2002-04-09 Seiko Instruments Inc Center apparatus and working machine using the same
JP2002349545A (en) * 2001-05-30 2002-12-04 Smc Corp Non-contact type guide roller
JP2004019839A (en) * 2002-06-19 2004-01-22 Toshiba Mach Co Ltd Coating roll device and coating film manufacturing method using the same
JP2004225746A (en) * 2003-01-20 2004-08-12 Toshiba Mach Co Ltd Free roll device and bearing method for free roll device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2015025559A (en) * 2014-11-05 2015-02-05 オイレス工業株式会社 Cam follower
JP2015045414A (en) * 2014-11-05 2015-03-12 オイレス工業株式会社 Roll device

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110017927A (en) 2011-02-22
CN102089538A (en) 2011-06-08
JP5169570B2 (en) 2013-03-27
KR101183697B1 (en) 2012-09-17
TW201016996A (en) 2010-05-01
CN102089538B (en) 2013-06-26
TWI393823B (en) 2013-04-21
WO2010007768A1 (en) 2010-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2014024666A1 (en) Gas-static bearing unit
JP5169570B2 (en) Roll device
WO2013046793A1 (en) Air bearing unit
US20160068360A1 (en) Gas bearing, porous media vacuum roller and porous media air turn
JP5362285B2 (en) Adsorption roll
JP2009068649A (en) Spindle device
KR101491675B1 (en) Roll device
JP2016120503A (en) Pressure roll and roll press machine therewith
JP2010276197A (en) Hydraulic end float regulator
JP5199012B2 (en) Chuck roll
JP5835766B2 (en) Roll device
JP2011064209A (en) Cylindrical roller bearing
US6532663B2 (en) Cellular hydrostatic fluid bearing, and a method of making it
WO2013061813A1 (en) Air roller unit
JP5962738B2 (en) Roll device
WO2015016275A1 (en) Static pressure gas bearing device
JP4529129B2 (en) Hydrostatic air bearing spindle
JP2004225746A (en) Free roll device and bearing method for free roll device
JP2005331039A (en) Porous static pressure journal bearing
JP2005083506A (en) Air bearing device
JP2005188568A (en) Spindle rotation supporting device
JP2017009112A (en) Hydrostatic pressure gas bearing device and guide roller for filamentous member using hydrostatic pressure gas bearing device
JP2003176821A (en) Static pressure porous bearing
JPH07317768A (en) Static pressure porous bearing
JP2016180457A (en) Rolling bearing

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110419

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20121204

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20121217

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5169570

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R370 Written measure of declining of transfer procedure

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees