KR101183697B1

KR101183697B1 - Roll device

Info

Publication number: KR101183697B1
Application number: KR1020117000971A
Authority: KR
Inventors: 히카루 사토
Original assignee: 오일레스고교 가부시키가이샤
Priority date: 2008-07-17
Filing date: 2009-07-14
Publication date: 2012-09-17
Also published as: KR20110017927A; CN102089538A; JP5169570B2; TW201016996A; JP2010025208A; CN102089538B; TWI393823B; WO2010007768A1

Abstract

롤 장치(1)는, 중공의 롤체(2); 롤체(2)의 중공부에 간극(3)을 가지고 삽입 통과되어 있는 축체(4); 롤체(2)의 양단부(5 및 6)에 각각 배치되어 있음과 동시에 롤체(2)와 축체(4)의 사이에 각각 개재되어 있는 한 쌍의 정압기체 베어링(7 및 8);을 구비하고 있고, 정압기체 베어링(7)은 레이디얼 베어링면(32)과 스러스트 베어링면(35 및 40)을 갖고 있으며. 정압기체 베어링(8)은 레이디얼 베어링면(92)을 갖고 있다.The roll apparatus 1 is a hollow roll body 2; A shaft body 4 inserted into the hollow portion of the roll body 2 with a gap 3 therein; And a pair of static pressure gas bearings 7 and 8, which are disposed at both ends 5 and 6 of the roll body 2, and interposed between the roll body 2 and the shaft body 4, respectively. The static gas bearing 7 has a radial bearing face 32 and a thrust bearing face 35 and 40. The hydrostatic gas bearing 8 has a radial bearing surface 92.

Description

Roll device

본 발명은, 플라스틱의 시트나 필름 등의 코팅, 필름형상으로 한 전자 디바이스 제조(롤 투 롤 방식)나, 그 시트, 필름 등의 반송에 이용되는 롤 장치에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to a roll apparatus used for coating a plastic sheet, a film, or the like, producing an electronic device (roll-to-roll method) in the form of a film, or conveying the sheet, a film, or the like.

예를 들면, 특허문헌 1에서는, 레이디얼 방향 및 스러스트 방향에 관해 정압기체 베어링을 이용한 롤 장치가 제안되어 있다.For example, in patent document 1, the roll apparatus which used the constant pressure gas bearing about the radial direction and the thrust direction is proposed.

특허문헌 1: 일본공개특허 평11-190338호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-190338

그런데, 이러한 롤 장치는, 플라스틱의 시트나 필름 등의 코팅, 필름형상으로 한 전자 디바이스 제조(롤 투 롤 방식)나, 그 시트, 필름 등의 반송에 이용되기 위해, 예를 들면 흔들림 정밀도 1㎛ 이하의 보다 높은 회전 정밀도나 회전 마찰의 저감, 회전 속도의 향상이 요구된다.By the way, such a roll apparatus is used for the coating of plastic sheets, a film, etc., the electronic device manufacture (roll-to-roll system) made into the film form, and the conveyance of the sheet | seat, a film, etc., for example, shaking precision 1 micrometer The following higher rotational accuracy, reduction of rotational friction, and improvement of rotational speed are required.

본 발명은, 상기 여러가지 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는 보다 높은 회전 정밀도, 회전 마찰의 저감, 회전 속도의 향상을 도모할 수 있는 롤 장치를 제공하는 데에 있다.This invention is made | formed in view of the said various points, and the objective is to provide the roll apparatus which can aim at higher rotational precision, reduction of rotational friction, and improvement of rotational speed.

본 발명의 롤 장치는, 중공의 롤체; 롤체의 중공부에 간극을 가지고 삽입 통과되어 있음과 동시에 양단부가 롤체로부터 돌출되어 있는 축체; 롤체의 양단부에 각각 배치되어 있음과 동시에 롤체와 축체의 사이에 각각 개재되어 있는 한 쌍의 정압기체 베어링;을 구비하고 있고, 한쪽의 정압기체 베어링은, 롤체의 내주면에 대해 베어링 간극을 가지고 대면하고 있는 레이디얼 베어링면 및 롤체의 일단부에 고착되어 있는 중공 원판형상의 플레이트의 한쪽 면에 대해 베어링 간극을 가지고 대면하고 있는 스러스트 베어링면을 갖고 있음과 동시에 축체에 고착되어 있는 한쪽의 베어링체; 상기 플레이트의 다른 쪽 면에 대해 베어링 간극을 가지고 대면하고 있는 스러스트 베어링면을 갖고 있음과 동시에 축체에 고착되어 있는 다른 쪽의 베어링체; 상기 플레이트와 축체의 사이에 개재되어 있음과 동시에, 한쪽의 베어링체와 다른 쪽의 베어링체를 연결하고 있는 환상의 연결체; 한쪽의 베어링체의 레이디얼 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급해야 할 기체, 한쪽의 베어링체의 스러스트 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급해야 할 기체 및 다른 쪽의 베어링체의 스러스트 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급해야 할 기체를 급기할 수 있도록, 한쪽의 베어링체, 다른 쪽의 베어링체 및 연결체에 형성되어 있는 급기 통로; 한쪽의 베어링체의 레이디얼 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급된 기체를 축체의 일단부측으로 배기함과 동시에, 한쪽의 베어링체의 스러스트 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급된 기체를 그 베어링 간극의 외주측으로부터 축체의 일단부측으로 배기할 수 있도록, 플레이트에 형성되어 있는 한쪽의 배기 통로; 한쪽의 베어링체의 스러스트 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급된 기체를 그 베어링 간극의 내주측으로부터 축체의 일단부측으로 배기함과 동시에, 다른 쪽의 베어링체의 스러스트 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급된 기체를 그 베어링 간극의 내주측으로부터 축체의 일단부측으로 배기할 수 있도록, 연결체 및 다른 쪽의 베어링체에 형성되어 있는 다른 쪽의 배기 통로;를 구비하고 있으며, 다른 쪽의 정압기체 베어링은, 롤체의 내주면에 대해 베어링 간극을 가지고 대면하고 있는 레이디얼 베어링면을 갖고 있음과 동시에, 축체에 고착되어 있는 베어링체; 이 베어링체의 레이디얼 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급해야 할 기체를 급기할 수 있도록, 그 베어링체에 형성되어 있는 급기 통로; 그 베어링체의 레이디얼 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급된 기체 및 한쪽의 정압기체 베어링의 한쪽의 베어링체의 레이디얼 베어링면으로부터 베어링 간극에 공급된 기체를 축체의 타단부측으로 배기할 수 있도록, 다른 쪽의 정압기체 베어링의 베어링체에 형성되어 있는 배기 통로;를 구비하고 있다.The roll apparatus of this invention is a hollow roll body; A shaft body having a gap inserted into the hollow portion of the roll body and having both ends protruding from the roll body; A pair of static pressure gas bearings disposed at both ends of the roll body and interposed between the roll body and the shaft body, wherein one of the static pressure gas bearings faces a bearing gap with respect to the inner circumferential surface of the roll body. One bearing body fixed to the shaft while having a radial bearing surface and a thrust bearing surface facing each other with a bearing clearance with respect to one surface of a hollow disk-shaped plate fixed to one end of the roll body; Another bearing body having a thrust bearing surface facing the other surface of the plate with a bearing clearance therebetween and fixed to the shaft body; An annular connecting member interposed between the plate and the shaft body and connecting one bearing body and the other bearing body; The gas to be supplied to the bearing clearance from the radial bearing surface of one bearing body, the gas to be supplied to the bearing clearance from the thrust bearing surface of one bearing body and the bearing clearance from the thrust bearing surface of the other bearing body. An air supply passage formed in one bearing body, the other bearing body, and the connecting body so that the gas to be supplied can be supplied; While the gas supplied to the bearing clearance from the radial bearing surface of one bearing body is exhausted to one end side of the shaft body, the gas supplied to the bearing clearance from the thrust bearing surface of one bearing body is removed from the outer peripheral side of the bearing clearance. One exhaust passage formed in the plate so as to be exhausted toward one end of the shaft; The gas supplied to the bearing clearance from the thrust bearing surface of one bearing body is exhausted from the inner peripheral side of the bearing clearance to one end of the shaft body, and the gas supplied to the bearing clearance from the thrust bearing surface of the other bearing body is discharged. And another exhaust passage formed in the connecting body and the other bearing body so as to exhaust from the inner circumferential side of the bearing gap to one end side of the shaft body. A bearing body having a radial bearing surface facing the inner circumferential surface with a bearing clearance therebetween and being fixed to the shaft body; An air supply passage formed in the bearing body so as to supply gas to be supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of the bearing body; The gas supplied to the bearing clearance from the radial bearing surface of the bearing body and the gas supplied to the bearing clearance from the radial bearing surface of one bearing body of one hydrostatic gas bearing can be exhausted to the other end side of the shaft body. And an exhaust passage formed in the bearing body of the hydrostatic gas bearing on the side.

본 발명의 롤 장치에 의하면, 특히, 상술한 한쪽의 정압기체 베어링 및 다른 쪽의 정압기체 베어링을 구비하고 있기 때문에, 롤체의 회전 정밀도를 높일 수 있고, 롤체의 중량을 가볍게 할 수 있어 회전 마찰의 저감 및 회전 속도의 향상을 도모할 수 있으며, 한쪽의 정압기체 베어링 및 다른 쪽의 정압기체 베어링의 레이디얼 방향에 관한 베어링 직경을 크게 할 수 있고, 또한 한쪽의 정압기체 베어링에 있어서 스러스트 방향에 관해서도 롤체를 비접촉 지지하기 때문에, 축체 등의 열팽창의 영향을 적게 할 수 있고, 한쪽의 정압기체 베어링에 의해 레이디얼 방향 및 스러스트 방향에 관해 비접촉 지지함과 동시에, 다른 쪽의 정압기체 베어링에 의해 레이디얼 방향에 관해 비접촉 지지함으로써, 롤체의 다른 쪽의 정압기체 베어링측의 부위를 자유롭게 할 수 있어 축방향의 열팽창의 영향을 적게 할 수 있고, 게다가 베어링 간극에 공급된 기체(압축 기체)를 원활하게 롤 장치의 외부로 배기할 수 있어, 그 기체의 불안정한 배기에 기초한 롤체의 회전 정밀도의 저하, 회전 마찰의 증대 및 회전 속도의 저하를 방지할 수 있다.According to the roll apparatus of the present invention, in particular, since one of the above-described positive pressure gas bearings and the other positive pressure gas bearings is provided, the rotational accuracy of the roll body can be improved, and the weight of the roll body can be lightened, thereby reducing the friction of rotational friction. It is possible to reduce the reduction and improve the rotational speed, to increase the bearing diameter in the radial direction of one hydrostatic gas bearing and the other hydrostatic gas bearing, and also to the thrust direction in one of the hydrostatic gas bearings. Since the roll body is supported in a non-contact manner, the influence of thermal expansion such as a shaft can be reduced, and the non-contact bearing is supported in the radial direction and the thrust direction by one hydrostatic gas bearing, and the radial by the other static pressure gas bearing. By non-contacting with respect to the direction, the portion on the other side of the static pressure gas bearing side of the roll body can be freed. It is possible to reduce the influence of thermal expansion in the axial direction, and furthermore, it is possible to smoothly exhaust the gas (compressed gas) supplied to the bearing clearance to the outside of the roll apparatus, and the rotational accuracy of the roll body based on the unstable exhaust of the gas. It is possible to prevent the decrease, the increase in the rotational friction, and the decrease in the rotational speed.

본 발명의 롤 장치의 바람직한 예에서는, 배기 통로는, 축체의 길이방향에 있어서 한쪽의 정압기체 베어링의 레이디얼 베어링면으로부터 기체가 공급되는 베어링 간극으로 인접하고 있음과 동시에, 플레이트의 한쪽 면에 형성되어 있는 환상 통로와, 이 환상 통로에 연통함과 동시에 플레이트의 다른 쪽 면에서 개구되도록 그 플레이트에 형성되어 있는 연통로를 구비하고 있다.In a preferred example of the roll apparatus of the present invention, the exhaust passage is formed on one surface of the plate while adjacent to the bearing gap through which gas is supplied from the radial bearing surface of one static pressure gas bearing in the longitudinal direction of the shaft. The annular passage is provided, and a communication passage formed in the plate so as to communicate with the annular passage and open at the other side of the plate.

본 발명의 롤 장치의 바람직한 예에서는, 배기 통로는, 플레이트의 내주면과 연결체의 외주면 사이에 형성된 환상 간극과, 연결체 및 플레이트를 가로질러 형성되어 있고, 플레이트의 다른 쪽 면에서 개구되어 있는 통로와, 이 통로에 연통하고 있음과 동시에 상기 환상 간극에서 개구되어 있는 연통로를 구비하고 있다.In a preferred example of the roll apparatus of the present invention, the exhaust passage is an annular gap formed between the inner circumferential surface of the plate and the outer circumferential surface of the connecting body, a passage formed across the connecting body and the plate, and opened on the other side of the plate. And a communication path communicating with the passage and open at the annular gap.

본 발명에 의하면, 보다 높은 회전 정밀도, 회전 마찰의 저감, 회전 속도의 향상을 도모할 수 있는 롤 장치를 제공할 수 있다.According to this invention, the roll apparatus which can aim at higher rotational precision, rotational friction reduction, and rotational speed can be provided.

도 1은 본 발명의 실시형태의 일부 생략 단면 설명도이다.
도 2는 도 1에 도시된 예의 II-II선 단면 화살표 방향에서 본 설명도이다.
도 3은 도 1에 도시된 예의 III-III선 단면 화살표 방향에서 본 설명도이다.
도 4는 도 1에 도시된 예의 IV-IV선 단면 화살표 방향에서 본 설명도이다.
도 5는 도 1에 도시된 예의 V-V선 단면 화살표 방향에서 본 설명도이다.
도 6은 도 4에 도시된 예의 VI-VI선 단면 화살표 방향에서 본 설명도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is explanatory drawing in part abbreviate | omitted of embodiment of this invention.
FIG. 2 is an explanatory view seen in the direction of the cross-section arrow II-II of the example shown in FIG. 1. FIG.
FIG. 3 is an explanatory view seen in the direction of the arrow of section III-III of the example shown in FIG. 1;
4 is an explanatory view seen in the direction of the cross-section arrow IV-IV of the example shown in FIG. 1.
5 is an explanatory view seen in the direction of a VV cross section arrow of the example shown in FIG. 1.
6 is an explanatory view seen in the direction of arrow VI-VI of the example shown in FIG. 4.

다음에, 본 발명을 도면에 도시된 바람직한 실시형태에 기초하여 더 상세하게 설명한다. 또, 본 발명은 이들 예에 전혀 한정되지 않는 것이다.Next, the present invention will be described in more detail based on the preferred embodiments shown in the drawings. In addition, this invention is not limited to these examples at all.

도 1부터 도 6에서, 본 예의 롤 장치(1)는, 중공의 롤체(2), 롤체(2)의 중공부에 간극(3)을 가지고 삽입 통과되어 있는 축체(4), 롤체(2)의 양단부(5 및 6)에 각각 배치되어 있음과 동시에 롤체(2)와 축체(4)의 사이에 각각 개재되어 있는 한 쌍의 정압기체 베어링(7 및 8)을 구비하고 있다.In FIGS. 1-6, the roll apparatus 1 of this example is a hollow roll body 2 and the shaft body 4 and the roll body 2 which are inserted through the clearance part 3 with the clearance part in the hollow part of the roll body 2, and are passed. And a pair of static pressure gas bearings 7 and 8, which are disposed at both ends 5 and 6 of the cross section, and are interposed between the roll body 2 and the shaft body 4, respectively.

롤체(2)는, 원통형상 본체(11), 외주면(13)이 원통형상 본체(11)의 일단부(5)에서의 내주면(12)의 부위에 고착되어 있음과 동시에, 내주면(14)이 정압기체 베어링(7)에 대해 베어링 간극(31)을 가지고 대면하고 있는 원통체(15), 외주면(16)이 원통형상 본체(11)의 타단부(6)에서의 내주면(12)의 부위에 고착되어 있음과 동시에, 내주면(17)이 정압기체 베어링(8)에 대해 베어링 간극(91)을 가지고 대면하고 있는 원통체(18), 축체(4)의 일단부(21) 측에 위치하는 원통체(15)의 환상의 단면(端面; 19)에 고착되어 있는 중공 원판형상의 플레이트(20)를 구비하고 있다. 원통체(15 및 18)의 두께는 서로 같다. 플레이트(20)는, 원통체(15)를 개재하여 원통형상 본체(11)의 일단부(5)에 고착되어 있다.As for the roll body 2, the cylindrical main body 11 and the outer peripheral surface 13 are fixed to the site | part of the inner peripheral surface 12 in the one end part 5 of the cylindrical main body 11, and the inner peripheral surface 14 is The cylindrical body 15 and the outer circumferential surface 16 which face the static pressure gas bearing 7 with the bearing clearance 31 are located at the site of the inner circumferential surface 12 at the other end 6 of the cylindrical body 11. A cylinder positioned on one end 21 of the cylindrical body 18 and the shaft 4 in which the inner circumferential surface 17 faces the static pressure gas bearing 8 with a bearing clearance 91 while being fixed. The hollow disk-shaped plate 20 fixed to the annular end surface 19 of the sieve 15 is provided. The thicknesses of the cylinders 15 and 18 are the same. The plate 20 is fixed to the one end 5 of the cylindrical main body 11 via the cylindrical body 15.

원주형상 또는 원통형상의 축체(4)는, 원통형상 본체(11), 원통체(15 및 18) 및 플레이트(20)에 대해 간극(3)을 가지고 롤체(2)에 삽입 통과되어 있다. 축체(4)의 양단부(21 및 22) 각각은 롤체(2)의 양단부(5 및 6)로부터 돌출되어 있고, 그 양단부(21 및 22)에서 프레임 등에 고정 지지되어 있다. 축체(4)는, 그 축체(4)의 길이방향에 관해 원통체(15 및 18) 사이에 위치하는 대직경축부(23), 대직경축부(23)의 양측에 위치하는 소직경축부(24 및 25), 대직경축부(23)와 소직경축부(24 및 25) 각각의 연결부에 형성되어 있는 단부(段部; 27 및 28)를 구비하고 있다. 소직경축부(24 및 25)의 직경은 본 예에서는 서로 같지만, 달라도 된다.The cylindrical or cylindrical shaft 4 is inserted into the roll body 2 with a gap 3 with respect to the cylindrical body 11, the cylinders 15 and 18, and the plate 20. Each of the both ends 21 and 22 of the shaft 4 protrudes from both ends 5 and 6 of the roll body 2 and is fixedly supported by a frame or the like at the both ends 21 and 22. The shaft 4 has a large-diameter shaft portion 23 located between the cylindrical bodies 15 and 18 with respect to the longitudinal direction of the shaft 4, and a small-diameter shaft portion 24 located on both sides of the large-diameter shaft portion 23. FIG. And 25), end portions 27 and 28 formed at the connecting portions of the large diameter shaft portion 23 and the small diameter shaft portions 24 and 25, respectively. Although the diameters of the small diameter shaft parts 24 and 25 are the same in this example, they may differ.

정압기체 베어링(7)은, 내주면(14)에 대해 베어링 간극(31)을 가지고 대면하고 있는 레이디얼 베어링면(32) 및 타단부(22) 측에 위치하는 플레이트(20)의 면(33)에 대해 베어링 간극(34)을 가지고 대면하고 있는 스러스트 베어링면(35)을 갖고 있음과 동시에 축체(4)에 고착되어 있는 원통형상의 한쪽의 베어링체(36)와, 일단부(21) 측에 위치하는 플레이트(20)의 면(38)에 대해 베어링 간극(39)을 가지고 대면하고 있는 스러스트 베어링면(40)을 갖고 있음과 동시에 축체(4)에 고착되어 있는 중공 원판형상의 다른 쪽의 베어링체(41)와, 플레이트(20)와 축체(4)의 사이에 개재되어 있음과 동시에 베어링체(36 및 41)를 연결하고 있는 환상의 연결체(42)와, 레이디얼 베어링면(32)으로부터 베어링 간극(31)에 공급해야 할 기체, 스러스트 베어링면(35)으로부터 베어링 간극(34)에 공급해야 할 기체 및 스러스트 베어링면(40)으로부터 베어링 간극(39)에 공급해야 할 기체를 급기할 수 있도록, 베어링체(36), 베어링체(41) 및 연결체(42)에 형성되어 있는 급기 통로(44), 레이디얼 베어링면(32)으로부터 베어링 간극(31)에 공급된 기체를 일단부(21) 측으로 배기함과 동시에 스러스트 베어링면(35)으로부터 베어링 간극(34)에 공급된 기체를 그 베어링 간극(34)의 외주측으로부터 일단부(21) 측으로 배기할 수 있도록, 플레이트(20)에 형성되어 있는 한쪽의 배기 통로(45)와, 스러스트 베어링면(35)으로부터 베어링 간극(34)에 공급된 기체를 그 베어링 간극(34)의 내주측으로부터 일단부(21) 측으로 배기함과 동시에 스러스트 베어링면(40)으로부터 베어링 간극(39)에 공급된 기체를 그 베어링 간극(39)의 내주측에서 일단부(21) 측으로 배기할 수 있도록, 연결체(42) 및 베어링체(41)에 형성되어 있는 다른 쪽의 배기 통로(46)를 구비하고 있다.The hydrostatic gas bearing 7 has a surface 33 of the plate 20 positioned on the radial bearing surface 32 and the other end 22 side facing the inner circumferential surface 14 with a bearing clearance 31. It has the thrust bearing surface 35 which faces the bearing clearance 34 with respect to it, and it is located in the cylindrical one bearing body 36 fixed to the shaft 4, and one end 21 side. The other bearing body of the hollow disk shape which has the thrust bearing surface 40 which has the bearing clearance 39 facing the surface 38 of the plate 20, and is fixed to the shaft 4 at the same time. From the 41 and the annular connecting body 42 which is interposed between the plate 20 and the shaft 4, and connects the bearing bodies 36 and 41, and the radial bearing surface 32, The gas to be supplied to the bearing clearance 31, from the thrust bearing surface 35 to the bearing clearance 34. Air supply passages formed in the bearing body 36, the bearing body 41, and the connecting body 42 to supply the gas to be supplied to the bearing clearance 39 from the gas to be supplied and the thrust bearing surface 40. (44), while the gas supplied from the radial bearing surface 32 to the bearing clearance 31 is exhausted to the one end 21 side, the gas supplied from the thrust bearing surface 35 to the bearing clearance 34 is removed. From the outer circumferential side of the bearing clearance 34 to the one end portion 21 side, one of the exhaust passage 45 formed in the plate 20 and the thrust bearing surface 35 from the thrust bearing surface 35 to the bearing clearance 34. The gas supplied to the bearing clearance 39 from the thrust bearing surface 40 is exhausted from the inner peripheral side of the bearing clearance 34 to the one end 21 side, and the inner peripheral side of the bearing clearance 39 is exhausted. Connecting body 42 so as to be exhausted to one end 21 side from the And the other exhaust passage 46 formed in the bearing body 41.

베어링체(36 및 41)는, 플레이트(20)를 사이에 두고 서로 대향하여 배치되어 있다. 베어링체(36 및 41)는, 연결체(42)에 나사 등을 통해 서로 연결되어 있다.The bearing bodies 36 and 41 are arrange | positioned facing each other with the plate 20 interposed. The bearing bodies 36 and 41 are mutually connected to the connecting body 42 via a screw etc.

베어링체(36)는, 내주면(51)에서 소직경축부(24)에 고착되어 있음과 동시에 대직경축부(23) 측의 단면(53)에서 단부(27)에 고착되어 있는 원통형상의 본체(55), 본체(55)의 외주면(52)에 접합되어 있는 다공질체로서의 원통형상의 다공질 금속 소 결층(56), 본체(55)의 플레이트(20) 측의 단면(54)에 형성되어 있는 환상 오목홈(58)에 접합되어 있는 다공질체로서의 환상의 다공질 금속 소결층(57)을 구비하고 있다.The bearing body 36 is fixed to the small diameter shaft portion 24 on the inner circumferential surface 51 and fixed to the end portion 27 at the end face 53 on the large diameter shaft portion 23 side. ), A cylindrical porous metal sintered layer 56 as a porous body bonded to the outer circumferential surface 52 of the main body 55, and an annular concave groove formed in the end face 54 on the plate 20 side of the main body 55. An annular porous metal sintered layer 57 as the porous body bonded to the 58 is provided.

다공질 금속 소결층(56 및 57) 각각은, 그 전체 표면의 무질서한 다수의 부위에서 개구됨과 동시에 무질서하게 서로 연통하는 다수의 세공(細孔)을 내부에 갖고 있다. 레이디얼 베어링면(32)은, 다공질 금속 소결층(56)의 지지해야 할 원통체(15)에 대면하여 노출하는 외주면으로 이루어지고, 스러스트 베어링면(35)은, 다공질 금속 소결층(57)의 지지해야 할 플레이트(20)에 대면하여 노출하는 그 플레이트(20) 측의 면으로 이루어진다. 스러스트 베어링면(35)은, 본 예에서는 단면(54)에 대해 동일한 면이지만, 예를 들면, 횡방향에 관해 단면(54)에 대해 한쪽 또는 다른 쪽에 배치되어도 된다. 다공질 금속 소결층(56 및 57) 각각은, 4중량% 이상 10중량% 이하의 주석, 1O중량% 이상 4O중량% 이하의 니켈, O.1중량% 이상 O.5중량% 미만의 인, 2중량% 이상 1O중량% 이하의 무기물질 입자, 나머지 부분이 구리로 이루어져도 된다. 다공질 금속 소결층(56 및 57)에 분산 함유되는 무기물질 입자는, 흑연, 질화 붕소, 불화 흑연, 불화 칼슘, 산화 알루미늄, 산화 규소 및 탄화 규소 중에서 적어도 하나로 이루어져도 된다.Each of the porous metal sintered layers 56 and 57 has a large number of pores therein, which are opened at a plurality of disordered portions of the entire surface thereof and are in random communication with each other. The radial bearing surface 32 is composed of an outer circumferential surface facing and facing the cylindrical body 15 to be supported by the porous metal sintered layer 56, and the thrust bearing surface 35 is a porous metal sintered layer 57. It consists of a surface of the plate 20 side exposed to face the plate 20 to be supported. Although the thrust bearing surface 35 is the same surface with respect to the cross section 54 in this example, you may be arrange | positioned at one side or the other with respect to the cross section 54 about a lateral direction, for example. Each of the porous metal sintered layers 56 and 57 is 4 wt% or more and 10 wt% or less of tin, 10 wt% or more and 40 wt% or less of nickel, 0.1 wt% or more and less than 0.5 wt% of phosphorus, 2 The inorganic material particles of not less than 10% by weight and the remainder may be made of copper. The inorganic material particles dispersed and contained in the porous metal sintered layers 56 and 57 may be made of at least one of graphite, boron nitride, graphite fluoride, calcium fluoride, aluminum oxide, silicon oxide, and silicon carbide.

베어링체(36)에 대해 일단부(21) 측에 배치된 베어링체(41)는, 내주면(61)에서 소직경축부(24)에 고착되어 있는 중공 원판형상의 본체(62)와, 본체(62)의 플레이트(20) 측의 면(63)에 형성되어 있는 환상 오목홈(65)에 접합되어 있는 다공질체로서의 환상의 다공질 금속 소결층(64)을 구비하고 있다. 스러스트 베어링면(40)은, 다공질 금속 소결층(64)의 지지해야 할 플레이트(20)에 대면하여 노출하는 그 플레이트(20) 측의 면으로 이루어진다. 스러스트 베어링면(40)은, 면(63)에 대해 동일한 면이다. 다공질 금속 소결층(64)은, 다공질 금속 소결층(57)과 마찬가지로 형성되어 있고, 플레이트(20)를 사이에 두고 서로 대향하여 배치되어 있다.The bearing body 41 disposed on the one end 21 side with respect to the bearing body 36 includes a hollow disc-shaped body 62 fixed to the small-diameter shaft portion 24 on the inner circumferential surface 61, and a body ( The annular porous metal sintered layer 64 as a porous body joined to the annular recessed groove 65 formed in the surface 63 on the side of the plate 20 of 62 is provided. The thrust bearing surface 40 consists of the surface of the plate 20 side exposed to the plate 20 which the porous metal sintered layer 64 should support. The thrust bearing surface 40 is the same surface with respect to the surface 63. The porous metal sintered layer 64 is formed in the same manner as the porous metal sintered layer 57, and is disposed to face each other with the plate 20 interposed therebetween.

급기 통로(44)는, 본체(55)의 외주면(52)에 형성된 복수의 환상 통로(71, 72 및 73)와, 환상 오목홈(58)의 저면에 형성된 환상 통로(74)와, 환상 오목홈(65)의 저면에 형성된 환상 통로(75)와, 본체(55), 연결체(42) 및 본체(62)를 가로질러 형성되어 있고 환상 통로(71~75) 각각에 연통하고 있음과 동시에 본체(62)의 외주면에서 개구되어 있는 연통로(76)를 구비하고 있다. 이러한 급기 통로(44)에서는, 상기 개구로부터 공급되는 기체(압축 기체)를 연통로(76)를 개재하여 환상 통로(71~75) 각각으로 유입시키고, 그 유입한 기체를 다공질 금속 소결층(56, 57 및 64) 각각에 공급하며, 베어링 간극(31, 34 및 39)으로 기체를 공급한다.The air supply passage 44 includes a plurality of annular passages 71, 72, and 73 formed on the outer circumferential surface 52 of the main body 55, an annular passage 74 formed on the bottom surface of the annular recess groove 58, and an annular recess. It is formed across the annular passage 75 formed on the bottom surface of the groove 65, the main body 55, the connecting body 42 and the main body 62, and communicates with each of the annular passages 71 to 75. The communication path 76 opened in the outer peripheral surface of the main body 62 is provided. In such an air supply passage 44, the gas (compressed gas) supplied from the opening is introduced into each of the annular passages 71 to 75 via the communication path 76, and the introduced gas is introduced into the porous metal sintered layer 56. , 57 and 64, respectively, and gas into the bearing gaps 31, 34 and 39.

배기 통로(45)는, 특히 도 6에 도시된 바와 같이, 축체(4)의 길이방향에 있어서 베어링 간극(31)으로 인접하고 있음과 동시에 플레이트(20)의 면(33)에 형성되어 있는 환상 통로(81)와, 환상 통로(81)에 연통함과 동시에 플레이트(20)의 면(38)에서 개구되도록 플레이트에 형성되어 있는 연통로(82)를 구비하고 있다. 이러한 배기 통로(45)에서는, 베어링 간극(31)에 공급된 기체를 플레이트(20) 측으로부터 배기함과 동시에, 베어링 간극(34)에 공급된 기체를 그 베어링 간극(34)의 외주측으로부터 배기한다. 또, 베어링 간극(39)에 공급된 기체 중에서 외주측으로 배출된 기체는 그대로 롤 장치(1)의 외부로 배기된다.As shown in FIG. 6, the exhaust passage 45 is annular formed on the surface 33 of the plate 20 while being adjacent to the bearing gap 31 in the longitudinal direction of the shaft 4. A communication path 82 formed in the plate so as to communicate with the passage 81 and the annular passage 81 and open at the surface 38 of the plate 20 is provided. In such an exhaust passage 45, the gas supplied to the bearing gap 31 is exhausted from the plate 20 side, and the gas supplied to the bearing gap 34 is exhausted from the outer circumferential side of the bearing gap 34. do. Moreover, the gas discharged | emitted to the outer peripheral side among the gas supplied to the bearing clearance 39 is exhausted to the outside of the roll apparatus 1 as it is.

배기 통로(46)는, 특히 도 6에 도시된 바와 같이, 플레이트(20)의 내주면(85)과 연결체(42)의 외주면(86) 사이에 형성된 환상 간극(87)과, 연결체(42) 및 본체(62)를 가로질러 형성되어 있고, 본체(62)의 일단부(21) 측의 면(66)에서 개구되어 있는 통로(88)와, 통로(88)에 연통하고 있음과 동시에 환상 간극(87)에서 개구되어 있는 연통로(89)를 구비하고 있다. 이러한 배기 통로(46)에서는, 베어링 간극(34)에 공급된 기체를 그 베어링 간극(34)의 내주측으로부터 배기함과 동시에, 베어링 간극(39)에 공급된 기체를 그 베어링 간극(39)의 내주측으로부터 배기한다.The exhaust passage 46 includes, in particular, an annular gap 87 formed between the inner circumferential surface 85 of the plate 20 and the outer circumferential surface 86 of the connecting body 42, as shown in FIG. 6, and the connecting body 42. And the passage 88 which is formed across the main body 62 and opened at the surface 66 on the one end 21 side of the main body 62, and is annular at the same time. The communication path 89 opened in the clearance 87 is provided. In the exhaust passage 46, the gas supplied to the bearing gap 34 is exhausted from the inner circumferential side of the bearing gap 34, and the gas supplied to the bearing gap 39 is discharged from the bearing gap 39. Exhaust from the inner circumference side.

정압기체 베어링(8)은, 내주면(17)에 대해 베어링 간극(91)을 가지고 대면하고 있는 레이디얼 베어링면(92)을 갖고 있음과 동시에 축체(4)에 고착되어 있는 베어링체(93)와, 베어링체(93)의 레이디얼 베어링면(92)으로부터 베어링 간극(91)에 공급해야 할 기체를 급기할 수 있도록, 그 베어링체(93)에 형성되어 있는 급기 통로(94)와, 레이디얼 베어링면(92)으로부터 베어링 간극(91)에 공급된 기체 및 레이디얼 베어링면(32)으로부터 베어링 간극(31)에 공급된 기체, 즉 정압기체 베어링(7 및 8) 간의 기체를 타단부(22) 측으로 배기할 수 있도록, 베어링체(93)에 형성되어 있는 배기 통로(95)를 구비하고 있다.The constant pressure gas bearing 8 has a radial bearing surface 92 facing the inner circumferential surface 17 with a bearing clearance 91 and a bearing body 93 fixed to the shaft 4. The air supply passageway 94 formed in the bearing body 93 so as to supply the gas to be supplied to the bearing clearance 91 from the radial bearing surface 92 of the bearing body 93, and the radial portion. The gas supplied to the bearing clearance 91 from the bearing surface 92 and the gas supplied to the bearing clearance 31 from the radial bearing surface 32, that is, the gas between the constant pressure gas bearings 7 and 8, are provided at the other end 22. The exhaust passage 95 formed in the bearing body 93 is provided so that the exhaust gas can be exhausted toward the side of the cylinder.

베어링체(93)는, 내주면(101)에서 소직경축부(25)에 고착되어 있음과 동시에, 대직경축부(23) 측의 단면(103)에서 단부(28)에 고착되어 있는 원통형상의 본체(105)와, 본체(105)의 외주면(102)에 접합되어 있는 다공질체로서의 원통형상의 다공질 금속 소결층(106)을 구비하고 있다. 레이디얼 베어링면(92)은, 다공질 금속 소결층(106)의 지지해야 할 원통체(18)에 대면하여 노출하는 외주면으로 이루어진다. 다공질 금속 소결층(106)은, 다공질 금속 소결층(56)과 마찬가지로 형성되어 있다.The bearing body 93 is fixed to the small-diameter shaft portion 25 on the inner circumferential surface 101 and has a cylindrical main body fixed to the end portion 28 at the end face 103 of the large-diameter shaft portion 23 side ( 105 and a cylindrical porous metal sintered layer 106 as a porous body joined to the outer circumferential surface 102 of the main body 105. The radial bearing surface 92 is composed of an outer circumferential surface exposed to face the cylindrical body 18 to be supported by the porous metal sintered layer 106. The porous metal sintered layer 106 is formed similarly to the porous metal sintered layer 56.

급기 통로(94)는, 특히 도 1에 도시된 바와 같이, 본체(105)의 외주면(102)에 형성된 복수의 환상 통로(111, 112 및 113)와, 환상 통로(111~113) 각각에 연통하고 있음과 동시에 본체(105)의 타단부(22) 측의 단면(104)에서 개구되도록 본체(105)에 형성되어 있는 연통로(114)를 구비하고 있다. 이러한 급기 통로(94)에서는, 상기 개구로부터 공급되는 기체(압축 기체)를 연통로(114)를 개재하여 환상 통로(111~113) 각각에 유입시키고, 그 유입한 기체를 다공질 금속 소결층(106) 각각에 공급하며, 베어링 간극(91)에 기체를 공급한다.In particular, as shown in FIG. 1, the air supply passage 94 communicates with the plurality of annular passages 111, 112, and 113 formed on the outer circumferential surface 102 of the main body 105, and the annular passages 111 to 113, respectively. At the same time, a communication path 114 formed in the main body 105 is provided so as to be opened at the end face 104 of the other end portion 22 side of the main body 105. In such an air supply passage 94, the gas (compressed gas) supplied from the opening is introduced into each of the annular passages 111 to 113 via the communication passage 114, and the introduced gas is introduced into the porous metal sintered layer 106. ) And gas to the bearing clearance 91.

배기 통로(95)는, 특히 도 1에 도시된 바와 같이, 단면(103 및 104) 각각에서 개구되어 본체(105)에 형성된 통로로 이루어진다. 이러한 배기 통로(95)에서는, 베어링 간극(31 및 91) 각각에 공급된 기체 중에서 롤체(2)의 중공부에 배출된 기체가 단면(103)에서의 개구로부터 유입되고, 유입된 기체를 단면(104) 측의 개구로부터 배기한다. 또, 베어링 간극(91)에 공급된 기체 중에서 타단부(22) 측으로 배출된 기체는 그대로 롤 장치(1)의 외부로 배기된다.The exhaust passage 95, in particular as shown in FIG. 1, consists of a passage formed in the body 105 by opening in each of the cross sections 103 and 104. In such an exhaust passage 95, the gas discharged to the hollow portion of the roll body 2 from the gas supplied to each of the bearing gaps 31 and 91 flows in from the opening in the end face 103, and the gas introduced into the cross section ( It exhausts from the opening of 104) side. Moreover, the gas discharged | emitted to the other end part 22 side among the gas supplied to the bearing clearance 91 is exhausted to the outside of the roll apparatus 1 as it is.

또, 부호 120은, 볼트(121)의 조임에 의해 축체(4)에 압접(壓接)하는 슬릿 붙이 긴장체결구이고, 긴장체결구(120) 각각은 정압기체 베어링(7 및 8) 각각을 축체(4)에 고착하기 위해 이용된다.In addition, reference numeral 120 denotes a slit-tension fastener with a slit press-contacted to the shaft 4 by tightening the bolt 121, and each of the tension fasteners 120 each represents a constant pressure gas bearing 7 and 8, respectively. It is used for fixing to the shaft 4.

이러한 롤 장치(1)에서는, 급기 통로(44 및 94)로부터 다공질 금속 소결층(56, 57, 64 및 106) 각각에 급기됨으로써 레이디얼 베어링면(32 및 92)과 스러스트 베어링면(35 및 40) 각각으로부터 베어링 간극(31, 34, 39 및 91) 각각에 기체가 공급되고, 정압기체 베어링(7 및 8)에 의해 롤체(2)의 비접촉으로 R방향으로 회전 가능하게 지지한다. 롤체(2)의 횡방향에 관한 위치 어긋남은 베어링 간극(34 및 39)에서의 비접촉 지지에 의해 금지된다. 베어링 간극(31, 34, 39 및 91) 각각에 공급된 기체는, 배기 통로(45, 46 및 95) 각각으로부터 상술한 바와 같이 배기된다.In such a roll apparatus 1, the radial bearing surfaces 32 and 92 and the thrust bearing surfaces 35 and 40 are supplied to each of the porous metal sintered layers 56, 57, 64 and 106 from the air supply passages 44 and 94. The gas is supplied to each of the bearing gaps 31, 34, 39, and 91 from each of them, and is supported by the static pressure gas bearings 7 and 8 so as to be rotatable in the R direction in a non-contact manner. Position shift with respect to the transverse direction of the roll body 2 is prohibited by non-contact support in the bearing clearances 34 and 39. The gas supplied to each of the bearing gaps 31, 34, 39, and 91 is exhausted from each of the exhaust passages 45, 46, and 95 as described above.

본 예의 롤 장치(1)에 의하면, 중공의 롤체(2)와, 롤체(2)의 중공부에 간극(3)을 가지고 삽입 통과되어 있음과 동시에 양단부(21 및 22)가 롤체(2)로부터 돌출되어 있는 축체(4)와, 롤체(2)의 양단부(5 및 6)에 각각 배치되어 있음과 동시에, 롤체(2)와 축체(4)의 사이에 각각 개재되어 있는 한 쌍의 정압기체 베어링(7 및 8)을 구비하고 있고, 정압기체 베어링(7)은, 롤체(2)의 내주면(14)에 대해 베어링 간극(31)을 가지고 대면하고 있는 레이디얼 베어링면(32) 및 롤체(2)의 일단부(5)에 고착되어 있는 중공 원판형상의 플레이트(20)의 한쪽 면(33)에 대해 베어링 간극(34)을 가지고 대면하고 있는 스러스트 베어링면(35)을 갖고 있음과 동시에, 축체(4)에 고착되어 있는 한쪽의 베어링체(36)와, 상기 플레이트(20)의 다른 쪽 면(38)에 대해 베어링 간극(39)을 가지고 대면하고 있는 스러스트 베어링면(40)을 갖고 있음과 동시에, 축체(4)에 고착되어 있는 다른 쪽의 베어링체(41)와, 상기 플레이트(20)와 축체(4)의 사이에 개재되어 있음과 동시에, 한쪽의 베어링체(36)와 다른 쪽의 베어링체(41)를 연결하고 있는 환상의 연결체(42)와, 한쪽의 베어링체(36)의 레이디얼 베어링면(32)으로부터 베어링 간극(31)에 공급해야 할 기체, 한쪽의 베어링체(36)의 스러스트 베어링면(35)으로부터 베어링 간극(34)에 공급해야 할 기체 및 다른 쪽의 베어링체(41)의 스러스트 베어링면(40)으로부터 베어링 간극(39)에 공급해야 할 기체를 급기할 수 있도록, 한쪽의 베어링체(36), 다른 쪽의 베어링체(41) 및 연결체(42)에 형성되어 있는 급기 통로(44)와, 한쪽의 베어링체(36)의 레이디얼 베어링면(32)으로부터 베어링 간극(31)에 공급된 기체를 축체(4)의 일단부(21) 측으로 배기함과 동시에, 한쪽의 베어링체(36)의 스러스트 베어링면(35)으로부터 베어링 간극(34)에 공급된 기체를 그 베어링 간극(34)의 외주측으로부터 축체(4)의 일단부(21) 측으로 배기할 수 있도록, 플레이트(20)에 형성되어 있는 한쪽의 배기 통로(45)와, 한쪽의 베어링체(36)의 스러스트 베어링면(35)으로부터 베어링 간극(34)에 공급된 기체를 그 베어링 간극(34)의 내주측으로부터 축체(4)의 일단부(21) 측으로 배기함과 동시에, 다른 쪽의 베어링체(41)의 스러스트 베어링면(40)으로부터 베어링 간극(39)에 공급된 기체를 그 베어링 간극(39)의 내주측으로부터 축체(4)의 일단부(21) 측으로 배기할 수 있도록, 연결체(42) 및 다른 쪽의 베어링체(41)에 형성되어 있는 다른 쪽의 배기 통로(46)를 구비하고 있으며, 다른 쪽의 정압기체 베어링(8)은, 롤체(2)의 내주면(17)에 대해 베어링 간극(91)을 가지고 대면하고 있는 레이디얼 베어링면(92)을 갖고 있음과 동시에 축체(4)에 고착되어 있는 베어링체(93)와, 이 베어링체(93)의 레이디얼 베어링면(92)으로부터 베어링 간극(91)에 공급해야 할 기체를 급기할 수 있도록, 그 베어링체(93)에 형성되어 있는 급기 통로(94)와, 그 베어링체(93)의 레이디얼 베어링면(92)으로부터 베어링 간극(91)에 공급된 기체 및 한쪽의 정압기체 베어링(7)의 한쪽의 베어링체(36)의 레이디얼 베어링면(32)으로부터 베어링 간극(31)에 공급된 기체를 축체(4)의 타단부(22) 측으로 배기할 수 있도록, 다른 쪽의 정압기체 베어링(8)의 베어링체(93)에 형성되어 있는 배기 통로(95)를 구비하고 있기 때문에, 롤체(2)의 회전 정밀도를 높일 수 있고, 롤체(2)의 중량을 가볍게 할 수 있어 회전 마찰의 저감 및 회전 속도의 향상을 도모할 수 있으며, 한쪽의 정압기체 베어링(7) 및 다른 쪽의 정압기체 베어링(8)의 레이디얼 방향에 관한 베어링 직경을 크게 할 수 있고, 또한 한쪽의 정압기체 베어링(7)에 있어서 스러스트 방향에 관해서도 롤체(2)를 비접촉 지지하기 때문에, 축체(4) 등의 열팽창의 영향을 적게 할 수 있고, 한쪽의 정압기체 베어링(7)에 의해 레이디얼 방향 및 스러스트 방향에 관해 비접촉 지지함과 동시에, 다른 쪽의 정압기체 베어링(8)에 의해 레이디얼 방향에 관해 비접촉 지지함으로써, 롤체(2)의 다른 쪽의 정압기체 베어링(8) 측의 부위를 자유롭게 할 수 있어 축방향의 열팽창의 영향을 적게 할 수 있고, 게다가, 베어링 간극(31, 34, 39 및 91) 각각에 공급된 기체를 원활하게 롤 장치(1)의 외부로 배기할 수 있어, 그 기체의 불안정한 배기에 기초한 롤체(2)의 회전 정밀도의 저하, 회전 마찰의 증대 및 회전 속도의 저하를 방지할 수 있다.According to the roll apparatus 1 of this example, the hollow roll body 2 and the hollow part of the roll body 2 are inserted through the gap 3 and both ends 21 and 22 are removed from the roll body 2. A pair of static pressure gas bearings, which are disposed on the protruding shaft 4 and the ends 5 and 6 of the roll body 2, respectively, and are interposed between the roll body 2 and the shaft 4, respectively. (7 and 8), the static pressure gas bearing (7) has a radial bearing surface 32 and a roll body (2) facing the inner circumferential surface (14) of the roll body (2) with bearing clearances (31). It has a thrust bearing surface 35 facing the bearing surface 34 with respect to one surface 33 of the hollow disk-shaped plate 20 fixed to one end 5 of The bearing which faces one bearing body 36 fixed to (4) and the bearing clearance 39 against the other surface 38 of the said plate 20 is faced. While having a bearing bearing surface 40 and interposed between the other bearing body 41 fixed to the shaft 4 and the plate 20 and the shaft 4, one side is provided. From the radial bearing surface 32 of the annular coupling body 42 connecting the bearing body 36 of the bearing body 36 and the other bearing body 41, and the bearing body 36 of the one bearing body 36 to the bearing clearance 31. Gas to be supplied, from the thrust bearing surface 35 of one bearing body 36 to the bearing clearance 34 and from the thrust bearing surface 40 of the other bearing body 41 to the bearing clearance ( The air supply passage 44 formed in one bearing body 36, the other bearing body 41, and the connection body 42, and one bearing body so that the gas which should be supplied to 39 should be supplied. The gas supplied from the radial bearing surface 32 of (36) to the bearing clearance 31 is exhausted to the one end part 21 side of the shaft 4 At the same time, the gas supplied from the thrust bearing surface 35 of one bearing body 36 to the bearing clearance 34 is exhausted from the outer peripheral side of the bearing clearance 34 to one end 21 side of the shaft 4. The gas supplied to the bearing clearance 34 from the thrust bearing surface 35 of one of the exhaust passages 45 and the bearing body 36 formed on the plate 20 can be transferred to the bearing clearance ( The gas supplied to the bearing clearance 39 from the thrust bearing surface 40 of the other bearing body 41 is exhausted from the inner circumferential side of the shaft 4 to the one end 21 side of the shaft 4. The other exhaust passage 46 formed in the connecting body 42 and the other bearing body 41 so as to be exhausted from the inner circumferential side of the gap 39 to the one end 21 side of the shaft 4. The other static pressure gas bearing 8 has a bearing with respect to the inner circumferential surface 17 of the roll body 2. A bearing body 93 having a radial bearing surface 92 facing the pole 91 and fixed to the shaft 4 and a radial bearing surface 92 of the bearing body 93. Bearing from the air supply passageway 94 formed in the bearing body 93 and the radial bearing surface 92 of the bearing body 93 so that the gas to be supplied to the bearing clearance 91 can be supplied from the The gas supplied to the gap 91 and the gas supplied to the bearing gap 31 from the radial bearing surface 32 of one bearing body 36 of one of the positive pressure gas bearings 7 are transferred to the shaft 4. Since the exhaust passage 95 formed in the bearing body 93 of the other positive pressure gas bearing 8 is provided so that the exhaust gas can be exhausted toward the end 22 side, the rotational accuracy of the roll body 2 can be improved. In addition, the weight of the roll body 2 can be reduced, so that rotational friction can be reduced and rotational speed can be improved. The diameter of the bearings in the radial direction of one of the positive pressure gas bearings 7 and the other of the positive pressure gas bearings 8 can be increased, and the roll body also has a roll body in the thrust direction of the one of the positive pressure gas bearings 7. Since non-contact support of (2) is possible, the influence of thermal expansion such as the shaft body 4 can be reduced, and the other positive pressure gas bearing 7 makes non-contact support with respect to the radial direction and the thrust direction, while the other By non-contact support with respect to the radial direction by the positive pressure gas bearing 8 of the roll body 2, the site | part on the other side of the positive pressure gas bearing 8 of the roll body 2 can be freed, and the influence of axial thermal expansion can be reduced. In addition, the gas supplied to each of the bearing gaps 31, 34, 39, and 91 can be smoothly exhausted to the outside of the roll apparatus 1, and the rotational accuracy of the roll body 2 based on the unstable exhaust of the gas. Degradation, rotation It is possible to prevent an increase in friction and a decrease in rotational speed.

Claims

Hollow roll body; A shaft body having a gap inserted into the hollow portion of the roll body and having both ends protruding from the roll body; A pair of static pressure gas bearings disposed at both ends of the roll body and interposed between the roll body and the shaft body, wherein one of the static pressure gas bearings faces a bearing gap with respect to the inner circumferential surface of the roll body. One bearing body fixed to the shaft while having a radial bearing surface and a thrust bearing surface facing each other with a bearing clearance with respect to one surface of a hollow disk-shaped plate fixed to one end of the roll body; Another bearing body having a thrust bearing surface facing the other surface of the plate with a bearing clearance therebetween and fixed to the shaft body; An annular connecting member interposed between the plate and the shaft body and connecting one bearing body and the other bearing body; The gas to be supplied to the bearing clearance from the radial bearing surface of one bearing body, the gas to be supplied to the bearing clearance from the thrust bearing surface of one bearing body and the bearing clearance from the thrust bearing surface of the other bearing body. An air supply passage formed in one bearing body, the other bearing body, and the connecting body so that the gas to be supplied can be supplied; While the gas supplied to the bearing clearance from the radial bearing surface of one bearing body is exhausted to one end side of the shaft body, the gas supplied to the bearing clearance from the thrust bearing surface of one bearing body is removed from the outer peripheral side of the bearing clearance. One exhaust passage formed in the plate so as to be exhausted toward one end of the shaft; The gas supplied to the bearing clearance from the thrust bearing surface of one bearing body is exhausted from the inner peripheral side of the bearing clearance to one end of the shaft body, and the gas supplied to the bearing clearance from the thrust bearing surface of the other bearing body is discharged. And another exhaust passage formed in the connecting body and the other bearing body so as to exhaust from the inner circumferential side of the bearing gap to one end side of the shaft body. A bearing body having a radial bearing surface facing the inner circumferential surface with a bearing clearance therebetween and fixed to the shaft; An air supply passage formed in the bearing body so as to supply gas to be supplied to the bearing gap from the radial bearing surface of the bearing body; The gas supplied to the bearing clearance from the radial bearing surface of the bearing body and the gas supplied to the bearing clearance from the radial bearing surface of one bearing body of one hydrostatic gas bearing can be exhausted to the other end side of the shaft body. And an exhaust passage formed in the bearing body of the hydrostatic gas bearing on the side.

The method of claim 1,
The exhaust passage is in communication with the annular passage formed on one surface of the plate while adjacent to the bearing gap through which gas is supplied from the radial bearing surface of one hydrostatic gas bearing in the longitudinal direction of the shaft. And a communication path formed on the plate so as to be open at the other side of the plate.

The method according to claim 1 or 2,
The exhaust passage communicates with the annular gap formed between the inner circumferential surface of the plate and the outer circumferential surface of the connecting body, the passage formed across the connecting body and the plate, and opened in the other side of the plate, and at the same time. The roll apparatus provided with the communication path opened in the said annular clearance.