JP2010019710A - 信号出力装置，パターン描画装置，結線検査装置，及び結線検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】生産設備装置において、複数の信号線を有する信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを、迅速かつ容易に検査することができる技術を提供する。
【解決手段】信号出力回路５１上に検査信号発生回路５３１、コネクタ５３２、および比較器５３４を設け、検査信号発生回路５３１から出力される検査信号と、ケーブル７０およびコネクタ５３２を介してループバックする検査信号とを比較器５３４において比較する。このようにすれば、信号線ごとに結線の良否を確認するような手間の掛かる作業を行うことなく、ケーブル７０の結線検査を迅速かつ容易に行うことができる。
【選択図】図１０

Description

本発明は、パターン描画装置等の生産設備装置において、複数の信号線を有する信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを検査する技術に関する。

カラーフィルタ等の基板の製造工程では、感光性材料の層が形成された基板の主面に光を照射することにより、基板の主面にパターンを描画するパターン描画装置が使用されている。パターン描画装置は、基板を載置するステージと、ステージ上に載置された基板の主面に光を照射する複数の光学ヘッドとを備え、ステージを水平方向に移動させつつ、複数の光学ヘッドから断続的に光を照射することにより、基板の主面に所定のパターンを描画する。

従来のパターン描画装置については、例えば、特許文献１に開示されている。

特開２００８−５１８６６号公報

パターン描画装置の内部には、多数の電子回路基板と、これらの電子回路基板を相互に接続する多数のケーブルとが設けられている。ケーブルは、複数の信号線を有しており、ケーブルの両端に設けられた端子部の複数の端子に、複数の信号線がそれぞれ結線されている。

パターン描画装置の製造時や、パターン描画装置のメンテナンスを行うときには、ケーブルに含まれる複数の信号線が、端子部の複数の端子に、それぞれ正常に結線されているかどうかを検査する作業が行われる。従来では、作業者が、テスタ等の器具を利用して各信号線とそれに対応する端子との導通を確認することにより、結線の良否をチェックしていた。

しかしながら、このような結線の確認作業は、多数のケーブルにおいて信号線ごとに行われる。このため、従来では、ケーブルの結線を確認する作業に、多くの人手と時間が必要であった。

特に、従来の結線の確認作業において、「信号線が接続されるべき端子に接続されていること」を確認するのは比較的容易であるが、「信号線が接続されるべきではない端子に接続されていないこと」を確認するのは、更に時間の掛かる作業であった。

なお、このような問題は、パターン描画装置だけではなく、工場内に設置されて製品の製造を行う生産設備装置一般において、信号伝送手段（ケーブル）の結線を検査する際に発生し得る問題である。

本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、複数の信号線を有する信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを、迅速かつ容易に検査することができる技術を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、請求項１に係る発明は、生産設備装置に搭載され、複数の信号線を有する信号伝送手段に対して信号を出力する信号出力装置において、前記複数の信号線に対応した複数のチャンネルから互いに独立した検査信号を発生させる検査信号発生部と、前記生産設備装置の動作制御に関わる制御信号と、前記検査部から発生する検査信号とを、選択的に前記信号伝送手段に出力するセレクタと、前記信号伝送手段の検査を行う際に、前記信号伝送手段の下流側の端部を接続する接続部と、前記検査信号発生部から発生する検査信号と、前記接続部を介して入力される検査信号とを比較する比較部と、を備えることを特徴とする。

請求項２に係る発明は、請求項１に記載の信号出力装置において、前記検査信号発生部は、前記複数のチャンネルから順次に所定の検査信号を発生させることを特徴とする。

請求項３に係る発明は、請求項２に記載の信号出力装置において、前記検査信号発生部は、前記複数のチャンネルから順次に、前記制御信号の最大周波数以上の周波数を有する信号を発生させること特徴とする。

請求項４に係る発明は、請求項１から請求項３までのいずれかに記載の信号出力装置において、電子回路基板上に、前記検査信号発生部、前記セレクタ、前記接続部、および前記比較部が実装されていることを特徴とする。

請求項５に係る発明は、感光性材料の層が形成された被処理基板の主面に光を照射することにより、基板の主面にパターンを描画するパターン描画装置において、請求項１から請求項４までのいずれかに記載の信号出力装置を備えることを特徴とする。

請求項６に係る発明は、複数の信号線を有する信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを検査する結線検査装置であって、前記複数の信号線に対応した複数のチャンネルから互いに独立した検査信号を発生させる検査信号発生部と、前記信号伝送手段の上流側の端部に接続され、前記検査信号発生部から発生した検査信号を前記信号伝送手段に出力する出力部と、前記信号伝送手段の下流側の端部に接続され、前記信号伝送手段を介して伝送される検査信号を入力する入力部と、前記検査信号発生部から発生する検査信号と、前記入力部を介して入力される検査信号とを比較する比較部と、を備えることを特徴とする。

請求項７に係る発明は、複数の信号線を有する信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを検査する結線検査方法であって、前記複数の信号線に対応した複数のチャンネルから互いに独立した検査信号を発生させる第１の工程と、前記第１の工程において発生した複数の検査信号を、前記複数の信号線に対してそれぞれ出力する第２の工程と、前記第１の工程において発生した検査信号と、前記信号伝送手段により伝送された後の検査信号とを比較する第３の工程と、を備えることを特徴とする。

請求項１〜５に記載の発明によれば、検査信号発生部から発生した検査信号を信号伝送手段を介して信号出力装置にループバックさせることができる。そして、検査信号発生部から発生した検査信号と、信号伝送手段を介してループバックした検査信号とを、比較部において比較することができる。このため、信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを、信号線ごとに結線の良否を確認するような手間の掛かる作業を行うことなく、迅速かつ容易に検査することができる。

特に、請求項２に記載の発明によれば、検査信号発生部は、複数のチャンネルから順次に所定の検査信号を発生させる。このため、各信号線に対して出力される検査信号をより明確に区別することができる。

特に、請求項３に記載の発明によれば、検査信号発生部は、複数のチャンネルから順次に、制御信号の最大周波数以上の周波数を有する信号を発生させる。このため、高周波の信号を伝送する際に特に発生しやすい信号の混線（接続されていない２つの信号線の間における信号の混入）も検出することができる。

また、請求項６に記載の発明によれば、検査信号発生部から発生した検査信号を信号伝送手段を介して結線検査装置にループバックさせることができる。そして、検査信号発生部から発生した検査信号と、信号伝送手段を介してループバックした検査信号とを、比較部において比較することができる。このため、信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを、信号線ごとに結線の良否を確認するような手間の掛かる作業を行うことなく、迅速かつ容易に検査することができる。

また、請求項７に記載の発明によれば、結線検査方法は、複数の信号線に対応した複数のチャンネルから互いに独立した検査信号を発生させる第１の工程と、第１の工程において発生した複数の検査信号を、複数の信号線に対してそれぞれ出力する第２の工程と、第１の工程において発生した検査信号と、信号伝送手段により伝送された後の検査信号とを比較する第３の工程と、を備える。このため、信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを、信号線ごとに結線の良否を確認するような手間の掛かる作業を行うことなく、迅速かつ容易に検査することができる。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の説明において参照される図１〜図１４のうち、図１〜図４には、パターン描画装置１の各部の位置関係や動作方向を明確化するために、共通のＸＹＺ直交座標系が示されている。

＜１．パターン描画装置の全体構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係るパターン描画装置１の側面図である。図１では、光学ヘッド３２の構成を明示するため、フレーム３１を縦断面で示している。また、図２は、パターン描画装置１の上面図である。

このパターン描画装置１は、液晶表示装置の部品であるカラーフィルタの製造工程において、カラーフィルタ用のガラス基板（以下、単に「基板」という。）９の上面に形成されたカラーレジストに、液晶表示装置の画素となる規則性パターンを描画するための装置である。図１および図２に示したように、パターン描画装置１は、主として、基板９を保持するステージ１０と、ステージ１０を移動させるステージ移動機構２０と、基板９の上面にパルス光を照射するヘッド部３０と、装置内の各部を動作制御する制御部４０とを備えている。

ステージ１０は、平板状の外形を有し、その上面に基板９を水平姿勢に載置して保持する基板保持部である。ステージ１０の上面には、複数の吸引孔（図示省略）が形成されている。このため、ステージ１０上に基板９が載置されると、基板９は、複数の吸引孔の吸引圧によりステージ１０の上面に吸着固定される。なお、描画処理の対象となる基板９の上面（主面）には、予めカラーレジスト（感光材料）の層が形成されている。

ステージ移動機構２０は、本装置１の基台１１に対してステージ１０を主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）、および回転方向（Ｚ軸周りの回転方向）に移動させるための機構である。ステージ移動機構２０は、ステージ１０を回転させる回転機構２１と、ステージ１０を回転可能に支持する支持プレート２２と、支持プレート２２を副走査方向に移動させる副走査機構２３と、副走査機構２３を介して支持プレート２２を支持するベースプレート２４と、ベースプレート２４を主走査方向に移動させる主走査機構２５と、を有している。

回転機構２１は、ステージ１０の−Ｙ側の端辺に取り付けられた移動子と、支持プレート２２の上面に敷設された固定子とにより構成されたリニアモータ２１ａを有している。また、ステージ１０の中央部下面側と支持プレート２２との間には回転軸受機構２１ｂが設けられている。このため、リニアモータ２１ａを動作させると、固定子に沿って移動子が副走査方向に移動し、回転軸受機構２１ｂの回転軸を中心としてステージ１０が所定角度の範囲内で回転する。

副走査機構２３は、支持プレート２２の下面に取り付けられた移動子とベースプレート２４の上面に敷設された固定子とにより副走査方向の推進力を発生させるリニアモータ２３ａを有している。また、副走査機構２３は、ベースプレート２４に対して支持プレート２２を副走査方向に沿って案内する一対のガイドレール２３ｂを有している。このため、リニアモータ２３ａを動作させると、ベースプレート２４上のガイドレール２３ｂに沿って支持プレート２２およびステージ１０が副走査方向に移動する。

主走査機構２５は、ベースプレート２４の下面に取り付けられた移動子と基台１１の上面に敷設された固定子とにより主走査方向の推進力を発生させるリニアモータ２５ａを有している。また、主走査機構２５は、基台１１に対してベースプレート２４を主走査方向に沿って案内する一対のガイドレール２５ｂを有している。このため、リニアモータ２５ａを動作させると、基台１１上のガイドレール２５ｂに沿ってベースプレート２４、支持プレート２２、およびステージ１０が主走査方向に移動する。

ヘッド部３０は、ステージ１０上に保持された基板９の上面に向けてパルス光を照射する光照射部である。ヘッド部３０は、ステージ１０およびステージ移動機構２０を跨ぐようにして基台１１上に架設されたフレーム３１と、フレーム３１上に副走査方向に沿って等間隔に設けられた７つの光学ヘッド３２とを有する。７つの光学ヘッド３２は、照明光学系３３を介して１つのレーザ発振器３４に接続されている。また、レーザ発振器３４には、レーザ発振器３４のオンオフ駆動を行うレーザ駆動部３５が接続されている。レーザ駆動部３５を動作させると、レーザ発振器３４からパルス光が出射され、当該パルス光が照明光学系３３を介して各光学ヘッド３２の内部に導入される。

各光学ヘッド３２の内部には、照明光学系３３から光学ヘッド３２の内部にパルス光ＰＬを導入する導入部３２１と、パルス光ＰＬを部分的に遮蔽するマスクユニット３２２と、マスクユニット３２２を通過したパルス光ＰＬを基板９の上面に照射する投影光学系３２３とが配置されている。マスクユニット３２２には、描画すべきパターンに応じた透光部と遮光部とを有するガラス板であるマスクＭが搭載されている。導入部３２１から導入されたパルス光ＰＬは、マスクユニット３２２を通過する際にマスクＭ上のパターンに応じて部分的に遮蔽され、所定のパターン形状に成形された光束として投影光学系３２３へ入射する。そして、投影光学系３２３を介してパルス光ＰＬが基板９の上面に照射され、基板９上の感光層を露光することにより、基板９の上面にパターンが描画される。

図２に示したように、７つの光学ヘッド３２は、副走査方向に沿って等間隔に（例えば２００ｍｍ間隔で）配列されている。ステージ１０を＋Ｙ方向に移動させつつ、各光学ヘッド３２からパルス光を断続的に照射すると、マスクＭにより形成されるパターン群が基板９の上面に繰り返し投影され、図３に示したように、所定の露光幅Ｄ（例えば、５０ｍｍ幅）を有する複数本のパターン群が基板９の上面に描画される。パターン描画装置１は、１回の主走査方向への描画が完了すると、ステージ１０を＋Ｘ方向に露光幅Ｄ分だけ移動させる。その後、パターン描画装置１は、ステージ１０を−Ｙ方向に移動させつつ、各光学ヘッド３２からパルス光を断続的に照射する。このように、パターン描画装置１は、光学ヘッド３２の露光幅分ずつ基板９を副走査方向にずらしながら、主走査方向へのパターンの描画を所定回数（例えば４回）繰り返すことにより、図４に示したように、基板９の描画領域全面にカラーフィルタ用の規則性パターンを形成する。

制御部４０は、パターン描画装置１内の各部を電気的に制御するための処理部である。図５は、パターン描画装置１の上記各部と制御部４０との間の接続構成を概略的に示したブロック図である。図５に示したように、制御部４０は、上記のリニアモータ２１ａ，２３ａ，２５ａ、照明光学系３３、レーザ駆動部３５、マスクユニット３２２、および投影光学系３２３と電気的に接続されている。制御部４０は、パターン描画装置１内の他の部位（種々のセンサや駆動部など）とも電気的に接続されていてもよい。

制御部４０は、コンピュータや、後述する複数の電子回路基板により構成される。制御部４０は、予めインストールされたプログラムに従ってパターン描画装置１内の各部に電気信号を与えることにより、パターン描画装置１内の各部の動作制御を行う。

＜２．電子回路基板およびケーブルの構成＞
図６は、図５に示したブロック図における制御部４０と上記各部との接続構成の一例として、上記リニアモータ２５ａとの接続を示した図である。図６に示したように、制御部４０は、制御基板４１、中継基板４２、およびドライバ基板４３を有し、制御基板４１と中継基板４２との間、中継基板４２とドライバ基板４３との間、およびドライバ基板４３とリニアモータ２５ａとの間は、それぞれ電気配線用ケーブル（以下、単に「ケーブル」という。）７０により接続されている。また、リニアモータ２５ａの動作に関わるエンコーダ２５１およびリニアスケール２５２も、ケーブル７０を介してドライバ基板４３および中継基板４２にそれぞれ接続されている。

このように、パターン描画装置１は、装置内の各部に配置された多数の電子回路基板と、これらの電子回路基板を相互に接続する多数のケーブル７０とを有している。

図７は、パターン描画装置１に含まれる多数の電子回路基板のうち、２枚の電子回路基板５０，６０と、これらの電子回路基板５０，６０を結ぶケーブル７０とを模式的に示した図である。図７に示したように、電子回路基板５０（以下、「第１電子回路基板５０」という。）には、電子回路基板６０（以下、「第２電子回路基板６０」という。）に対して電気信号を出力するための信号出力回路５１が搭載されている。信号出力回路５１において発生した電気信号は、ケーブル７０を通って第２電子回路基板６０へ伝送される。

ここで、信号出力回路５１から第２電子回路基板６０へ伝送される電気信号は、パターン描画装置１の動作制御に関わる信号である。このため、以下では、信号出力回路５１から第２電子回路基板６０へ伝送される電気信号を「制御信号」と称する。

ケーブル７０は、複数本（本実施形態では４本）の信号線７１，７２，７３，７４を有している。信号出力回路５１は、これらの信号線７１，７２，７３，７４に対して個別に制御信号を出力する。また、ケーブル７０の両端部には端子部が設けられている。ケーブル７０に含まれる複数の信号線７１，７２，７３，７４は、端子部上に設けられた複数の端子にそれぞれ結線されている。

複数の信号線７１，７２，７３，７４と端子部上の複数の端子とが全て正常に結線されていれば、４本の信号線７１，７２，７３，７４に対して出力された制御信号は、各信号線７１，７２，７３，７４を通って第２電子回路基板６０へ正確に伝送される。この場合には、第１電子回路基板５０と第２電子回路基板６０との間で、４本の信号線７１，７２，７３，７４が各々独立に制御信号を伝送する。しかしながら、複数の信号線７１，７２，７３，７４と端子部上の複数の端子との間に結線の誤りがあると、ある信号線に対して出力された制御信号が他の信号線に混入するなど、制御信号が正確に伝送されない場合がある。このような結線の誤りは、パターン描画装置１の誤動作の原因となる。

なお、ケーブル７０の途中には、トランジスタ等の能動素子は介挿されていないものとする。

図８は、信号出力回路５１の内部の構成を示したブロック図である。図８に示したように、信号出力回路５１には、本体部５２、検査部５３、およびセレクタ５４が含まれている。

本体部５２は、信号出力回路５１から本来出力するべき制御信号を発生させるための部位である。本体部５２には、主として、ＣＰＵ５２１と、制御信号発生回路５２２とが設けられている。制御信号発生回路５２２は、ＣＰＵ５２１の演算処理に基づいて、４本の信号線７１，７２，７３，７４に応じた４チャンネル分の制御信号を発生させる。そして、制御信号発生回路５２２は、発生した４チャンネル分の制御信号をセレクタ５４へ出力する。

検査部５３は、ケーブル７０に結線の誤りがないかどうかを検査するために、信号出力回路５１上に予め組み込まれた部位である。検査部５３には、主として、検査信号発生回路５３１と、コネクタ５３２と、遅延回路５３３と、比較器５３４とが設けられている。

検査信号発生回路５３１は、ケーブル７０の検査に使用される検査信号を発生させるための回路である。検査信号発生回路５３１は、ケーブル７０の４本の信号線７１，７２，７３，７４に応じた４チャンネル分の検査信号を発生させ、発生した４チャンネル分の検査信号をセレクタ５４と比較器５３４とへ出力する。

図９は、検査信号発生回路５３１から出力される検査信号の例を示したタイミングチャートである。図９に示したように、検査信号発生回路５３１は、高周波信号（例えば、数１０ＭＨｚ程度の信号）Ｓを、４つの出力チャンネルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４から順次に繰り返し出力する。高周波信号Ｓは、２つ以上の出力チャンネルから同時に出力されることはなく、高周波信号Ｓの出力は常に１つの出力チャンネルに限定されている。従って、４つの出力チャンネルＣ１〜Ｃ４から出力される検査信号は、互いに独立して区別可能な信号となっている。

検査信号発生回路５３１は、公知の種々の電子素子を組み合わせることにより実現される。例えば、クロック発生器、カウンタ、デコーダ、バッファ等の素子を組み合わせ、クロック発生器から発生した高周波信号を、カウンタのカウント値に応じて４つの出力チャンネルから順次に出力させるようにすればよい。

コネクタ５３２は、結線の検査を行うときに、ケーブル７０の下流側の端部（第２電子回路基板６０側の端部）を接続するための接続部である。検査時には、第２電子回路基板６０からケーブル７０の下流側の端部が取り外され、図１０に示したように、コネクタ５３２にケーブル７０の下流側の端部が接続される。コネクタ５３２は、接続されたケーブル７０を通ってループバックする検査信号を受信し、受信した検査信号を比較器５３４へ与える。

遅延回路５３３は、検査信号発生回路５３１から出力される検査信号を遅延させるための回路である。ケーブル７０は、例えば数ｍ程度の長さを有し、そのようなケーブル７０を通ってループバックする検査信号は、検査信号発生回路５３１から出力された検査信号に対して遅延することとなる。遅延回路５３３は、このような遅延に応じて、検査信号発生回路５３１から出力される検査信号も遅延させて比較器５３４に入力する。これにより、比較器５３４に入力される２つの検査信号の位相を一致（同期）させる。

比較器５３４は、検査信号発生回路５３１から出力された検査信号と、ケーブル７０を通ってループバックした検査信号とを受信し、これらの両検査信号をチャンネル毎（信号線７１，７２，７３，７４毎）に比較するための処理部である。比較器５３４は、入力された２つの検査信号の相違箇所を検出し、相違箇所の有無、及び、相違箇所がある場合には相違するチャンネル（信号線）を、検査結果として所定の表示部５３５に表示させる。

セレクタ５４は、ケーブル７０を、制御信号発生回路５２２側と検査信号発生回路５３１側とに選択的に接続するための切り替え部である。セレクタ５４は、パターン描画装置１が通常の描画処理を行うときには、ケーブル７０を制御信号発生回路５２２側に接続する。この場合には、制御信号発生回路５２２において発生した４チャンネル分の制御信号が、ケーブル７０の４本の信号線７１，７２，７３，７４にそれぞれ出力される。また、セレクタ５４は、ケーブル７０の検査を行うときには、ケーブル７０を検査信号発生回路５３１側に接続する。この場合には、検査信号発生回路５３１の４つの出力チャンネルＣ１〜Ｃ４から発生した検査信号が、ケーブル７０の４本の信号線７１，７２，７３，７４にそれぞれ出力される。

なお、セレクタ５４は、所定の制御線を介してＣＰＵ５２１と接続されている。セレクタ５４は、ＣＰＵ５２１から受信する切り替え信号に基づいて接続の変更を行う。なお、セレクタ５４は、スイッチを切り替えるなどの方法により、マニュアルで接続の変更が行われるようになっていてもよい。

＜３．ケーブルの検査手順＞
続いて、上記のケーブル７０に結線の誤りがないかどうかを検査するときの手順について、図１１のフローチャートを参照しつつ説明する。

ケーブル７０の検査を行うときには、まず、作業者は、検査対象となるケーブル７０の下流側の端部を、本来の出力先である第２電子回路基板６０から取り外す。そして、作業者は、第１電子回路基板５０の検査部５３に設けられたコネクタ５３２に、ケーブル７０の下流側の端部を接続する（ステップＳ１，図１０の状態）。

次に、ＣＰＵ５２１からの切り替え信号に基づいて、セレクタ５４が検査信号発生回路５３１側に切り替えられる（ステップＳ２）。

セレクタ５４の切り替えの後、検査信号発生回路５３１は、セレクタ５４を介してケーブル７０へ、検査信号を出力する（ステップＳ３）。ここでは、検査信号発生回路５３１は、図９に示したような検査信号を出力するものとする。すなわち、検査信号発生回路５３１は、高周波信号Ｓを４つの出力チャンネルＣ１〜Ｃ４から順次に出力する。

検査信号発生回路５３１から出力された４チャンネル分の検査信号は、ケーブル７０の４本の信号線７１，７２，７３，７４を通って検査部５３へループバックする。また、ループバックした検査信号は、コネクタ５３２を介して比較器５３４へ入力される。

比較器５３４は、検査信号発生回路５３１から遅延回路５３３を介して入力される検査信号と、コネクタ５３２を介して入力される検査信号とを比較し、これらの両検査信号の相違箇所を検出する（ステップＳ４）。

複数の信号線７１，７２，７３，７４が端子部上の複数の端子に全て正常に結線されていれば、ケーブル７０を介してループバックした検査信号も、図９に示した検査信号と同等の波形となっている。従って、比較器５３４に入力される２つの検査信号は一致する。この場合には、比較器５３４において２つの検査信号の相違箇所は検出されず、表示部５３５は、ケーブル７０に結線の誤りはない旨を検査結果として表示する。

一方、複数の信号線７１，７２，７３，７４と端子部上の複数の端子との間に結線の誤りがある場合には、ケーブル７０を介してループバックした検査信号は、例えば図１２に示したように、図９に示した検査信号と異なる波形となる。図１２の例では、信号線７２と信号線７３とで高周波信号Ｓが入れ替わっており、信号線７２と信号線７３との交差が発生しているものと考えられる。比較器５３４は、このような両検査信号の相違箇所を検出する。また、表示部５３５には、結線の誤りがある旨と、該当する信号線（図１２の例では信号線７２，７３）とが、検査結果として表示される。

このように、本実施形態では、信号出力回路５１上に検査信号発生回路５３１、コネクタ５３２、および比較器５３４を設け、検査信号発生回路５３１から出力される検査信号と、ケーブル７０およびコネクタ５３２を介してループバックする検査信号とを比較器５３４において比較する。このため、信号線ごとに結線の良否を確認するような手間の掛かる作業を行うことなく、ケーブル７０の結線検査を迅速かつ容易に行うことができる。

特に、本実施形態では、結線の誤りを、比較器５３４に入力される２つの検査信号の相違箇所として検出する。このため、「信号線が接続されるべき端子に接続されていること」と、「信号線が接続されるべきではない端子に接続されていないこと」とを、いずれも容易に確認することができる。また、「信号線が接続されるべき端子に接続されていること」と、「信号線が接続されるべきではない端子に接続されていないこと」とを、一度に確認することができる。

また、本実施形態では、検査信号として、高周波信号Ｓを使用している。このため、高周波の信号を伝送する際に特に発生しやすい信号の混線（接続されていない２つの信号線の間における信号の混入）も検出することができる。図１３は、混線を含む検査信号の例を示した図である。図１３の例では、信号線７２の高周波信号Ｓが、一時的に信号線７３に混入している。従来のテスタを使用した検査では、このように一時的に発生する混線を検出することは極めて困難であったが、本実施形態では、このような混線も比較器５３４において検出することができる。

なお、通常の動作時における信号の混線を防止するために、検査信号発生回路５３１から発生させる高周波信号Ｓの周波数は、本体部５２から出力される制御信号の最大周波数と同等あるいはそれ以上であることが望ましい。

＜４．変形例＞
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。

上記の実施形態では、ケーブル７０に結線の誤りがないかどうかを検査するために、第１電子回路基板５０に検査部５３を設けていたが、パターン描画装置１内の他の電子回路基板にも、同等の検査部が設けられていてもよい。例えば、第２電子回路基板６０に、第２電子回路基板の下流側にのびるケーブルの検査を行うための検査部が設けられていてもよい。

また、上記の実施形態では、信号出力回路５１は、制御信号を発生させるための本体部５２を有していたが、本発明の信号出力装置は、自発的に制御信号を発生させるものでなくてもよい。例えば、図６の中継基板４２のように、上流側の制御基板４１から入力された制御信号をケーブル７０を介して下流側へ出力する基板に、ケーブル７０の検査を行うための検査部が設けられていてもよい。具体的には、中継基板４２から下流側のドライバ基板４３へ向かうケーブル７０の検査を行うための検査部と、中継基板４２から下流側のリニアスケール２５２へ向かうケーブル７０の検査を行うための検査部とを、それぞれ中継基板４２に設ければよい。

また、上記の実施形態では、信号伝送手段としてケーブル７０を使用していたが、本発明の信号伝送手段は、複数本の信号線を結束させた一般的なケーブルでなくてもよい。例えば、複数本の信号線がそれぞれ分離された状態でのびていてもよい。また、複数本の信号線は、下流側の端部がそれぞれ異なる電子回路基板に接続されるものであってもよい。

また、上記の実施形態では、信号出力回路５１は、第１電子回路基板５０上に設けられていたが、信号出力回路５１は、必ずしも平板状のいわゆる「基板」上に実装されたものでなくてもよい。

また、上記の実施形態では、信号出力回路５１上に検査部５３が設けられていたが、検査部５３と同等の機能を有する結線検査装置が、パターン描画装置１とは別個に用意されていてもよい。図１４は、このような結線検査装置の例を示したブロック図である。図１４の結線検査装置８０は、検査信号発生回路８１と、検査信号出力部８２と、検査信号入力部８３と、遅延回路８４と、比較器８５と、表示部８６とを有する。検査信号発生回路８１、検査信号入力部８３、遅延回路８４、比較器８５、および表示部８６は、それぞれ上記の実施形態の検査信号発生回路５３１、コネクタ５３２、遅延回路５３３、比較器５３４、および表示部５３５と同等の機能を有する。

結線検査装置８０を使用するときには、パターン描画装置１からケーブル７０を取り出して、その上流側の端部を検査信号出力部８２に接続するとともに、下流側の端部を検査信号入力部８３に接続する。そして、検査信号発生回路８１から検査信号を発生させ、遅延回路５３３を介して比較器５３４に入力される検査信号と、ケーブル７０を介してループバックする検査信号とを、比較する。

また、上記の実施形態では、検査結果が表示部５３５に表示されるようになっていたが、検査結果は、ＬＥＤ等の発光手段や音声などの他の手段により作業者に通知されるようになっていてもよい。

また、上記の実施形態では、パターン描画装置１内のケーブル７０の検査を行う場合について説明したが、本発明は、工場内に設置されて製品の生産を行う生産設備装置一般において、信号伝送手段の結線を検査する場合に適用することができる。例えば、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板や半導体基板の製造を行う種々の基板処理装置において、信号伝送手段の結線を検査する場合にも適用することができる。

パターン描画装置の側面図である。 パターン描画装置の上面図である。 基板の上面において描画処理が進行する様子を示した図である。 基板の上面において描画処理が進行する様子を示した図である。 パターン描画装置の各部と制御部との間の接続構成を概略的に示したブロック図である。 制御部とリニアモータとの間の接続構成を示した図である。 ２枚の電子回路基板とケーブル７０とを模式的に示した図である。 信号出力回路の内部の構成を示したブロック図である。 検査信号発生回路から出力される検査信号の例を示したタイミングチャートである。 検査時の信号出力回路とケーブルとを示したブロック図である。 ケーブルの結線検査の手順を示したフローチャートである。 ケーブルを介してループバックした検査信号の例を示したタイミングチャートである。 ケーブルを介してループバックした検査信号の例を示したタイミングチャートである。 結線検査装置の例を示したブロック図である。

符号の説明

１ パターン描画装置
９ 基板
１０ ステージ
２０ ステージ移動機構
３０ ヘッド部
４０ 制御部
５０，６０ 電子回路基板
５１ 信号出力回路
５２ 本体部
５３ 検査部
５４ セレクタ
７０ ケーブル
７１，７２，７３，７４ 信号線
８０ 結線検査装置
８１ 検査信号発生回路
８２ 検査信号出力部
８３ 検査信号入力部
８４ 遅延回路
８５ 比較器
８６ 表示部
５２１ ＣＰＵ
５２２ 制御信号発生回路
５３１ 検査信号発生回路
５３２ コネクタ
５３３ 遅延回路
５３４ 比較器
５３５ 表示部
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４ 出力チャンネル
Ｓ 高周波信号

Claims (7)

1. 生産設備装置に搭載され、複数の信号線を有する信号伝送手段に対して信号を出力する信号出力装置において、
   前記複数の信号線に対応した複数のチャンネルから互いに独立した検査信号を発生させる検査信号発生部と、
   前記生産設備装置の動作制御に関わる制御信号と、前記検査部から発生する検査信号とを、選択的に前記信号伝送手段に出力するセレクタと、
   前記信号伝送手段の検査を行う際に、前記信号伝送手段の下流側の端部を接続する接続部と、
   前記検査信号発生部から発生する検査信号と、前記接続部を介して入力される検査信号とを比較する比較部と、
   を備えることを特徴とする信号出力装置。
2. 請求項１に記載の信号出力装置において、
   前記検査信号発生部は、前記複数のチャンネルから順次に所定の検査信号を発生させることを特徴とする信号出力装置。
3. 請求項２に記載の信号出力装置において、
   前記検査信号発生部は、前記複数のチャンネルから順次に、前記制御信号の最大周波数以上の周波数を有する信号を発生させること特徴とする信号出力装置。
4. 請求項１から請求項３までのいずれかに記載の信号出力装置において、
   電子回路基板上に、前記検査信号発生部、前記セレクタ、前記接続部、および前記比較部が実装されていることを特徴とする信号出力装置。
5. 感光性材料の層が形成された被処理基板の主面に光を照射することにより、基板の主面にパターンを描画するパターン描画装置において、
   請求項１から請求項４までのいずれかに記載の信号出力装置を備えることを特徴とするパターン描画装置。
6. 複数の信号線を有する信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを検査する結線検査装置であって、
   前記複数の信号線に対応した複数のチャンネルから互いに独立した検査信号を発生させる検査信号発生部と、
   前記信号伝送手段の上流側の端部に接続され、前記検査信号発生部から発生した検査信号を前記信号伝送手段に出力する出力部と、
   前記信号伝送手段の下流側の端部に接続され、前記信号伝送手段を介して伝送される検査信号を入力する入力部と、
   前記検査信号発生部から発生する検査信号と、前記入力部を介して入力される検査信号とを比較する比較部と、
   を備えることを特徴とする結線検査装置。
7. 複数の信号線を有する信号伝送手段に結線の誤りがないかどうかを検査する結線検査方法であって、
   前記複数の信号線に対応した複数のチャンネルから互いに独立した検査信号を発生させる第１の工程と、
   前記第１の工程において発生した複数の検査信号を、前記複数の信号線に対してそれぞれ出力する第２の工程と、
   前記第１の工程において発生した検査信号と、前記信号伝送手段により伝送された後の検査信号とを比較する第３の工程と、
   を備えることを特徴とする結線検査方法。

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