JP2010015981A5

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Publication number: JP2010015981A5
Application number: JP2009134813A
Authority: JP
Filing date: 2009-06-04
Publication date: 2012-07-05
Anticipated expiration: 2029-06-04

Claims

第１の基板の一方の面に光吸収層を形成し、
前記光吸収層と接して開口部を有する反射層を形成し、
前記光吸収層および前記反射層と接して材料層を形成し、
前記第１の基板の一方の面側から、第１の光を照射して、
前記材料層の一部で前記反射層の開口部と重なる部分を除去し、
前記第１の基板の一方の面と、
第２の基板の被成膜面とを対向させ、かつ近接させた状態で配置し、
前記第１の基板の他方の面側から、第２の光を照射して、
前記反射層と重なる位置にある前記材料層を前記第２の基板の被成膜面に蒸着させることを特徴とする発光装置の作製方法。
第１の基板の一方の面に光吸収層を形成し、
前記光吸収層と接して開口部を有する反射層を形成し、
前記光吸収層および前記反射層と接して材料層を形成し、
前記第１の基板の一方の面側から、第１の光を照射して、
前記材料層の一部で前記反射層の開口部と重なる部分を除去し、
前記第１の基板の一方の面と、
第２の基板の被成膜面とを対向させ、かつ近接させた状態で配置し、
前記第１の基板を加熱し、前記反射層と重なる位置にある前記材料層を前記第２の基板の被成膜面に蒸着させることを特徴とする発光装置の作製方法。
第１の基板の一方の面に光吸収層を形成し、
前記光吸収層と接して開口部を有する反射層を形成し、
前記光吸収層および前記反射層と接して材料層を形成し、
前記第１の基板の一方の面側から、光強度がＡ₁（Ｗ／ｃｍ²）で、照射時間Ｂ₁（ｓ）のとき、下記一般式（１）
１／Ａ₁ ^1.5≦Ｂ₁≦１０⁶／Ａ₁ ^1.5 かつＢ₁≦１０^-3（ｓ）（１）
より好ましくは、下記一般式（２）
１０／Ａ₁ ^1.5≦Ｂ₁≦１０⁵／Ａ₁ ^1.5 かつＢ₁≦１０^-3（ｓ）（２）
の範囲にある第１の光を照射して、
前記材料層の一部で前記反射層の開口部と重なる部分を除去し、
前記第１の基板の一方の面と、
第２の基板の被成膜面とを対向させ、かつ近接させた状態で配置し、
前記第１の基板の他方の面側から、光強度がＡ₂（Ｗ／ｃｍ²）で、照射時間Ｂ₂（ｓ）のとき、下記一般式（３）
１／Ａ ₂ ^1.5≦Ｂ₂≦１０⁶ ／Ａ ₂ ^1.5 かつＢ₂≧１０^-4（ｓ）（３）
より好ましくは、下記一般式（４）
１０／Ａ ₂ ^1.5≦Ｂ₂≦１０⁵ ／Ａ ₂ ^1.5かつＢ₂≧１０^-4（ｓ）（４）
の範囲にある第２の光を照射して、
前記反射層と重なる位置にある前記材料層を前記第２の基板の被成膜面に蒸着させることを特徴とする発光装置の作製方法。
第１の基板の一方の面に光吸収層を形成し、
前記光吸収層と接して開口部を有する反射層を形成し、
前記光吸収層および前記反射層と接して材料層を形成し、
前記第１の基板の一方の面側から、光強度がＡ₁（Ｗ／ｃｍ²）で、照射時間Ｂ₁（ｓ）のとき、下記一般式（１）
１／Ａ₁ ^1.5≦Ｂ₁≦１０⁶／Ａ₁ ^1.5 かつＢ₁≦１０^-3（ｓ）（１）
より好ましくは、下記一般式（２）
１０／Ａ₁ ^1.5≦Ｂ₁≦１０⁵／Ａ₁ ^1.5 かつＢ₁≦１０^-3（ｓ）（２）
の範囲にある第１の光を照射して、
前記材料層の一部で前記反射層の開口部と重なる部分を除去し、
前記第１の基板の一方の面と、
第２の基板の被成膜面とを対向させ、かつ近接させた状態で配置し、
前記第１の基板を加熱し、前記反射層と重なる位置にある前記材料層を前記第２の基板の被成膜面に蒸着させることを特徴とする発光装置の作製方法。
請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
前記第１の光は、レーザ光であることを特徴とする発光装置の作製方法。
請求項１乃至請求項５のいずれか一において、
前記第１の光は、波長４５０ｎｍ以上の光であることを特徴とする発光装置の作製方法。
請求項１乃至請求項６のいずれか一において、
前記光吸収層は、光に対する反射率が７０％以下であることを特徴とする発光装置の作製方法。
請求項１乃至請求項７のいずれか一において、
前記光吸収層は、窒化タンタル、窒化チタン、窒化クロム、窒化マンガン、チタン、カーボンのいずれかを含むことを特徴とする発光装置の作製方法。
請求項１乃至請求項８のいずれか一において、
前記反射層は、光に対する反射率が８５％以上であることを特徴とする発光装置の作製方法。
請求項１乃至請求項９のいずれか一において、
前記反射層は、アルミニウム、銀、金、白金、銅、アルミニウムを含む合金、銀を含む合金、または酸化インジウム−酸化スズのいずれかを含むことを特徴とする発光装置の作製方法。
請求項１乃至請求項１０のいずれか一において、
前記材料層は有機化合物からなることを特徴とする発光装置の作製方法。
請求項１乃至請求項１１のいずれか一において、
前記材料層は、発光性材料またはキャリア輸送性材料の一方または両方を含むことを特徴とする発光装置の作製方法。